JP3426540B2 - 試料交換機を有する分析システム - Google Patents

試料交換機を有する分析システム

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions

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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、X線分析装置、発
光分光分析装置または光電子分光分析装置のような分析
装置と、この分析装置で分析される複数の試料を保持す
る試料テーブルおよびこの試料テーブルから試料を取り
出して分析装置へ搬送する搬送手段を備えた試料交換機
とを有する分析システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の試料交換機を有するX線分析シ
ステムでは、試料テーブル上に縦横に複数個並べて保持
された試料を、搬送手段が自動的に取り出してX線分析
装置の投入口へ搬送し、X線分析装置で試料の分析が終
了すると、再び、搬送手段がその試料を試料テーブル上
の元の位置、または任意の指定位置に戻すという動作を
連続して行うようにされている。このような動作の制御
は、各試料の試料テーブル上での保持位置、それらの試
料の分析順序等の試料に関するIDデータが入力された
パーソナルコンピュータで行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記試料テーブルとし
て、各試料の保持位置が固定された固定テーブル式のも
のがあるが、この形式のテーブルでは、テーブルの奥の
位置については、椅子に座った姿勢で試料の装着、取外
しなどの扱いが容易でなく、立ち上がった姿勢で作業を
行わなければならない。また、試料テーブルに保持させ
た試料についてパーソナルタイプのコンピュータにID
データを入力するとき、入力ミスが生じないようにコン
ピュータを試料テーブルの近傍に置いて、試料を別の試
料置場から取り出して試料テーブルに1つ保持させるご
とに、その試料に関する保持位置などの各種のIDデー
タをコンピュータに入力する必要があり、コンピュータ
の設置位置が制約されてしまう。
【0004】本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされ
たもので、試料の扱いが容易な試料交換機を有する分析
システムを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1のX線分析システムは、試料を分析する
分析装置と、複数の前記試料を縦方向と横方向に並べ
保持する試料テーブルおよび縦方向と横方向に移動し
て、この試料テーブルから試料を取り出し, 分析装置へ
搬送する搬送手段を備えた試料交換機とを有する分析シ
ステムであって、前記試料テーブルは、基台と、前記試
料を保持し前記基台に対して基台の前方へ引き出し可能
に支持された縦方向に細長いトレーとを備えている。こ
こで、前記試料には、試料単体と、試料ホルダに保持さ
れた試料の両方が含まれる。
【0006】この分析システムによれば、扱いの容易で
ない試料テーブルの奥に位置する試料でも、トレーを基
台から前方へ引き出すことにより、立ち上がることなく
例えば椅子に座ったままで、試料を容易に扱うことがで
きる。また、分析装置の制御装置であるコンピュータが
試料テーブルから離れて設置されていても、基台から切
り離してトレーをコンピュータの前まで運んで、トレー
上の試料に関するIDデータをコンピュータに入力する
ことができるので、コンピュータの設置位置が試料テー
ブル近傍に制約されない。
【0007】また、このX線分析システムでは、前記試
料テーブルが、さらに、前記トレーの引き出しの際にト
レーの下面に係合されてトレーと共に前方へ引き出され
てトレーを基台に支持する移動受け具を備えている。こ
の分析システムによれば、トレーを基台から引き出して
も、移動受け具でトレーを支持できるので、引き出し状
態となったトレーを安定良く基台に支持できる。
【0008】請求項X線分析システムは、請求項
の構成において、前記トレーが複数配置され、複数のト
レーに対して1つの前記移動受け具が配置されている。
この分析システムによれば、1つの移動受け具を複数の
トレーの支持に兼用できるので、構成が簡単になる。ま
た、移動受け具に、割当てられたトレーの数より少ない
数のトレーを支持させたとき、移動受け具の上に余剰面
が生じるから、その余剰面を試料の仮置きや手置きなど
に利用することで、トレーに対して試料の交換を容易に
行うことができる。
【0009】請求項X線分析システムは、請求項1
または2のいずれかの構成において、基台における収納
位置にある前記トレーの前部に対応した位置に、引き出
