JP3497251B2 - Ｉｃ収納用トレイカセット構造 - Google Patents
Ｉｃ収納用トレイカセット構造Info
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- JP3497251B2 JP3497251B2 JP25436294A JP25436294A JP3497251B2 JP 3497251 B2 JP3497251 B2 JP 3497251B2 JP 25436294 A JP25436294 A JP 25436294A JP 25436294 A JP25436294 A JP 25436294A JP 3497251 B2 JP3497251 B2 JP 3497251B2
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣテスト・ハンド
ラから電気試験後に被試験ＩＣが分類されて収容された
ストッカの分類識別を明確にする構造に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来技術のトレイ対応のＩＣテスト・ハ
ンドラにおけるデバイス搬送機構によるカテゴリ分類方
式を図２と図３と図４を参照して説明する。ＩＣテスト
・ハンドラの構成は、図２に示すように、ローダ部１０
と、テスト・チャンバ部２３と、アンローダ部１２と、
ソーク・チャンバ１５と、ＥＸＩＴチャンバ１６で構成
される。 【０００３】ＩＣ（被測定デバイス）２９は、図３に示
すように、複数個単位でカスタマ・トレイ３０に装着さ
れる。そのカスタマ・トレイ３０は複数個を積み重ねた
状態でローダ用ストッカ部１９に装着される。ローダ用
ストッカ部１９のストッカは、スライド機構２８を備え
た引き出し部に締結または保持されており、カスタマ・
トレイ３０を装着の後、本体に収納される。カスタマ・
トレイ３０はトランスファ・アーム１７の搬送機構によ
りローダ部１０のトレイのセッティング部２２にセット
される。 【０００４】ＩＣ２９は、ローダ・キット１１の吸着・
開放動作によりカスタマトレイ３０からテストトレイ１
４に移され、予熱用のソーク・チャンバ１５を経由して
下部にあるテスト・チャンバ部２３へ移送されたあと、
試験が実行される。テスト済ＩＣ２９は、除熱用のＥＸ
ＩＴチャンバ１６経由でアンローダ部１２に移送され、
アンローダ・キット１３の吸着・開放動作によってテス
トトレイ１４からカスタマトレイ３０へ繰り返し移し替
えられる。このとき、ＩＣ２９はテスト結果のカテゴリ
に基づいたアンローダ・キット１３の選択的動作によっ
て所定のカテゴリのカスタマトレイ３０に装着される。
このトレイは、必要に応じて空トレイ用ストッカ部２１
からトランスファ・アーム１７でアンローダ部１２のト
レイのセッティング部２２にセットされる。 【０００５】つづいて、ＩＣ装着済トレイは、トランス
ファ・アーム１７に把持され水平移動により、図４に示
すように、ストッカ収納部２７のアンローダ用ストッカ
部２０の所定カテゴリのストッカへ選択分類的に収納さ
れる。ここで、カテゴリとは、試験結果によって良否判
定や特性ランク別にデバイスを分類するための分類番
号、分類符号のことである。ストッカ収納部２７の各ス
トッカのカテゴリは、ハンドラの前面２４のカテゴリ・
パネル２６のカテゴリ表示部２５にカテゴリ番号が表示
されており、収納済トレイ内ＩＣのカテゴリが確認でき
る。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、テ
スト済ＩＣのカテゴリは、ハンドラの前面２４のカテゴ
リ表示部２５の確認で行われていて、ハンドラ本体から
取り出し後、各トレイのカテゴリの識別はオペレータの
記憶に頼ることになる。このことは、ハンドラ本体から
取り出したあとの取扱い作業中に混在などの分類ミスを
発生する可能性が有り好ましくない。そこで、本発明が
解決しようとする課題は、テスト済ＩＣのトレイのカテ
ゴリ別の識別を確実にして移動取扱いによるトラブルを
防止することを目的とする。 【０００７】 【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、トレイカセット３３の側面にＩ
Ｃ分類を示すカテゴリ識別表示器３４を取り付け、トレ
イカセット３３の上側からカスタマトレイ３０を積層収
納して支持する箱形構造を設け、トレイカセット３３の
下側からストッカ３１に案内支持されてＩＣテスト・ハ
ンドラのＩＣ分類機構部に装着するトレイカセット３３
を設ける構成手段にする。これにより、被試験ＩＣを搭
載するカスタマトレイ３０を使用して、ＩＣテスト・ハ
ンドラの試験結果により分類するカスタマトレイ３０の
カテゴリ識別表示と、カスタマトレイ３０を安定に収容
する収納構造を実現する。 【０００８】 【作用】トレイカセット３３は、この側面にＩＣカテゴ
