JP2002308420A - ガラス基板の位置決め装置 - Google Patents
ガラス基板の位置決め装置Info
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- JP2002308420A JP2002308420A JP2001111796A JP2001111796A JP2002308420A JP 2002308420 A JP2002308420 A JP 2002308420A JP 2001111796 A JP2001111796 A JP 2001111796A JP 2001111796 A JP2001111796 A JP 2001111796A JP 2002308420 A JP2002308420 A JP 2002308420A
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
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- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Abstract
(57)【要約】
【課題】ゴミ等を発生させることなくガラス基板を高精
度に位置決めすることができるガラス基板の位置決め装
置を提供する。 【解決手段】ガラス基板を所定の位置に位置決めするた
めのガラス基板の位置決め装置であって、前記ガラス基
板を支持するための支持手段と、該支持手段を支持する
ためのベース部材と、前記支持手段を前記ベース部材に
対して前記ガラス基板の面内方向にスライド可能に支持
するためのスライド機構と、前記ベース部材に設けら
れ、前記ガラス基板の側面に突き当たることによって、
該ガラス基板をその面内方向に位置決めするための位置
決め機構とを具備する。
度に位置決めすることができるガラス基板の位置決め装
置を提供する。 【解決手段】ガラス基板を所定の位置に位置決めするた
めのガラス基板の位置決め装置であって、前記ガラス基
板を支持するための支持手段と、該支持手段を支持する
ためのベース部材と、前記支持手段を前記ベース部材に
対して前記ガラス基板の面内方向にスライド可能に支持
するためのスライド機構と、前記ベース部材に設けら
れ、前記ガラス基板の側面に突き当たることによって、
該ガラス基板をその面内方向に位置決めするための位置
決め機構とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板を所定
の位置に位置決めするためのガラス基板の位置決め装置
に関するものである。
の位置に位置決めするためのガラス基板の位置決め装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板の位置決めを行う方法
としては、ガラス基板をステージ等の支持部材に載せ、
基板端部を押すことにより固定部材に突き当てる方法が
一般的であった。
としては、ガラス基板をステージ等の支持部材に載せ、
基板端部を押すことにより固定部材に突き当てる方法が
一般的であった。
【０００３】しかし、この方法では、支持部材とガラス
基板とが擦れ、パーティクルを発生させてしまいライン
を汚染させてしまう恐れがある。そのパーティクルがガ
ラス基板上に乗れば、製品が不良品となり大きな問題で
ある。
基板とが擦れ、パーティクルを発生させてしまいライン
を汚染させてしまう恐れがある。そのパーティクルがガ
ラス基板上に乗れば、製品が不良品となり大きな問題で
ある。
【０００４】そこで、パーティクルの発生なく基板を位
置決めする方法も提案されてきており、例えば、ロボッ
トハンド上のガラス基板をＸＹステージ上空に持ってい
き、ＸＹステージに設けられたセンサにより基板端部を
検知することによってガラス基板の位置を調整し、ＸＹ
ステージに基板を載せる方法（特開平０７−３０６３９
１号公報）が知られている。
置決めする方法も提案されてきており、例えば、ロボッ
トハンド上のガラス基板をＸＹステージ上空に持ってい
き、ＸＹステージに設けられたセンサにより基板端部を
検知することによってガラス基板の位置を調整し、ＸＹ
ステージに基板を載せる方法（特開平０７−３０６３９
１号公報）が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ＸＹステージを用いた位置決め方法は、基板の位置決め
精度が、基板端部を検出するセンサの検出精度、及び、
