JPS5984531A - 電子部品取付装置 - Google Patents
電子部品取付装置Info
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- JPS5984531A JPS5984531A JP57194714A JP19471482A JPS5984531A JP S5984531 A JPS5984531 A JP S5984531A JP 57194714 A JP57194714 A JP 57194714A JP 19471482 A JP19471482 A JP 19471482A JP S5984531 A JPS5984531 A JP S5984531A
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- pellet
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子部品取付装置に関するものである。
従来、たとえば集積回路(IC)や大規模集積回路(I
、S工)のペレット全リードフレームまたは基板の如き
ペレット取付面に固着する場合、クエへからダイシング
によシ個々のペレットに分割さnかり金属顕微鏡で選別
された良品ペレットのみがトレー上に並べら扛てお9、
そのトレー上の良品ペレットをベレット付は機でリード
フレームlたは基板の所定位置に搬送して固着している
。
、S工)のペレット全リードフレームまたは基板の如き
ペレット取付面に固着する場合、クエへからダイシング
によシ個々のペレットに分割さnかり金属顕微鏡で選別
された良品ペレットのみがトレー上に並べら扛てお9、
そのトレー上の良品ペレットをベレット付は機でリード
フレームlたは基板の所定位置に搬送して固着している
。
したがって、1ウエハ内に藪品種組み込1nている組マ
スク品の場合、lずダイソータにて、カセントテープか
らウェハ検査データ、品種を読み取り、品種別にペレッ
トヲトレーに取シ出丁。次にその品種に分けられたトレ
ー毎に金属顕微鏡にてペレットの欠陥有無音検査し、不
良品を取り出し、良品會丁き間のないように並べ直丁。
スク品の場合、lずダイソータにて、カセントテープか
らウェハ検査データ、品種を読み取り、品種別にペレッ
トヲトレーに取シ出丁。次にその品種に分けられたトレ
ー毎に金属顕微鏡にてペレットの欠陥有無音検査し、不
良品を取り出し、良品會丁き間のないように並べ直丁。
さらに、そのトレー上ペレット付機にセットし、!J−
)’フレーム172:は基板の所定位置にペレットの固
着を行なう。
)’フレーム172:は基板の所定位置にペレットの固
着を行なう。
このように、従来技術では、複雑でかつ時間の要する作
業を行なわねばならない欠点があった。
業を行なわねばならない欠点があった。
また、マスタースライス方式によるペレットの場合、品
11間違い中子い欠点もあった。
11間違い中子い欠点もあった。
本発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消し、電子部
品の搬送時に予め電子部品の有無、品種、欠陥の有無等
全判別し、良品のみヶ選択して所定位置に取り付けるこ
とのできる電子部品取付装置を提供することにある。
品の搬送時に予め電子部品の有無、品種、欠陥の有無等
全判別し、良品のみヶ選択して所定位置に取り付けるこ
とのできる電子部品取付装置を提供することにある。
以下、本発明ケ図面に示す一実施タリにしたがって肝I
IK曲ミ明する。
IK曲ミ明する。
第1図は本発明による電子部品取付装置の一実施列全示
す概略説明図であり、本発明をペレット付は機に通用し
た場合のペレット認識状態を示すものである。
す概略説明図であり、本発明をペレット付は機に通用し
た場合のペレット認識状態を示すものである。
この実施列において、ペレット3は治−XiQ上にウェ
ハを貼シ付けてダイシングすることにより個々に分割さ
れて粘る。ウェハの上方には、ペレット3の有無、ペレ
ット3の品種、バントマークの有無、欠陥の有無ケ認識
、判別するための認識機構を構成する認識用カメラ4が
設けらnている11こ、認識機構は認識用テレビ5も有
し、葛らに前記開織用カメラ4および認識用テレビ5管
制御する制御装置としてのコンピュータ6を備えてbる
。
ハを貼シ付けてダイシングすることにより個々に分割さ
れて粘る。ウェハの上方には、ペレット3の有無、ペレ
ット3の品種、バントマークの有無、欠陥の有無ケ認識
、判別するための認識機構を構成する認識用カメラ4が
設けらnている11こ、認識機構は認識用テレビ5も有
し、葛らに前記開織用カメラ4および認識用テレビ5管
制御する制御装置としてのコンピュータ6を備えてbる
。
第2図は、第1図に示す認識機vIを用いて選び出され
た良品ペレットをピンクアップする状態を示す部分断面
図である。この場合、マスキングテープ2の中央部の下
方には、良品ペレット3を吸着搬送のために突き上げる
ピンクアンプ針7が設けられている。一方、良品ペレッ
