JP2003237922A - ベルト張力付与機構及びベルト張力付与機構を備えた被検査体の搬送検査装置 - Google Patents
ベルト張力付与機構及びベルト張力付与機構を備えた被検査体の搬送検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、搬送ベルトの張力を一定に維持し、
且つ、搬送ベルトの実質的な全長を一定に維持すること
ができるベルト張力付与機構を提供する。 【解決手段】本発明のベルト張力付与機構４０は、搬送
ベルト２ａの移動に連動する連動保持部材４１と、この
連動保持部材４１に搬送ベルト２ａの搬送軌道に臨ませ
て一定間隔で設けた一対の案内プーリ４２ａ、４２ｂ
と、前記連動保持部材４１により搬送ベルト２ａの移動
方向とは直交する方向にスライド可能に保持されるとと
もに、一部が切断され一対の案内プーリ４２ａ、４２ｂ
を介して屈曲された搬送ベルト２ａの両切断端側を保持
した被引張部材４３と、前記連動保持部材４１、被引張
部材４３間に取り付けられ、被引張部材４３に常時引張
力を付与して前記搬送ベルト２ａの張力を堅張制御する
バネ材４４とを有するものである。
且つ、搬送ベルトの実質的な全長を一定に維持すること
ができるベルト張力付与機構を提供する。 【解決手段】本発明のベルト張力付与機構４０は、搬送
ベルト２ａの移動に連動する連動保持部材４１と、この
連動保持部材４１に搬送ベルト２ａの搬送軌道に臨ませ
て一定間隔で設けた一対の案内プーリ４２ａ、４２ｂ
と、前記連動保持部材４１により搬送ベルト２ａの移動
方向とは直交する方向にスライド可能に保持されるとと
もに、一部が切断され一対の案内プーリ４２ａ、４２ｂ
を介して屈曲された搬送ベルト２ａの両切断端側を保持
した被引張部材４３と、前記連動保持部材４１、被引張
部材４３間に取り付けられ、被引張部材４３に常時引張
力を付与して前記搬送ベルト２ａの張力を堅張制御する
バネ材４４とを有するものである。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、ベルト張力付与機
構及びベルト張力付与機構を備えた例えば液晶板等のよ
うな被検査体の搬送検査装置に関するものである。
構及びベルト張力付与機構を備えた例えば液晶板等のよ
うな被検査体の搬送検査装置に関するものである。
【従来の技術】従来、各種ディスプレイ装置等に使用さ
れる液晶基板の製作は、例えば７００ｍｍ×９００ｍｍ
のガラス基板上に６個の１４インチ又は１６インチのＴ
ＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を
張り合わせて、更にＣＦ（Ｃｏｌｏｒ Ｆｉｌｔｅｒ）
を張り合わせ、これを切り取って製作される。上記ＴＦ
Ｔは、５０万×３個（Ｒ，Ｇ，Ｂ三色）のトランジスタ
ー群によって構成される。そして、上記ＴＦＴの欠陥検
査は、一つの大きさがぼ２０μｍ位で、７００ｍｍの寸
法の中で３６，０００点を検査することになる。このよ
うな検査は、従来における被検査体の搬送検査装置を示
す図６に示すように、通常図示しないプーリに架け渡さ
れ循環する搬送ベルト（タイミングベルト）５１により
３０ｃｍ／ｓｅｃ程度の速度で矢印方向に搬送される途
中でガラス基板（ワーク）５０に対する光源６１とリニ
アＣＣＤ（例えば８個使用）６２を用いた検査手段によ
り４０ＭＢ／ｓｅｃ程度の取り込み速度による画像取り
込み処理によって行われる。ガラス基板５０は搬送ベル
ト５１により搬送される際に、搬送ベルト５１に連動す
るように設けた把持体（チャック）５２により搬送方向
に沿う両端縁部を把持されて位置決めされつつ搬送され
る。また、搬送ベルト５１に連動する把持体５２は通常
搬送ベルト５１の全長を２分割する配置で２個設けられ
る。
れる液晶基板の製作は、例えば７００ｍｍ×９００ｍｍ
のガラス基板上に６個の１４インチ又は１６インチのＴ
ＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を
張り合わせて、更にＣＦ（Ｃｏｌｏｒ Ｆｉｌｔｅｒ）
