KR100404621B1

KR100404621B1 - 반도체 소자 분류기용 핸들러의 작동방법 및 그 장치

Info

Publication number: KR100404621B1
Application number: KR20010059119A
Authority: KR
Inventors: 유홍준
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2001-09-24
Filing date: 2001-09-24
Publication date: 2003-11-07
Also published as: KR20010103819A

Abstract

본 발명은 패키지(PACKAGE)에 담겨 있는 반도체 소자를 집어 각각의 분류대로 트래이(TRAY)에 안착시키는 분류기에 관한 것으로, 트래이(TRAY)가 적층 되는 트래이 스토커(TRAY STOCKER)(2)의 상측에 좌, 우, 상, 하로 작동되어 트래이 스토커(TRAY STOCKER)에서 트래이(TRAY)를 집어 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)에 공급하는 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)(1)를 설치하고 ,그 상측에는 공급된 트래이(TRAY)를 고정하는 트래이(TRAY) 고정장치와 수평 고정장치가 설치되어 있는 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)를 설치하여서 된 것으로서, 구조가 간단하여 제작이 용이하고, 트래이(TRAY)를 이송하는 과정에서 트래이(TRAY)가 정위치를 벗어나지 않고 트래이 스토커(TRAY STOCKER)와 세팅 플레이트(SETTING PLATE)에 간섭이 전혀 없이 트래이(TRAY)내 패키지(PACKAGE)의 튀기는 현상 등을 사라지게 하여 원활한 작업을 할 수 있으며, 트래이 픽-업(TRAY PICK-UP)용 트랜스퍼(TRANSFER)와 엘리베이터(ELEVATOR)장치 하나만 가지고 트래이 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING)을 모두 수용하게 되어 원가 절감효과의 생산성 향상이 기대 효과를 가져 올 수 있고, 또한 트래이(TRAY)가 스토커(STOCKER)와 세팅 플레이트(SETTING PLATE)에 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING)할 때 간섭에 의해 패키지(PACKAGE)가 튀기는 현상으로 인한 오동작의 원인을 트래이(TRAY)의 전, 후, 좌, 우에서 센터링(CENTERING)하는 기능을 부가하여 장비의 가동률을 극대화 할 수 있는 유용한 발명인 것이다.

Description

반도체 소자 분류기용 핸들러의 작동방법 및 그 장치{THE OPERATING METHOD AND DEVICE FOR HANDLER OF CLASSIFICATION MACHINE FOR SEMI-CONDUCTOR DEVICE}

본 발명은 패키지(PACKAGE)에 담겨 있는 반도체 소자를 집어 각각의 분류대로 트래이(TRAY)에 안착시키는 분류기에 관한 것으로, 트래이 픽-업(TRAY PICK-UP)용 트랜스퍼(TRANSFER)와 엘리베이터(ELEVATOR)장치 하나만 가지고 트래이 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING)을 모두 수용할 수 있도록 하는데 그 목적이 있는 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정 중의 마지막 단계로 제품을 소비자에게 출하하기 전에 제품의 성능을 테스트하는 과정을 거쳐 테스트가 끝난 패키지(PACKAGE)를 정품과 불량품을 선별한 후 트래이(TRAY)에 정확하게 안착시키고, 아직 테스트가 진행되지 않은 패키지(PACKAGE)를 트래이(TRAY)에서 테스트용 보드에 안착시키는장비를 테스트 핸들러(TEST HANDLER)라 한다.

상기와 같은 테스트 핸들러(TEST HANDLER)에는 여러 개의 트래이(TRAY)를 평면상에 펼쳐 놓은 구조로 구성할 수밖에 없으며, 또한 펼쳐놓은 각각의 트래이 스테이션(TRAY STATION)에는 수직으로 여러 장의 트래이(TRAY)를 수납할 수 있는 장치와 공간이 필요로 하는 문제점이 있었다.