されたトレーの後部下面の突出部に当接してトレーの位
置決めを行う位置決め部材が設けられ、トレーの前部と
位置決め部材とに、互いに係合してトレーを収納位置に
保持する係合部と第1の被係合部が設けられている。こ
X線分析システムによれば、基台からトレーを引き出
した状態で、トレーの後部下面の突出部が基台の位置決
め部材に当接してトレーの位置決めが行われるので、ト
レーの引き出し時に基台からトレーが外れてしまうこと
がない。また、トレーの前部の係合部を、基台の位置決
め部材の被係合部に係合させることにより、トレーを収
納位置に安定良く保持することができる。
【0010】請求項X線分析システムは、請求項
の構成において、基台における収納位置にあるトレーの
前部に対応した位置に、引き出されたトレーの後部下面
の突出部に当接してトレーの位置決めを行う位置決め部
材が設けられ、トレーの前部と位置決め部材とに、互い
に係合してトレーを収納位置に保持する係合部と第1の
被係合部が設けられ、前記移動受け具の前部に、前記ト
レーの係合部に対して、前記位置決め部材の第1の被係
合部と選択的に係合される第2の被係合部が設けられて
いる。このX線分析システムによれば、移動受け具の前
部の第2の被係合部にトレーの係合部を係合させた状態
で、トレーを基台から引き出すことにより、移動受け具
がトレーと一体となって引き出されるので、トレーが移
動受け具で支持された状態のままトレーを引き出すこと
ができ、トレーの引き出しを安定良く行うことができ
る。
【0011】また、請求項X線分析システムは、請
求項1からのいずれかの構成において、基台における
収納位置にある前記トレーの前部に対応した位置に、引
き出されたトレーの後部下面の突出部に当接してトレー
の位置決めを行う位置決め部材が設けられ、前記トレー
後部の突出部を、基台のトレー載置面上を走行するロー
ラで構成している。このX線分析システムによれば、基
台からトレーを引き出した状態で、トレーの後部下面の
突出部が基台の位置決め部材に当接してトレーの位置決
めが行われるので、トレーの引き出し時に基台からトレ
ーが外れてしまうことがない。また、トレー後部の突出
部がローラからなるので、トレーの引き出し時に、トレ
ーの前部を手で持ち、後部のローラを基台のトレー載置
面上で走行させることにより、トレーの引き出しを円滑
に行うことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
について図面を参照しながら詳述する。図1は、蛍光X
線分析装置または回折X線分析装置のようなX線分析装
置51、本発明の実施形態の試料交換機1、および試料
置場52を備えたX線分析システムの全体を示す正面図
である。同図において、X線分析装置51の左寄りの上
部には、制御装置であるコンピュータ53が載置され、
右側寄りの上部には、X線分析装置51内への試料の出
し入れを行う試料投入口54が設けられている。試料置
場52には、試料を保持した多数の試料ホルダ22が置
かれている。試料交換機1は試料テーブル2の上に設置
されている。試料ホルダ22は、試料置場52から試料
テーブル2上に移され、ここから、交換機1により試料
投入口54へ運ばれ、X線分析装置51内に設置された
搬送装置により、X線分析装置51内の所定位置に搬送
される。この所定位置で試料ホルダ22に保持された試
料が、X線照射を受けて分析される。分析後の試料ホル
ダは、上記と逆の経路を辿って試料置場52に戻され
る。なお、上記のように搬送される試料は、試料ホルダ
22に保持されて搬送される場合に限らず、試料単体と
して搬送される場合も含まれる。
【0013】図2は前記試料交換機1の斜視図を示して
いる。この試料交換機1は、X線分析装置で分析される
複数の試料Sを保持する試料テーブル2と、この試料テ
ーブル2から試料Sを取り出してX線分析装置の試料投
入口54(図3)まで搬送する搬送手段3とを備える。
【0014】搬送手段3は、試料テーブル2上の奥部
に、試料テーブル2の横方向Xに向けて配置された横レ
ール4に沿って移動自在に設けられた横移動台5と、こ
の横移動台5に固定され、試料テーブル2の縦方向(前
後方向)Yに向けて配置された縦レール6に沿って移動
自在に設けられた縦移動台7と、この縦移動台7に昇降
自在に設けられた昇降台8と、この昇降台8に支持さ
れ、試料テーブル2上やX線分析装置における試料投入
口54(図3)で試料Sを把持し、また試料Sの把持を
解除するチャック9とを備える。
【0015】前記横レール4内には、長手方向に沿って
ボールねじ10が設けられ、このボールねじ10に螺合
するボールナット11に前記横移動台5が連結され、横
レール4の一端部に設けられたサーボモータ12でボー
ルねじ10を回転駆動することにより、横移動台5が横
方向Xに移動される。
【0016】前記縦レール6内には、長手方向に沿って
