JPS6276728A

JPS6276728A - 半導体ペレツトマウント装置

Info

Publication number: JPS6276728A
Application number: JP21688085A
Authority: JP
Inventors: Minoru Kagino; 鍵野　実; Hitoshi Shirata; 白田　仁志
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Microelectronics Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Priority date: 1985-09-30
Filing date: 1985-09-30
Publication date: 1987-04-08
Anticipated expiration: 2011-02-07
Also published as: JPH0812879B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は半導体ペレットをマウントヘッドによりピック
アップして半導体パッケージのペレット設置部にマウン
トづる半導体ペレットマウント菰首に関する。

〔発明の技術向背（ｌとその問題点）半導体ペレットマウント工程に送られＣくるつ工−ハに
は、マウント工程前のテストエ稈において不良品ベレッ
１−に不良マークが付されている。

半導体ペレットマウント装買は、これからマウントする
ペレットに不良マークが付されているか否かを検出し、
不良マークが付されていな【プればそのペレットをピッ
クアップして゛１′導体パッケージのペレッ１〜設置部
にマウントシ、不良マークがイ・」されていれば次のペ
レットを検出すべくウェーハステージを移動さけるよう
にしていた。

しかし、かかる従来の半導体ペレットマウント装置では
、ペレットが良品であるか不良品であるかにかかわらず
、ひとつひとつのペレットがマウントヘッド下に正確に
位置するようにウェーハステージを位ｒノ決めし、しか
る後にペレットに不良マークが何されているか否かを検
出している。そして不良マークが検出されればそのペレ
ットをマウントする必要がないため、次のペレットに位
置決めするまでマウント動作を中断覆ることになる。

したがって不良ペレットが多り４ｆると従来の半導体ペ
レットマウント装置ではマウント動作待ら時間が良くな
り作業効率が悪くなるという問題があった。

〔発明の目的）本発明は上記事情を考慮してなされたもので作業効率の
優れた半導体ペレットマウント装置を提供することを目
的とする。

〔発明の概要］上記目的を達成づ−るために本発明による半導体ペレッ
トマウント装置は、ウェーハをウェーハステージに載置
Ｊ−る前にウェーハ全面を−読み取り、この読取パター
ンから不良マークを認識し、不良マークが（＝Ｉされた
不良ペレット位置を記憶手段に記憶し、この記憶手段に
記憶された不良ペレツ１〜位置に基づいて不良ペレット
をスキップするようにウェーハステージを駆動づるよう
にしたことを特徴とする。

〔発明の実施例〕

本発明の一実施例による半導体ペレットマウント装置を
第１図に示す。テスト工程が終了し不良ペレットに不良
マークが付されたウェーハが複数枚つ１−バストツカ１
０に収納されている。ウェーハストッカ１０上部には最
上部に置かれたウェーハ１２の全面のパターンを光学的
に読み取るためにウェーハ読取装置１４が設けられてい
る。このウェーハ読取装置１４には、ウェーハ１２から
の反射光を光電変換するためのラインセンナ１６が設け
られている。このラインセンナ１６はベル１−１８を介
してモータ２０により、ウェーハ１２の全面を横切るよ
うに走査される。

全面のパターンが読み取られたウェーハ１２をウェーハ
ステージ２４に搬送し、載置するためにベルト２２が設
りられている。ウェーハステージ２４はＣウェーハ１２
を載置するものであり、Ｘ方向し一タ２６およびＹ方向
モータ２８により任意の位置に位置決めすることができ
る。

マウントヘッド３０はアーム３２により支持されている
。モータ３４により駆動ｍ　＋ｂ’＋　３６を動かずこ
とににす、アーム３２を上下、前後に動かりことができ
る。マウントヘッド３０はｒクエーハスデード２４上の
ウェーハ１２から所定のペレットをピックアップし、搬
送ベルト３８上のリードフレーム４０のペレッ１−載置
部にマウーン１〜する。