즉 현대에 있어서, 반도체 소자가 소형화, 고집적화, 경량화로 변천해 가는 추세이고, 이로 인하여 플라스틱으로 성형된 트래이(TRAY)의 내부에 반도체 소자를 안착시킬 경우 조그마한 외부 충격에도 반도체 소자가 쉽게 이탈하게 되는 단점이 있으며, 트래이(TRAY) 또한 사출로 제작된 플라스틱 판체이기 때문에 변형이 심한 경우가 많으며, 이로 인하여 테스트 핸들러 장비의 가장 고질적인 문제인 트래이 로딩시와 언로딩시에 반도체 소자의 위치 불안정으로 인한 에러가 발생하게 됨으로서, 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)에 의해 발생되는 에러가 장비의 약 60%를 차지하고 있는 추세이다.

종래에는 트래이(TRAY)를 세팅하기 위하여 각 트래이 스토커 존(TRAY STOCKER ZONE)에 각각의 엘리베이터(ELEVATOR) 장치를 설치하고, 2개의 트래이 피커를 설치하여 하나의 트래이 피커는 엘리베이터(ELEVATOR)에 의하여 상승된 트래이(TRAY)를 픽-업(PICK- UP)하여 세팅 플레이트(SETTING PLATE)에 로딩 시켜주는 작동을 한다.

다른 하나의 트래이 피커는 세팅 플레이트(SETTING PLATE)에 장착된 트래이(TRAY)를 픽-업하여 트래이 스토커(TRAY STOCKER)에 언-로딩시켜 주는 번거로움과 각 세팅 별로 트래이 세팅 블록이 설치되어 업/다운 작동을 하는 등 복잡한 단점이 있으며, 이로 인하여 테스트 핸들러(TEST HANDLER)의 제작단가를 상승시키는 요인이 되었다

또한 트래이(TRAY)를 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING) 하는데 있어서, 트래이(TRAY)를 여러 번 옮겨 다녀야 함으로서 복잡한 과정을 거치게 되므로 패키지(PACKAGE)가 트래이(TRAY)에서 이탈하는 경우가 빈번히 발생하게 되는 등의 문제점이 있었다.

다른 한편에서는 각각의 트래이 스테이션(TRAY STATION)별로 설치되어 있던 엘리베이터(ELEVATOR)의 기능과 트래이 스테이션(TRAY STATION)용 업/ 다운 블록을 제거하고 2개의 트래이 트렌스퍼와 2개의 트래이 픽/업 및 2개의 엘리베이터(ELEVATOR)로 구성된 것이 사용되고 있다.

상기의 핸들러(HANDLER)에서 하나의 트래이 픽-업 어셈블리(TRAY PICK-UP ASSY')는 트래이 세팅 스테이션(TRAY SETTING STATION)에서 트래이 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING)을 수행하고, 다른 하나의 트래이 픽-업 어셈블리(TRAY PICK-UP ASSY')는 트래이 스토커 스테이션(TRAY STOCKER STATION)에서 트래이 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING)을 수행한다.

상기와 같은 장치는 각각의 트래이 스테이션(TRAY STATION)에 별도로 설치되어 있던 엘리베이터(ELEVATOR) 기능과 세팅용 업/다운 블록(UP/DOWN BLOCK)을 제거하여 장비의 제조원가를 조금 낮출 수는 있었지만, 하나의 트래이(TRAY)를 교체하는데 걸리는 시간이 길어지는 단점이 있으며, 또한 트래이(TRAY)를 여러 번 옮겨다니면서 발생되는 여러 가지의 문제점을 해소하지 못하였던 것이다.

종래 핸들러(HANDLER)의 동작순서를 좀더 상세하게 설명하면 로딩 트래이용 엘리베이터(ELEVATOR)가 상승하여 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)로 이송한 다음 1번 트래이(TRAY)가 픽-업 구동(트래이 클램퍼 스태커 : TRAY CLAMPER STACKER)하여 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)로 이송하여 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)로 이송하게 된다.

