JPH11208855A - 金属薄板の搬送方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送に伴う塵や疵の発生を防止すると共に、
両面検査や透過照明を用いた検査を可能とする。 【解決手段】 金属薄板であるワーク１０の幅に合わせ
て、２列の駆動部を持たない搬送ローラ３０又は球状ベ
アリング１１０を配置し、該搬送ローラ３０又は球状ベ
アリング１１０上にワーク１０の外縁部を載置し、後方
より搬送アーム４２で押し出すことにより、ワーク１０
を搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属薄板の搬送方
法及び装置に係り、特に、集積回路のリードフレームの
搬送に用いるのに好適な、搬送に伴う塵や疵の発生を抑
えると共に、高い位置精度で停止させることが可能な、
金属薄板の搬送方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路のリードフレームなどの金属薄
板の外観検査に際して、従来は、図１３に示す如く、平
ベルト２０を有するコンベアを用いて、該平ベルト２０
上にリードフレーム等のワーク１０を載置して搬送する
か、あるいは図１４や図１５に示す如く、ワーク１０の
両端部のみを、細い駆動ベルト２２、２４で支持（図１
４）又は上下から挟持（図１５）することによって搬送
していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
平ベルトコンベアによる搬送では、搬送中に外観検査を
行いたい場合、ワーク１０の上面しか検査できず、透過
照明を用いた検査も実施できない。又、ワーク１０の下
面全面が、例えばゴム製の平ベルト２０と接触するた
め、ゴミが付着したり疵が発生して、不良発生の原因と
なる等の問題点を有していた。

【０００４】一方、後者の細い駆動ベルトによる搬送に
よれば、両面検査及び透過照明を用いた検査は可能とな
るものの、搬送途中でワーク１０を停止させる必要があ
る場合、駆動ベルト２２、２４とワーク１０間の滑りな
どにより、駆動ベルト２２、２４上でワーク１０が若干
動いてしまい、例えば数１００μｍ程度の高精度での位
置決めができない。又、金属のワーク１０とゴム製の駆
動ベルト２２、２４の接触による発塵の可能性が高い。
更に、幅方向の位置決めを高精度に行うことができない
等の問題点を有していた。

【０００５】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
くなされたもので、搬送に伴う塵や疵の発生を防止する
ことを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、金属薄板の搬
送に際して、金属薄板の幅に合わせて、２列の駆動部を
持たない転動体を配置し、該転動体上に、金属薄板の外
縁部を載置し、後方より押し出すことにより、金属薄板
を搬送するようにして、前記課題を解決したものであ
る。

【０００７】又、前記転動体を円柱状ローラとして、金
属薄板の支持が線接触で行われるようにしたものであ
る。

【０００８】あるいは、前記転動体を球状ベアリングと
して、前記金属薄板との接触を点接触とし、抵抗を小さ
くしたものである。

【０００９】本発明は、又、金属薄板の搬送装置におい
て、金属薄板の幅に合わせて配置された、金属薄板の外
縁部が載置される２列の駆動部を持たない転動体と、該
転動体上に載置された金属薄板を、後方より押し出す搬
送アームと、を備えることにより、同じく前記課題を解
決したものである。

【００１０】更に、前記転動体と共働して、金属薄板を
上下から挟み込むための転動体を備えることにより、金
属薄板が軽く、自重のみでは転動体が回転しない場合で
あっても、搬送中に転動体が回転するようにしたもので
ある。

【００１１】更に、前記金属薄板の先端位置を規制し
て、金属薄板の位置決めを行うストッパを備えることに
より、搬送方向の位置決めを高精度で行えるようにした
ものである。

【００１２】更に、前記金属薄板の幅方向位置を規制す
るためのガイドレールを備えることにより、幅方向の位
置決めを高精度で行えるようにしたものである。

【００１３】更に、前記金属薄板停止後、片側のガイド
レールを基準面として、反対側から基準面に押し当てる
幅寄せ手段を備えることにより、幅方向位置決めを確実
に行えるようにしたものである。