リ識別表示器３４を設け、予め決められたカテゴリ番号
札を取り付けておくことで、分類後のカスタマトレイ３
０の移動取扱いによるトラブルの防止機能になる。ま
た、このトレイカセット３３により、多段積層したカス
タマトレイ３０を安定した状態に収容する作用がある。 【０００９】 【実施例】本発明例を図１を参照して説明する。トレイ
カセット３３は、図１に示すようにオープンフレーム構
造で、上部から積み重ねられたカスタマトレイ３０の出
し入れと、中にあるトレイ枚数の確認ができる形状であ
る。底面には、ストッカ３１とのアタッチメント部３５
と、トレイの昇降用エレベータが通過すために開口部３
６が設けられている。前面、または外部から確認できる
場所には、カテゴリ識別表示器３４を設けて識別情報を
表示させる。例えば、収納されたトレイ内ＩＣ２９のカ
テゴリを表示または表記させる。この側面には、運搬用
の把手３２を設けてある。上記説明のようにトレイカセ
ット３３を構成することで、ＩＣのカテゴリ識別情報の
表示部を設けることが可能となり、表示内容は自由に表
現することができる。また、従来のように、トレイを積
み重ねた不安定な状態ではなく、トレイカセット３３に
安定な収納状態となり、運搬取扱が容易となる。 【００１０】上記、実施例の説明では、ＩＣテスト・ハ
ンドラに使用する場合で説明していたが、その他のＩＣ
リード曲り試験機やＩＣ捺印装置等にも同様にして適用
できる。 【００１１】 【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。ト
レイカセット３３を設けて、この側面にＩＣカテゴリ識
別表示器３４を設け、予め決められたカテゴリ番号札を
取り付けておくことで、分類後のカスタマトレイ３０の
移動取扱いによるトラブルを防止できる効果が得られ
る。また、このトレイカセット３３により、カスタマト
レイ３０を安定した状態に収容できる為、運搬取扱が容
易となる。 【００１２】
ラから電気試験後に被試験ＩＣが分類されて収容された
ストッカの分類識別を明確にする構造に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来技術のトレイ対応のＩＣテスト・ハ
ンドラにおけるデバイス搬送機構によるカテゴリ分類方
式を図２と図３と図４を参照して説明する。ＩＣテスト
・ハンドラの構成は、図２に示すように、ローダ部１０
と、テスト・チャンバ部２３と、アンローダ部１２と、
ソーク・チャンバ１５と、ＥＸＩＴチャンバ１６で構成
される。 【０００３】ＩＣ（被測定デバイス）２９は、図３に示
すように、複数個単位でカスタマ・トレイ３０に装着さ
れる。そのカスタマ・トレイ３０は複数個を積み重ねた
状態でローダ用ストッカ部１９に装着される。ローダ用
ストッカ部１９のストッカは、スライド機構２８を備え
た引き出し部に締結または保持されており、カスタマ・
トレイ３０を装着の後、本体に収納される。カスタマ・
トレイ３０はトランスファ・アーム１７の搬送機構によ
りローダ部１０のトレイのセッティング部２２にセット
される。 【０００４】ＩＣ２９は、ローダ・キット１１の吸着・
開放動作によりカスタマトレイ３０からテストトレイ１
４に移され、予熱用のソーク・チャンバ１５を経由して
下部にあるテスト・チャンバ部２３へ移送されたあと、
試験が実行される。テスト済ＩＣ２９は、除熱用のＥＸ
ＩＴチャンバ１６経由でアンローダ部１２に移送され、
アンローダ・キット１３の吸着・開放動作によってテス
トトレイ１４からカスタマトレイ３０へ繰り返し移し替
えられる。このとき、ＩＣ２９はテスト結果のカテゴリ
に基づいたアンローダ・キット１３の選択的動作によっ
て所定のカテゴリのカスタマトレイ３０に装着される。
このトレイは、必要に応じて空トレイ用ストッカ部２１
からトランスファ・アーム１７でアンローダ部１２のト
レイのセッティング部２２にセットされる。 【０００５】つづいて、ＩＣ装着済トレイは、トランス
ファ・アーム１７に把持され水平移動により、図４に示
すように、ストッカ収納部２７のアンローダ用ストッカ
部２０の所定カテゴリのストッカへ選択分類的に収納さ
れる。ここで、カテゴリとは、試験結果によって良否判
定や特性ランク別にデバイスを分類するための分類番
号、分類符号のことである。ストッカ収納部２７の各ス
トッカのカテゴリは、ハンドラの前面２４のカテゴリ・
パネル２６のカテゴリ表示部２５にカテゴリ番号が表示
されており、収納済トレイ内ＩＣのカテゴリが確認でき
る。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、テ
スト済ＩＣのカテゴリは、ハンドラの前面２４のカテゴ
リ表示部２５の確認で行われていて、ハンドラ本体から
取り出し後、各トレイのカテゴリの識別はオペレータの
記憶に頼ることになる。このことは、ハンドラ本体から
取り出したあとの取扱い作業中に混在などの分類ミスを