ロボットの位置精度に依存するため、高精細化、大画面
化が進み、より高精度な位置決めを要求される場合、実
用化は困難である。また、センサからの出力を見ながら
の位置調整となるため、突き当て方式による位置決めと
比較して、位置決めに要する時間も延びる。
ＸＹステージを用いた位置決め方法は、基板の位置決め
精度が、基板端部を検出するセンサの検出精度、及び、
ロボットの位置精度に依存するため、高精細化、大画面
化が進み、より高精度な位置決めを要求される場合、実
用化は困難である。また、センサからの出力を見ながら
の位置調整となるため、突き当て方式による位置決めと
比較して、位置決めに要する時間も延びる。
【０００６】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、ゴミ等を発生させるこ
となくガラス基板を高精度に位置決めすることができる
ガラス基板の位置決め装置を提供することである。
されたものであり、その目的は、ゴミ等を発生させるこ
となくガラス基板を高精度に位置決めすることができる
ガラス基板の位置決め装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるガラス基板の位
置決め装置は、ガラス基板を所定の位置に位置決めする
ためのガラス基板の位置決め装置であって、前記ガラス
基板を支持するための支持手段と、該支持手段を支持す
るためのベース部材と、前記支持手段を前記ベース部材
に対して前記ガラス基板の面内方向にスライド可能に支
持するためのスライド機構と、前記ベース部材に設けら
れ、前記ガラス基板の側面に突き当たることによって、
該ガラス基板をその面内方向に位置決めするための位置
決め機構とを具備することを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わるガラス基板の位
置決め装置は、ガラス基板を所定の位置に位置決めする
ためのガラス基板の位置決め装置であって、前記ガラス
基板を支持するための支持手段と、該支持手段を支持す
るためのベース部材と、前記支持手段を前記ベース部材
に対して前記ガラス基板の面内方向にスライド可能に支
持するためのスライド機構と、前記ベース部材に設けら
れ、前記ガラス基板の側面に突き当たることによって、
該ガラス基板をその面内方向に位置決めするための位置
決め機構とを具備することを特徴としている。
【０００８】また、この発明に係わるガラス基板の位置
決め装置において、前記支持手段は、ゴム状の材質から
成る搬送コンベアのローラーを含むことを特徴としてい
る。
決め装置において、前記支持手段は、ゴム状の材質から
成る搬送コンベアのローラーを含むことを特徴としてい
る。
【０００９】また、この発明に係わるガラス基板の位置
決め装置において、前記支持手段は、前記ガラス基板を
吸着するための吸着プレートを含むことを特徴としてい
る。
決め装置において、前記支持手段は、前記ガラス基板を
吸着するための吸着プレートを含むことを特徴としてい
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面を参照して、本発明
を液晶パネル等のガラス基板を搬送コンベア上に位置決
めする場合に適用した一実施形態について説明する。こ
の例での支持部材は搬送コンベアとなる。
を液晶パネル等のガラス基板を搬送コンベア上に位置決
めする場合に適用した一実施形態について説明する。こ
の例での支持部材は搬送コンベアとなる。
【００１１】ガラス基板を搬送するシステム構成の一例
を図７に示す。ガラス基板Ｗは、基板搬送コンベア２上
を、搬送ローラー６を回転駆動させることによって搬送
される。ガラス基板Ｗは、基板の洗浄工程、乾燥工程、
塗布工程、パターニング工程、現象工程等で順次処理さ
れる。そこで、ガラス基板Ｗを搬送コンベア２上の受け
渡し位置Ｂから、基板取り置きロボット３により取り出
し、各工程のプロセス装置４の基板ステージＣ上にセッ
トする。処理されたガラス基板Ｗは、再度、基板取り置
きロボット３によって、ステージ３上から、搬送コンベ
ア２の排出位置Ｄに排出され、次工程へと搬送される。
を図７に示す。ガラス基板Ｗは、基板搬送コンベア２上
を、搬送ローラー６を回転駆動させることによって搬送
される。ガラス基板Ｗは、基板の洗浄工程、乾燥工程、
塗布工程、パターニング工程、現象工程等で順次処理さ
れる。そこで、ガラス基板Ｗを搬送コンベア２上の受け
