JPH10181862A - 橋渡搬送装置 - Google Patents

橋渡搬送装置

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JPH10181862A
JPH10181862A JP8344707A JP34470796A JPH10181862A JP H10181862 A JPH10181862 A JP H10181862A JP 8344707 A JP8344707 A JP 8344707A JP 34470796 A JP34470796 A JP 34470796A JP H10181862 A JPH10181862 A JP H10181862A
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substrate
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screw shaft
carrier
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興衛 谷
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送物の検査等を機械的な流れ作業で行うこ
とにより作業能率を向上させ、コスト低下を図ることが
できる橋渡搬送装置を提供する。 【解決手段】 矩形のベース1と、ベース1上に長手方
向へ往復移動可能に載置された矩形の搬送台2と、搬送
台2に固定した側板3,4の一方を固定するとともに、
側板の他方4を一方の側板3と平行に移動可能に形成し
て搬送物7のサイズに合わせる間隔調節機構6と、側板
3,4の両方の上部にそれぞれ複数個整列して搬送台2
の長手方向全域に軸支した複数のローラ48,48a及
びそれらに捲回された平ベルト47,47aからなる転
送機構8と、側板3,4の長手方向略中央部で搬送物7
を抑えて静止させる圧接板52,52を有する空圧シリ
ンダ50,50とからなる搬送物停止機構9と、搬送台
2及び転送機構8を駆動する駆動機構21,44とから
構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は橋渡搬送装置に関
し、特に、二つの搬送ラインの端末と端頭間に配置され
て前ラインから移送された搬送物を受け取り、これを一
時保留して必要な作業を行い、その後該搬送物を後ライ
ンに移送する橋渡搬送ラインとして使用する橋渡搬送装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】プリント基板をスクリーン印刷する工程
においては、ベルトコンベアで搬送されて来る基板を検
査する工程が必要であり、この検査は印刷前に基板の認
識マークを識別することが含まれ、これはスクリーン版
を所定の位置に載置し、精確な位置にスクリーン印刷を
施すために欠かせない大切な作業であり、また、印刷終
了後の基板につき印刷精度を顕微鏡等で検査することも
含まれ、これまた不良品を未然に防止するために欠かせ
ない大切な作業である。
【0003】従来、これらの検査のために、基板を搬送
する一つのベルトコンベアの端末にガイドスロープを形
成して基板が前後に密接して列をなす状態で移動させつ
つ、その移動の先端部側で手作業により一つ一つ基板を
取り上げて検査し、検査終了した基板を更に次工程への
ベルトコンベアに一つ一つ手作業で載せて橋渡ししてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、手作業
で基板を一つ一つ取り上げて検査するのでは作業能率が
向上しないのは勿論のこと、基板の搬送が滞り堆積する
ことや手作業で基板を取り上げることにより印刷面が損
傷して印刷不良を生じる等の問題が生じ、基板のコスト
アップを招いている。
【0005】そこで、この発明は基板等の搬送物の検査
等を機械的な流れ作業で行うことにより作業能率を向上
させ、コスト低下を図ることができる橋渡搬送装置を提
供する。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる橋渡搬
送装置は、請求項1によれば、二つの搬送ラインの端末
と端頭間に配置されて前ラインから移送された搬送物を
受け取り、これを一時保留して必要な作業を行い、その
後該搬送物を後ラインに移送する橋渡搬送ラインであっ
て、ラインに合わせて整列できるベース上に搬送台を前
後のラインと略同じ面で往復移動可能に載置し、かつ、