【００１４】あるいは、前記転動体のパスラインを傾斜
させ、低い方のガイドレールへの幅寄せが、搬送と同時
に自動的に行われるようにしたものである。

【００１５】又、前記ガイドレールを転動体で構成する
ことにより、ガイドレールとの接触による塵や疵の発生
を防止したものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。

【００１７】本発明の第１実施形態は、本発明を、ライ
ンセンサカメラによるリードフレームの両面検査装置に
適用したもので、図１及び図２に示す如く、検査対象の
リードフレームであるワーク１０の幅に合わせて配置さ
れた、ワーク１０の外縁部が載置される２列の駆動部を
持たない円柱状の搬送ローラ３０と、該搬送ローラ３０
上に載置されたワーク１０を、後方より押し出す搬送ア
ーム４２を備えたリニアガイド４０とを備えている。

【００１８】図において、５０は、ワーク１０を供給す
るワーク供給部、５２は、該ワーク供給部５０に積み重
ねられたワーク１０を、１枚ずつ搬送ローラ３０上に載
せるためのローダハンド、６０は、前記搬送ローラ３０
の間からワーク１０の下面を照明するための透過照明６
２と、ワーク１０の上方からワーク１０の表面を照明す
るための落射照明６４と、前記透過照明６２及び／又は
落射照明６４によって照明されたワーク１０の一次元画
像を撮影するためのラインセンサカメラ６６を含む表面
検査部、７０は、前記ワーク１０の上面を照明するため
の透過照明７２と、ワーク１０の下方からワーク１０の
表面を照明するための落射照明７４と、前記透過照明７
４及び／又は落射照明７６によって照明されたワーク１
０の一次元画像を撮影するためのラインセンサカメラ７
６を含む裏面検査部、４４は、前記搬送アーム４２によ
って押されたワーク１０が搬送ローラ３０の終端（図の
右端）から落下するのを防止するための固定ストッパ、
５４は、該固定ストッパ４４によって停止された検査終
了後のワーク１０を、検査結果に応じて良品１２と不良
品１４に仕分けして積み重ねるためのアンローダハンド
である。

【００１９】前記搬送ローラ３０は、図３に示す如く、
間をあけて２列平面配置されており、該搬送ローラ３０
上に載置されたワーク１０が、図４に矢印Ａで示す如
く、棒状の搬送アーム４２により、前方に押し出される
ようにされている。図４において、３２は、搬送ローラ
３０を回転自在に支持する、一対のローラホルダであ
る。

【００２０】前記搬送ローラ３０としては、例えばクリ
ーンルーム用の、テフロンによって表面が被覆された、
ステンレス製の転がり軸受を用いることができる。この
ように、転がり摩擦を利用することにより、発塵を防止
できる。

【００２１】前記ローダハンド５２及びアンローダハン
ド５４は、例えば図１１に示したように、ワーク１０の
上面を真空で吸着することにより、或いは、ワーク１０
の両側面を側方から押えることにより、ワーク１０を１
枚ずつ引き上げて搬送する。

【００２２】本実施形態の両面検査装置全体は、図５に
示す如く、前記ローダハンド５２、アンローダハンド５
４、リニアガイド４０、可動ストッパ１０４（後出第２
実施形態で使用）等を制御するためのメカ制御部８０
と、前記表面検査部６０を構成する、前記ラインセンサ
カメラ６６からの画像を入力するための画像入力部６
７、該画像入力部６７から入力される画像データを処理
するための画像処理部６８、該画像処理部６８による処
理結果を表示するための表示部６９と、前記裏面検査部
７０を構成する、前記ラインセンサカメラ６６からの画
像を入力するための画像入力部７７、該画像入力部７７
から入力される画像データを処理するための画像処理部
７８、該画像処理部７８による処理結果を表示するため
の表示部７９と、前記画像入力部６７、７７、画像処理
部６８、７８、メカ制御部８０の動作タイミングを制御
するタイミング制御部８２とを含んで構成されている。