渡し位置Ｂから、基板取り置きロボット３により取り出
し、各工程のプロセス装置４の基板ステージＣ上にセッ
トする。処理されたガラス基板Ｗは、再度、基板取り置
きロボット３によって、ステージ３上から、搬送コンベ
ア２の排出位置Ｄに排出され、次工程へと搬送される。
【００１２】上記のような、液晶パネル等のガラス基板
を処理していく流れにおいて、ガラス基板の受け渡し位
置Ｂ、および、プロセス装置４の基板ステージＣでは、
所定の精度でガラス基板を位置決めする必要がある。そ
の位置決めにおいて、ガラス基板Ｗと搬送コンベア２の
搬送ローラー、あるいは、プロセス装置４の基板ステー
ジＣとの間に、擦れが生じれば、擦れによる発塵、およ
び、擦れによる基板の帯電が起こり、基板上にゴミ等の
異物を付着させてしまう恐れがある。
を処理していく流れにおいて、ガラス基板の受け渡し位
置Ｂ、および、プロセス装置４の基板ステージＣでは、
所定の精度でガラス基板を位置決めする必要がある。そ
の位置決めにおいて、ガラス基板Ｗと搬送コンベア２の
搬送ローラー、あるいは、プロセス装置４の基板ステー
ジＣとの間に、擦れが生じれば、擦れによる発塵、およ
び、擦れによる基板の帯電が起こり、基板上にゴミ等の
異物を付着させてしまう恐れがある。
【００１３】図１乃至図３に、ガラス基板の位置決めの
際に、擦れが全くなく位置決めすることが可能な機構を
示す。図１は位置決めユニット１の上面図、図２は図１
のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ−Ｂ断面図である。
際に、擦れが全くなく位置決めすることが可能な機構を
示す。図１は位置決めユニット１の上面図、図２は図１
のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ−Ｂ断面図である。
【００１４】図１乃至図３及び図７を参照して以下説明
する。
する。
【００１５】搬送コンベア２によって、搬送されてきた
ガラス基板Ｗは、ガラス基板の有無センサ１７により端
部を検出することによって、所定の位置に停止される。
この停止方法によって、ガラス基板Ｗは、ガラス基板の
送り方向に対しては、所定の精度にて位置決めされる
が、送りに対して直角方向（幅方向）に対しては、何の
規制もなく、位置が大きくばらつくことになる。
ガラス基板Ｗは、ガラス基板の有無センサ１７により端
部を検出することによって、所定の位置に停止される。
この停止方法によって、ガラス基板Ｗは、ガラス基板の
送り方向に対しては、所定の精度にて位置決めされる
が、送りに対して直角方向（幅方向）に対しては、何の
規制もなく、位置が大きくばらつくことになる。
【００１６】上記のように、幅方向にばらついて停止し
ている基板を、取り置きロボット３によって把持するた
めには、基板の幅方向の位置決めをする必要がある。以
下に、そのガラス基板Ｗの幅方向の位置決め方法を説明
する。
ている基板を、取り置きロボット３によって把持するた
めには、基板の幅方向の位置決めをする必要がある。以
下に、そのガラス基板Ｗの幅方向の位置決め方法を説明
する。
【００１７】基板を乗せて、回転することによって所定
の方向に搬送する搬送ローラー２２は、コンベア本体２
０に固定されたローラー軸２１によって支持されてお
り、不図示のモータ及び不図示のタイミングベルトによ
って、複数のローラーが同期して回転駆動される。ま
た、搬送ローラー２２の材質は、エラストマーなどのゴ
ムのような摩擦係数の高い材質を使用している。
の方向に搬送する搬送ローラー２２は、コンベア本体２
０に固定されたローラー軸２１によって支持されてお
り、不図示のモータ及び不図示のタイミングベルトによ
って、複数のローラーが同期して回転駆動される。ま
た、搬送ローラー２２の材質は、エラストマーなどのゴ
ムのような摩擦係数の高い材質を使用している。
【００１８】コンベア本体２０とベース部材１０の間に
は、図６に示すようにコンベア本体２０がベース部材１
０に対し僅かな力で自由に動くように受け部材１２と剛
球１３から成るフローティング機構が配置されている。
また、コンベア本体２０とベース部材１０の間には、図
４に示すように、不図示のエアシリンダによって上下駆
動されるコンベア本体２０の位置決め機構１４，１５も
配置されており、更に、図３及び図５に示すように不図
示のエアシリンダによって上下駆動されるベース部材２
０の保持機構１６も配置されている。
は、図６に示すようにコンベア本体２０がベース部材１
