JP2003279493A - 被検査体の搬送検査装置 - Google Patents
被検査体の搬送検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、平行配置の搬送ベルトの搬送動作時
の位置ずれや振動を防止し、液晶板のような被検査体の
搬送を常時正確に行って検査精度を一定に維持できる被
検査体の搬送検査装置を提供する。 【解決手段】本発明の被検査体の搬送検査装置は、矩形
状の被検査体を平行配置で循環駆動される搬送ベルト２
ａ、２ｂにより搬送しつつ検査光学系を用いて前記被検
査体を走査することにより被検査体の欠縮検査を行う被
検査体の搬送検査装置１であって、平行配置の搬送ベル
ト２ａ、２ｂの外周に巡らせた平行配置のガイドレール
６ａ、６ｂと、このガイドレール６ａ、６ｂにより各々
案内されつつ搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向端縁部を
挟持して搬送ベルト２ａ、２ｂとともに移動し、その位
置ずれ、振動を防止する任意個数の位置ずれ振動防止機
構部１１を設けたものである。
の位置ずれや振動を防止し、液晶板のような被検査体の
搬送を常時正確に行って検査精度を一定に維持できる被
検査体の搬送検査装置を提供する。 【解決手段】本発明の被検査体の搬送検査装置は、矩形
状の被検査体を平行配置で循環駆動される搬送ベルト２
ａ、２ｂにより搬送しつつ検査光学系を用いて前記被検
査体を走査することにより被検査体の欠縮検査を行う被
検査体の搬送検査装置１であって、平行配置の搬送ベル
ト２ａ、２ｂの外周に巡らせた平行配置のガイドレール
６ａ、６ｂと、このガイドレール６ａ、６ｂにより各々
案内されつつ搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向端縁部を
挟持して搬送ベルト２ａ、２ｂとともに移動し、その位
置ずれ、振動を防止する任意個数の位置ずれ振動防止機
構部１１を設けたものである。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶板等の
ような被検査体の搬送検査装置に関するものである。
ような被検査体の搬送検査装置に関するものである。
【従来の技術】従来、各種ディスプレイ装置等に使用さ
れる液晶基板の製作は、例えば７００ｍｍ×９００ｍｍ
のガラス基板上に、６個の１４インチ又は１６インチの
ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｌｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）
を張り合わせて、更にＣＦ（Ｃｏｌｏｒ Ｆｉｌｔｅ
ｒ）を張り合わせ、これを切り取って製作される。上記
ＴＦＴは、５０万×３個（Ｒ，Ｇ，Ｂ三色）のトランジ
スター群によって構成される。そして、上記ＴＦＴの欠
陥検査は、一つの大きさがほぼ２０μｍ位で、７００ｍ
ｍの寸法の中で３６，０００点を検査することになる。
このような検査は、従来における被検査体の搬送検査装
置を示す図８に示すように、通常プーリ５５、５６（図
９に示す）に架け渡され循環駆動される平行配置の搬送
ベルト（タイミングベルト）５１、５１により３０ｃｍ
／ｓｅｃ程度の速度で矢印方向に搬送される途中でガラ
ス基板（ワーク）５０に対する光源６１とリニアＣＣＤ
（例えば８個使用）６２を用いた検査手段により４０Ｍ
Ｂ／ｓｅｃ程度の取り込み速度による画像取り込み処理
によって行われる。ガラス基板５０は、搬送ベルト５
１、５１により搬送される際に、これら搬送ベルト５
１、５１に連動するように設けた把持体（チャック）５
２により搬送方向に沿う両端縁部を把持されて位置決め
されつつ搬送される。また、搬送ベルト５１に連動する
把持体５２は通常搬送ベルト５１の全長を２分割する配
置で例えば２個設けられている。また、上述した従来の