【００２３】以下、図１を参照して、本実施形態の作用
を説明する。

【００２４】まず、矢印で示す如く、ローダハンド５
２が、ワーク１０を１枚ずつワーク供給部５０から搬送
ローラ３０上に移す。

【００２５】次いで、矢印に示す如く、リニアガイド
４０を駆動し、その搬送アーム４２によりワーク１０を
押し出すことで、例えば等速で搬送を行う。本実施形態
においては、ラインセンサカメラ６６、７６により、搬
送中のワーク１０の画像を取り込むようにしているた
め、画像取り込み時のワーク停止は不要である。

【００２６】リニアガイド４０によって押されたワーク
１０は、搬送ローラ列の終端にある固定ストッパ４４で
停止される。

【００２７】次いで、検査結果を基に、アンローダハン
ド５４が、矢印に示す如く、ワーク１０を良品１２と
不良品１４に仕分ける。

【００２８】次に、ラインセンサカメラの代わりに２次
元画像を撮影するエリアセンサカメラ１００、１０２を
用いた本発明の第２実施形態を、図６を参照して詳細に
説明する。

【００２９】本実施形態においては、２次元画像を撮影
するため、エリアセンサカメラ１００、１０２の直下又
は直上で、ワーク１０を停止させる必要があるため、各
検査（撮像）位置の前方に、図４中に示したような可動
ストッパ１０４を設け、必要に応じて、矢印Ｂに示す如
く、パスライン上に出し入れし、ワーク１０の停止、及
び、検査終了後の前進を可能としている。

【００３０】図６において、１０６は、表面検査用のエ
リアセンサカメラ１００の下でワークを停止するための
表面用可動ストッパ、１０８は、裏面検査用のエリアセ
ンサカメラ１０２の直上でワーク１０を停止するための
裏面用可動ストッパである。

【００３１】本実施形態においては、ワーク１０を搬送
ローラ３０により搬送中に、エリアセンサカメラ１０
０、１０２の検査位置で停止するように可動ストッパ１
０６、１０８がパスライン上に突出するようにされ、検
査終了後、更にワーク１０を先に進めるために、可動ス
トッパ１０６、１０８はパスラインより下げられる。従
って、搬送中は可動ストッパ１０６、１０８がワーク１
０の移動の邪魔になることはない。

【００３２】本実施形態においても、第１実施形態と同
様に、ワーク供給部５０よりローダハンド５２がワーク
１０を１枚ずつ搬送ローラ３０上に載せる。

【００３３】次いで、表面用可動ストッパ１０６を上
げ、表面画像入力用エリアセンサカメラ１００の下まで
搬送し、該表面用可動ストッパ１０６の位置で停止させ
る。

【００３４】表面画像入力後、表面用可動ストッパ３２
を下げて搬送を再開し、裏面用可動ストッパ１０８の位
置で停止させる。

【００３５】裏面画像入力後、裏面用可動ストッパ１０
８を下げ、固定ストッパ４４の位置まで搬送する。

【００３６】次いで、アンローダハンド５４で取り上
げ、良品１２と不良品１４に仕分けする。

【００３７】他の点に関しては、前記第１実施形態と同
様であるので、説明は省略する。

【００３８】前記第１、第２実施形態においては、いず
れも、円柱状の搬送ローラ３０を用いているので、搬送
ローラ３０の間隔を比較的広く設定でき、裏面検査が容
易である。

【００３９】なお、金属薄板を搬送する転動体の構成は
これに限定されず、図７及び図８に示す第３実施形態の
ように、球状ベアリング１１０を用いることも可能であ
る。図において、１１２は、球状ベアリング１１０を回
転自在に保持するための、１対のベアリングホルダであ
る。

