JPS6028222A - Ｉｃハンドラにおける分類別収納法 - Google Patents
Ｉｃハンドラにおける分類別収納法Info
- Publication number
- JPS6028222A JPS6028222A JP13696083A JP13696083A JPS6028222A JP S6028222 A JPS6028222 A JP S6028222A JP 13696083 A JP13696083 A JP 13696083A JP 13696083 A JP13696083 A JP 13696083A JP S6028222 A JPS6028222 A JP S6028222A
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- Japan
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野１
この発明はＩＣ）１ンドラにおいてテスト終了後の品種
別にＩＣが収納されるマガジンを品種識別部材下に順次
積み重ねるようにしたＩＣ−・ンドラにおける分類別収
納法に関する。
別にＩＣが収納されるマガジンを品種識別部材下に順次
積み重ねるようにしたＩＣ−・ンドラにおける分類別収
納法に関する。
従来のＩＣハンドラにおいてスティックｏ−ダに収納さ
れるスティックの数は数十率であシ、スティックローダ
へのスティックの補給は人手を介して行なっていたため
、その作業に時間がかかっていた。まだ、ＩＣハンドラ
においてＩＣのテスト終了後、ＩＣはテストの結果に応
じて品種別にスティックに分類されるが、自動的にステ
ィックに収納できるのは工ないし２分類だけであるため
、３品種以上に分類された場合には手作業でＩＣをステ
ィックに収納しなければならず、煩雑で作業に手間がか
かっていた。
れるスティックの数は数十率であシ、スティックローダ
へのスティックの補給は人手を介して行なっていたため
、その作業に時間がかかっていた。まだ、ＩＣハンドラ
においてＩＣのテスト終了後、ＩＣはテストの結果に応
じて品種別にスティックに分類されるが、自動的にステ
ィックに収納できるのは工ないし２分類だけであるため
、３品種以上に分類された場合には手作業でＩＣをステ
ィックに収納しなければならず、煩雑で作業に手間がか
かっていた。
さらにＩＣハンドラにおいて自動的にスティックを収納
するスティックアンローダのスティック収納数は数十率
であるため、スティックアンローダにテスト終了後のス
ティックが収納許容数になった場合には人手でそのステ
ィックを回収しなければならず、その作業に時間がかか
っていた。また、通常ＩＣのテストはロット単位で行表
われる（１０ツトのＩＣの数は数千〜敵方）が、従来の
ＩＣハンドラでその性能テストにおいてはＩＣを収納し
たスティック（１０〜３０のＩＣを収納可能）を数亘〜
数千扱わなければならない。このため、スティックのハ
ンドラへの装置及び分類後のスティックの回収作業にか
なりの人手をかける必要があシ、時間がかかるという欠
点があった。
するスティックアンローダのスティック収納数は数十率
であるため、スティックアンローダにテスト終了後のス
ティックが収納許容数になった場合には人手でそのステ
ィックを回収しなければならず、その作業に時間がかか
っていた。また、通常ＩＣのテストはロット単位で行表
われる（１０ツトのＩＣの数は数千〜敵方）が、従来の
ＩＣハンドラでその性能テストにおいてはＩＣを収納し
たスティック（１０〜３０のＩＣを収納可能）を数亘〜
数千扱わなければならない。このため、スティックのハ
ンドラへの装置及び分類後のスティックの回収作業にか
なりの人手をかける必要があシ、時間がかかるという欠
点があった。
この発明は上記の点に鑑みてなされたもので、その目的
はＩＣハンドラに供給するＩＣをマガジン≠位でロット
ａ別部材下に積み重ね、テスト終了後にはＩＣが収納さ
れたマガジンをロット識別部材下の品種識別部材下に自
動的に収納するようにしてＩＣハンドラの自動化を促進
したＩＣ−・ンドラにおける分類別収納法を提供するこ
とにある。
はＩＣハンドラに供給するＩＣをマガジン≠位でロット
ａ別部材下に積み重ね、テスト終了後にはＩＣが収納さ
れたマガジンをロット識別部材下の品種識別部材下に自
動的に収納するようにしてＩＣハンドラの自動化を促進
したＩＣ−・ンドラにおける分類別収納法を提供するこ
とにある。
ロット別にテスト用マガジンを積み重ねて各ロフト別の
マガジンの下層に品種識別部材を積み重ねておくと、自
動的にロット識別部材下のマガジンから順々にテストが
行なわれて、そｐテスト結果に応じて品種識別部材下に
自動的にテスト終了後のマガジンが分離されて積み重ね
られるようにしたＩＣハンドラにおける分類別状Ｈｊ法
である。
マガジンの下層に品種識別部材を積み重ねておくと、自
動的にロット識別部材下のマガジンから順々にテストが
行なわれて、そｐテスト結果に応じて品種識別部材下に
自動的にテスト終了後のマガジンが分離されて積み重ね