を張り合わせ、これを切り取って製作される。上記ＴＦ
Ｔは、５０万×３個（Ｒ，Ｇ，Ｂ三色）のトランジスタ
ー群によって構成される。そして、上記ＴＦＴの欠陥検
査は、一つの大きさがぼ２０μｍ位で、７００ｍｍの寸
法の中で３６，０００点を検査することになる。このよ
うな検査は、従来における被検査体の搬送検査装置を示
す図６に示すように、通常図示しないプーリに架け渡さ
れ循環する搬送ベルト（タイミングベルト）５１により
３０ｃｍ／ｓｅｃ程度の速度で矢印方向に搬送される途
中でガラス基板（ワーク）５０に対する光源６１とリニ
アＣＣＤ（例えば８個使用）６２を用いた検査手段によ
り４０ＭＢ／ｓｅｃ程度の取り込み速度による画像取り
込み処理によって行われる。ガラス基板５０は搬送ベル
ト５１により搬送される際に、搬送ベルト５１に連動す
るように設けた把持体（チャック）５２により搬送方向
に沿う両端縁部を把持されて位置決めされつつ搬送され
る。また、搬送ベルト５１に連動する把持体５２は通常
搬送ベルト５１の全長を２分割する配置で２個設けられ
る。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の被検査体の位置決め搬送装置は、ガラス基板５
０の搬送に搬送ベルト５１を設けており、この搬送ベル
ト５１は使用時間の経過とともに伸びるため、搬送ベル
ト５１の張力が低下してガラス基板５０の搬送に支障が
生じてしまう。このため、従来においては図７に示すよ
うに搬送ベルト５１に張力プーリ６１を接触させ、この
張力プーリ６１をバネ６２により引っ張って搬送ベルト
５１の張力を一定に維持するような張力付与機構を設け
る試みもなされている。しかし、図７に示す張力付与機
構の場合、搬送ベルト５１の使用時間の経過に伴う伸び
による張力低下を、張力プーリ６１、バネ６２の引張作
用で吸収し、搬送ベルト５１の張力を一定に維持するも
のであるため、搬送ベルト５１の伸びによって搬送ベル
ト５１の全長を２分割した寸法と２個の把持体５２間の
間隔とが一致しなくなり、この結果、ガラス基板５０の
受け入れ時の把持体５２の把持動作を正常に行うことが
できなくなるという不都合があった。本発明は、上記事
情に鑑みてなされたものであり、搬送ベルトの張力を一
定に維持し、且つ、搬送ベルトの実質的な全長を一定に
維持することができるベルト張力付与機構及びベルト張
力付与機構を備えた例えば液晶板等のような被検査体の
搬送検査装置を提供するものである。
た従来の被検査体の位置決め搬送装置は、ガラス基板５
０の搬送に搬送ベルト５１を設けており、この搬送ベル
ト５１は使用時間の経過とともに伸びるため、搬送ベル
ト５１の張力が低下してガラス基板５０の搬送に支障が
生じてしまう。このため、従来においては図７に示すよ
うに搬送ベルト５１に張力プーリ６１を接触させ、この
張力プーリ６１をバネ６２により引っ張って搬送ベルト
５１の張力を一定に維持するような張力付与機構を設け
る試みもなされている。しかし、図７に示す張力付与機
構の場合、搬送ベルト５１の使用時間の経過に伴う伸び
による張力低下を、張力プーリ６１、バネ６２の引張作
用で吸収し、搬送ベルト５１の張力を一定に維持するも
のであるため、搬送ベルト５１の伸びによって搬送ベル
ト５１の全長を２分割した寸法と２個の把持体５２間の
間隔とが一致しなくなり、この結果、ガラス基板５０の
受け入れ時の把持体５２の把持動作を正常に行うことが
できなくなるという不都合があった。本発明は、上記事
情に鑑みてなされたものであり、搬送ベルトの張力を一
定に維持し、且つ、搬送ベルトの実質的な全長を一定に
維持することができるベルト張力付与機構及びベルト張
力付与機構を備えた例えば液晶板等のような被検査体の
搬送検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明のベ
ルト張力付与機構は、搬送ベルトの移動に連動する連動
保持部材と、この連動保持部材に搬送ベルトの搬送軌道
に臨ませて一定間隔で設けた一対の案内プーリと、前記
連動保持部材により搬送ベルトの移動方向とは直交する
方向にスライド可能に保持されるとともに、一部が切断