０に対し僅かな力で自由に動くように受け部材１２と剛
球１３から成るフローティング機構が配置されている。
また、コンベア本体２０とベース部材１０の間には、図
４に示すように、不図示のエアシリンダによって上下駆
動されるコンベア本体２０の位置決め機構１４，１５も
配置されており、更に、図３及び図５に示すように不図
示のエアシリンダによって上下駆動されるベース部材２
０の保持機構１６も配置されている。
【００１９】また、ベース部材１０には、ガラス基板Ｗ
の幅方向の位置決めをするための、エアシリンダによっ
て駆動される少なくとも３つの突き当てピン１１（１１
ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）が備えられ、このエアシリンダ
は、一方のエア圧を他方に比べて強くすることで、常に
一方を基準として所定の位置に位置決めさせることがで
きるように構成されている。
の幅方向の位置決めをするための、エアシリンダによっ
て駆動される少なくとも３つの突き当てピン１１（１１
ａ，１１Ｂ，１１Ｃ）が備えられ、このエアシリンダ
は、一方のエア圧を他方に比べて強くすることで、常に
一方を基準として所定の位置に位置決めさせることがで
きるように構成されている。
【００２０】ベース部材１０の中央には、位置決め機構
１４，１５および保持機構１６のエアシリンダが設置可
能なスペースが設けられている。そして、そのスペース
の雰囲気を排気することが可能な排気機構１８が設けら
れており、エアシリンダによる駆動、及び、ガラス基板
の位置決め駆動時に発生するパーティクルの除去を可能
としている。
１４，１５および保持機構１６のエアシリンダが設置可
能なスペースが設けられている。そして、そのスペース
の雰囲気を排気することが可能な排気機構１８が設けら
れており、エアシリンダによる駆動、及び、ガラス基板
の位置決め駆動時に発生するパーティクルの除去を可能
としている。
【００２１】次に、ガラス基板の位置決め機構の動きを
説明する。
説明する。
【００２２】図８は、動きを説明するフローチャートで
ある。
ある。
【００２３】＜ＳＴＥＰ１＞位置決めユニット１におい
て、保持機構１６を下降させることでコンベア本体２０
をフリーにし、位置決め機構１４を上昇させることで、
テーパー形状の部材１５を突き上げ、所定の位置に位置
決めする。この位置が、コンベア本体２０の初期位置で
あり、ガラス基板Ｗを受け入れる位置となる。
て、保持機構１６を下降させることでコンベア本体２０
をフリーにし、位置決め機構１４を上昇させることで、
テーパー形状の部材１５を突き上げ、所定の位置に位置
決めする。この位置が、コンベア本体２０の初期位置で
あり、ガラス基板Ｗを受け入れる位置となる。
【００２４】＜ＳＴＥＰ２＞次に、保持機構１６を上昇
させ、位置決め機構１４を下降させることで、コンベア
本体２０をベース部材に対し固定する。
させ、位置決め機構１４を下降させることで、コンベア
本体２０をベース部材に対し固定する。
【００２５】＜ＳＴＥＰ３＞この状態で、ガラス基板Ｗ
が前工程より搬送されてくるのを待つ。
が前工程より搬送されてくるのを待つ。
【００２６】＜ＳＴＥＰ４＞位置決めユニット１に搬送
されてきたガラス基板をセンサ１７が検出すると、搬送
ローラー２２を回転駆動しているモータを停止させるこ
とにより、ガラス基板Ｗを停止させる。
されてきたガラス基板をセンサ１７が検出すると、搬送
ローラー２２を回転駆動しているモータを停止させるこ
とにより、ガラス基板Ｗを停止させる。
【００２７】＜ＳＴＥＰ５＞次に、保持機構１６を解除
してコンベア本体２０をフリーな状態にしてから、ガラ
ス基板Ｗの位置決め機構１１を駆動させ、所定の位置に
コンベア本体２０を動かすことによって、位置決めす
る。
してコンベア本体２０をフリーな状態にしてから、ガラ
ス基板Ｗの位置決め機構１１を駆動させ、所定の位置に
コンベア本体２０を動かすことによって、位置決めす
る。
【００２８】この時、搬送ローラー２２とガラス基板Ｗ
との摩擦力に対しコンベア本体２０の移動抵抗力の方が
弱いため、ガラス基板Ｗと搬送ローラー２２との間にズ
レはなく、つまりガラス基板Ｗとコンベア本体２０が一
体となって動くことになる。
との摩擦力に対しコンベア本体２０の移動抵抗力の方が
弱いため、ガラス基板Ｗと搬送ローラー２２との間にズ
レはなく、つまりガラス基板Ｗとコンベア本体２０が一
体となって動くことになる。
【００２９】＜ＳＴＥＰ６＞位置決めが完了すると保持