상기와 같은 상태에서 2번 트래이가 픽-업 구동(트래이 언로딩 : TRAY UNLOADING)한 다음 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)로 이송하며, 이와 동시에 1번 트래이가 픽-업(트래이 로딩 : TRAY LOADING)구동한 다음 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)로 이송하게 된다.

상기와 같은 상태에서 트래이 세팅 블록(TRAY SETTING BLOCK)이 상승하며, 2번 트래이가 픽-업 구동(트래이 언로딩 : TRAY UNLOADING)하며 이와 동시에 언로딩 엘리베이터(UNLOADING ELEVATOR)가 하강하며, 로딩 트래이 엘리베이터(LOADING TRAY ELEVATOR)는 상승하게 된다.

즉, 종래의 방법은 트래이 픽스튜어 스테이션(TRAY FIXTURE STATION)에 별도의 트래이 세팅용 블록이 에어 실린더(AIR CYLINDER)에 의해 상, 하 운동을 하며, 각 트래이 스토커(TRAY STOCKER)는 스테이션(STATION)에 별도의 엘리베이터(ELEVATOR) 장치가 설치되어 있어 스토커 존(STOCKER ZONE) 내의 트래이(TRAY)를 모터에 의해 상, 하 운동을 하고, 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)에 2개의 트래이 픽업장치가 설치되어 있는 구성으로 1번 트래이 픽업장치는 트래이 스토커(TRAY STOCKER)내의 트래이(TRAY)를 픽업하여 세팅 블록에 로딩시켜주는 역할을 하며, 2번 트래이 픽업장치는 세팅 블록상의 트래이(TRAY)를 픽업하여 트래이 스토커(TRAY STOCKER)에 트래이(TRAY)를 언로딩시켜주는 역할을 하는 것이다.

그러나 상기 종래의 핸들러(HANDLER)는 각 트래이 픽스튜어 스테이션(TRAY FIXTURE STATION)에 각각 트래이 세팅 블록이 존재하고, 각 트래이 스토커(TRAY STOCKER)에 엘리베이터(ELEVATOR)장치가 설치되어 있어 제작 원가를 상승시키게 되는 문제점이 있었다.

또한 상기와 같은 방법은 트래이가 1번 트래이 픽-업(TRAY PICK-UP)에서 세팅 블록으로 옮겨다니므로 인하여 세팅 블록이 트래이 픽스튜어 스테이션(TRAY FIXTURE STATION)에 업/다운 동작을 하면서 트래이(TRAY) 내의 패키지(PACKAGE)가 튀겨 이탈되는 단점이 있으며, 이로 인하여 이탈된 제품을 정확하게 검사하지 못함으로서 제품을 불량 처리하게 되는 단점이 있고, 또한 동작 조건이 많아짐으로서 핸들링 하는데 작업시간이 많이 소요되어 경쟁력을 떨어뜨리게 되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 각 트래이 스테이션(TRAY STATION)에 설치된 트래이 세팅용 업/다운블록 및 엘리베이터(ELEVATOR)장치를 제거하고, 하나의 트래이 업/다운용 트랜스퍼와 엘리베이터(ELEVATOR)를 가지고 있으며, 트래이(TRAY)는 센터링(CENTERING) 할 수 있는 장치를 구성하여 트래이(TRAY)를 이송하는 과정에서 트래이(TRAY)가 정위치를 벗어나지 않고 트래이 스토커(TRAY STOCKER)와 세팅 플레이트(SETTING PLATE)에 간섭이 전혀 없이 트래이(TRAY)내 패키지(PACKAGE)의 튀기는 현상 등을 사라지게 한 것이다.

즉, 트래이 픽-업(TRAY PICK-UP)용 트랜스퍼(TRANSFER)와 엘리베이터(ELEVATOR) 장치 하나만 가지고 트래이 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING)을 모두 수용하게 되어 원가 절감효과의 생산성 향상이 기대 효과를 가져올 수 있도록 한 것이다.