られるようにしたＩＣハンドラにおける分類別状Ｈｊ法
である。
〔発明の詳細な
説明する。まず、第１図を用いてＩＣハンドラの構造を
概略的に説明する。第１図において、１１はマガジンキ
ャリアで、ＩＣのテスト前には第２図（Ａ）に示すよう
にロット識別部材、マガジン、品種識別部材が積み重ね
られている。ここで、第２図［ハ］）において、１２は
下層圃１０ット目のマガジンが積み重ねられていること
を示すロット識別部材で、マガジンと同一形状を有して
いる。このロット識別部材１２の側面には１０ツト目の
識別部材であることを電気的、光学的に読み取ることが
できるように識別マーク１３が設けられている。上記口
、ソト識別部材１３の下層にはテスト前のマガジン１４
が順次積み重ねられている。また、上記口、ソト識別部
材１３の下層に積み重ねられているマガジンの下にはテ
スト後のマガジンを分類するだめの品種識別部材１５１
〜１５４が順次積み重ねられている。例えば、「ＩＣＡ
Ｔｌ」は１０ツト目のマガジンで第１の品種であること
を示しており、各品種識別部材１５１〜１５４の側面に
はそれを電気的、光学的に読み取ることができるように
識別マーク１５ａ〜Ｚ５ｄが設けられている。
概略的に説明する。第１図において、１１はマガジンキ
ャリアで、ＩＣのテスト前には第２図（Ａ）に示すよう
にロット識別部材、マガジン、品種識別部材が積み重ね
られている。ここで、第２図［ハ］）において、１２は
下層圃１０ット目のマガジンが積み重ねられていること
を示すロット識別部材で、マガジンと同一形状を有して
いる。このロット識別部材１２の側面には１０ツト目の
識別部材であることを電気的、光学的に読み取ることが
できるように識別マーク１３が設けられている。上記口
、ソト識別部材１３の下層にはテスト前のマガジン１４
が順次積み重ねられている。また、上記口、ソト識別部
材１３の下層に積み重ねられているマガジンの下にはテ
スト後のマガジンを分類するだめの品種識別部材１５１
〜１５４が順次積み重ねられている。例えば、「ＩＣＡ
Ｔｌ」は１０ツト目のマガジンで第１の品種であること
を示しており、各品種識別部材１５１〜１５４の側面に
はそれを電気的、光学的に読み取ることができるように
識別マーク１５ａ〜Ｚ５ｄが設けられている。
また、１６は下層に２０ツト目のマガジ／が積み重ねら
れていることを示すロッ）Ｒ別部材で、マガジンと同一
形状を有している。このロット識別部材１６の側面には
２０ツト目の識別部材であることを電気的、光学的に読
み取ることができるように識別マーク１７が設けられて
いる。
れていることを示すロッ）Ｒ別部材で、マガジンと同一
形状を有している。このロット識別部材１６の側面には
２０ツト目の識別部材であることを電気的、光学的に読
み取ることができるように識別マーク１７が設けられて
いる。
上記ロッ１［別部材１６の下層にはテスト前のマガジン
１８が順次積み重ねられている。また、上記ロットａ別
部材１６の下層に積み重ねられているマガジンの下には
テスト後のマガジンを分類するだめの品種識別部材１９
１〜１９４が順次積み重ねられている。例えば、ｒ２ｃ
ＡＴＩＪは２０ツト目のマガジンで第１の品種であるこ
とを示しておシ、各品種識別部材１９１〜１９４の側面
にはそれを電気的、光学的に読み取ることができるよう
に識別マーク２０ａ〜２０ｒｌが設けられている。
１８が順次積み重ねられている。また、上記ロットａ別
部材１６の下層に積み重ねられているマガジンの下には
テスト後のマガジンを分類するだめの品種識別部材１９
１〜１９４が順次積み重ねられている。例えば、ｒ２ｃ
ＡＴＩＪは２０ツト目のマガジンで第１の品種であるこ
とを示しておシ、各品種識別部材１９１〜１９４の側面
にはそれを電気的、光学的に読み取ることができるよう
に識別マーク２０ａ〜２０ｒｌが設けられている。
第１図に戻って、上記マガジンキャリア１１は第２図（
４）に示したマガジンを上下に移動させるエレベーショ
ン機構（図示せず）が設けられている。さらに、上記マ
ガジンキャリア１ノには上記ロッ）Ｊｔｌ別部材１２に
設けられた識別マーク１３、上記品種識別部材１５１〜
１５４に設けられた識別マーク１５ａ〜１５ｄ１上記ロ
ツト識別部材１６に設けられた識別マーク１７、上記品
種識別部材１９１〜１９４に設けられた識別マーク２０
ａ〜２０ｄを読み取ることができる読み取シ装置（図示
せず）が設けられている。そして、上記マガジンキャリ
ア１ノからエレベーション機構によシ自動的に取シ出さ
れたマガジンは矢印ａの経路で、マガジンローダ／アン
ローダ２１に送られる。上記マガジンローダ／アンロー
ダ２１からロードされるマガジンは矢印す方向に搬送さ
れて、矢印Ｃに示すように傾斜される。そして、ＩＣ送
り装置２２はマガジン２３内に残っているＩＣを検出し
ながらＩＣをＩＣ供給部２４を介して恒温槽２５に送っ
ている。そして、この恒温槽２５によシテストされるＩ
Ｃが所定温度に温められた後、テスタ２６によりＩＣの
テストが行なわれる。とのテスタ２６でのＩＣの試験結
果によシＩＣ収納部２７において例えば４種類の品種を