被検査体の位置決め搬送装置は、ガラス基板５０の搬送
に搬送ベルト５１、５１を使用しており、この搬送ベル
ト５１は使用時間の経過とともに伸びるため、搬送ベル
ト５１の張力が低下してガラス基板５０の搬送に支障が
生じることを防止するため、図９に概略示すような搬送
ベルト５１の張力を一定に維持するように構成した張力
維持機構７０を備えている。この張力維持機構７０は搬
送ベルト５１の全長を１／２に分割する位置に例えば２
個取り付けている。そして、搬送ベルト５１の全外周の
外側を占める配置でガイドレール８０を巡らせ、２個の
張力維持機構７０をガイドレール８０によりガイドさせ
つつ搬送ベルト５１の移動に連動する状態で走行させ、
常時搬送ベルト５１の張力が一定になるようにしてい
る。
れる液晶基板の製作は、例えば７００ｍｍ×９００ｍｍ
のガラス基板上に、６個の１４インチ又は１６インチの
ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｌｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）
を張り合わせて、更にＣＦ（Ｃｏｌｏｒ Ｆｉｌｔｅ
ｒ）を張り合わせ、これを切り取って製作される。上記
ＴＦＴは、５０万×３個（Ｒ，Ｇ，Ｂ三色）のトランジ
スター群によって構成される。そして、上記ＴＦＴの欠
陥検査は、一つの大きさがほぼ２０μｍ位で、７００ｍ
ｍの寸法の中で３６，０００点を検査することになる。
このような検査は、従来における被検査体の搬送検査装
置を示す図８に示すように、通常プーリ５５、５６（図
９に示す）に架け渡され循環駆動される平行配置の搬送
ベルト（タイミングベルト）５１、５１により３０ｃｍ
／ｓｅｃ程度の速度で矢印方向に搬送される途中でガラ
ス基板（ワーク）５０に対する光源６１とリニアＣＣＤ
（例えば８個使用）６２を用いた検査手段により４０Ｍ
Ｂ／ｓｅｃ程度の取り込み速度による画像取り込み処理
によって行われる。ガラス基板５０は、搬送ベルト５
１、５１により搬送される際に、これら搬送ベルト５
１、５１に連動するように設けた把持体（チャック）５
２により搬送方向に沿う両端縁部を把持されて位置決め
されつつ搬送される。また、搬送ベルト５１に連動する
把持体５２は通常搬送ベルト５１の全長を２分割する配
置で例えば２個設けられている。また、上述した従来の
被検査体の位置決め搬送装置は、ガラス基板５０の搬送
に搬送ベルト５１、５１を使用しており、この搬送ベル
ト５１は使用時間の経過とともに伸びるため、搬送ベル
ト５１の張力が低下してガラス基板５０の搬送に支障が
生じることを防止するため、図９に概略示すような搬送
ベルト５１の張力を一定に維持するように構成した張力
維持機構７０を備えている。この張力維持機構７０は搬
送ベルト５１の全長を１／２に分割する位置に例えば２
個取り付けている。そして、搬送ベルト５１の全外周の
外側を占める配置でガイドレール８０を巡らせ、２個の
張力維持機構７０をガイドレール８０によりガイドさせ
つつ搬送ベルト５１の移動に連動する状態で走行させ、
常時搬送ベルト５１の張力が一定になるようにしてい
る。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の被検査体の位置決め搬送装置において
は、図９に示すように、搬送ベルト５１、５１に関し
て、プーリ５５に接触する点Ａと、張力維持機構７０に
より保持される点Ｂとが振動の拘束点として機能し、搬
送動作中において点Ａ、点Ｂ間で振動が生じて平行配置
の搬送ベルト５１、５１間で移動速度の違いによる位置
ずれ（ピッチズレ）が発生する。例えば、点Ａ、点Ｂ間
の距離を１ｍとし、点Ａ、点Ｂ間で最大振幅３ｍｍの振
動が発生したとすると、両搬送ベルト５１、５１間にお
いて搬送方向に関して数μｍ乃至数十μｍの位置ずれが
生じてしまう。この結果、図１０に点線で示すように、
ガラス基板５０が搬送方向に関して傾き（ガラス基板５