され一対の案内プーリを介して屈曲された搬送ベルトの
両切断端側を保持した被引張部材と、前記連動保持部
材、被引張部材間に取り付けられ、被引張部材に常時引
張力を付与して前記搬送ベルトの張力を堅張制御するバ
ネ材とを有することを特徴とするものである。請求項１
記載の発明によれば、前記バネ材により被引張部材に常
時引張力を付与することで、両切断端側を一定間隔で設
けた一対の案内プーリにより屈曲させ被引張部材により
保持されている搬送ベルトの張力を一定に維持し、且
つ、搬送ベルトの実質的な全長を一定に維持することが
できるベルト張力付与機構を提供できる。請求項２記載
の発明は、矩形状の被検査体を搬送ベルトを用いた搬送
手段により搬送しつつ検査光学系を用いて前記被検査体
を走査することにより被検査体の欠縮検査を行う被検査
体の搬送検査装置であって、前記搬送ベルトの移動に連
動する連動保持部材と、この連動保持部材に搬送ベルト
の搬送軌道に臨ませて一定間隔で設けた一対の案内プー
リと、前記連動保持部材により搬送ベルトの移動方向と
は直交する方向にスライド可能に保持されるとともに、
一部が切断され一対の案内プーリを介して屈曲された搬
送ベルトの両切断端側を保持した被引張部材と、前記連
動保持部材、被引張部材間に取り付けられ、被引張部材
に常時引張力を付与して前記搬送ベルトの張力を堅張制
御するバネ材とを有するベルト張力付与機構を備えたこ
とを特徴とするものである。請求項２記載の発明によれ
ば、上述した作用を発揮するベルト張力付与機構を設け
たことにより、搬送ベルトの張力を常に一定に維持し、
且つ、搬送ベルトの実質的な全長を一定に維持すること
ができるので、搬送手段上に受け入れた例えば液晶板の
ような被検査体の位置決め搬送を常に安定して行うこと
が可能となる。
ルト張力付与機構は、搬送ベルトの移動に連動する連動
保持部材と、この連動保持部材に搬送ベルトの搬送軌道
に臨ませて一定間隔で設けた一対の案内プーリと、前記
連動保持部材により搬送ベルトの移動方向とは直交する
方向にスライド可能に保持されるとともに、一部が切断
され一対の案内プーリを介して屈曲された搬送ベルトの
両切断端側を保持した被引張部材と、前記連動保持部
材、被引張部材間に取り付けられ、被引張部材に常時引
張力を付与して前記搬送ベルトの張力を堅張制御するバ
ネ材とを有することを特徴とするものである。請求項１
記載の発明によれば、前記バネ材により被引張部材に常
時引張力を付与することで、両切断端側を一定間隔で設
けた一対の案内プーリにより屈曲させ被引張部材により
保持されている搬送ベルトの張力を一定に維持し、且
つ、搬送ベルトの実質的な全長を一定に維持することが
できるベルト張力付与機構を提供できる。請求項２記載
の発明は、矩形状の被検査体を搬送ベルトを用いた搬送
手段により搬送しつつ検査光学系を用いて前記被検査体
を走査することにより被検査体の欠縮検査を行う被検査
体の搬送検査装置であって、前記搬送ベルトの移動に連
動する連動保持部材と、この連動保持部材に搬送ベルト
の搬送軌道に臨ませて一定間隔で設けた一対の案内プー
リと、前記連動保持部材により搬送ベルトの移動方向と
は直交する方向にスライド可能に保持されるとともに、
一部が切断され一対の案内プーリを介して屈曲された搬
送ベルトの両切断端側を保持した被引張部材と、前記連
動保持部材、被引張部材間に取り付けられ、被引張部材
に常時引張力を付与して前記搬送ベルトの張力を堅張制
御するバネ材とを有するベルト張力付与機構を備えたこ
とを特徴とするものである。請求項２記載の発明によれ
ば、上述した作用を発揮するベルト張力付与機構を設け
たことにより、搬送ベルトの張力を常に一定に維持し、
且つ、搬送ベルトの実質的な全長を一定に維持すること
ができるので、搬送手段上に受け入れた例えば液晶板の
ような被検査体の位置決め搬送を常に安定して行うこと
が可能となる。
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
１乃至図５を参照して詳細に説明する。図１は、本発明
