KR100455449B1

KR100455449B1 - 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는인라인 검사장비

Info

Publication number: KR100455449B1
Application number: KR10-2002-0034069A
Authority: KR
Inventors: 하응주
Original assignee: (주)넥스트인스트루먼트
Priority date: 2002-06-18
Filing date: 2002-06-18
Publication date: 2004-11-06
Also published as: KR20030096963A

Abstract

디스플레이 패널을 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있어 검사결과의 정확도를 향상시킬 수 있고 디스플레이 패널을 정밀하게 정렬시킬 수 있는 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비는 스캔섹션, 리뷰섹션, 언로딩섹션 및 검사하고자하는 디스플레이 패널을 각각의 스캔섹션, 리뷰섹션 및 언로딩섹션 측으로 안내하는 이송장치를 구비한다. 이때, 이송장치는 가이드부 및 클램핑부를 구비한다. 가이드부는 스캔, 리뷰 및 언로딩섹션의 상부면에 배치되는 제 1, 제 2 가이드블록과 제 1, 제 2 가이드블록 사이에 되는 고정체 및 고정체의 상부에 소정의 간격을 유지하며 배치되는 제 1 가동체 및 제 2 가동체를 구비한다. 클램핑부는 동일한 구성을 가지면서 제 1 가동체 및 제 2 가동체의 상부에 배치되어 투입되는 디스플레이 패널을 진공흡착하여 스캔섹션 구간을 왕복이송하는 제 1 스테이지와 스캔섹션에서 스캔작업이 완료된 디스플레이 패널을 진공흡착하여 리뷰섹션 구간을 왕복이송하면서 디스플레이 패널을 언로딩섹션 측으로 이송시키는 제 2 스테이지를 구비한다.

Description

스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비{In-line FPD AOI having display panel conveyer using a stage type}

본 발명은 인라인 검사장비에 장착되는 디스플레이 패널 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고정체 및 고정체를 따라서 이송하는 제 1 가동체 및 제 2 가동체를 구비하는 가이드부와, 제 1 가동체 및 제 2 가동체에 장착되어 투입되는 디스플레이 패널을 진공흡착하여 이송시킬 수 있는 제 1 스테이지 및 제 2 스테이지를 구비하는 클램핑부를 구비함으로써, 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있어 검사결과의 정확도를 향상시킬 수 있고 디스플레이 패널을 정밀하게 정렬시킬 수 있는 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비에 관한 것이다.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel)의 패턴결합이나 이물질 등을 검사하는 장비이다. 이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔(scan) 단계와 검출된 불량 이미지를 처리하고 분류하는 이미지처리단계로 나눈다.

그런데, 종래의 인라인 검사장비는 디스플레이 패널이 작업 시작부터 끝까지롤러(roller) 위에서 굴러가면서 검사를 진행하므로, 스캔(scan) 도중 디스플레이 패널의 진행방향이 비뚤어지거나 어긋나고, 롤러(roller)와 디스플레이 패널 간에 미끄러짐(slip)이 발생하여 비전(vision) 검사 결과의 정확도가 떨어지는 문제점이 있었다.

또한, 디스플레이 패널을 사방에서 클램핑(clamping)하여 예비 정렬만 한 후에 롤러 위에서 디스플레이 패널이 굴러가면서 스캔(scan)하는 구조이므로 실시간으로 비전 이미지 프로세싱(vision image processing)을 할 수 없는 문제점이 있었다. 그 결과 스캔(scan)이 끝난 후에 디스플레이 패널 전체영역의 이미지를 통째로 저장하여 이미지 상에서 정렬을 하고 이미지 프로세싱(image processing)하여야만 하기 때문에 처리시간이 많이 걸리는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 고정체 및 고정체를 따라서 이송하는 제 1 가동체 및 제 2 가동체를 구비하는 가이드부와, 제 1 가동체 및 제 2 가동체에 장착되어 투입되는 디스플레이 패널을 진공흡착하여 이송시킬 수 있는 제 1 스테이지 및 제 2 스테이지를 구비하는 클램핑부를 구비함으로써, 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있어 검사결과의 정확도를 향상시킬 수 있고 디스플레이 패널을 정밀하게 종렬시킬 수 있는 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명에 따른 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비의 작동상태를 나타낸 도면이고,

도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 이송장치를 확대하여 나타낸 도면이며, 그리고

도 3은 도 2에 도시된 제 1 스테이지를 확대하여 나타낸 사시도이다.