該搬送台の上面に平ベルトを捲回したローラをラインに
合わせて並列するとともに、該搬送台の略中央部で搬送
物を抑えて静止させるクランプを設けてなることを特徴
とする。
【0007】したがって、二つの搬送ライン間に配置し
てその一方の搬送ラインから搬送物を受け取り、一時保
留して必要な検査等をした後、他方の搬送ラインへと移
送する機械的な橋渡しの搬送ラインができる。
【0008】請求項2によれば、矩形のベースと、該ベ
ース上に長手方向へ往復移動可能に載置された矩形の搬
送台と、該搬送台に固定した側板の一方を固定するとと
もに、側板の他方を一方の側板と平行に移動可能に形成
して搬送物のサイズに合わせる間隔調節機構と、該側板
の両方の上部にそれぞれ複数個整列して搬送台の長手方
向全域に軸支した複数のローラ及びそれらに捲回された
平ベルトからなる転送機構と、該側板の長手方向略中央
部で搬送物を抑えて静止させるクランプからなる搬送物
停止機構と、前記搬送台及び転送機構を駆動する駆動機
構とからなることを特徴とする。
【0009】したがって、橋渡搬送装置が受け取るべき
搬送物のサイズに合わせて転送機構を調節することがで
き、搬送物を搬送台に一時保留することができる。
【0010】請求項3によれば、前記間隔調節機構は、
前記他方の側板をレールを介し搬送台上面を一方の側板
に対し平行で進退移動可能に設け、かつ、スクリュウシ
ャフトの一端部を一方の側板に回転可能に軸支するとと
もに、他端部を他方の側板にナットを介してねじ係合さ
せ、かつ、他方の側板の外方に突出させた前記スクリュ
ウシャフトの端部に手動で回転操作するツマミを取り付
けてなることを特徴とする。
【0011】したがって、スクリュウシャフトを手動で
回転操作すれば、側板が移動して側板間の間隔寸法を調
節できる。
【0012】請求項4によれば、前記間隔調節機構は、
前記他方の側板をレールを介し搬送台上面を一方の側板
に対し平行で進退移動可能に設け、かつ、スクリュウシ
ャフトの一端部を一方の側板に回転可能に軸支するとと
もに、他端部を他方の側板にナットを介してねじ係合さ
せ、かつ、他方の側板の外方に突出させた前記スクリュ
ウシャフトの端部に手動で回転操作するツマミを取り付
けるとともに、該ツマミに電磁クラッチを介して断続可
能な回転体を前記スクリュウシャフトに遊嵌してなるこ
とを特徴とする。
【0013】請求項5によれば、前記転送機構は、前記
一方の側板に一端部を回転可能に軸支したスプラインシ
ャフトを回転駆動源を介して回転可能に配置し、該スプ
ラインシャフトの他端部をキー溝を有する円板を回転可
能に支承した軸受を介し前記他方の側板に移動可能に係
合し、該スプラインシャフトに軸着したプーリに捲回し
たプーリベルトを電動モータの出力車に捲回して前記平
ベルト及びローラが駆動されるようにしたことを特徴と
する。
【0014】したがって、搬送ラインから受け取るべき
搬送物のサイズに合わせて側板間の間隔寸法を調節して
も、搬送物の側端部がプーリに載置されて次の搬送ライ
ンに転送できる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図に
基づき説明する。図1に示すように、適宜の支持台に載
置固定される矩形のベース1に矩形の搬送台2が矢示イ
の長手方向へ移動可能に載置され、搬送台2には長手方
向両側に側板3,4が設けられ、その一方は固定し、他
方は矢示ロの幅方向へ移動可能にする間隔調節機構6を
有している。側板3,4にはそれぞれ平ベルト47,4
7aで回転するローラ48,48aが相対向して設けら
れ、平ベルト47,47aの上に基板7の側端部が載置
されて移動する転送機構8が設けられている。側板3,
4の略中央部にはクランプ50,50が設けられ、これ
により基板7を搬送台2上に静止させる搬送物停止機構
9が設けられている。
【0016】すなわち、図2〜図6に示すように、ベー
ス1は一対の長枠片10,10の両端部に短枠片11,
11と台座12,12を結合したもので、台座12,1
2間には一対のレール13,13が長手方向に橋架され
ている。レール13,13間にはそれらと平行にタイミ
ングベルト14がエンドレスで、その一端側にスプロケ
ット15及び他端側にスプロケット16を介して回動可
能に支持されている。タイミングベルト14は搬送台2
の底面に締付金具17(図3,5参照)で連結されてい
る。スプロケット15は側板3,4に両端部を回転可能
に軸支したシャフト18に、また、スプロケット16は
同じく側板3,4に両端部を回転可能に軸支したシャフ