に係る実施の形態のベルト張力付与機構４０を含む被検
査体１０の搬送検査装置１の概略構成を示すものであ
り、この被検査体１０の搬送検査装置１は、例えば矩形
状の液晶板形成用の被検査体１０を、搬送手段である一
対の無端の搬送ベルト（タイミングベルト）２ａ、２ｂ
及び図示しないプーリを用いた搬送コンベア２により搬
送し、光源３及びラインＣＣＤ（ラインセンサ）４を有
する検査光学系を用いて前記被検査体１０の被検査体面
（以下「検査面」という）を走査することにより、この
検査面に設けられているＴＦＴ等の液晶部の欠陥検査を
行うようになっている。前記搬送コンベア２による被検
査体１０の搬送方向中央部位置（搬送コンベア２の幅寸
法をＬとすると、Ｌ／２となる位置）には、前記被検査
体１０の搬入位置から搬出位置に至るまでこの被検査体
１０の搬送方向先端縁に設けられている掴みしろを位置
決め把持する把持手段を構成する把持体５を取付板２
３、連結板２４を用いて取り付けている。本実施の形態
ではこの把持体５は、例えば搬送コンベア２の全周長を
２分割する位置に合計２箇所取り付けている。また、光
源３からラインＣＣＤ４への検査光路を妨げない配置で
取り付けている。前記搬送コンベア２の前段には、被検
査体１０用の搬入ローラコンベア３１が設けられ、前記
搬送コンベア２の後段には、被検査体１０用の搬出ロー
ラコンベア３２が設けられている。更に、前記搬送ベル
ト２ａ、２ｂには、各々図５に拡大して示すベルト張力
付与機構４０を設けている。このベルト張力付与機構４
０は、前記搬送ベルト２ａの移動に連動する矩形状の連
動保持部材４１と、この連動保持部材４１の一端側に搬
送ベルト２ａの搬送軌道に臨ませて一定間隔で設けた一
対の案内プーリ４２ａ、４２ｂと、前記連動保持部材４
１により搬送ベルト２ａの移動方向とは直交する方向に
スライド可能に保持されるとともに、一部が切断され一
対の案内プーリ４２ａ、４２ｂを介して屈曲された搬送
ベルト２ａの両切断端２ａ１、２ａ２側を保持した被引
張部材４３と、前記連動保持部材４１の他端部と、被引
張部材４３との間に取り付けられ、被引張部材４３に常
時図５に示す矢印方向の引張力を付与して前記搬送ベル
ト２ａの張力を堅張制御する一対のバネ材４４とを有し
ている。被引張部材４３は、連動保持部材４１に沿って
配置したスライド板４５、スライド体４６に設けたスラ
イド穴４７に、前記連動保持部材４１から突出させた固
定ピン４８を嵌装させ、スライド板４５、スライド体４
６を搬送ベルト２ａの搬送軌道方向と直交する方向にス
ライド可能とするとともに、一部が切断され一対の案内
プーリ４２ａ、４２ｂを介して屈曲された搬送ベルト２
ａの両切断端２ａ１、２ａ２を押し当て片４８、ボルト
４９を用いてスライド体４６の両壁面に押圧固定してい
る。被引張部材４３を構成するスライド板４５の他端側
と連動保持部材４１の他端側との間には前記一対のバネ
材４４を取り付けている。更に、スライド板４５上のス
ライド体４６の他端側（スライド穴４７とは反対側）に
は、張力微調整用の調整ボルト４９Ａのネジ部が螺合さ
れ、調整ボルト４９Ａの頭部側は支持板３９により定位
置に支持されて、調整ボルト４９Ａの頭部を回すことに
よりスライド体４６のみをスライド穴４７に沿ってスラ
イドさせ搬送ベルト２ａの張力微調整を行うようになっ
ている。上述したベルト張力付与機構４０を含む搬送検
査装置１の作用を以下に説明する。搬入側ローラコンベ
ア３１により次々とタイミング良く運び込こまれる被検
査体１０は、搬送コンベア２の搬送ベルト２ａ、２ｂに
受け渡され（図２）、このとき、所定のタイミングで前
記把持体５により搬送方向中央部位置の掴みしろの部分
を把持されて位置決めされる。つまり、搬入側ローラコ
ンベア３１から押し出される力で、液晶板形成用の被検
査体１０の搬送方向中央部位置の掴みしろの部分が把持
体５に挟まれるような形態となる。そして、搬送コンベ
ア２の搬送ベルト２ａ、２ｂの矢印方向への移動ととも
に把持体５も被検査体１０を把持しつつ移動し、光源３
からラインＣＣＤ４への検査光路を通過し（図３）、欠
陥検査工程が終了した後、図４に示す位置よりも少し先