【００４０】本実施形態においては、ワーク１０とベア
リング１１０との接触が点接触となるため、搬送抵抗が
前記第１、第２実施形態よりも小さくなる。

【００４１】又、ワーク１０が軽く、自重のみでは搬送
ローラ３０が回転しない場合には、図９に示す第４実施
形態のように、搬送ローラ３０の上方にもローラ３６を
配置し、上下のローラ３０、３６で軽くワーク１０を上
下から挟み込むことによって、ローラ３０、３６を回転
させ、搬送抵抗を小さくすることができる。図９におい
て、３８は、ローラ３６を回転自在に支持するローラホ
ルダである。

【００４２】更に、搬送中の前記ワーク１０の左右方向
への蛇行を防ぐため、図１０に示す第５実施形態のよう
に、パスラインの両側にガイドレール１２０を設けるこ
とができる。

【００４３】本実施形態においては、該ガイドレール１
２０との接触による疵の発生等を防止するため、搬送ロ
ーラ３０と同様の円柱状ローラ１１２を９０°回転させ
たものをガイドレールとしている。なお、ガイドレール
の構成はこれに限定されず、球状ベアリングから構成さ
れるガイドレールを用いたり、あるいは、板状のガイド
レールを用いることも可能である。

【００４４】ガイドレールを備えた場合は、更に、図１
１に示す第６実施形態の如く、片方のガイドレール（図
では上方のガイドレール）１２４によるガイド面を基準
面Ｃとして、矢印Ｄに示す如く、少なくとも１個所で反
対側からワーク１０を基準面Ｃに押し当てる幅寄せアー
ム１２６を設け、ワーク１０を幅寄せして幅方向に位置
決めすることができる。

【００４５】あるいは、図１２に示す第７実施形態の如
く、前記搬送ローラ３０のパスラインを傾斜させ、低い
方のガイドレール（図では左側のガイドレール）１２４
への幅寄せが、搬送と同時に自動的に行われるようにす
ることもできる。

【００４６】なお、前記第４乃至第７実施形態において
も、第３実施形態と同様に、円柱状ローラの代りに球状
ベアリングを用いても良いことは明らかである。

【００４７】又、前記第１、第２実施形態においては、
いずれも、透過照明と落射照明が共に設けられていた
が、いずれか一方のみとしたり、例えばリングライトに
よる斜光照明を設けたり、あるいは明るい環境では照明
を省略したりすることも可能である。

【００４８】又、搬送アーム４２の形状や、これを駆動
する手段も、前記実施形態に限定されず、例えばリニア
ガイド以外の手段により、他の形状の搬送アームを駆動
することも可能である。

【００４９】又、前記実施形態においては、いずれも、
本発明が、集積回路のリードフレームの外観検査装置の
搬送機構に用いられていたが、本発明の適用対象はこれ
に限定されず、外観検査装置以外の装置や、リードフレ
ーム以外の金属薄板の搬送にも同様に適用できることが
明らかである。

【００５０】

【発明の効果】本発明によれば、金属薄板の保持は両端
のみであるため、搬送中の両面検査や透過照明を用いた
検査が可能となる。

【００５１】又、ゴム状のコンベアやベルト等と金属薄
板との接触による発塵がないため、金属薄板への異物の
付着がなくなる。

【００５２】更に、検査等の目的で、搬送中に所定の位
置で金属薄板を停止させる必要がある場合、ベルト駆動
の搬送に比べ、搬送量を細かく制御でき、幅方向の位置
決めも可能であるため、停止時の位置精度が高い。これ
により、画像処理による位置補正等を行う必要がなくな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態である、ラインセンサカ
メラを用いたリードフレームの両面検査装置の全体構成
を示す正面図