ト19に、それぞれ一体回転可能に結合されている。
【0017】シャフト19は側板4から突出させた端部
に、プーリ20が結合され、この近傍にサーボモーター
等の電動モータ21を固定したブラケット22を固定し
てその出力車23とプーリ20にプーリベルト24を捲
回し、電動モータ21の駆動によりシャフト19が回転
し、スプロケット16が回転してタイミングベルト14
が回動し、これにより搬送台2が長手方向へ移動でき
る。搬送台2の底面にはレール13,13に跨座するス
ライダー25,25が設けられ、スライダー25,25
はベアリングを有してレール13との間の摺動抵抗を少
なくしてある。
【0018】搬送台2はベース1と略同じ幅で所定長さ
の方形板の上面に、一側で側板3を固定して立設し、長
手方向の両端部付近に平行なレール30,30を固定
し、これらのレール30,30に係合するスライダー3
1,31に側板4を結合して側板3に対し往復移動可能
に設けたものである。そして、側板3,4の一端側にス
クリュウシャフト32の一端部が側板3に固定した筒軸
32aに抜け止めして回転可能に、他端部が側板4に固
定したナット33にねじ係合して移動可能に、それぞれ
設けられて間隔調節機構6が形成される。スクリュウシ
ャフト32の他端部は搬送台2の上面に固定したブラケ
ット34から突出し、その端部には円環状のツマミ35
が取り付けられている。
【0019】また、側板3,4の他端側にスプラインシ
ャフト36がその一端部が側板3に軸受37で回転可能
に、他端部がキー溝を内周面に有するディスク38を回
転可能に支承する軸受39で移動可能に、それぞれ設け
られ、このスプラインシャフト36の一端部にはプーリ
40,41が軸着され、プーリ40にはプーリベルト4
2が捲回され、プーリベルト42は搬送台2の上面に軸
支したアイドラプーリ43を経てサーボモーター等の電
動モータ44の出力車45に捲回されている。電動モー
タ44は搬送台2の上面にブラケット46で固定されて
いる。プーリ40には平ベルト47が捲回され、平ベル
ト47は側板3に回転可能に一列に軸支されたローラ4
8,48…に、それらの下段のスプラインシャフト36
を挟む両側で側板3に回転可能に軸支されたアイドラプ
ーリ49,49を介しエンドレスに捲回されて転送機構
8が形成されている。
【0020】なお、スプラインシャフト36の他端部に
もプーリ40、平ベルト47、ローラ48,48…及び
アイドラプーリ49,49と同じのプーリ40a、平ベ
ルト47a、ローラ48a,48a…及びアイドラプー
リ49a,49aが設けられている。平ベルト47,4
7aは側板3,4の上面とほぼ同じ水平面を維持するよ
うにローラ48,48aが軸支されて転送機構8を形成
する。
【0021】搬送物停止機構9は側板3,4の略中央部
に設けられた一対のクランプからなり、プーリベルト4
2,42aに載置された基板7をローラ48,48aに
押し付けて静止させる。側板3,4の外側面に空圧シリ
ンダ50,50を固定し、該空圧シリンダ50,50に
ピストンロッド51,52をそれぞれ進退可能に係合
し、ピストンロッド51,51の上端部に圧接板52,
52を結合して側板3,4の上面に向けて昇降可能にし
たものである。空圧シリンダ50にはエア供給源に接続
したエアパイプが適宜接続される。圧接板52の自由端
部には爪52aが垂直に取り付けられている。
【0022】次に上記実施の形態の作用につき説明する
と、図7,8に示すように、整列する二つの搬送ライン
A,Bであるベルトコンベア60,61を適宜離間して
それらの間にベース1を整列配置し、ベース1の上に配
置された搬送台2がベルトコンベア60とベルトコンベ
ア61の間を往復移動でき、ベルトコンベア60で間欠
搬送されて来る基板7を搬送台2で受け、搬送台2が移
動してベルトコンベア61に渡すことができるように配
置する。そして、ベルトコンベア60を搬送されて来る
基板7のサイズには大小種々のものがあるため、予めそ
の幅寸法に合わせて側板3,4の間隔(図1の矢示ロ方
向の間隔)を調節する。これは、間隔調節機構6におけ
るスクリュウシャフト32のツマミ35を手動にて回転
操作して側板4を側板3に向けて進退させ、側板3,4
間の寸法を基板7の幅寸法よりも若干大きくする。
【0023】そこで、ベルトコンベア60で移動する基
板7に対し、電動モータ21を駆動してタイミングベル
ト14が回動することにより搬送台2をベルトコンベア
60の端末側に移動させ、電動モータ21の駆動を停止