の位置である搬出端において把持体５は被検査体１０を
自動的に解放し、これにより、被検査体１０は搬出ロー
ラコンベア３２へ搬出され、次工程へと運ばれる。この
後把持体５は一定軌道を循環する。このようにして、本
実施の形態に係る搬送検査装置１によれば、被検査体１
０の位置決め搬送を迅速、且つ、円滑に行ない、前記従
来例のような被検査体１０の後戻し処理等が不要とな
り、欠陥検査工程終了後、自動的に次工程へ搬出でき、
この結果、検査時間を大幅に短縮できる。また、上述し
た搬送コンベア２の搬送ベルト２ａには既述した構成の
ベルト張力付与機構４０が設けられているので、使用時
間の経過とともに搬送ベルト２ａが伸びた場合でも、前
記一対のバネ材４４の引張力が常時被引張部材４３を搬
送コンベア２の搬送軌道と直交する方向に引っ張り、搬
送コンベア２の搬送ベルト２ａに緊張力を付与すること
になり、搬送ベルト２ａの張力を一定に維持し、且つ、
一定間隔に保たれている一対の案内プーリ４２ａ、４２
ｂを介して屈曲された搬送ベルト２ａの実質的な全長も
一定に維持することがでる。他方の搬送ベルト２ｂ側の
ベルト張力付与機構４０の作用も同様である。この結
果、前記一対の把持体５の間隔も常に一定に保つことが
でき、被検査体１０の安定した位置決め搬送を実現でき
る。
１乃至図５を参照して詳細に説明する。図１は、本発明
に係る実施の形態のベルト張力付与機構４０を含む被検
査体１０の搬送検査装置１の概略構成を示すものであ
り、この被検査体１０の搬送検査装置１は、例えば矩形
状の液晶板形成用の被検査体１０を、搬送手段である一
対の無端の搬送ベルト（タイミングベルト）２ａ、２ｂ
及び図示しないプーリを用いた搬送コンベア２により搬
送し、光源３及びラインＣＣＤ（ラインセンサ）４を有
する検査光学系を用いて前記被検査体１０の被検査体面
（以下「検査面」という）を走査することにより、この
検査面に設けられているＴＦＴ等の液晶部の欠陥検査を
行うようになっている。前記搬送コンベア２による被検
査体１０の搬送方向中央部位置（搬送コンベア２の幅寸
法をＬとすると、Ｌ／２となる位置）には、前記被検査
体１０の搬入位置から搬出位置に至るまでこの被検査体
１０の搬送方向先端縁に設けられている掴みしろを位置
決め把持する把持手段を構成する把持体５を取付板２
３、連結板２４を用いて取り付けている。本実施の形態
ではこの把持体５は、例えば搬送コンベア２の全周長を
２分割する位置に合計２箇所取り付けている。また、光
源３からラインＣＣＤ４への検査光路を妨げない配置で
取り付けている。前記搬送コンベア２の前段には、被検
査体１０用の搬入ローラコンベア３１が設けられ、前記
搬送コンベア２の後段には、被検査体１０用の搬出ロー
ラコンベア３２が設けられている。更に、前記搬送ベル
ト２ａ、２ｂには、各々図５に拡大して示すベルト張力
付与機構４０を設けている。このベルト張力付与機構４
０は、前記搬送ベルト２ａの移動に連動する矩形状の連
動保持部材４１と、この連動保持部材４１の一端側に搬
送ベルト２ａの搬送軌道に臨ませて一定間隔で設けた一
対の案内プーリ４２ａ、４２ｂと、前記連動保持部材４
１により搬送ベルト２ａの移動方向とは直交する方向に
スライド可能に保持されるとともに、一部が切断され一
対の案内プーリ４２ａ、４２ｂを介して屈曲された搬送
ベルト２ａの両切断端２ａ１、２ａ２側を保持した被引
張部材４３と、前記連動保持部材４１の他端部と、被引
張部材４３との間に取り付けられ、被引張部材４３に常
時図５に示す矢印方向の引張力を付与して前記搬送ベル
ト２ａの張力を堅張制御する一対のバネ材４４とを有し
ている。被引張部材４３は、連動保持部材４１に沿って
配置したスライド板４５、スライド体４６に設けたスラ
イド穴４７に、前記連動保持部材４１から突出させた固
定ピン４８を嵌装させ、スライド板４５、スライド体４
６を搬送ベルト２ａの搬送軌道方向と直交する方向にス
ライド可能とするとともに、一部が切断され一対の案内
プーリ４２ａ、４２ｂを介して屈曲された搬送ベルト２
ａの両切断端２ａ１、２ａ２を押し当て片４８、ボルト