【図２】図１中のリニアガイドを右方向から見た側面図

【図３】前記第１実施形態で用いられている搬送ローラ
の配置を示す平面図

【図４】同じく正面図

【図５】第１実施形態の制御系の全体構成を示すブロッ
ク線図

【図６】本発明の第２実施形態である、エリアセンサカ
メラを用いたリードフレームの両面検査装置の要部構成
を示す正面図

【図７】本発明の第３実施形態で用いられている球状ベ
アリングの配置を示す平面図

【図８】同じく正面図

【図９】本発明の第４実施形態における上下のローラに
よる搬送状態を示す正面図

【図１０】本発明の第５実施形態におけるガイドレール
の配置を示す平面図

【図１１】本発明の第６実施形態におけるガイドレール
及び幅寄せアームの配置を示す平面図

【図１２】本発明の第７実施形態におけるワーク搬送状
態を示す側面図

【図１３】平ベルトコンベアを用いた従来の搬送方法の
一例を示す斜視図

【図１４】ワークの両サイドのみを下から支持する駆動
ベルトを用いた、従来の搬送方法の他の例を示す斜視図

【図１５】ワークの両サイドのみを上下から挟持する駆
動ベルトを用いた、従来の搬送方法の更に他の例を示す
斜視図

【符号の説明】

１０…ワーク ３０、３６…搬送ローラ ３２、３８…ローラホルダ ４０…リニアガイド ４２…搬送アーム ４４…固定ストッパ １０４、１０６、１０８…可動ストッパ １１０…球状ベアリング １２０、１２４…ガイドレール １２２…ローラ １２６…幅寄せアーム

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属薄板の幅に合わせて、２列の駆動部を
   持たない転動体を配置し、 該転動体上に、金属薄板の外縁部を載置し、 後方より押し出すことにより、金属薄板を搬送すること
   を特徴とする金属薄板の搬送方法。
2. 【請求項２】請求項１に記載の金属薄板の搬送方法にお
   いて、前記転動体が円柱状ローラであることを特徴とす
   る金属薄板の搬送方法。
3. 【請求項３】請求項１に記載の金属薄板の搬送方法にお
   いて、前記転動体が球状ベアリングであることを特徴と
   する金属薄板の搬送方法。
4. 【請求項４】金属薄板の幅に合わせて配置された、金属
   薄板の外縁部が載置される２列の駆動部を持たない転動
   体と、 該転動体上に載置された金属薄板を、後方より押し出す
   搬送アームと、 を備えたことを特徴とする金属薄板の搬送装置。
5. 【請求項５】請求項４に記載の金属薄板の搬送装置にお
   いて、更に、前記転動体と共働して、金属薄板を上下か
   ら挟み込むための転動体が備えられていることを特徴と
   する金属薄板の搬送装置。
6. 【請求項６】請求項４又は５に記載の金属薄板の搬送装
   置において、更に、前記金属薄板の先端位置を規制し
   て、金属薄板の位置決めを行うストッパが備えられてい
   ることを特徴とする金属薄板の搬送装置。
7. 【請求項７】請求項４乃至６のいずれか１項に記載の金
   属薄板の搬送装置において、更に、前記金属薄板の幅方
   向位置を規制するためのガイドレールが備えられている
   ことを特徴とする金属薄板の搬送装置。
8. 【請求項８】請求項７に記載の金属薄板の搬送装置にお
   いて、更に、前記金属薄板停止後、片側のガイドレール
   を基準面として、反対側から基準面に押し当てる幅寄せ
   手段が備えられていることを特徴とする金属薄板の搬送
   装置。
9. 【請求項９】請求項７に記載の金属薄板の搬送装置にお
   いて、前記転動体のパスラインが傾斜され、低い方のガ
   イドレールへの幅寄せが、搬送と同時に行われるように
   したことを特徴とする金属薄板の搬送装置。
10. 【請求項１０】請求項７乃至９のいずれか１項に記載の
    金属薄板の搬送装置において、前記ガイドレールが転動
    体で構成されていることを特徴とする金属薄板の搬送装
    置。