또한 트래이(TRAY)가 스토커와 세팅 플레이트(SETTING PLATE)에 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING)할때 간섭에 의해 패키지(PACKAGE)가 튀기는 현상으로 인한 오동작의 원인을 트래이(TRAY)의 전, 후, 좌, 우에서 센터링(CENTERING)하는 기능을 부가하여 장비의 가동률을 극대화 시킬 수 있도록 한 것으로서, 이하 본 발명을 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1 은 본 발명의 작동단계를 보인 개략 블록도

도 2 은 본 발명의 요부 전체 확대 사시도

도 3 은 본 발명 트랜스퍼(TRANSFER)의 전체 개략 사시도

도 4 는 본 발명의 좌, 우 작동구의 요부 확대 사시도

도 5 은 본 발명 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)의 요부 확대 사시도

도 6 는 본 발명 좌, 우 작동장치의 작동상태를 보인 예시도

도 7 은 본 발명 상, 하 작동구의 작동상태를 보인 예시도

도 8 은 본 발명 상, 하 작동구에서 트래이(TRAY) 고정장치의 작동상태를 보인 요부확대 예시도

도 9 은 본 발명 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)에 설치된 고정장치의 작동상태를 보인 측면예시도

도 10 는 본 발명 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)에 설치된 수평 고정장치의 작동상태를 보인 측면예시도

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※

1. 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 2. 트래이 스토커(TRAY STOCKER)

3. 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)

4. 지지판 5. 벨트 6. 좌, 우 작동구

7. 상, 하 작동구 8. 상, 하 작동장치 9. 10. 고정장치

11. 수평 고정장치 12. 17. 가드레일 13. 로울러

14. 23. 지지대 15. 모터 16. 회동축

18. 20. 24. 실린더 19, 압착구 21. 25. 받침대

22. 받침 로울러 26. 흔들림 방지용 로울러

트래이 트랜스퍼 업(트래이 픽스튜어)단계: 트래이 픽업 단계: 트래이 트랜스퍼 다운 단계: 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 이송 단계: 트래이 트랜스퍼 다운 단계(언로딩 스토커): 트래이 피커 오픈 단계: 트래이 트랜스퍼 업 단계: 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 이송 단계: 트래이 트랜스퍼 다운 단계(로딩스토커): 트래이 픽-업(TRAY PICK-UP) 단계: 트래이 트랜스퍼 업 단계: 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 이송 단계: 트래이 트랜스퍼 업 단계: 트래이 피커 오픈(트래이 픽스튜어)단계로 이루어진 것이다.

즉 본 발명을 기구적으로 설명하면 다음과 같다.

여러 장의 트래이(TRAY)를 보관하는 트래이 스토커(TRAY STOCKER)와 트래이(TRAY)를 상하로 이송시키는 엘리베이터(ELEVATOR)및 상부로 이송된 트래이(TRAY)를 좌우로 이송시키는 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)와 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)에서 공급된 트래이(TRAY)를 고정하는 각 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)와 공급된 트래이(TRAY)를 고정하는 트래이 세팅 블록으로 이루어진 것에 있어서,

트래이(TRAY)가 적층 되는 트래이 스토커(TRAY STOCKER)(2)의 상측에 좌, 우, 상, 하로 작동되어 트래이 스토커(TRAY STOCKER)에서 트래이(TRAY)를 집어 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)에 공급하는 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)(1)를 설치하고 ,그 상측에는 공급된 트래이(TRAY)를 고정하는 트래이 고정장치와 수평 고정장치가 설치되어 있는 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)를 설치하여서 된 것이다.