４９を用いてスライド体４６の両壁面に押圧固定してい
る。被引張部材４３を構成するスライド板４５の他端側
と連動保持部材４１の他端側との間には前記一対のバネ
材４４を取り付けている。更に、スライド板４５上のス
ライド体４６の他端側（スライド穴４７とは反対側）に
は、張力微調整用の調整ボルト４９Ａのネジ部が螺合さ
れ、調整ボルト４９Ａの頭部側は支持板３９により定位
置に支持されて、調整ボルト４９Ａの頭部を回すことに
よりスライド体４６のみをスライド穴４７に沿ってスラ
イドさせ搬送ベルト２ａの張力微調整を行うようになっ
ている。上述したベルト張力付与機構４０を含む搬送検
査装置１の作用を以下に説明する。搬入側ローラコンベ
ア３１により次々とタイミング良く運び込こまれる被検
査体１０は、搬送コンベア２の搬送ベルト２ａ、２ｂに
受け渡され（図２）、このとき、所定のタイミングで前
記把持体５により搬送方向中央部位置の掴みしろの部分
を把持されて位置決めされる。つまり、搬入側ローラコ
ンベア３１から押し出される力で、液晶板形成用の被検
査体１０の搬送方向中央部位置の掴みしろの部分が把持
体５に挟まれるような形態となる。そして、搬送コンベ
ア２の搬送ベルト２ａ、２ｂの矢印方向への移動ととも
に把持体５も被検査体１０を把持しつつ移動し、光源３
からラインＣＣＤ４への検査光路を通過し（図３）、欠
陥検査工程が終了した後、図４に示す位置よりも少し先
の位置である搬出端において把持体５は被検査体１０を
自動的に解放し、これにより、被検査体１０は搬出ロー
ラコンベア３２へ搬出され、次工程へと運ばれる。この
後把持体５は一定軌道を循環する。このようにして、本
実施の形態に係る搬送検査装置１によれば、被検査体１
０の位置決め搬送を迅速、且つ、円滑に行ない、前記従
来例のような被検査体１０の後戻し処理等が不要とな
り、欠陥検査工程終了後、自動的に次工程へ搬出でき、
この結果、検査時間を大幅に短縮できる。また、上述し
た搬送コンベア２の搬送ベルト２ａには既述した構成の
ベルト張力付与機構４０が設けられているので、使用時
間の経過とともに搬送ベルト２ａが伸びた場合でも、前
記一対のバネ材４４の引張力が常時被引張部材４３を搬
送コンベア２の搬送軌道と直交する方向に引っ張り、搬
送コンベア２の搬送ベルト２ａに緊張力を付与すること
になり、搬送ベルト２ａの張力を一定に維持し、且つ、
一定間隔に保たれている一対の案内プーリ４２ａ、４２
ｂを介して屈曲された搬送ベルト２ａの実質的な全長も
一定に維持することがでる。他方の搬送ベルト２ｂ側の
ベルト張力付与機構４０の作用も同様である。この結
果、前記一対の把持体５の間隔も常に一定に保つことが
でき、被検査体１０の安定した位置決め搬送を実現でき
る。
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、搬送ベル
トの張力を一定に維持し、且つ、搬送ベルトの実質的な
全長を一定に維持することができるベルト張力付与機構
を提供できる。請求項２記載の発明によれば、搬送ベル
トの張力を常時一定に維持し、且つ、搬送ベルトの実質
的な全長を一定に維持することができるので、搬送手段
上に受け入れた例えば液晶板のような被検査体の位置決
め搬送を常に安定して行うことが可能となる被検査体の
搬送検査装置を提供できる。
トの張力を一定に維持し、且つ、搬送ベルトの実質的な
全長を一定に維持することができるベルト張力付与機構
を提供できる。請求項２記載の発明によれば、搬送ベル
トの張力を常時一定に維持し、且つ、搬送ベルトの実質
的な全長を一定に維持することができるので、搬送手段
上に受け入れた例えば液晶板のような被検査体の位置決
め搬送を常に安定して行うことが可能となる被検査体の
搬送検査装置を提供できる。
【図１】本発明の実施の形態の被検査体の搬送検査装置
の概略構成を示す斜視図である。
の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬入時
の動作説明図である。
の動作説明図である。
【図３】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬送途