０の先端が搬送ベルト５１、５１の搬送方向に対して直
交しない配置）、光源６１とリニアＣＣＤ６２とにより
取得する画像が乱れ検査精度の低下を招くという問題が
あった。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであ
り、平行配置の搬送ベルトの搬送動作時の位置ずれや振
動を防止し、液晶板のような被検査体の搬送を常時正確
に行って検査精度を一定に維持できる被検査体の搬送検
査装置を提供するものである。
たような従来の被検査体の位置決め搬送装置において
は、図９に示すように、搬送ベルト５１、５１に関し
て、プーリ５５に接触する点Ａと、張力維持機構７０に
より保持される点Ｂとが振動の拘束点として機能し、搬
送動作中において点Ａ、点Ｂ間で振動が生じて平行配置
の搬送ベルト５１、５１間で移動速度の違いによる位置
ずれ（ピッチズレ）が発生する。例えば、点Ａ、点Ｂ間
の距離を１ｍとし、点Ａ、点Ｂ間で最大振幅３ｍｍの振
動が発生したとすると、両搬送ベルト５１、５１間にお
いて搬送方向に関して数μｍ乃至数十μｍの位置ずれが
生じてしまう。この結果、図１０に点線で示すように、
ガラス基板５０が搬送方向に関して傾き（ガラス基板５
０の先端が搬送ベルト５１、５１の搬送方向に対して直
交しない配置）、光源６１とリニアＣＣＤ６２とにより
取得する画像が乱れ検査精度の低下を招くという問題が
あった。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであ
り、平行配置の搬送ベルトの搬送動作時の位置ずれや振
動を防止し、液晶板のような被検査体の搬送を常時正確
に行って検査精度を一定に維持できる被検査体の搬送検
査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
矩形状の被検査体を平行配置で循環駆動される搬送ベル
トを用いた搬送手段により搬送しつつ検査光学系を用い
て前記被検査体を走査することにより被検査体の欠縮検
査を行う被検査体の搬送検査装置であって、前記平行配
置の搬送ベルトの外周に巡らせた平行配置のガイドレー
ルと、この平行配置のガイドレールにより各々案内され
つつ前記搬送ベルトの長さ方向端縁部を挟持して搬送ベ
ルトとともに移動し、搬送ベルトの位置ずれ、振動を防
止する１又は２以上任意個数の位置ずれ振動防止機構部
を設けたことを特徴とするものである。請求項２記載の
発明は、請求項１記載の被検査体の搬送検査装置におい
て、前記位置ずれ振動防止機構部は、搬送ベルトの長さ
方向端縁部に線又は点接触状態で接触し振動を防止する
ベルト拘束部と、このベルト拘束部をガイドレールに係
合させる移動案内部とを具備することを特徴とするもの
である。このような構成の本発明によれば、平行配置の
搬送ベルトの外周に巡らせた平行配置のガイドレールに
案内させつつ搬送ベルトの長さ方向端縁部を挟持して搬
送ベルトとともに移動し、搬送ベルトの位置ずれ、振動
を防止する任意個数の位置ずれ振動防止機構部を設けて
いるので、この位置ずれ振動防止機構部によって搬送ベ
ルトの搬送動作時の位置ずれ、振動を防止することがで
き、液晶板のような被検査体の搬送を常時正確に行って
検査精度を一定に維持することが可能となる。
矩形状の被検査体を平行配置で循環駆動される搬送ベル
トを用いた搬送手段により搬送しつつ検査光学系を用い
て前記被検査体を走査することにより被検査体の欠縮検
査を行う被検査体の搬送検査装置であって、前記平行配
置の搬送ベルトの外周に巡らせた平行配置のガイドレー
ルと、この平行配置のガイドレールにより各々案内され
つつ前記搬送ベルトの長さ方向端縁部を挟持して搬送ベ
ルトとともに移動し、搬送ベルトの位置ずれ、振動を防
止する１又は２以上任意個数の位置ずれ振動防止機構部
を設けたことを特徴とするものである。請求項２記載の
発明は、請求項１記載の被検査体の搬送検査装置におい
て、前記位置ずれ振動防止機構部は、搬送ベルトの長さ