<도면의주요부분에대한부호의설명>

100 : 인라인 검사장비 102 : 스캔섹션

104 : 리뷰섹션 106 : 언로딩섹션

110 : 이송장치 112 : 가이드부

114a : 제 1 가이드블록 114b : 제 2 가이드블록

116a : 제 1 가이드레일 116b : 제 2 가이드레일

118 : 진동절연체 120 : 고정체

122a : 제 1 가동체 122b : 제 2 가동체

130 : 클램핑부 132a : 제 1 스테이지

132b : 제 2 스테이지 134a, 134b : 로터리스테잊

136a, 136b : 회전원판 140a, 140b : 커넥팅 바아

144a, 144b : 에어 베어링 146a, 146b : 업다운 스테이지

152a, 152b : 진공판 154a, 154b : 흡착공

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,

스캔섹션, 리뷰섹션, 언로딩섹션 및 검사하고자하는 디스플레이 패널을 각각의 스캔섹션, 리뷰섹션 및 언로딩섹션 측으로 안내하는 이송장치를 구비하는 인라인 검사장비에 있어서,

이송장치는;

스캔섹션, 리뷰섹션 및 언로딩섹션의 상부면 외곽측에서 서로 마주보면서 연속되게 배치되고 상부면 상에는 서로 대응하는 제 1 가이드레일 및 제 2 가이드레일이 상측으로 수직하게 돌출 형성되는 제 1 가이드블록 및 제 2 가이드블록과, 제 1 가이드블록 및 제 2 가이드블록 사이에서 스캔섹션의 일단에서부터 리뷰섹션의 끝단까지 연장되는 고정체 및 고정체의 상부에 소정의 간격을 유지하며 고정체를 따라서 이송되는 제 1 가동체 및 제 2 가동체를 갖는 가이드부; 및

동일한 구성을 가지면서 제 1 가동체 및 제 2 가동체의 상부에 배치되어 투입되는 디스플레이 패널을 진공흡착하여 스캔섹션 구간을 왕복이송하는 제 1 스테이지 및 마찬가지로 스캔섹션에서 스캔작업이 완료된 디스플레이 패널을 진공흡착하여 리뷰섹션 구간을 왕복이송하면서 디스플레이 패널을 언로딩섹션 측으로 이송시키는 제 2 스테이지를 갖는 클램핑부를 포함하고, 제 1 스테이지 및 제 2 스테이지는 하부가 제 1 가동체 및 제 2 가동체에 각각 고정되고 상부에는 제 1 서보모터에 의해서 회전하는 회전원판이 배치되는 로터리 스테이지와, 회전원판의 상부에 장착되어 제 1 가이드블록 및 제 2 가이드블록 측으로 수평하게 연장되고 연장부에는 제 1 가이드레일 및 제 2 가이드레일을 따라서 안내될 수 있도록 에어베이링이 장착된 안치플레이트를 구비하는 커넥팅 바아와, 안치플레이트의 상부면 상에서 제 2 서보모터에 의해 수직하게 상하로 이송되는 업다운 플레이트가 내장되는 업다운 스테이지와, 업다운 플레이트의 상부에서 커넥팅 바아에 대하여 대향하게 업다운 플레이트의 양측으로 연장되고 상부면 상에는 투입되는 디스플레이 패널을 흡착고정할 수 있도록 다수의 흡착공이 형성된 진공판이 구비되는 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비를 제공한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 고정체 및 고정체를 따라서 이송하는 제 1 가동체 및 제 2 가동체를 구비하는 가이드부와, 제 1 가동체 및 제 2 가동체에 장착되어 투입되는 디스플레이 패널을 진공흡착하여 이송시킬 수 있는 제 1 스테이지 및 제 2 스테이지를 구비하는 클램핑부를 구비함으로써, 디스플레이패널을 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있어 검사결과의 정확도를 향상시킬 수 있고 디스플레이 패널을 정밀하게 배열시킬 수 있다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비의 작동상태를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 이송장치를 확대하여 나타낸 도면이며, 그리고 도 3은 도 2에 도시된 제 1 스테이지를 확대하여 나타낸 사시도이다.