収納する、マガジン２７１〜２７４に分類されて収納さ
れる。そして、テスト後のＩＣによシマガジン２７１〜
２７４が満たされると、矢印ｄ、ｅ方向にマガジンが送
られて、上記マガジンローダ／アンローダ２１に送られ
る。そして、このマガジンローダ／アンローダ２１を経
て、テスト後のマガジンはマガジンキャリア１１内の所
定の品種識別部材１５１〜１５４下に積み重ねられる。
４）に示したマガジンを上下に移動させるエレベーショ
ン機構（図示せず）が設けられている。さらに、上記マ
ガジンキャリア１ノには上記ロッ）Ｊｔｌ別部材１２に
設けられた識別マーク１３、上記品種識別部材１５１〜
１５４に設けられた識別マーク１５ａ〜１５ｄ１上記ロ
ツト識別部材１６に設けられた識別マーク１７、上記品
種識別部材１９１〜１９４に設けられた識別マーク２０
ａ〜２０ｄを読み取ることができる読み取シ装置（図示
せず）が設けられている。そして、上記マガジンキャリ
ア１ノからエレベーション機構によシ自動的に取シ出さ
れたマガジンは矢印ａの経路で、マガジンローダ／アン
ローダ２１に送られる。上記マガジンローダ／アンロー
ダ２１からロードされるマガジンは矢印す方向に搬送さ
れて、矢印Ｃに示すように傾斜される。そして、ＩＣ送
り装置２２はマガジン２３内に残っているＩＣを検出し
ながらＩＣをＩＣ供給部２４を介して恒温槽２５に送っ
ている。そして、この恒温槽２５によシテストされるＩ
Ｃが所定温度に温められた後、テスタ２６によりＩＣの
テストが行なわれる。とのテスタ２６でのＩＣの試験結
果によシＩＣ収納部２７において例えば４種類の品種を
収納する、マガジン２７１〜２７４に分類されて収納さ
れる。そして、テスト後のＩＣによシマガジン２７１〜
２７４が満たされると、矢印ｄ、ｅ方向にマガジンが送
られて、上記マガジンローダ／アンローダ２１に送られ
る。そして、このマガジンローダ／アンローダ２１を経
て、テスト後のマガジンはマガジンキャリア１１内の所
定の品種識別部材１５１〜１５４下に積み重ねられる。
このようにして第２図（ホ）に示したようにマガジンキ
ャリア１１内にマガジンが収納されていたものが、テス
トが実施されるに従い、マガジンが所定の品種識別部材
１５１〜１５４下に収納される。この場合において所定
の品種識別部材１５１〜１５４の検索は識別マーク１５
ｈ〜１５ｄを検出することによシ行なわれ、所定の識別
マーク１５ｎ〜Ｚ５ｄが検出された後はマガジンキャリ
ア１１のうレペーション機構によ如自動的に品種識別部
材１５１〜１５４下に積み重ねられる。また、１０ツト
目のテストが終了すると、２０．ト目のマガジンのテス
トが開始されて、その分類処理が行なわれる。
ャリア１１内にマガジンが収納されていたものが、テス
トが実施されるに従い、マガジンが所定の品種識別部材
１５１〜１５４下に収納される。この場合において所定
の品種識別部材１５１〜１５４の検索は識別マーク１５
ｈ〜１５ｄを検出することによシ行なわれ、所定の識別
マーク１５ｎ〜Ｚ５ｄが検出された後はマガジンキャリ
ア１１のうレペーション機構によ如自動的に品種識別部
材１５１〜１５４下に積み重ねられる。また、１０ツト
目のテストが終了すると、２０．ト目のマガジンのテス
トが開始されて、その分類処理が行なわれる。
つまシ、上記実施例に示したように、マガジンキャリア
１１に第２図（４）に示すようにロット識別部材１２に
よシロット別にテスト用マガジンを積み重ねて、各ロッ
ト別のマガジンへ下層に品種識別部材を積み重ねておく
と、自動的に、ロット識別部材１２下のマガジンから順
々にテストが行なわれて、そのテスト結果に応じて品種
識別部材下に自動的にテスト終了後のマガ・ジンが分類
されて積み重ねられる。
１１に第２図（４）に示すようにロット識別部材１２に
よシロット別にテスト用マガジンを積み重ねて、各ロッ
ト別のマガジンへ下層に品種識別部材を積み重ねておく
と、自動的に、ロット識別部材１２下のマガジンから順
々にテストが行なわれて、そのテスト結果に応じて品種
識別部材下に自動的にテスト終了後のマガ・ジンが分類
されて積み重ねられる。
以上詳述したようにこの発明によれば、ロット識別部材
によシロット別にテスト用マガジンを積み重ねて、各ロ
ット別のマガジンの下層に品種識別部材を績み重ねてお
くと、自動的にロット識別部材下のマガジンから順々に
テストが行なわれて、そのテスト結果に応じて品種識別
部材下に自動的にテスト終了後のマガジンが分類して積
み重ねることができる。このため、全く人手を介さずに
、分類を行なうことができるので、ＩＣハンドラの自動
化を促進することができ、ＩＣテストの迅速化を計るこ
とができる。
によシロット別にテスト用マガジンを積み重ねて、各ロ
ット別のマガジンの下層に品種識別部材を績み重ねてお
くと、自動的にロット識別部材下のマガジンから順々に
テストが行なわれて、そのテスト結果に応じて品種識別
部材下に自動的にテスト終了後のマガジンが分類して積
み重ねることができる。このため、全く人手を介さずに
、分類を行なうことができるので、ＩＣハンドラの自動