상기 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 본체(1)는 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 본체(1)의 후미에 수직으로 된 지지판(4)을 설치하되 그 전면에 벨트(5)에 의하여 좌우로 유동되는 좌, 우 작동구(6)를 설치하고, 좌, 우 작동구(6)의 전면에는 트래이를 고정하는 상, 하 작동구(7)를 설치하되 그 중앙부에 상, 하 작동구(7)가 상, 하 작동되도록 상, 하 작동장치(8)를 설치하며, 트래이 를곶어하여 상, 하작동시키는 상, 하 작동구(7)의 전, 후와 양측면 전, 후에는 트래이(TRAY)를 안착 고정하는 고정장치(9)를 설치하고, 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)(2)의 상측에는 수개의 트래이 픽스튜어(TRAY FIXTURE)(3)를 설치하되 각 트래이 픽스튜어(TRAY FIXTURE)에는 트래이(TRAY)를 고정하는 고정장치(10)와 고정장치에 의하여 고정되면서 트래이(TRAY)의 흔들림을 잡아 고정하는 수평 고정장치(11)를 설치하여서 된 것이다.

상기 트랜스퍼 본체(1)는 수직 지지판(4)의 전면 상, 하에 가드레일(GUARDRAIL)(12)을 설치하고, 이 가드레일(GUARDRAIL)(12)에 좌, 우 작동구(6)를 설치하되 상, 하부에 설치된 가드레일(GUARDRAIL)(12) 사이의 중앙부 양측에 로울러(13)를 설치하여 벨트(5)를 체결하되 일측의 로울러에는 모터를 설치하여 벨트가 구동되게 하고, 벨트에는 좌, 우 작동구(6)의 양측을 고정하여 벨트(5)에 의하여 좌, 우 작동구(6)가 좌우로 작동되게 하며, 좌, 우작동구(6)의 주앙부 상하에는 지지대(14)를 설치하여 모터(15)에 의하여 구동되는 회동축(16)을 설치하고, 지지대(14)의 양측에는 가드레일(GUARDRAIL)(17)을 수직으로 설치하여 상, 하 작동구(7)를 체결하되 상, 하 작동구(7)의 중앙부에 회동축(16)을 체결하여 회동축(16)의 회전에 의하여 상, 하 작동구(7)가 상, 하 작동되게 하며, 상, 하 작동구(7)의 양측 전, 후에는 각각 실린더(18)에 의하여 트래이(TRAY)를 고정하는 압착구(19)가 전후로 작동되게 하고, 그 일측에는 저면에 각각 실린더(20)를 설치하되 실린더(20)에 받침대(21)를 설치하여 상기의 압착구와 같이 작동되게 하여 트래이(TRAY)를 고정할 수 있도록 하며, 상, 하 작동구(7)의 전, 후 중앙부에는 지지대(23)를 설치하고 지지대(23)의 상측에는 받침 로울러(22)를 설치하여 트래이(TRAY)가 상, 하 작동구(7)의 중앙부에 위치하도록 하여서 된 것이다.

상기 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)에 형성된 각 트래이(TRAY) 안착부의 전, 후 중앙부에는 실린더(24)에 의하여 받침대(25)가 전, 후로 작동되는 고정장치(10)를 설치하여 트래이(TRAY)가 공급될 경우 고정 되도록 하고, 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)의 저면 양측 중앙부와 그 전후에는 스프링에 의하여 전, 후로 작동되는 흔들림 방지용 로울러(26)를 설치하여서 된 것이다

상기와 같이 된 본 발명의 작동을 설명하면 다음과 같다.

트래이(TRAY) 분류기 본체의 내부에 설치된 트래이 스토커(TRAY STOCKER)(2)에 검사하고자 하는 반도체가 내장된 트래이(TRAY)를 다단식으로 수개를 각각 적층 시킨다.

상기와 같은 상태에서 본 발명의 분류기를 작동시키면 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 본체(1)에 설치된 상, 하 작동구(7)가 상, 하 작동장치(8)에 의하여 상측으로 이송하게 되고, 이와 동시에 모터가 작동되면서 벨트(5)를 구동시켜 좌, 우 작동구(6)를 트래이 스토커(TRAY STOCKER)(2)의 상측에 위치하게 한다.

즉 모터가 작동되면 수직 지지판(4)의 중간부 양측에 설치된 로울러(13)에 의하여 벨트(5)가 회전하게 되고, 이로 인하여 좌, 우 작동구(6)에 고정되어 있는 벨트의 회전에 의하여 좌, 우 작동구(6)가 좌우로 작동하게 되는 것이다.