ボールねじ13が設けられ、このボールねじ13に螺合
するボールナット14に前記縦移動台7が連結され、縦
レール6の一端部に設けられたサーボモータ15でボー
ルねじ13を回転駆動することにより、縦移動台7が縦
方向Yに移動される。前記昇降台8は、前記縦移動台7
に設けられた図示しない昇降機構により昇降駆動され
る。
【0017】前記試料テーブル2は、基台21と、この
基台21の平坦なトレー載置面21a上に、基台21の
前方Fへ引き出し可能に支持され、試料Sの単体、また
は試料Sが保持される試料ホルダ22を装填する複数の
装填台23を前後方向Yに一列に並べて保持するトレー
24と、前記トレー24の引き出しの際にトレー24の
下面に係合されてトレー24と共に引き出されて、トレ
ー24を基台21に支持する複数の移動受け具25とを
備える。
【0018】前記トレー24は試料テーブル2の引き出
し方向Fに長い部材であり、横方向Xに並んで複数、こ
こでは6個が配置されている。トレー24の前後には、
容易に持ち運びできるように把手35がそれぞれ設けら
れている。また、前記移動受け具25は2つ配置され、
横方向Xに隣接する3個分のトレー24に対して1つの
移動受け具25が対応するようにされている。このよう
に、移動受け具25の数が少ないので、それだけ構造が
簡単になる。
【0019】前記基台21のトレー載置面21aの奥部
には、収納位置にあるトレー24の後端を受け止める位
置決め部材26が横方向Xに向けて延設されている。ま
た、基台21のトレー載置面21aには、横方向Xに向
けて並置される各トレー24の両側部に相当する位置
に、トレー24の引出しおよび収納位置への復帰をガイ
ドするガイドレール27が縦方向Yに向けてそれぞれ延
設されている。さらに、前記トレー載置面21aにおけ
る前記各ガイドレール27の前端位置には、トレー24
を引出し位置から元の収納位置に戻すとき、対応する左
右のガイドレール27の間にトレー24が円滑に進入す
るようにトレー24をガイドするガイドローラ36がそ
れぞれ設けられている。
【0020】前記トレー24の後部下面には下方に向け
て突出する突出部として、図7に示すように、基台21
のトレー載置面21a上を走行する左右1対のローラ2
8が設けられている。このローラ28が図8のガイドレ
ール27の内側に沿って走行することにより、トレー2
4の引出しおよび収納位置への復帰がガイドされる。さ
らに、トレー24の後部下面には、係合溝30aを有す
る係合部材30が固定されており、この係合溝30a
に、基台21のトレー載置面21aにおける各トレー2
4の収納位置の後部にそれぞれ突設されている係合ピン
29が係合可能となっている。前記ローラ28は、この
係合部材30の下面に軸支されている。
【0021】また、図2に示す基台21のトレー載置面
21aには、収納位置にあるトレー24の前部に対応し
た位置で、引き出されたトレー24の後部下面の突出部
である前記ローラ28に当接してトレー24の引出し位
置を位置決めする位置決め部材31が、横方向Xに向け
て延設されている。また、前記トレー24の前部下面に
は、図5に示すように、左右に分けて1対の係合部32
A,32Bが突設されている。そのうち、一方の係合部
32Bは、トレー24の下面に固定したナット33に螺
合する雄ねじからなり、基台21のトレー載置面21a
上でトレー24が安定のよい水平姿勢となって支持され
るように突出高さの調整が可能である。
【0022】図6に示すように、基台21の前部に設け
られた前記位置決め部材31には、各トレー24の前記
1対の係合部32A,32Bが係合する孔からなる各1
対の第1の被係合部34が、各トレー24にそれぞれ対
応させて設けられている。
【0023】基台21の脚21b(図1)の上部に連結
された上部構造体は、図5に示すように、トレー載置面
21aを構成する上面材41と下面材42が、スペーサ
43を介して連結して構成されており、これら上下面材
41,42の間のスペースに、前記移動受け具25が引
き出し自在に配置されている。この移動受け具25の両
側部は、移動受け具25の引出し方向(縦方向Y)に延
びるガイドレール44が固定され、他方、下面材42に
は、各ガイドレール44に対してそれらの内側から対向
するように縦方向Yに延びた左右一対のガイドレール4
5が、支持部材48を介して支持されている。前記両ガ
イドレール44,45の間には、縦方向Yに摺動自在な
摺動部材46が配置され、前記両ガイドレール44,4
5の上部下面と前記摺動部材46の上面との間、および
両ガイドレール44,45の下部上面と摺動部材46の
下面との間に、それぞれ複数のボール47が介在させて
あり、これにより移動受け具25が基台21に対して引
出し自在となっている。
【0024】さらに、図2に示すように、前記移動受け
具25の前部には、対応する前記各トレー24の1対の