方向端縁部に線又は点接触状態で接触し振動を防止する
ベルト拘束部と、このベルト拘束部をガイドレールに係
合させる移動案内部とを具備することを特徴とするもの
である。このような構成の本発明によれば、平行配置の
搬送ベルトの外周に巡らせた平行配置のガイドレールに
案内させつつ搬送ベルトの長さ方向端縁部を挟持して搬
送ベルトとともに移動し、搬送ベルトの位置ずれ、振動
を防止する任意個数の位置ずれ振動防止機構部を設けて
いるので、この位置ずれ振動防止機構部によって搬送ベ
ルトの搬送動作時の位置ずれ、振動を防止することがで
き、液晶板のような被検査体の搬送を常時正確に行って
検査精度を一定に維持することが可能となる。
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
１乃至図７を参照して詳細に説明する。図１は、本実施
の形態に係る被検査体１０の搬送検査装置１の一例の概
略構成を示すものである。この被検査体１０の搬送検査
装置１は、例えば矩形状の液晶板形成用の被検査体１０
を、搬送手段である一対の無端で幅広の搬送ベルト（タ
イミングベルト）２ａ、２ｂ及びタイミングベルト用の
プーリ８ａ、８ｂ（図２、図３参照）を用いた搬送コン
ベア２により搬送し、光源３及びラインＣＣＤ（ライン
センサ）４を有する検査光学系を用いて前記被検査体１
０の被検査体面（以下「検査面」という）を走査し撮像
と画像処理することにより、この検査面に設けられてい
るＴＦＴ等の液晶部の欠陥検査を行うようになってい
る。前記搬送コンベア２による被検査体１０の搬送方向
中央部位置（搬送コンベア２の幅寸法をＬとすると、Ｌ
／２となる位置）には、前記被検査体１０の搬入位置か
ら搬出位置に至るまでこの被検査体１０の搬送方向先端
縁に設けられている掴みしろを位置決め把持する把持手
段を構成する把持体５を取付板２３、連結板２４を用い
て取り付けている。本実施の形態ではこの把持体５は、
例えば搬送コンベア２の全周長を２分割する位置に合計
２箇所取り付けている。また、光源３からラインＣＣＤ
４への検査光路を妨げない配置で取り付けている。前記
搬送コンベア２の前段には、被検査体１０用の搬入ロー
ラコンベア２６が設けられ、前記搬送コンベア２の後段
には、被検査体１０用の搬出ローラコンベア２７が設け
られている。更に、前記搬送ベルト２ａ、２ｂには、搬
送ベルト２ａ、２ｂの張力微調整を行うバネ機構等を利
用したベルト張力付与機構４０を設けている。更に、本
実施の形態においては、図２に詳細に示すように、前記
平行配置の搬送ベルト２ａ、２ｂの外周に各々巡らせた
平行配置のガイドレール６ａ、６ｂ（図１では２点鎖で
示す）と、この平行配置のガイドレール６ａ、６ｂによ
り各々案内されつつ前記搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方
向端縁部を挟持して搬送ベルト２ａ、２ｂとともに移動
し、搬送ベルト２ａ、２ｂのピッチずれを防止し振動も
防止する任意個数の位置ずれ振動防止機構部１１を設け
ている。前記位置ずれ振動防止機構部１１は、図３、図
４に拡大して示すように、搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ
方向端縁部に線又は点接触状態で接触し、位置ずれ、振
動を防止するベルト拘束部１２と、このベルト拘束部１
２を前記ガイドレール６ａ、６ｂに移動可能に係合させ
る移動案内部１３とを具備している。前記ベルト拘束部
１２は、前記搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向両側の端
縁部の上下両側に各々線又は点接触状態で接触し挟持す
る片側２個、両側で計４個の例えば円棒状部材１４を断
面コ状の保持部材１５、１５より保持し、この保持部材
１５、１５を平板１６により連結している。そして、前
記移動案内部１３の下端を、平板１６に連結し、移動案