ト3をマスキングテープ2上から被取付物である牛導体
装置のセラミックパッケージ9のペレット取付面に吸着
搬送するためのコレット8が水平方向および垂直方向へ
の移動可能に設けられている。
た良品ペレットをピンクアップする状態を示す部分断面
図である。この場合、マスキングテープ2の中央部の下
方には、良品ペレット3を吸着搬送のために突き上げる
ピンクアンプ針7が設けられている。一方、良品ペレッ
ト3をマスキングテープ2上から被取付物である牛導体
装置のセラミックパッケージ9のペレット取付面に吸着
搬送するためのコレット8が水平方向および垂直方向へ
の移動可能に設けられている。
次に、本実施列の′作用につ込て説明する。
1ず、治具1にマスキングテープ2を接着し、その上に
ウェハを貼シ付はダイシングする。その状態の11ベレ
ント付は機にセントされ、ペレット3は認識用カメラ4
、認識用テレビ5およびそnら全制御するコンピュータ
6にてペレットの有無、ペレットの品at−e識し、所
定の品種ペレット3を選出する。次に、予め与えらnた
プログラムに、1m、Qバンドマークの有無、ペレット
欠陥の有無を判別し、所定品種良品ペレット3會選出す
る。
ウェハを貼シ付はダイシングする。その状態の11ベレ
ント付は機にセントされ、ペレット3は認識用カメラ4
、認識用テレビ5およびそnら全制御するコンピュータ
6にてペレットの有無、ペレットの品at−e識し、所
定の品種ペレット3を選出する。次に、予め与えらnた
プログラムに、1m、Qバンドマークの有無、ペレット
欠陥の有無を判別し、所定品種良品ペレット3會選出す
る。
その後、前記の如くして選出芒れた良品ペレット3をピ
ンクアップ針7で突き上け、その良品ベレン)3にコレ
ット8で真空吸着し、セラミックパッケージ9の所定位
置に搬送し、第3図に示す工うにコレット8でペレット
3をペレット取付面に対してスクラブすることにニジ、
ペレット3をセラミックパッケージ9の所定位置に固着
する。
ンクアップ針7で突き上け、その良品ベレン)3にコレ
ット8で真空吸着し、セラミックパッケージ9の所定位
置に搬送し、第3図に示す工うにコレット8でペレット
3をペレット取付面に対してスクラブすることにニジ、
ペレット3をセラミックパッケージ9の所定位置に固着
する。
本実施ρすにJ:t′Lば、認R機構を設けることにょ
シ、一般的に英字と数字からなる品株名が判別でき、そ
の上、ペレット有無及びウェハでの電気特性検査での不
艮全示すバンドマークの有無が判別できる。また2値化
レベルおよび認識カメラの倍率を変更することでペレッ
ト欠陥を判断することができる。
シ、一般的に英字と数字からなる品株名が判別でき、そ
の上、ペレット有無及びウェハでの電気特性検査での不
艮全示すバンドマークの有無が判別できる。また2値化
レベルおよび認識カメラの倍率を変更することでペレッ
ト欠陥を判断することができる。
これらの機能によυダインート、ペレット選別、ペレッ
ト付けを同一装置にて行うことができ、またペレット付
はする品種の間違いがなくなる。
ト付けを同一装置にて行うことができ、またペレット付
はする品種の間違いがなくなる。
なお、ベレント供給扛マスキングテープに貼p付けた状
態のみならずペレットトレーにて行なっても良いことは
言うlでもない。ペレット付けは1ペレント/ハツケー
ジのみで々く、マルチチップやハイブリッドにも用いる
ことができ、1だペレット付は方式はAu−8L共晶、
Agペースト、ガラス等、方法の如何を問わない。
態のみならずペレットトレーにて行なっても良いことは
言うlでもない。ペレット付けは1ペレント/ハツケー
ジのみで々く、マルチチップやハイブリッドにも用いる
ことができ、1だペレット付は方式はAu−8L共晶、
Agペースト、ガラス等、方法の如何を問わない。
なお、本発明はペレット付けのみならず、たとえば池の
各種電子部品全基板に搭載する場合等にも応用できる。
各種電子部品全基板に搭載する場合等にも応用できる。
以上説明し′fcように、本発明によnば、電子部品の
有無、品種、欠陥の有無等の認識、判別が可能であるの
で、電子部品の選別から被取付面への取付けlで1台の
装置で自動的に行なうことができる。
有無、品種、欠陥の有無等の認識、判別が可能であるの
で、電子部品の選別から被取付面への取付けlで1台の
装置で自動的に行なうことができる。
第1図は本発明tペレント伺は機に応用したー実施列t
ベレント認識状態で示す概略説明図、第2図はペレット
のピンクアンプ状態會示す部分断面図、 第3図にベレット付は状態を示す部分断面図である。 3・・・ベレツト、4・・・認識用カメラ、5・・・認
識用テレビ、6・・・コンピュータ、8・・・コレツト
、9・・・セラミックパッケージ。 第 1 図 第 2 図 第 3 図 147
ベレント認識状態で示す概略説明図、第2図はペレット
のピンクアンプ状態會示す部分断面図、 第3図にベレット付は状態を示す部分断面図である。 3・・・ベレツト、4・・・認識用カメラ、5・・・認