상기와 같이 좌, 우 작동구(6)가 트래이 스토커(TRAY STOCKER)(2)의 상측에 위치하게 되면 좌, 우 작동구(6)에 설치되어 있는 상, 하 작동구(7)의 상, 하 작동장치(8)에 의하여 상, 하 작동구(7)가 하단으로 내려가 트래이(TRAY)를 고정하게된다.

좀더 상세하게 설명하면 상, 하 작동구(7)의 중앙부에 설치되어 있는 회동축(16)을 작동시키는 서브 모터(15)가 작동하여 회동축(16)을 회전시키게 되면 상, 하 작동구(7)는 회동축(16)에 의하여 좌, 우 작동구(6)에 설치된 가드레일(GUARDRAIL)(17)을 타고 하단으로 내려가 트래이(TRAY)에 안착하게 된다.

상기와 같이 상, 하 작동구(7)가 하단으로 내려가 트래이 스토커(TRAY STOCKER)(2)에 적층되어있는 트래이(TRAY)에 안착하게 되면 상, 하 작동구(7)의 양측 전후에 설치된 압착구(19)와 받침대(21)가 각각 실린더(18)(20)에 의하여 내측으로 작동하게 되고, 이로 인하여 압착구(19)가 트래이(TRAY)의 상측에 위치함과 동시에 트래이(TRAY)의 저면에는 받침대(21)가 들어가 트래이(TRAY)를 받치게 됨으로서 트래이(TRAY)의 양측 전, 후면 상하부를 받침대(21)와 압착구(19)에 의하여 각각 고정하게 된다.

한편 상기와 같이 상, 하 작동구(7)가 하단으로 내려가 트래이(TRAY)를 고정함과 동시에 이와 동시에 상, 하 작동구(7)의 전 후, 중앙부에 설치되어 있는 로울러(22)에 의하여 트래이(TRAY)의 전후를 고정하게 됨으로서 트래이(TRAY)가 이송시 이탈되지 않고 상, 하 작동구(7)에 고정되어 있게 되는 것이다.

상기와 같이 상, 하 작동구(7)에 트래이(TRAY)가 안착하게 되면 상, 하 작동구(7)는 서브 모터(15)의 역회전에 의하여 회동축(16)이 역회전을 하게 됨으로서 상측으로 이송하게 되고, 이와 동시에 상, 하 작동구(7)가 트래이 스토커(TRAY STOCKER)(2)를 벗어남과 동시에 좌, 우 작동구(6)가 모터에 의하여 회전되는벨트(5)에 의하여 일측으로 작동하여 트래이(TRAY)가 삽입되는 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)의 하단에 위치하게 되며, 이 상태에서 상, 하 작동장치(8)의 회동축(16)의 계속적인 작동에 의하여 상, 하 작동구(7)가 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)에 형성되어 있는 트래이 안착부의 내측으로 삽입하게 된다.

상기와 같이 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)의 내부에 상, 하 작동구(7)가 삽입하게 되면 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)에 설치되어 있는 전, 후 고정장치(10)에 의하여 트래이(TRAY)가 고정되고, 이와 동시에 상, 하 작동구(7)에서 트래이(TRAY)를 고정하고 있던 압착구(19)와 받침판(21)이 각각 실린더(18)(20)에 의하여 원상 복귀하게 되며, 이로 인하여 트래이(TRAY)가 상, 하 작동구(7)에서 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)로 옴겨지게 된다.

한편 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)에 트래이(TRAY)가 위치하게 되면 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)의 양측 중앙부와 그 전후에 설치되어 있는 로울러(26)에 의하여 트래이(TRAY)가 고정하게 되고, 이때 로울러(26)에는 스프링장치가 되어 있기 때문에 트래이(TRAY)가 정확하게 중앙부에 위치하게 된다.