中の動作説明図である。
中の動作説明図である。
【図４】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬出直
前の動作説明図である。
前の動作説明図である。
【図５】本実施の形態のベルト張力付与機構の拡大正面
図である。
図である。
【図６】従来の被検査体の搬送検査装置の構成を示す概
略平面図である。
略平面図である。
【図７】従来のベルト張力付与機構の概略図である。
１ 搬送検査装置
２ 搬送コンベア
２ａ 搬送ベルト
２ｂ 搬送ベルト
３ 光源
４ ラインＣＣＤ
５ 把持体
１０ 被検査体
３１ 搬入ローラコンベア
３２ 搬出ローラコンベア
４０ ベルト張力付与機構
４１ 連動保持部材
４２ａ 案内プーリ
４２ｂ 案内プーリ
４３ 被引張部材
４４ バネ材
４５ スライド板
４６ スライド体
４７ スライド穴
Claims (2)
- 【請求項１】搬送ベルトの移動に連動する連動保持部材
と、 この連動保持部材に搬送ベルトの搬送軌道に臨ませて一
定間隔で設けた一対の案内プーリと、 前記連動保持部材により搬送ベルトの移動方向とは直交
する方向にスライド可能に保持されるとともに、一部が
切断され一対の案内プーリを介して屈曲された搬送ベル
トの両切断端側を保持した被引張部材と、 前記連動保持部材、被引張部材間に取り付けられ、被引
張部材に常時引張力を付与して前記搬送ベルトの張力を
堅張制御するバネ材とを有することを特徴とするベルト
張力付与機構。 - 【請求項２】矩形状の被検査体を搬送ベルトを用いた搬
送手段により搬送しつつ検査光学系を用いて前記被検査
体を走査することにより被検査体の欠縮検査を行う被検
査体の搬送検査装置であって、 前記搬送ベルトの移動に連動する連動保持部材と、 この連動保持部材に搬送ベルトの搬送軌道に臨ませて一
定間隔で設けた一対の案内プーリと、 前記連動保持部材により搬送ベルトの移動方向とは直交
する方向にスライド可能に保持されるとともに、一部が
切断され一対の案内プーリを介して屈曲された搬送ベル
トの両切断端側を保持した被引張部材と、 前記連動保持部材、被引張部材間に取り付けられ、被引
張部材に常時引張力を付与して前記搬送ベルトの張力を
堅張制御するバネ材とを有するベルト張力付与機構を備
えたことを特徴とする被検査体の搬送検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002038763A JP2003237922A (ja) | 2002-02-15 | 2002-02-15 | ベルト張力付与機構及びベルト張力付与機構を備えた被検査体の搬送検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002038763A JP2003237922A (ja) | 2002-02-15 | 2002-02-15 | ベルト張力付与機構及びベルト張力付与機構を備えた被検査体の搬送検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003237922A true JP2003237922A (ja) | 2003-08-27 |
Family
ID=27779992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002038763A Pending JP2003237922A (ja) | 2002-02-15 | 2002-02-15 | ベルト張力付与機構及びベルト張力付与機構を備えた被検査体の搬送検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003237922A (ja) |
-
2002
- 2002-02-15 JP JP2002038763A patent/JP2003237922A/ja active Pending
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