識用テレビ、6・・・コンピュータ、8・・・コレツト
、9・・・セラミックパッケージ。 第 1 図 第 2 図 第 3 図 147
Claims (1)
- 1.1!子部品を取付位置に搬送して取ル付ける電子部
品取付装置にお込て、電子部品の有無、品種、あるいは
欠陥の有無等を判別する認識機構含有すること’t−%
徴とする電子部品取付装置。 2、認識機構か、認識用カメラ、認識用テレビおよびそ
の制御装置からなることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の電子部品取付装置。 36 電子部品が、ウェハから分割ちれたペレットで
あシ・、認識用カメラがウェハ上に般けらnることを特
徴とする特許請求の範囲第2項記載の電子部品取付装置
。 4、電子部品が、トレー上に収納δ扛たペレットであり
、1識用カメラがトレー上に設けらnることt特徴とす
る特許請求の範囲第2項記載の電子部品取付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57194714A JPS5984531A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 電子部品取付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57194714A JPS5984531A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 電子部品取付装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5984531A true JPS5984531A (ja) | 1984-05-16 |
Family
ID=16329023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57194714A Pending JPS5984531A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 電子部品取付装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5984531A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6276728A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Toshiba Corp | 半導体ペレツトマウント装置 |
JPS6358900A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-14 | 富士通株式会社 | Icインサータへのic供給装置 |
JPH01161485A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nichiden Mach Ltd | 微小ワーク片の認識方法 |
JPH01220450A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-04 | Nec Corp | 半導体ペレットのマウント方法 |
-
1982
- 1982-11-08 JP JP57194714A patent/JPS5984531A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6276728A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Toshiba Corp | 半導体ペレツトマウント装置 |
JPH0812879B2 (ja) * | 1985-09-30 | 1996-02-07 | 株式会社東芝 | 半導体ペレットマウント装置 |
JPS6358900A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-14 | 富士通株式会社 | Icインサータへのic供給装置 |
JPH0553319B2 (ja) * | 1986-08-28 | 1993-08-09 | Fujitsu Ltd | |
JPH01161485A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nichiden Mach Ltd | 微小ワーク片の認識方法 |
JPH01220450A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-04 | Nec Corp | 半導体ペレットのマウント方法 |
JPH0821600B2 (ja) * | 1988-02-29 | 1996-03-04 | 日本電気株式会社 | 半導体ペレットのマウント方法 |
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