機構１６が上昇し、位置決めした位置でコンベア本体２
０と共にガラス基板Ｗも保持される。
機構１６が上昇し、位置決めした位置でコンベア本体２
０と共にガラス基板Ｗも保持される。
【００３０】＜ＳＴＥＰ７＞保持された後、ガラス基板
の位置決め機構１１を解除し、基板取り置きロボット３
により、位置決めされたガラス基板Ｗが取り出されるま
で保持機構１６によって保持する。
の位置決め機構１１を解除し、基板取り置きロボット３
により、位置決めされたガラス基板Ｗが取り出されるま
で保持機構１６によって保持する。
【００３１】＜ＳＴＥＰ８＞保持しているガラス基板Ｗ
が持ち出された後、ＳＴＥＰ１に戻る。
が持ち出された後、ＳＴＥＰ１に戻る。
【００３２】以上の様にして、ガラス基板Ｗは、ガラス
基板と接触する部材に対し、擦れることなく位置決めさ
れることが可能となる。
基板と接触する部材に対し、擦れることなく位置決めさ
れることが可能となる。
【００３３】これまで、ガラス基板Ｗの支持手段が搬送
ローラーである搬送ローラー上での位置決め機構につい
て説明してきたが、上記のコンベア本体２０を、プロセ
ス装置４における吸着ステージやホットプレート等のプ
レートに置き換えれば、同様にしてプレートとガラス基
板の擦れなく位置決めすることが可能となる。このと
き、従来はガラス基板の位置決めをした後に、ガラス基
板をプレート側に吸着していたが、位置決め動作の前に
ガラス基板を吸着することで、ガラス基板Ｗとプレート
を吸着力によってずれないように固定させることができ
る。
ローラーである搬送ローラー上での位置決め機構につい
て説明してきたが、上記のコンベア本体２０を、プロセ
ス装置４における吸着ステージやホットプレート等のプ
レートに置き換えれば、同様にしてプレートとガラス基
板の擦れなく位置決めすることが可能となる。このと
き、従来はガラス基板の位置決めをした後に、ガラス基
板をプレート側に吸着していたが、位置決め動作の前に
ガラス基板を吸着することで、ガラス基板Ｗとプレート
を吸着力によってずれないように固定させることができ
る。
【００３４】また、図９に示すように、コンベア本体２
０が無く、ローラー軸２１がベース部材１０に支持さ
れ、不図示のモーターによって回転駆動することにより
基板を搬送する構成においても、同様に、搬送ローラー
２２とガラス基板Ｗとの間に擦れなく位置決めが可能で
ある。
０が無く、ローラー軸２１がベース部材１０に支持さ
れ、不図示のモーターによって回転駆動することにより
基板を搬送する構成においても、同様に、搬送ローラー
２２とガラス基板Ｗとの間に擦れなく位置決めが可能で
ある。
【００３５】この場合、図１０に示すように、ローラー
軸２１にボールベアリング等の回転方向への滑りが無
く、かつ、横スライドが可能なスライド機構２３を介し
て、搬送ローラー２２を取り付けるようにすればよい。
さらに、搬送ローラー２２は、無負荷時にローラー軸の
可動範囲の中心位置に寄せられるようにバネ２４等によ
り挟まれた構造をとっており、基板が搬送される際は、
可動範囲の中央に位置する。
軸２１にボールベアリング等の回転方向への滑りが無
く、かつ、横スライドが可能なスライド機構２３を介し
て、搬送ローラー２２を取り付けるようにすればよい。
さらに、搬送ローラー２２は、無負荷時にローラー軸の
可動範囲の中心位置に寄せられるようにバネ２４等によ
り挟まれた構造をとっており、基板が搬送される際は、
可動範囲の中央に位置する。
【００３６】基板が搬送されて所定の位置にて停止した
後、ガラス基板Ｗの位置決め機構１１により幅寄せされ
ると、搬送ローラー２２がスライド機構２３によってス
ライドする。位置決め完了時に保持機構１６が上昇し、
位置決めされた位置にて、搬送ローラーを保持すると共
にガラス基板Ｗが保持される。
後、ガラス基板Ｗの位置決め機構１１により幅寄せされ
ると、搬送ローラー２２がスライド機構２３によってス
ライドする。位置決め完了時に保持機構１６が上昇し、
位置決めされた位置にて、搬送ローラーを保持すると共
にガラス基板Ｗが保持される。
【００３７】保持された状態で、ガラス基板の位置決め
機構１１は解除され、基板取り置きロボット３が、ガラ
ス基板を把持することが可能となる。
機構１１は解除され、基板取り置きロボット３が、ガラ
ス基板を把持することが可能となる。
【００３８】以上述べてきたように、本実施形態によれ
ば、ガラス基板の位置決め時に、ガラス基板を支持する