係合部32A,32Bに対して、前記基台21における
位置決め部材31の第1の被係合部34と選択的に係合
される孔からなる各1対の第2の被係合部49が設けら
れている。
【0025】次に、この試料交換機1の動作について説
明する。試料テーブル2上に保持されている試料Sを交
換する場合、その試料Sが保持されているトレー24の
前端を持ち上げる。これにより、収納位置において図4
(A)のように位置決め部材31の第1の被係合部34
に係合していたトレー24の前部の1対の係合部32
A,32Bが被係合部34から抜け出し係合解除され
る。次に、前記トレー24の前部の1対の係合部32
A.32Bを、図4(B)のように対応する移動受け具
25の前部の第2の被係合部49に係合させてから、ト
レー24を前方Fに引き出す。これに伴い、図2に示す
ように、トレー24と一体となって移動受け具25が引
き出される。その結果、引出し状態でも、トレー24は
移動受け具25に載置された状態となるので、基台21
から片持ち状態に引き出されるトレー24を、安定良く
基台24に支持させることができる。
【0026】このとき、トレー24は隣接する2つまた
は3つを1つの移動受け具25に係合させてから、前方
Fに引き出すこともできる。移動受け具25に1つまた
は2つのトレー24を支持させた場合、移動受け具25
の上面に余剰面25aが生じる。したがって、この余剰
面に、トレー24から取り出した分析済の試料Sの単体
もしくは試料Sを持つ試料ホルダ22、または新しい試
料Sもしくはこの試料Sを持つ新たな試料ホルダ22を
仮置きしたり、手を置いて楽な姿勢をとったりすること
ができ、試料Sの交換作業が容易になる。
【0027】前記引出し状態で、トレー24の後部下面
の突出部であるローラ28が基台21の位置決め部材3
1に当接してトレー24が位置規制されるので、トレー
24が基台21から外れてしまうのを防止できる。この
ように基台21からトレー24を引き出した状態では、
収納位置において試料テーブル2の前部にある試料Sは
勿論のこと、奥部にある試料Sでも、例えば椅子に座っ
たままで、容易に交換ができる。なお、新たな試料Sの
単体、または新たな試料Sをセットした別の試料ホルダ
22は、図1の試料置き場52に設置されており、試料
交換の際は、試料置き場52にある別の試料S、または
別の試料Sをセットした試料ホルダ22を、図2のトレ
ー24上のホルダ装填台23に装填し直すことによって
試料交換が行われる。
【0028】また、図1に示したように、試料テーブル
2から離れた試料置き場52に近い位置にX線分析装置
51の制御手段であるコンピュータ53がある場合に
は、引き出したトレー24を、その把手35(図2)を
握って試料置場52まで運んで、前記交換作業を行う。
その際、試料置き場52で試料を1つ交換するたびに、
その試料に関するIDデータを近くのコンピュータに入
力するというID設定作業を行うことができるので、入
力ミスの発生を防止できる。このIDデータは、試料の
種類、大きさなどを示すものであり、このIDデータに
基づいて、コンピュータ53が試料に適したX線分析装
置51の運転条件を設定し、自動的に分析を行わせる。
【0029】引き出したトレー24を元の収納位置に戻
す場合は、トレー24の前部の係合部32A,32Bを
移動受け具25の前部の第2の被係合部49に係合させ
た状態で、トレー24を基台21のトレー載置面21a
上に押した後に、トレー24の前部の係合部32A,3
2Bを位置決め部材31の被係合部34に係合させれば
よい。この押戻し動作に伴い、トレー24と一体に移動
受け具25も元の位置まで押し戻されるので、移動受け
具25に載せられたまま、安定良くトレー24の押戻し
が行われる。
【0030】なお、この押戻し動作において、トレー2
4の後部がガイド36にガイドされて、対応する左右1
対のガイドレール27の間にトレー24が進入するの
で、トレー24の押戻し動作を円滑に行うことができ
る。また、この押戻し動作や、先の引出し動作におい
て、トレー24の後部はローラ28を介してトレー載置
面21aを走行できるので、この点でも押戻し動作や引
出し動作を円滑に行うことができる。
【0031】また、この試料交換機1では、1つのトレ
ー24に複数のホルダ装填台23が1列に並べて載置さ
れているので、試料Sの保管をトレー単位で行うことが
できる。
【0032】なお、前記実施形態では、X線分析装置5
1の試料交換機1の場合について説明したが、本発明
は、発光分光分析装置や光電子分析装置など、他の分析
装置の試料交換機にも適用できる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
扱いの容易でない試料テーブルの奥に位置する試料で
も、トレーを基台から前方へ引き出すことにより、立ち
上がることなく、例えば椅子に座ったままで、試料を容