즉 트래이(TRAY)가 일측으로 치우치게 되면 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)의 저면에 설치된 로울러(26)중 압착되는 부위의 스프링의 탄발력에 의하여 로울러(26)를 밀게 되고, 이와 동시에 타측에 설치된 로울러(26)를 트래이(TRAY)가 압착되는 힘이 없기 때문에 원상태로 있게 된다.

상기와 같이 로울러(26)가 스프링의 탄발력에 의하여 트래이(TRAY)를 밀게 됨으로서 트래이(TRAY)가 정확하게 정 위치로 이동하게 되는 것이다.

한편 트래이(TRAY)를 공급한 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)(1)의 상, 하 작동구(7)는 트래이(TRAY)를 공급하자마자 다시 하강하게 되고, 이와 동시에 좌, 우 작동구(6)에 의하여 다시 트래이 스토커(TRAY STOCKER)(2)에 적재되어 있는 트래이(TRAY)로 이동하게 되는 것이다.

즉 상, 하 작동구(7)가 작동되면서 좌, 우 작동구(6)가 같이 작동되므로 작업시간을 단축시킬 수가 있는 것이다.

또한 상기와 같이 트래이(TRAY)를 공급하거나 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)에서 트래이(TRAY)에 내장된 반도체를 검사하고 끝난 다음 트래이(TRAY)를 분리하는 구동방법도 상기의 방법과 동일하다.

이상과 같이 본 발명은 트래이 픽-업(TRAY PICK-UP)용 트랜스퍼(TRANSFER)와 엘리베이터(ELEVATOR)장치 하나만 가지고 트래이 로딩(LOADING),언로딩(UNLOADING)을 모두 수용할 수 있도록 한 것으로서, 구조가 간단하여 제작이 용이하고, 트래이(TRAY)를 이송하는 과정에서 트래이(TRAY)가 정위치를 벗어나지 않고 트래이 스토커(TRAY STOCKER)와 세팅 플레이트(SETTING PLATE)에 간섭이 전혀 없이 트래이(TRAY)내 패키지(PACKAGE)의 튀기는 현상 등을 사라지게 하여 원활한 작업을 할 수 있으며, 트래이 픽-업(TRAY PICK-UP)용 트랜스퍼(TRANSFER)와엘리베이터(ELEVATOR)장치 하나만 가지고 트래이 로딩(LOADING),언로딩(UNLOADING)을 모두 수용하게 되어 원가 절감효과의 생산성 향상이 기대 효과를 가져올 수 있고, 또한 트래이(TRAY)가 스토커와 세팅 플레이트(SETTING PLATE)에 로딩(LOADING), 언로딩(UNLOADING)할때 간섭에 의해 패키지(PACKAGE)가 튀기는 현상으로 인한 오동작의 원인을 트래이(TRAY)의 전,후, 좌,우에서 센터링(CENTERING)하는 기능을 부가하여 장비의 가동률을 극대화 시킬 수 있는 유용한 발명인 것이다.

상기에서는 본 발명을 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수있다.

Claims

트래이 트랜스퍼 업(트래이 픽스튜어)단계: 트래이 픽업단계: 트래이 트랜스퍼 다운단계: 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 이송단계: 트래이 트랜스퍼 다운단계(언로딩 스토커): 트래이 피커 오픈단계: 트래이 트랜스퍼-업 단계: 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 이송단계: 트래이 트랜스퍼 다운단계(로딩스토커): 트래이 픽-업(TRAY PICK-UP)단계: 트래이 트랜스퍼 업 단계: 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 이송단계: 트래이 트랜스퍼 업 단계: 트래이 피커 오픈 단계(트래이 픽스튜어)단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류기용 핸들러의 작동방법.
여러 장의 트래이(TRAY)를 보관하는 트래이 스토커(TRAY STOCKER)와 트래이(TRAY)를 상하로 이송시키는 엘리베이터(ELEVATOR)및 상부로 이송된 트래이(TRAY)를 좌우로 이송시키는 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)와 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)에서 공급된 트래이(TRAY)를 고정하는 각 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE) 와 공급된 트래이(TRAY)를 고정하는 트래이 세팅블록으로 이루어진 것에 있어서,