内部１３の上端の係合突部を前記ガイドレール６ａ、６
ｂに設けた案内溝６ｃに係合させることで、ベルト拘束
部１２をガイドレール６ａ、６ｂに係合させつつベルト
拘束部１２をガイドレール６ａ、６ｂま長さ方向に移動
可能に支持している。このような位置ずれ振動防止機構
部１１は、搬送ベルト２ａ、２ｂに対して例えば３００
ｍｍ間隔で所要個数取り付ける。以下に、上述した搬送
検査装置１の作用を説明する。なお、図６は本実施の形
態の搬送検査装置１の被検査体１０の搬送途中の動作説
明図、図７は本実施の形態の搬送検査装置１の被検査体
１０の搬出直前の動作説明図である。前記搬入側ローラ
コンベア２６により次々とタイミング良く運び込こまれ
る被検査体１０は、前記搬送コンベア２の搬送ベルト２
ａ、２ｂに受け渡され（図２）、このとき、所定のタイ
ミングで前記把持体５により搬送方向中央部位置の掴み
しろの部分を把持されて位置決めされる。つまり、搬入
側ローラコンベア２６から押し出される力で、液晶板形
成用の被検査体１０の搬送方向中央部位置の掴みしろの
部分が把持体５に挟まれるような形態となる。そして、
搬送コンベア２の搬送ベルト２ａ、２ｂの矢印方向への
移動とともに把持体５も被検査体１０を把持しつつ移動
し、光源３からラインＣＣＤ４への検査光路を通過し
（図３）、欠陥検査工程が終了した後、図４に示す位置
よりも少し先の位置である搬出端において把持体５は被
検査体１０を自動的に解放し、これにより、被検査体１
０は搬出ローラコンベア２７へ搬出され、次工程へと運
ばれる。この後把持体５は一定軌道を巡回する。このよ
うにして、本実施の形態の搬送検査装置１によれば、前
記位置ずれ振動防止機構部１１を、平行配置のタイミン
グベルトからなる搬送ベルト２ａ、２ｂに対して例えば
３００ｍｍ間隔で所要個数設置していることから、搬送
ベルト２ａ、２ｂによる被検査体１０の搬送動作時にお
いて、搬送ベルト２ａ、２ｂ間の位置ずれ（ピッチず
れ）を防止し、また、振動をも防止することができ、液
晶板のような被検査体１０の搬送を常時正確に行う事が
でき、前記光源３及びラインＣＣＤ４を有する検査光学
系による検査精度を常に一定に維持することが可能とな
る。そして、被検査体１０の位置決め搬送を迅速、且
つ、円滑に行ない、欠陥検査工程終了後、自動的に次工
程へ搬出でき、検査時間を短縮できる。図１１は本実施
の形態の被検査体１０の搬送検査装置１の変形例を示す
ものである。図１１に示す搬送検査装置１Ａは、図１に
示す搬送検査装置１と基本的な構成は同様であるが、光
源３３及びラインＣＣＤ（ラインセンサ）３４からなる
光反射型の検査光学系を用いて前記被検査体１０の被検
査体面を走査し撮像して画像処理するように構成した事
が特徴である。この他の構成は図１に示す搬送検査装置
１と同一である。このような構成によっても、図１に示
す搬送検査装置１の場合と同様、液晶板のような被検査
体１０の搬送を行う平行配置の搬送ベルト２ａ、２ｂ間
の位置ずれを防止し、また、振動をも防止することがで
き、液晶板のような被検査体ぬわの搬送を常時正確に行
い、検査光学系による検査精度を常に一定に維持するこ
とが可能となる。図１２は、前記位置ずれ振動防止機構
部１１の変形例を示すものであり、図１２に示す位置ず
れ振動防止機構部１１Ａは、搬送ベルト２ａ、２ｂの長
さ方向端縁部に線又は点接触状態で接触し、位置ずれ、
振動を防止するベルト拘束部１２Ａと、このベルト拘束
部１２Ａを前記ガイドレール６ａ、６ｂに移動可能に係
合させる移動案内部１３とを具備している。ベルト拘束
部１２Ａは、搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向両側の端
縁部の上下両側に各々線又は点接触状態で接触し挟持す
る片側２個、両側で計４個の円棒状部材（コロ）１４ａ
を断面コ状の保持部材１５、１５より保持し、この保持
部材１５、１５を平板１６により連結している。そし