して待機させるとともに、電動モータ44の駆動により
スプラインシャフト36を回転させて平ベルト47,4
7a及びローラ48,48aが回動かつ回転すると、ベ
ルトコンベア60上の基板7はその端末からスムーズに
搬送台2上の転送機構8に移送される。すなわち、基板
7の両側端部が平ベルト47,47aの上に載置されて
移動する。ついで、基板7の略中央部が圧接板52,5
2の真下に移動すると、電動モータ44の駆動を停止し
てスプラインシャフト36の回転を停止させ、平ベルト
47,47a及びローラ48,48aの回動及び回転を
止めて基板7を静止させる。基板7が静止したとき空圧
シリンダ50,50を駆動して圧接板52,52の爪5
2a,52aで基板7を抑えることにより搬送台2の略
中央部に静止させる。
【0024】ついで、搬送台2がベース1の略中央部に
移動すると、電動モータ21を駆動停止してタイミング
ベルト14の回動を停止させ、搬送台2をベース1の略
中央部に停止させ、その停止位置において必要な基板7
の検査を行う。必要な検査とは、例えば、基板7に表示
されているマークの光学的検出、顕微鏡によるスクリー
ン印刷の精度の検査等である。この検査が終了すると、
電動モータ21を駆動してタイミングベルト14及びス
プロケット15,16を介し搬送台2をベルトコンベア
61側へ移動させ、空圧シリンダ50,50の駆動を停
止して圧接板52,52が基板7から離れて解放する
と、電動モータ44を駆動して平ベルト47,47a及
びローラ48,48aを回転させることにより、基板7
はベルトコンベア61に移送される。
【0025】なお、基板7を側板3,4の略中央部に静
止させる場合に、側板3,4間の間隔寸法を基板7の寸
法よりも若干大きく設定しておくと、圧接板52,52
で停止させる場合にガタが生じたりする不都合があるの
で、基板7を側板3,4で堅く挟持して固定するため、
図9,10に示すような構成を採用してもよい。すなわ
ち、前記間隔調節機構6のツマミ35に電磁盤A75を
一体回転可能に結合するとともに、スクリュウシャフト
32に電磁盤B76を有するスプロケット70からなる
回転体を遊嵌して電磁クラッチを形成し、スプロケット
70にタイミングベルト71を捲回し、タイミングベル
ト71にテンションスプロケット72を係合して軸73
で側板4に回転可能に支承させ、タイミングベルト71
には連結具74を結合し、連結具74にはピストンロッ
ド75の自由端部を結合し、ピストンロッド75の内端
部に結合したピストン77が係合するエアシリンダー7
6を支持具78で側板4に固定した。
【0026】したがって、予めツマミ35を操作して側
板3,4間の間隔寸法を基板7の幅寸法に合わせて若干
大きく設定し、検査作業中に基板7を側板3,4の略中
央部で静止させたとき、電磁盤A,Bに通電してツマミ
35にスプロケット70が吸着されて一体回転可能に結
合し、エアシリンダー76のエア供給口79からエアシ
リンダー76内にエアを供給してピストン77を図の左
方へ移動させてピストンロッド75を後退させると、タ
イミングベルト71が正回転してスプロケット70及び
ツマミ35を介しスクリュウシャフト32を正回転させ
ることで側板4を側板3側に移動させるから、側板3,
4で基板7を堅く挟持できると云うものである。そし
て、基板7を移動させるべきときには、エアシリンダー
76のエア供給口80にエアを供給してピストン77を
右方へ移動させてピストンロッド75を伸長させるとタ
イミングベルト71が逆回転してスプロケット70及び
ツマミ35を介しスクリュウシャフト32を逆回転させ
ることで元の状態に戻すことができる。
【0027】かくして、ベルトコンベア60上で搬送さ
れる基板7の一つ一つに必要な検査が、ラインの停止を
させることなく、流れ作業的に間断なく行える。
【0028】
【発明の効果】以上説明したこの発明によれば、二つの
搬送ライン間に配置してその一方の搬送ラインから搬送
物を受け取り、一時保留して必要な検査等をした後、他
方の搬送ラインへと移送する橋渡しの搬送ラインを構成
したので、基板等の搬送物の一時搬送停止をして必要な
検査等を機械的に行う自動制御が可能となるため、検査
作業等の能率を向上させることができ、搬送物の滞留を
生じさせること無く、迅速に処理でき、コストの低下を
もたらす。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態を示す全体斜視図
【図2】図1の平面図
【図3】図2の正面図
【図4】図2のA−A断面図
【図5】図2のB−B断面図