ラインセンナ１６により読み取られ、光電変換された信
号は、１量子化部４２で２値（又は多１ｉｆＩ）信号に
ｔＨ量子化れる。吊子化されたつし一ハ１２の読取パタ
ーンはパターンメモリ４４に格納される。Ｈ３部４６は
パターンメｔす４４中の読取パターンから、ペレット上
に付された不良マークを認識し、この認識結果に基づい
て不良ペレットの位置を求め、良品ペレットの位置を記
憶部４８に記憶する。なお、ペレット間の距離はつ」−
−ハのブレーキング前後で異なるため、その点を考慮し
て昨正しておくことが望ましい。制御部５０はこの記憶
部４８に記憶された良品ペレットの位置に基づいて、ウ
ェーハステージ２４を駆動するモータ２６．２８および
駆動機構３６を動かづ■−タ３４を制御する。

次に動作を説明する。ウェーハストッカ１０の最上部に
ｎかれたつ１−ハ１２はｒウェーハ読取装置１４により
読み取られる。読み取られた信号は量子化部４２により
ｔｌ＞子化され、パターンメモリ４４に量子化された読
取パターンが格納される。

認識部４６はこの読取パターンから不良マークを認識し
、これから不良ペレッ１へを除いた良品ペレッ］への位
置を求めて記憶部４８に記憶しでおく。

つｒ−ハスデージ２４上のウェーへのマウントが終了す
ると、今、良品ペレットの位置を求めたウェーハ１２を
ベルト２２によりウェーハステージ２７１にＵ、置する
。制御部５０は記憶部４８に記憶された良品ペレッ１−
の位置にＭづいて、不良ペレットをスキップし、良品ペ
レットのみがマウン１−ヘッド３０下の位置に位置決め
される。位置決め後、マウントヘッド３０は良品ペレッ
トをピックアップし、リードフレーム４０のベッド部Ｆ
に移動してペレットをマウントする。

このように本実施例によればウェーハがウェーハステー
ジに載買された段階でＪでに良品ペレットの位置がわか
っているので、効率的に良品ペレットのみを連続してマ
Ｃクントすることができる。

本発明は上記実施例に限らず種々の変形が可能である。

例えばラインセンサのかわりに２次元センリ゛を用いて
もよい。センサ駆動殿構を省略することができる。

〔発明の効果〕

以上の通り本発明によればウェーハの持礪中に良品ペレ
ット位置がわかるのでマウント時に４よ良品のみをピッ
クアップすることができ、作業効率が改善される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による半導体ペレットマウン
ト装置の構成図である。１０・・・ウェーハストッカ、１２・・・ウェーハ、１
４・・・ウェーハ読取装置、１６・・・ラインセンサ、
１８・・・ベルト、２０・・・モータ、２２・・・ベル
ト、２４・・・ウェーハステージ、２６・・・モータ、
２８・・・モータ、３０・・・マウントヘッド、３２・
・・アーム、３４・・・モータ、３６・・・駆動鍬構、
３８・・・搬送ベルト、４０・・・リードフレーム。出願人代理人　　佐　　藤　　−雄手続ネ市　正　書　（方式）昭和６１年２月ｐ日特許庁長官　宇　買　道　部　殿１．４Ｉ件の表示昭和６０年　特許願　第２１６８８０号２、発明の名称半導体ペレットマウント装置３、補正をする者事件との関係　　特許出願人（３０７）　　株式会社東芝（ばか１名）４、代　理　人　（郵便番号１００）昭和６１年１月８日（発送日　昭和６１年１　月２８日）６、補正の対象委任状および明細書。

Claims

【特許請求の範囲】ウエーハステージ上に載置されたウェーハから分割され
た半導体ペレットをマウントヘッドにより順次ピックア
ップし、半導体パッケージのペレット設置部にマウント
する半導体ペレットマウント装置において、前記ウェーハを前記ウェーハステージに載置する前に前
記ウェーハ全面を予め読み取る読取手段と、この読取手段により読み取られた読取パターンから不良
ペレットに付された不良マークを認識する認識手段と、この認識手段の認識結果によりウェーハ上の不良ペレッ
トの位置を記憶する記憶手段と、この記憶手段により記憶された不良品ペレットの位置に
基づいて、不良ペレットをスキップするように前記ウェ
ーハステージを駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とする半導体ペレットマウント装置
。