て、移動案内部１３の下端を平板１６に連結し、移動案
内部１３の上端に上下に間隔をもって形成した側面コ状
の係合突部１３ａ、１３ｂにより前記ガイドレール６
ａ、６ｂを上下から挟み込むようにして摺動可能に係合
させることで、前記ベルト拘束部１２Ａをガイドレール
６ａ、６ｂに係合させつつこのガイドレール６ａ、６ｂ
の長さ方向に移動可能に支持している。このような位置
ずれ振動防止機構部１１は、搬送ベルト２ａ、２ｂに対
して例えば３００ｍｍ間隔で所要個数取り付ける。この
ような位置ずれ振動防止機構部１１の構成によっても、
図３に示す位置ずれ振動防止機構部１１と同様な作用効
果を発揮させる事ができる。
１乃至図７を参照して詳細に説明する。図１は、本実施
の形態に係る被検査体１０の搬送検査装置１の一例の概
略構成を示すものである。この被検査体１０の搬送検査
装置１は、例えば矩形状の液晶板形成用の被検査体１０
を、搬送手段である一対の無端で幅広の搬送ベルト（タ
イミングベルト）２ａ、２ｂ及びタイミングベルト用の
プーリ８ａ、８ｂ（図２、図３参照）を用いた搬送コン
ベア２により搬送し、光源３及びラインＣＣＤ（ライン
センサ）４を有する検査光学系を用いて前記被検査体１
０の被検査体面（以下「検査面」という）を走査し撮像
と画像処理することにより、この検査面に設けられてい
るＴＦＴ等の液晶部の欠陥検査を行うようになってい
る。前記搬送コンベア２による被検査体１０の搬送方向
中央部位置（搬送コンベア２の幅寸法をＬとすると、Ｌ
／２となる位置）には、前記被検査体１０の搬入位置か
ら搬出位置に至るまでこの被検査体１０の搬送方向先端
縁に設けられている掴みしろを位置決め把持する把持手
段を構成する把持体５を取付板２３、連結板２４を用い
て取り付けている。本実施の形態ではこの把持体５は、
例えば搬送コンベア２の全周長を２分割する位置に合計
２箇所取り付けている。また、光源３からラインＣＣＤ
４への検査光路を妨げない配置で取り付けている。前記
搬送コンベア２の前段には、被検査体１０用の搬入ロー
ラコンベア２６が設けられ、前記搬送コンベア２の後段
には、被検査体１０用の搬出ローラコンベア２７が設け
られている。更に、前記搬送ベルト２ａ、２ｂには、搬
送ベルト２ａ、２ｂの張力微調整を行うバネ機構等を利
用したベルト張力付与機構４０を設けている。更に、本
実施の形態においては、図２に詳細に示すように、前記
平行配置の搬送ベルト２ａ、２ｂの外周に各々巡らせた
平行配置のガイドレール６ａ、６ｂ（図１では２点鎖で
示す）と、この平行配置のガイドレール６ａ、６ｂによ
り各々案内されつつ前記搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方
向端縁部を挟持して搬送ベルト２ａ、２ｂとともに移動
し、搬送ベルト２ａ、２ｂのピッチずれを防止し振動も
防止する任意個数の位置ずれ振動防止機構部１１を設け
ている。前記位置ずれ振動防止機構部１１は、図３、図
４に拡大して示すように、搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ
方向端縁部に線又は点接触状態で接触し、位置ずれ、振
動を防止するベルト拘束部１２と、このベルト拘束部１
２を前記ガイドレール６ａ、６ｂに移動可能に係合させ
る移動案内部１３とを具備している。前記ベルト拘束部
１２は、前記搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向両側の端
縁部の上下両側に各々線又は点接触状態で接触し挟持す
る片側２個、両側で計４個の例えば円棒状部材１４を断
面コ状の保持部材１５、１５より保持し、この保持部材
１５、１５を平板１６により連結している。そして、前
記移動案内部１３の下端を、平板１６に連結し、移動案
内部１３の上端の係合突部を前記ガイドレール６ａ、６
ｂに設けた案内溝６ｃに係合させることで、ベルト拘束
部１２をガイドレール６ａ、６ｂに係合させつつベルト
