JP4800076B2 - 部品搭載方法及び装置 - Google Patents
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Description
12…搬送装置
14…基板検知センサ
16…ウェハテーブル
18…部品認識カメラ
20…搭載ヘッド
22…XY駆動部
30…制御装置
Claims (2)
- 所定の位置決め部に基板を搬入するステップと、
搬入された基板が、前記位置決め部に到達し、位置決めされたことを検知するステップと、
良品と認識されたウェハ部品を吸着し、位置決めされた前記基板に搭載するステップと、
ウェハ部品が搭載された基板を搬出するステップと、を含む部品搭載方法において、
ウェハ部品が搭載された基板を搬出した後、次の基板の到達が検知されるまでの待機中に、ウェハテーブル上の未認識のウェハ部品の良否を認識する動作を繰り返すステップと、
認識結果を認識データとしてメモリに保存するステップと、
保存されている認識データに基づいて、次に到達した基板に搭載するウェハ部品の吸着を行なうステップと、を含むことを特徴とする部品搭載方法。 - 所定の位置決め部に基板を搬入し、搬出する搬送手段と、
該搬送手段により搬入された基板が、前記位置決め部に到達し、位置決めされたことを検知する基板検知センサと、
ウェハテーブル上にセットされているウェハ部品の良否を認識する部品認識手段と、
該部品認識手段により良品と認識されたウェハ部品を吸着し、位置決めされた前記基板に搭載する搭載ヘッドとを備えていると共に、前記搬送手段により、ウェハ部品が搭載された基板を搬出する部品搭載装置において、
ウェハ部品が搭載された基板を搬出した後、前記基板検知センサにより、次の基板の到達が検知されるまでの待機中に、前記部品認識手段によりウェハテーブル上の未認識のウェハ部品の良否を認識する動作を繰り返し、その結果を認識データとしてメモリに保存すると共に、保存されている認識データに基づいて、次に到達した基板に搭載するウェハ部品の吸着を行なう制御手段を備えたことを特徴とする部品搭載装置。
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