発生する可能性が有り好ましくない。そこで、本発明が
解決しようとする課題は、テスト済ＩＣのトレイのカテ
ゴリ別の識別を確実にして移動取扱いによるトラブルを
防止することを目的とする。 【０００７】 【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、トレイカセット３３の側面にＩ
Ｃ分類を示すカテゴリ識別表示器３４を取り付け、トレ
イカセット３３の上側からカスタマトレイ３０を積層収
納して支持する箱形構造を設け、トレイカセット３３の
下側からストッカ３１に案内支持されてＩＣテスト・ハ
ンドラのＩＣ分類機構部に装着するトレイカセット３３
を設ける構成手段にする。これにより、被試験ＩＣを搭
載するカスタマトレイ３０を使用して、ＩＣテスト・ハ
ンドラの試験結果により分類するカスタマトレイ３０の
カテゴリ識別表示と、カスタマトレイ３０を安定に収容
する収納構造を実現する。 【０００８】 【作用】トレイカセット３３は、この側面にＩＣカテゴ
リ識別表示器３４を設け、予め決められたカテゴリ番号
札を取り付けておくことで、分類後のカスタマトレイ３
０の移動取扱いによるトラブルの防止機能になる。ま
た、このトレイカセット３３により、多段積層したカス
タマトレイ３０を安定した状態に収容する作用がある。 【０００９】 【実施例】本発明例を図１を参照して説明する。トレイ
カセット３３は、図１に示すようにオープンフレーム構
造で、上部から積み重ねられたカスタマトレイ３０の出
し入れと、中にあるトレイ枚数の確認ができる形状であ
る。底面には、ストッカ３１とのアタッチメント部３５
と、トレイの昇降用エレベータが通過すために開口部３
６が設けられている。前面、または外部から確認できる
場所には、カテゴリ識別表示器３４を設けて識別情報を
表示させる。例えば、収納されたトレイ内ＩＣ２９のカ
テゴリを表示または表記させる。この側面には、運搬用
の把手３２を設けてある。上記説明のようにトレイカセ
ット３３を構成することで、ＩＣのカテゴリ識別情報の
表示部を設けることが可能となり、表示内容は自由に表
現することができる。また、従来のように、トレイを積
み重ねた不安定な状態ではなく、トレイカセット３３に
安定な収納状態となり、運搬取扱が容易となる。 【００１０】上記、実施例の説明では、ＩＣテスト・ハ
ンドラに使用する場合で説明していたが、その他のＩＣ
リード曲り試験機やＩＣ捺印装置等にも同様にして適用
できる。 【００１１】 【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。ト
レイカセット３３を設けて、この側面にＩＣカテゴリ識
別表示器３４を設け、予め決められたカテゴリ番号札を
取り付けておくことで、分類後のカスタマトレイ３０の
移動取扱いによるトラブルを防止できる効果が得られ
る。また、このトレイカセット３３により、カスタマト
レイ３０を安定した状態に収容できる為、運搬取扱が容
易となる。 【００１２】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のトレイカセット３３の構造図である。
【図２】ＩＣテスト・ハンドラ本体の上面図である。
【図３】従来のストッカによる構成図である。
【図４】ＩＣテスト・ハンドラのストッカ収納部の概略
図である。 【符号の説明】 １０ ローダ部 １１ ローダ・キット １２ アンローダ部 １３ アンローダ・キット １４ テストトレイ １５ ソーク・チャンバ １６ ＥＸＩＴチャンバ １７ ンスファ・アーム １９ ローダ用ストッカ部 ２０ アンローダ用ストッカ部 ２１ 空トレイ用ストッカ部 ２２ トレイのセッティング部 ２３ テスト・チャンバ部 ２４ 前面 ２５ カテゴリ表示部 ２６ パネル ２７ ストッカ収納部 ２８ スライド機構 ２９ ＩＣ（被測定デバイス） ３０ トレイ ３１ ストッカ ３２ 把手 ３３ トレイカセット ３４ カテゴリ識別表示器 ３５ アタッチメント部 ３６ 開口部
図である。 【符号の説明】 １０ ローダ部 １１ ローダ・キット １２ アンローダ部 １３ アンローダ・キット １４ テストトレイ １５ ソーク・チャンバ １６ ＥＸＩＴチャンバ １７ ンスファ・アーム １９ ローダ用ストッカ部 ２０ アンローダ用ストッカ部 ２１ 空トレイ用ストッカ部 ２２ トレイのセッティング部 ２３ テスト・チャンバ部 ２４ 前面 ２５ カテゴリ表示部 ２６ パネル ２７ ストッカ収納部 ２８ スライド機構 ２９ ＩＣ（被測定デバイス） ３０ トレイ ３１ ストッカ ３２ 把手 ３３ トレイカセット ３４ カテゴリ識別表示器 ３５ アタッチメント部 ３６ 開口部
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/66
G01R 31/26
H01L 21/68
B65D 85/86