拘束部１２をガイドレール６ａ、６ｂま長さ方向に移動
可能に支持している。このような位置ずれ振動防止機構
部１１は、搬送ベルト２ａ、２ｂに対して例えば３００
ｍｍ間隔で所要個数取り付ける。以下に、上述した搬送
検査装置１の作用を説明する。なお、図６は本実施の形
態の搬送検査装置１の被検査体１０の搬送途中の動作説
明図、図７は本実施の形態の搬送検査装置１の被検査体
１０の搬出直前の動作説明図である。前記搬入側ローラ
コンベア２６により次々とタイミング良く運び込こまれ
る被検査体１０は、前記搬送コンベア２の搬送ベルト２
ａ、２ｂに受け渡され（図２）、このとき、所定のタイ
ミングで前記把持体５により搬送方向中央部位置の掴み
しろの部分を把持されて位置決めされる。つまり、搬入
側ローラコンベア２６から押し出される力で、液晶板形
成用の被検査体１０の搬送方向中央部位置の掴みしろの
部分が把持体５に挟まれるような形態となる。そして、
搬送コンベア２の搬送ベルト２ａ、２ｂの矢印方向への
移動とともに把持体５も被検査体１０を把持しつつ移動
し、光源３からラインＣＣＤ４への検査光路を通過し
（図３）、欠陥検査工程が終了した後、図４に示す位置
よりも少し先の位置である搬出端において把持体５は被
検査体１０を自動的に解放し、これにより、被検査体１
０は搬出ローラコンベア２７へ搬出され、次工程へと運
ばれる。この後把持体５は一定軌道を巡回する。このよ
うにして、本実施の形態の搬送検査装置１によれば、前
記位置ずれ振動防止機構部１１を、平行配置のタイミン
グベルトからなる搬送ベルト２ａ、２ｂに対して例えば
３００ｍｍ間隔で所要個数設置していることから、搬送
ベルト２ａ、２ｂによる被検査体１０の搬送動作時にお
いて、搬送ベルト２ａ、２ｂ間の位置ずれ（ピッチず
れ）を防止し、また、振動をも防止することができ、液
晶板のような被検査体１０の搬送を常時正確に行う事が
でき、前記光源３及びラインＣＣＤ４を有する検査光学
系による検査精度を常に一定に維持することが可能とな
る。そして、被検査体１０の位置決め搬送を迅速、且
つ、円滑に行ない、欠陥検査工程終了後、自動的に次工
程へ搬出でき、検査時間を短縮できる。図１１は本実施
の形態の被検査体１０の搬送検査装置１の変形例を示す
ものである。図１１に示す搬送検査装置１Ａは、図１に
示す搬送検査装置１と基本的な構成は同様であるが、光
源３３及びラインＣＣＤ（ラインセンサ）３４からなる
光反射型の検査光学系を用いて前記被検査体１０の被検
査体面を走査し撮像して画像処理するように構成した事
が特徴である。この他の構成は図１に示す搬送検査装置
１と同一である。このような構成によっても、図１に示
す搬送検査装置１の場合と同様、液晶板のような被検査
体１０の搬送を行う平行配置の搬送ベルト２ａ、２ｂ間
の位置ずれを防止し、また、振動をも防止することがで
き、液晶板のような被検査体ぬわの搬送を常時正確に行
い、検査光学系による検査精度を常に一定に維持するこ
とが可能となる。図１２は、前記位置ずれ振動防止機構
部１１の変形例を示すものであり、図１２に示す位置ず
れ振動防止機構部１１Ａは、搬送ベルト２ａ、２ｂの長
さ方向端縁部に線又は点接触状態で接触し、位置ずれ、
振動を防止するベルト拘束部１２Ａと、このベルト拘束
部１２Ａを前記ガイドレール６ａ、６ｂに移動可能に係
合させる移動案内部１３とを具備している。ベルト拘束
部１２Ａは、搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向両側の端
縁部の上下両側に各々線又は点接触状態で接触し挟持す
る片側２個、両側で計４個の円棒状部材（コロ）１４ａ
を断面コ状の保持部材１５、１５より保持し、この保持
部材１５、１５を平板１６により連結している。そし
て、移動案内部１３の下端を平板１６に連結し、移動案
内部１３の上端に上下に間隔をもって形成した側面コ状
の係合突部１３ａ、１３ｂにより前記ガイドレール６