도 1 및 2를 참조하면, 본 발명에 따른 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비(100)는 스캔섹션(scan section)(102), 리뷰섹션(review section)(104), 언로딩섹션(unloading section)(106) 및 검사하고자하는 디스플레이 패널(D)을 각각의 스캔섹션(scan section)(102), 리뷰섹션(review section)(104), 언로딩섹션(unloading section)(106) 측으로 안내하는 이송장치(110)를 구비한다.

이때, 이송장치(110)는 가이드부(112) 및 클램핑부(130)를 구비한다.

먼저, 가이드부(112)는 스캔섹션(102), 리뷰섹션(104) 및 언로드섹션(106)의 상부면 외곽측에 서로 마주보면서 연속되게 배치되는 제 1 가이드블록(114a) 및 제 2 가이드블록(114b)과, 제 1 가이드블록(114a) 및 제 2 가이드블록(114b) 사이에 배치되고 스캔섹션(102)의 일단에서부터 리뷰섹션(104)의 끝단까지 연장되는 고정체(120) 및 고정체(120)의 상부에 배치되는 제 1 가동체(122a)와 제 2 가동체(122b)를 구비한다. 이때, 제 1 가동체(122a) 및 제 2 가동체(122b)는 소정의 간격을 유지하며 배치된다. 이러한 제 1 가이드블록(114a) 및 제 2 가이드블록(114b)의 상부면 상에는 서로 대응하는 제 1 가이드레일(116a) 및 제 2 가이드레일(116b)이 제 1 가이드블록(114a) 및 제 2 가이드블록(114b)을 따라서 상측으로 수직하게 돌출 형성된다.

한편, 제 1 가이드블록(114a) 및 제 2 가이드블록(114b)의 하부와 스캔섹션(102), 리뷰섹션(104) 및 언로딩섹션(106)의 상부면 사이에는 다수의 진동절연체(118)가 배치된다. 바람직하게는, 스캔섹션(102) 및 리뷰섹션(104)의 상부면 상에는 고정체(120)의 간섭을 피하며 배치되고 상부면 상에는 포러스(porous) 구조의 면을 가지는 에어 글라이더(air glider)(124)가 다수 배치된다. 더욱 바람직하게는, 고정체(120) 및 제 1 가동체(122a)와 제 2 가동체(122b)는 통상의 리니어 모터(linear motor)를 채택한다. 이와 같이 형성된 가이드부(112)에는 클램핑부(130)가 배치된다.

클램핑부(130)는 제 1 스테이지(132a) 및 제 1 스테이지(132a)와 동일한 구성을 가지면서 제 1 스테이지(132a)와 이격되게 배치되는 제 2 스테이지(132b)를 구비한다. 이러한 제 1 스테이지(132a) 및 제 2 스테이지(132b)는 로터리 스테이지(rotary stage)(134a, 134b), 커넥팅 바아(connecting bar)(140a, 140b) 및 업다운 스테이지(up down stage)(146a, 146b)를 구비한다.