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 被試験ＩＣを搭載するカスタマトレイ
（３０）を使用して、ＩＣテスト・ハンドラの試験結果
により分類するカスタマトレイ（３０）の収納構造にお
いて、 トレイカセット（３３）の側面にＩＣ分類を示すカテゴ
リ識別表示器（３４）を取り付け、トレイカセット（３
３）の上側からカスタマトレイ（３０）を積層収納して
支持する箱形構造を設け、トレイカセット（３３）の下
側からストッカ（３１）に案内支持されてＩＣテスト・
ハンドラのＩＣ分類機構部に装着するトレイカセット
（３３）を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣ収納用トレイ
カセット構造。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25436294A JP3497251B2 (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Ｉｃ収納用トレイカセット構造 |
| US08/648,133 US6070731A (en) | 1994-09-22 | 1995-09-20 | IC receiving tray storage device and mounting apparatus for the same |
| KR1019960702708A KR100270137B1 (ko) | 1994-09-22 | 1995-09-20 | Ic 수납용 트레이수용장치 및 이 트레이수용장치의 장착대 |
| DE19581661T DE19581661C2 (de) | 1994-09-22 | 1995-09-20 | Ic-Aufnahmeschalen-Lagervorrichtung und Montagevorrichtung für diese |
| PCT/JP1995/001868 WO1996009644A1 (fr) | 1994-09-22 | 1995-09-20 | Conteneur pour plateaux a circuits integres et sa plaque de base de montage |
| MYPI95002819A MY114198A (en) | 1994-09-22 | 1995-09-22 | Ic receiving tray storage device and mounting apparatus for the same |
| US09/427,036 US6354792B1 (en) | 1994-09-22 | 1999-10-26 | IC receiving tray storage device and mounting apparatus for the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25436294A JP3497251B2 (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Ｉｃ収納用トレイカセット構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0897262A JPH0897262A (ja) | 1996-04-12 |
| JP3497251B2 true JP3497251B2 (ja) | 2004-02-16 |
Family
ID=17263941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25436294A Expired - Fee Related JP3497251B2 (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Ｉｃ収納用トレイカセット構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3497251B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100361427B1 (ko) * | 2000-06-22 | 2002-11-18 | 메카텍스 (주) | 모듈아이씨 이송용 캐리어 |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP25436294A patent/JP3497251B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0897262A (ja) | 1996-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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