【図6】図2のC−C断面図
【図7】作用説明図
【図8】図7の平面図
【図9】一部の変更例を示す部分正面図
【図10】図9のD−D断面図
【符号の説明】
1…ベース 2…搬送台 3,4…側板 5…転送機構 6…搬送物停止機構 14…タイミングベルト 15,16…スプロケット 18,19…シャフト 20,40,41…プーリ 21,44…電動モータ 24,42…プーリベルト 25,31…スライダー 30…レール 32…スクリュウシャフト 33…ナット 35…ツマミ 36…スプラインシャフト 38…ディスク 47,47a…平ベルト 48,48a…ローラ 50…空圧シリンダ 51…ピストンロッド 52…圧接板 70…スプロケット(回転体) 71…タイミングベルト 75,76…電磁盤 76…エアシリンダー

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 二つの搬送ラインの端末と端頭間に配置
    されて前ラインから移送された搬送物を受け取り、これ
    を一時保留して必要な作業を行い、その後該搬送物を後
    ラインに移送する橋渡搬送ラインであって、ラインに合
    わせて整列できるベース上に搬送台を前後のラインと略
    同じ面で往復移動可能に載置し、かつ、該搬送台の上面
    に平ベルトを捲回したローラをラインに合わせて並列す
    るとともに、該搬送台の略中央部で搬送物を抑えて静止
    させるクランプを設けてなることを特徴とする橋渡搬送
    装置。
  2. 【請求項2】 矩形のベースと、該ベース上に長手方向
    へ往復移動可能に載置された矩形の搬送台と、該搬送台
    に固定した側板の一方を固定するとともに、側板の他方
    を一方の側板と平行に移動可能に形成して搬送物のサイ
    ズに合わせる間隔調節機構と、該側板の両方の上部にそ
    れぞれ複数個整列して搬送台の長手方向全域に軸支した
    複数のローラ及びそれらに捲回された平ベルトからなる
    転送機構と、該側板の長手方向略中央部で搬送物を抑え
    て静止させるクランプからなる搬送物停止機構と、前記
    搬送台及び転送機構を駆動する駆動機構とからなること
    を特徴とする橋渡搬送装置。
  3. 【請求項3】 前記間隔調節機構は、前記他方の側板を
    レールを介し搬送台上面を一方の側板に対し平行で進退
    移動可能に設け、かつ、スクリュウシャフトの一端部を
    一方の側板に回転可能に軸支するとともに、他端部を他
    方の側板にナットを介してねじ係合させ、かつ、他方の
    側板の外方に突出させた前記スクリュウシャフトの端部
    に手動で回転操作するツマミを取り付けてなることを特
    徴とする請求項2記載の橋渡搬送装置。
  4. 【請求項4】 前記間隔調節機構は、前記他方の側板を
    レールを介し搬送台上面を一方の側板に対し平行で進退
    移動可能に設け、かつ、スクリュウシャフトの一端部を
    一方の側板に回転可能に軸支するとともに、他端部を他
    方の側板にナットを介してねじ係合させ、かつ、他方の
    側板の外方に突出させた前記スクリュウシャフトの端部
    に手動で回転操作するツマミを取り付けるとともに、該
    ツマミに電磁クラッチを介して断続可能な回転体を前記
    スクリュウシャフトに遊嵌してなることを特徴とする請
    求項2記載の橋渡搬送装置。
  5. 【請求項5】 前記転送機構は、前記一方の側板に一端
    部を回転可能に軸支したスプラインシャフトを回転駆動
    源を介して回転可能に配置し、該スプラインシャフトの
    他端部をキー溝を有する円板を回転可能に支承した軸受
    を介し前記他方の側板に移動可能に係合し、該スプライ
    ンシャフトに軸着したプーリに捲回したプーリベルトを
    電動モータの出力車に捲回して前記平ベルト及びローラ
    が駆動されるようにしたことを特徴とする請求項2記載
    の橋渡搬送装置。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003086917A1 (fr) * 2002-04-18 2003-10-23 Olympus Corporation Dispositif de transport de substrat
WO2004026738A1 (ja) * 2002-09-02 2004-04-01 Tani Denkikogyo Co.,Ltd. 搬送装置