易に扱うことができる。また、基台から切り離してトレ
ーをX線分析装置の制御装置であるコンピュータの前ま
で運び、トレーへ試料を装填しながら、試料に関する1
Dデータをコンピュータへ入力することができるので、
コンピュータの設置位置が試料テーブルの近傍に制約さ
れない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の試料交換機とX線分析装置を備えたX
線分析システムの全体を示す斜視図である。
【図2】本発明の一実施形態のX線分析装置の試料交換
機を示す斜視図である。
【図3】同試料交換機の平面図である。
【図4】(A)は同試料交換機におけるトレーの収納状
態を示す縦断面図、(B)はトレーを移動受け具に係合
させた状態を示す縦断面図である。
【図5】同試料交換機の正面側から見た横断面図であ
る。
【図6】同試料交換機におけるトレーの収納状態を示す
一部破断した横断面図である。
【図7】同試料交換機におけるトレーの後部を示す斜視
図である。
【図8】同トレーの後部の係合部材を示す底面図であ
る。
【符号の説明】
1…試料交換機、2…試料テーブル、3…搬送手段、2
1…基台、22…試料ホルダ、24…トレー、25…移
動受け具、28…ローラ(突出部)、31…位置決め部
材、32A,32B…係合部、34…第1の被係合部、
49…第2の被係合部、51…X線分析装置、S…試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−304241(JP,A) 特開 平5−180732(JP,A) 特開 昭64−59043(JP,A) 特開 平6−94729(JP,A) 特開2000−105208(JP,A) 特開 昭60−111160(JP,A) 特開 平4−172250(JP,A) 特開 平9−33535(JP,A) 特開 平9−325098(JP,A) 実開 平7−18266(JP,U) 特公 平2−29988(JP,B2) 実公 平1−28459(JP,Y2) 米国特許4738824(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 1/00 - 1/44 G01N 23/00 - 23/227 G01N 35/00 - 35/10

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】試料を分析するX線分析装置と、複数の前
    記試料を縦方向と横方向に並べて保持する試料テーブル
    および縦方向と横方向に移動して、前記試料を前記試料
    テーブルから取り出し、前記分析装置へ搬送する搬送手
    段を備えた試料交換機とを有する分析システムであっ
    て、 前記試料テーブルは、基台と、前記試料を保持する縦方
    向に細長いトレーと、前記トレーの引き出しの際にトレ
    ーの下面に係合されてトレーと共に前方へ引き出されて
    トレーを基台に支持する移動受け具とを備えているX線
    分析システム。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記トレーは複数配置
    され、複数のトレーに対して1つの前記移動受け具が配
    置されているX線分析システム。
  3. 【請求項3】請求項1または2のいずれかにおいて、前
    記基台における収納位置にある前記トレーの前部に対応
    した位置に、引き出されたトレーの後部下面の突出部に
    当接してトレーの位置決めを行う位置決め部材が設けら
    れ、 トレーの前部と位置決め部材とに、互いに係合してトレ
    ーを収納位置に保持する係合部と第1の被係合部が設け
    られているX線分析システム。
  4. 【請求項4】請求項1において、基台における収納位置
    にある前記トレーの前部に対応した位置に、引き出され
    たトレーの後部下面の突出部に当接してトレーの位置決
    めを行う位置決め部材が設けられ、 トレーの前部と位置決め部材とに、互いに係合してトレ
    ーを収納位置に保持する係合部と第1の被係合部が設け
    られ、前記移動受け具の前部に、前記トレーの係合部に
    対して、前記位置決め部材の第1の被係合部と選択的に
    係合される第2の被係合部が設けられているX線分析シ
    ステム。
  5. 【請求項5】請求項1から4のいずれかにおいて、前記
    基台における収納位置にある前記トレーの前部に対応し
    た位置に、引き出されたトレーの後部下面の突出部に当
    接してトレーの位置決めを行う位置決め部材が設けら
    れ、 前記トレー後部の突出部は、基台のトレー載置面上を走
    行するローラであるX線分析システム。
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