로터리 스테이지(134a, 134b)는 하부가 제 1 가동체(122a) 및 제 2가동체(122b)의 상부에 고정 배치되고 상부에는 회전원판(136a, 136b)이 배치된다. 이때, 로터리 스테이지(134a, 134b)의 일측에는 회전원판(136a, 136b)을 회전시키는 제 1 서보모터(138a, 138b)가 배치된다. 이와 같이 형성된 로터리 스테이지(134a, 134b)의 상부에는 커넥팅 바아(140a, 140b)가 배치되며, 커넥팅 바아(140a, 140b)의 양단에는 업다운 스테이지(146a, 146b)가 배치된다. 커넥팅 바아(140a, 140b)는 회전원판(136a, 136b)의 상부에서 제 1 가이드블록(114a) 및 제 2 가이드블록(114b) 측으로 연장된다. 이러한 커넥팅 바아(140a, 140b)의 각각의 연장부에는 상측으로 수직하게 연장되고 다시 커넥팅 바아(140a, 140b)의 외부 측으로 수직하게 절곡되는 안치플레이트(142a, 142b)가 고정 배치된다. 이때. 각각의 안치플레이트(142a, 142b)의 연장부에는 제 1 가이드레일(116a) 및 제 2 가이드레일(116b)은 내측면을 따라서 원활하게 이송될 수 있도록 에어 베어링(144a, 144b)이 각각 배치된다.

한편, 업다운 스테이지(146a, 146b)는 안치플레이트(142a, 142b)의 상부면 상에 배치된다. 이러한 업다운 스테이지(146a, 146b)에는 업다운 스테이지(146a, 146b)를 따라 상, 하로 이송되는 업다운 플레이트(148a, 148b) 및 업다운 플레이트(148a, 148b)의 상부면 상에 고정되는 진공판(152a, 152b)을 구비한다. 이때, 업다운 스테이지(146a, 146b)의 일측에는 업다운 플레이트(148a, 148b)와 연결되어 업다운 플레이트(148a, 148b)를 상, 하로 이송시키는 제 2 서보모터(150a, 150b)가 각각 배치된다. 한편, 진공판(152a, 152b)은 업다운 플레이트(148a, 148b)의 상부에서 커넥팅 바아(140a, 140b)에 대하여 수직하게 업다운 플레이트(148a,148b)의 양측으로 연장된다. 이러한 진공판(152a, 152b)의 상부면 상에는 다수의 흡착공(154a, 154b)이 형성된다. 바람직하게는, 제 1 스테이지(132a)는 스캔섹션(102) 구간을 왕복하며, 제 2 스테이지(132b)는 스캔섹션(102) 및 리뷰섹션(104)을 왕복한다.

하기에는 전술한 바와 같이 형성된 이송장치(110)의 작동상태를 간략하게 설명한다.

먼저, 상류장비에서 인라인 검사장비(100) 측으로 디스플레이 패널(D)을 전달하기 위해서 신호를 보내면 인라인 검사장비(100)의 이송장치(110)는 작동을 시작한다. 이때, 이송장치(110)의 제 1 스테이지(132a)는 인라인 검사장비(100)의 스캔섹션(102) 측으로 안내된 디스플레이 패널(D)의 하부면 측으로 삽입된다. 이와 같이 제 1 스테이지(132a)가 디스플레이 패널(D) 하부로 삽입되면, 제 2 서보모터(150a)는 구동하여 업다운 플레이트(148a)를 상측으로 이송시킨다. 이렇게 업다운 플레이트(148a)가 상측으로 이송함에 따라 진공판(152a)의 상부면은 디스플레이 패널(D) 하부면 상에 밀착하게된다. 이때, 흡착공(154a)을 통하여 흡착에어를 발생시켜 디스플레이 패널(D)을 진공판(152a)의 상부면 상에 흡착 고정시킨다. 이와 같이 제 1 스테이지(132a)에 흡착 고정된 디스플레이 패널(D)은 얼라인먼트 카메라(도시되지 않음)에 의해서 마크(mark)를 읽은 후 제 1 서보모터(138a)에 의해서 회전하는 회전원판(136a)에 의해서 디스플레이 패널(D)의 로터이션 에러(rotation error)(θ)를 보정 시킨다.