化を促進することができ、ＩＣテストの迅速化を計るこ
とができる。
第１図はこの発明の一実施例に係るＩＣハンドラを概略
的に示す図、第２図に）はテスト開始前のマガジンを示
す図、第２図（Ｂ）はテスト実施中のマガジンを示す図
でおる。 １１・・・マガジンキャリア、１３．１６・・・ロット
識別部材、１５１〜１５４，１９１〜１９４・・・品種
識別部材、２１・・・マガジンローダ／アンローダ、２
６・・・テスタ、２７・・・ＩＣ収納部。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 ２３ 第２図 ■ １ １ １
的に示す図、第２図に）はテスト開始前のマガジンを示
す図、第２図（Ｂ）はテスト実施中のマガジンを示す図
でおる。 １１・・・マガジンキャリア、１３．１６・・・ロット
識別部材、１５１〜１５４，１９１〜１９４・・・品種
識別部材、２１・・・マガジンローダ／アンローダ、２
６・・・テスタ、２７・・・ＩＣ収納部。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 ２３ 第２図 ■ １ １ １
Claims (1)
- 電気的、光学的にロットあるいは品種を識別可能なロッ
ト識別部材及び品種識別部材と上記ロット識別部材と上
記品種識別部材間に積み重ねられた被試験マガジンが載
置されたマガジンキャリアと、上記口、ノド識別部材下
に積み重ねられたマ゛ガジンを順次数シ出しマガジンに
収納されているＩＣをテストするテスト手段と、このテ
スト手段の結果に応じてＩＣを品種別にマガジンに収納
する分類手段と、この分類手段によシ分類されたマガジ
ンを対応する上記マガジンキャリア内のロット識別細材
下の該当する品種識別部材下に順次収納する収納手段と
を具備シテするＩＣ７１ンドラにおける分類別収納法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13696083A JPS6028222A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | Ｉｃハンドラにおける分類別収納法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13696083A JPS6028222A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | Ｉｃハンドラにおける分類別収納法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028222A true JPS6028222A (ja) | 1985-02-13 |
Family
ID=15187513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13696083A Pending JPS6028222A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | Ｉｃハンドラにおける分類別収納法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028222A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997029383A1 (de) * | 1996-02-09 | 1997-08-14 | Mci Computer Gmbh | Verfahren zum handhaben von elektronischen bauelementen |
| FR2776385A1 (fr) * | 1998-03-18 | 1999-09-24 | Oxycoupage Et Soudure De Champ | Dispositif de gueuses pour essais de controle d'engins de levage hydrauliques ou autres |
-
1983
- 1983-07-27 JP JP13696083A patent/JPS6028222A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997029383A1 (de) * | 1996-02-09 | 1997-08-14 | Mci Computer Gmbh | Verfahren zum handhaben von elektronischen bauelementen |
| FR2776385A1 (fr) * | 1998-03-18 | 1999-09-24 | Oxycoupage Et Soudure De Champ | Dispositif de gueuses pour essais de controle d'engins de levage hydrauliques ou autres |
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