支持部材がフローティング機構によって、自由に移動で
きるため、ガラス基板と支持部材との間に全く擦れがな
い。また、位置決めは、従来と同様の突き当て方式であ
る。
ば、ガラス基板の位置決め時に、ガラス基板を支持する
支持部材がフローティング機構によって、自由に移動で
きるため、ガラス基板と支持部材との間に全く擦れがな
い。また、位置決めは、従来と同様の突き当て方式であ
る。
【００３９】従って、パーティクルの発生や、ガラス基
板が帯電するようなことなく、高精度な位置決めが可能
となる。
板が帯電するようなことなく、高精度な位置決めが可能
となる。
【００４０】また、コンベア方式の基板搬送装置にも組
み込むことが可能であり、従来の設備をそのまま活かし
た上で、発塵のない位置決めが可能となる。
み込むことが可能であり、従来の設備をそのまま活かし
た上で、発塵のない位置決めが可能となる。
【００４１】更に、吸着によりガラス基板を保持する様
々な目的の処理ステージにおいても、同様に、ステージ
上でのガラス基板の位置決めにおけるパーティクルの発
生を防ぐことができる。
々な目的の処理ステージにおいても、同様に、ステージ
上でのガラス基板の位置決めにおけるパーティクルの発
生を防ぐことができる。
【００４２】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、ゴ
ミ等を発生させることなくガラス基板を高精度に位置決
めすることが可能となる。
ミ等を発生させることなくガラス基板を高精度に位置決
めすることが可能となる。
【図１】ガラス基板位置決め機構の一実施形態の構成を
示す上面図である。
示す上面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】位置決めユニットの初期位置出し機構を説明す
る図である。
る図である。
【図５】位置決めユニットの保持機構を説明する図であ
る。
る。
【図６】位置決めユニットのフローティング機構を説明
する図である。
する図である。
【図７】液晶パネルの製造工程の一例を説明する図であ
る。
る。
【図８】ガラス基板の位置決め方法を説明するフローチ
ャートである。
ャートである。
【図９】ガラス基板の位置決め機構の他の実施形態を説
明する図である。
明する図である。
【図１０】他の実施形態のフローティング機構を説明す
る図である。
る図である。
Ｗ ガラス基板 １ 位置決めユニット １０ ベース部材 １１ 位置決め機構 １２ 受け部材 １３ 鋼球 １４，１５ 位置決め機構 １６ 保持機構 １７ センサ ２０ コンベア本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA16 FA17 FA30 HA01 MA20 4G015 FB01 FB02 FC02 FC11 FC14 5F031 CA05 GA24 GA32 GA43 GA53 HA13 HA37 JA22 KA02 KA03 PA26
Claims (3)
- 【請求項１】 ガラス基板を所定の位置に位置決めする
ためのガラス基板の位置決め装置であって、 前記ガラス基板を支持するための支持手段と、 該支持手段を支持するためのベース部材と、 前記支持手段を前記ベース部材に対して前記ガラス基板
の面内方向にスライド可能に支持するためのスライド機
構と、 前記ベース部材に設けられ、前記ガラス基板の側面に突
き当たることによって、該ガラス基板をその面内方向に
位置決めするための位置決め機構とを具備することを特
徴とするガラス基板の位置決め装置。 - 【請求項２】 前記支持手段は、ゴム状の材質から成る
搬送コンベアのローラーを含むことを特徴とする請求項
１に記載のガラス基板の位置決め装置。 - 【請求項３】 前記支持手段は、前記ガラス基板を吸着
するための吸着プレートを含むことを特徴とする請求項
１に記載のガラス基板の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001111796A JP2002308420A (ja) | 2001-04-10 | 2001-04-10 | ガラス基板の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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2001
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