전술한 바와 같이 제 1 스테이지(132a) 상에서 위치가 보정된 디스플레이 패널(D)은 스캔섹션(102)으로 이송되어 스캔작업을 수행하게된다. 이때, 제 1 스테이지(132a)의 하부에 고정된 제 1 가동체(122a)는 고정체(120)를 따라서 스캔섹션(102) 영역을 이송하면서 스캔작업이 완료한다. 한편, 커넥팅 바아(140a)에 양단에 장착된 에어 베어링(144a)은 제 1 가이드레일(116a) 및 제 2 가이드레일(116b)을 따라서 안내된다. 이렇게 스캔섹션(102)에서 스캔작업이 완료되면, 제 1 스테이지(132a)의 진공판(152a)은 디스플레이 패널(D)의 고정을 해제한다. 이때, 흡착공(154a)에서는 흡착에어의 발생이 중단되고, 제 2 서보모터(150a)는 작동하여 업다운 플레이트(148a)를 하강시키며, 그 결과 진공판(152a)은 업다운 플레이트(148a)를 따라 하강하면서 디스플레이 패널(D)에서 이탈된다. 이렇게 스캔섹션(102)에서 스캔작업이 완료되어 제 1 스테이지(132a)에서 디스플레이 패널(D)이 이탈되면, 제 2 스테이지(132b)가 스캔작업이 완료된 디스플레이 패널(D)을 클램핑하게된다.

제 2 스테이지(132b)는 스캔작업이 완료된 디스플레이 패널(D)을 리뷰섹션(104) 측으로 이송하기 위해서 제 1 스테이지(132a)와 동일한 방법으로 디스플레이 패널(D)을 클램핑 한다. 이와 같이 제 2 스테이지(132b)에 클램핑된 디스플레이 패널(D)은 리뷰섹션(104) 측으로 이송되어 검사를 시작하게되고, 리뷰섹션(104)에서 검사가 완료되며, 제 2 스테이지(132b)는 언로딩섹션(106) 측으로 디스플레이 패널(D)을 이송시켜 디스플레이 패널(D)의 고정을 해제함과 동시에 디스플레이 패널(D)의 외부로 빠져나오게된다. 이때, 제 1 스테이지(132a)는 다시 또 다른 디스플레이 패널(D)을 클램핑하기 위해서 이송된다.

한편, 스캔섹션(102)과 리뷰섹션(104)으로 이송되는 디스플레이 패널(D)은 에어 글라이더(124)에 의해서 미세하게 부상하게 되어 디스플레이 패널(D) 반송 또는 로터이션 에러(θ)를 보정할 때 디스플레이 패널(D)에 작용하는 마찰을 해결할 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비(100)는 이송장치(110)를 종래 롤러에 의해서 이송되던 디스플레이 패널(D)을 진공판(152a, 152b)을 가지는 제 1 스테이지(132a) 및 제 2 스테이지(132b)를 구비함으로써, 스캔작업도중에 디스플레이 패널(D)의 위치가 틀어지는 문제점을 개선할 수 있어 검사결과의 정확도를 향상시킬 수 있는 잇점이 있다.

또한, 각각의 스테이지(132a, 132b)에 제 1 서보모터(138a, 138b) 및 제 2 서보모터(150a, 150b)를 구비함으로써, 각각의 진공판(152a, 152b)의 상부에 흡착고정된 디스플레이 패널(D)을 기구적으로 정밀하게 배열할 수 있어 통째의 이미지를 저장하여 디스플레이 패널(D)을 정렬할 필요가 없으므로 스캔작업과 동시에 리얼타임 이미지 프로세싱이 가능해짐으로써 검사시간이 대폭 향상되는 잇점이 있다.