US7810635B2 (en) 2006-10-24 2010-10-12 Samsung Techwin Co., Ltd. Substrate transfer apparatus and method of driving the same
JP2011084370A (ja) * 2009-10-15 2011-04-28 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
CN102991982A (zh) * 2011-09-09 2013-03-27 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 流动板循环机构
CN103010725A (zh) * 2011-09-27 2013-04-03 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 移载机构
CN111417297A (zh) * 2019-01-07 2020-07-14 松下知识产权经营株式会社 带馈送器以及部件实装装置
CN112171781A (zh) * 2020-10-22 2021-01-05 山东创翔电力科技有限公司 一种用于表计循环利用的打孔装置
CN114212508A (zh) * 2021-12-17 2022-03-22 东莞市踔厉智能科技有限公司 一种生产线的管轨桥接式机构
CN117699480A (zh) * 2024-02-05 2024-03-15 广州大学 一种装配式墙体运送保护装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003086917A1 (fr) * 2002-04-18 2003-10-23 Olympus Corporation Dispositif de transport de substrat
WO2004026738A1 (ja) * 2002-09-02 2004-04-01 Tani Denkikogyo Co.,Ltd. 搬送装置
JPWO2004026738A1 (ja) * 2002-09-02 2006-01-12 谷電機工業株式会社 搬送装置
JP4639377B2 (ja) * 2002-09-02 2011-02-23 谷電機工業株式会社 搬送装置
US7810635B2 (en) 2006-10-24 2010-10-12 Samsung Techwin Co., Ltd. Substrate transfer apparatus and method of driving the same
JP2011084370A (ja) * 2009-10-15 2011-04-28 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
CN102991982A (zh) * 2011-09-09 2013-03-27 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 流动板循环机构
CN103010725A (zh) * 2011-09-27 2013-04-03 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 移载机构
CN111417297A (zh) * 2019-01-07 2020-07-14 松下知识产权经营株式会社 带馈送器以及部件实装装置
CN111417297B (zh) * 2019-01-07 2023-09-29 松下知识产权经营株式会社 带馈送器以及部件实装装置
CN112171781A (zh) * 2020-10-22 2021-01-05 山东创翔电力科技有限公司 一种用于表计循环利用的打孔装置
CN114212508A (zh) * 2021-12-17 2022-03-22 东莞市踔厉智能科技有限公司 一种生产线的管轨桥接式机构
CN114212508B (zh) * 2021-12-17 2024-01-09 东莞市踔厉智能科技有限公司 一种生产线的管轨桥接式机构
CN117699480A (zh) * 2024-02-05 2024-03-15 广州大学 一种装配式墙体运送保护装置
CN117699480B (zh) * 2024-02-05 2024-04-19 广州大学 一种装配式墙体运送保护装置

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