트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER) 본체(1)의 후미에 수직으로 된 지지판(4)을 설치하되 그 전면에 벨트(5)에 의하여 좌우로 유동되는 좌, 우 작동구(6)를 설치하고, 좌, 우 작동구(6)의 전면에는 트래이(TRAY)를 고정하여 이송시키는 상, 하작동구(7)를 설치하되 그 중앙부에 상, 하 작동구(7)를 상, 하 작동되도록 상, 하 작동장치(8)를 설치하며, 상, 하 작동구(7)의 전, 후와 양측면 전, 후에는 트래이(TRAY)를 안착 고정하는 고정장치(9)를 설치하고, 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)(2)의 상측에는 수개의 트래이 픽스튜어(3)를 설치하되 각 트래이 픽스 튜어에는 트래이(TRAY)를 고정하는 고정장치(10)와 고정장치에 의하여 고정되면서 트래이(TRAY)의 흔들림을 잡아 고정하는 수평 고정장치(11)를 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류기용 핸들러의 작동장치.
제 2 항에 있어서, 트랜스퍼 본체(1)는 수직 지지판(4)의 전면 상, 하에 가드레일(GUARDRAIL)(12)을 설치하고, 이 가드레일(GUARDRAIL)(12)에 좌, 우 작동구(6)를 설치하되 상, 하부에 설치된 가드레일(GUARDRAIL)(12) 사이의 중앙부 양측에 로울러(13)를 설치하여 벨트(5)를 체결하되 일측의 로울러에는 모터를 설치하여 벨트가 구동되게 하고, 벨트에는 좌, 우 작동구(6)의 양측을 고정하여 벨트(5)에 의하여 좌, 우 작동구(6)가 좌우로 작동되게 하며, 좌, 우작동구(6)의 주앙부 상하에는 지지대(14)를 설치하여 모터(15)에 의하여 구동되는 회동축(16)을 설치하고, 지지대(14)의 양측에는 가드레일(GUARDRAIL)(17)을 수직으로 설치하여 상, 하 작동구(7)를 체결하되 상, 하작동구의 중앙부에 회동축(16)을 체결하여 회동축(16)의 회전에 의하여 상, 하 작동구(7)가 상, 하 작동되게 하며, 상, 하 작동구(7)의 양측 전, 후에는 각각 실린더(18)에 의하여 트래이(TRAY)를 고정하는 압착구(19)가 전후로 작동되게 하고, 그 일측에는 저면에 각각 실린더(20)를 설치하되실린더(20)에 받침대(21)를 설치하여 상기의 압착구와 같이 작동되게 하여 트래이(TRAY)를 고정할 수 있도록 하며, 상, 하 작동구(7)의 전, 후 중앙부에는 지지대(23)를 설치하고 지지대(23)의 상측에는 받침로울러(22)를 설치하여 트래이(TRAY)가 상, 하 작동구(7)의 중앙부에 위치하도록 하여서 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류기용 핸들러의 작동장치.
제 2 항에 있어서, 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)에 형성된 각 트래이(TRAY) 안착부의 전, 후 중앙부에는 실린더(24)에 의하여 받침대(25)가 전, 후로 작동되는 고정장치(10)를 설치하여 트래이(TRAY)가 공급될 경우 고정 되도록 하고, 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE)(3)의 저면 양측 중앙부와 그 전후에는 스프링에 의하여 전, 후로 작동되는 흔들림 방지용 로울러(26)를 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류기용 핸들러의 작동장치.
제 1 항에 있어서, 트래이(TRAY)가 적층 되는 트래이 스토커(TRAY STOCKER)와 트래이 픽스튜어 플레이트(TRAY FIXTURE PLATE) 사이에 하나의 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)를 설치하며 이 하나의 트래이 트랜스퍼(TRAY TRANSFER)가 상하로 작동되면서 동시에 좌, 우로 작동되게 하여서 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류기용 핸들러의 작동장치.