한편, 이송장치(110)는 고정체(120)와 제 1 가동체(122a), 제 2 가동체(122b) 및 제 1 가이드블록(114a)과 제 2 가이드블록(114b)을 구비함으로써, 제 1 스테이지(132a) 및 제 2 스테이지(132b)를 스캔섹션(102) 및 리뷰섹션(104) 측으로 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있는 잇점이 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

스캔섹션(102), 리뷰섹션(104), 언로딩섹션(106) 및 검사하고자하는 디스플레이 패널(D)을 각각의 상기 스캔섹션(102), 상기 리뷰섹션(104) 및 상기 언로딩섹션(106) 측으로 안내하는 이송장치(110)를 구비하는 인라인 검사장비에 있어서,

상기 이송장치(110)는;

상기 스캔섹션(102), 상기 리뷰섹션(104) 및 상기 언로딩섹션(106)의 상부면 외곽측에서 서로 마주보면서 연속되게 배치되고 상부면 상에는 서로 대응하는 제 1 가이드레일(116a) 및 제 2 가이드레일(116b)이 상측으로 수직하게 돌출 형성되는 제 1 가이드블록(114a) 및 제 2 가이드블록(114b)과, 상기 제 1 가이드블록(114a) 및 상기 제 2 가이드블록(114b) 사이에서 상기 스캔섹션(102)의 일단에서부터 상기 리뷰섹션(104)의 끝단까지 연장되는 고정체(120) 및 상기 고정체(120)의 상부에 소정의 간격을 유지하며 상기 고정체(120)를 따라서 이송되는 제 1 가동체(122a) 및 제 2 가동체(122b)를 갖는 가이드부(112); 및

동일한 구성을 가지면서 상기 제 1 가동체(122a) 및 상기 제 2 가동체(122b)의 상부에 배치되어 투입되는 디스플레이 패널(D)을 진공흡착하여 상기 스캔섹션(102) 구간을 왕복이송하는 제 1 스테이지(132a) 및 마찬가지로 상기 스캔섹션(102)에서 스캔작업이 완료된 상기 디스플레이 패널(D)을 진공흡착하여 상기 리뷰섹션(104) 구간을 왕복이송하면서 상기 디스플레이 패널(D)을 상기 언로딩섹션(106) 측으로 이송시키는 제 2 스테이지(132b)를 갖는 클램핑부(130)를 포함하고, 상기 제 1 스테이지(132a) 및 상기 제 2 스테이지(132b)는 하부가 상기 제 1 가동체(122a) 및 상기 제 2 가동체(122b)에 각각 고정되고 상부에는 제 1 서보모터(138a, 138b)에 의해서 회전하는 회전원판(136a, 136b)이 배치되는 로터리 스테이지(134a, 134b)와, 상기 회전원판(136a, 136b)의 상부에 장착되어 상기 제 1 가이드블록(114a) 및 상기 제 2 가이드블록(114b) 측으로 수평하게 연장되고 연장부에는 상기 제 1 가이드레일(116a) 및 상기 제 2 가이드레일(116b)을 따라서 안내될 수 있도록 에어베이링(144a, 144b)이 장착된 안치플레이트(142a, 142b)를 구비하는 커넥팅 바아(140a, 140b)와, 상기 안치플레이트(142a, 142b)의 상부면 상에서 제 2 서보모터(150a, 150b)에 의해 수직하게 상하로 이송되는 업다운 플레이트(148a, 148b)가 내장되는 업다운 스테이지(146a, 146b)와, 상기 업다운 플레이트(148a, 148b)의 상부에서 상기 커넥팅 바아(140a, 140b)에 대하여 대향하게 상기 업다운 플레이트(148a, 148b)의 양측으로 연장되고 상부면 상에는 투입되는 상기 디스플레이 패널(D)을 흡착고정할 수 있도록 다수의 흡착공(154a, 154b)이 형성된 진공판(152a, 152b)이 구비되는 것을 특징으로 하는 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비.
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 가이드블록(114a) 및 상기 제 2 가이드블록(114b)의 하부와 상기 스캔섹션(102), 상기 리뷰섹션(104) 및 상기 언로딩섹션(106)의 상부면 사이에는 다수의 진동절연체(118)가 배치되는 것을 특징으로 하는 스테이지 방식을 이용한 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비.
삭제