ａ、６ｂを上下から挟み込むようにして摺動可能に係合
させることで、前記ベルト拘束部１２Ａをガイドレール
６ａ、６ｂに係合させつつこのガイドレール６ａ、６ｂ
の長さ方向に移動可能に支持している。このような位置
ずれ振動防止機構部１１は、搬送ベルト２ａ、２ｂに対
して例えば３００ｍｍ間隔で所要個数取り付ける。この
ような位置ずれ振動防止機構部１１の構成によっても、
図３に示す位置ずれ振動防止機構部１１と同様な作用効
果を発揮させる事ができる。
【発明の効果】本発明によれば、搬送手段上に受け入れ
た例えば液晶板のような被検査体の搬送を行う平行配置
の搬送ベルト間の位置ずれを防止し、また、振動をも防
止することができ、液晶板のような被検査体の搬送を常
時正確に行い、検査光学系による検査精度を常に一定に
維持することが可能な被検査体の搬送検査装置を提供で
きる。
た例えば液晶板のような被検査体の搬送を行う平行配置
の搬送ベルト間の位置ずれを防止し、また、振動をも防
止することができ、液晶板のような被検査体の搬送を常
時正確に行い、検査光学系による検査精度を常に一定に
維持することが可能な被検査体の搬送検査装置を提供で
きる。
【図１】本発明の実施の形態の被検査体の搬送検査装置
の概略構成を示す斜視図である。
の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態の被検査体の搬送検査装置の概略
構成を示す側面図である。
構成を示す側面図である。
【図３】本実施の形態の振動防止機構部の拡大断面図で
ある。
ある。
【図４】本実施の形態の振動防止機構部の拡大側面図で
ある。
ある。
【図５】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬入時
の動作説明図である。
の動作説明図である。
【図６】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬送途
中の動作説明図である。
中の動作説明図である。
【図７】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬出直
前の動作説明図である。
前の動作説明図である。
【図８】従来の被検査体の搬送検査装置の構成を示す概
略平面図である。
略平面図である。
【図９】従来の被検査体の搬送検査装置の構成を示す概
略側面図である。
略側面図である。
【図１０】従来の被検査体の搬送検査装置におけるガラ
ス基板の位置ずれを示す概略平面図である。
ス基板の位置ずれを示す概略平面図である。
【図１１】本実施の形態の被検査体の搬送検査装置の変
形例を斜視図である。
形例を斜視図である。
【図１２】本実施の形態の位置ずれ振動防止機構部の変
形例の拡大断面図である。
形例の拡大断面図である。
１ 搬送検査装置
２ 搬送コンベア
２ａ 搬送ベルト
２ｂ 搬送ベルト
３ 光源
４ ラインＣＣＤ
５ 把持体
６ａ、６ｂ ガイドレール
８ａ、８ｂ プーリ
１０ 被検査体
１１ 位置ずれ振動防止機構部
１２ ベルト拘束部
１３ 移動案内部
１４ 円棒状部材
１５ 保持部材
１６ 平板
２６ 搬入ローラコンベア
２７ 搬出ローラコンベア
３３ 光源
３４ ラインＣＣＤ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA61 BB02 CC00 FF04
JJ02 JJ05 JJ09 JJ25 MM03
PP15 UU04
2G051 AA73 AA90 AB02 CA04 CB02
DA01 DA06 DA09
2G086 EE10
5F031 CA05 FA02 FA07 FA14 GA51
GA53 HA09 HA57 HA60 JA03
JA14 JA33 MA33 PA02
Claims (2)
- 【請求項１】矩形状の被検査体を平行配置で循環駆動さ
れる搬送ベルトを用いた搬送手段により搬送しつつ検査
光学系を用いて前記被検査体を走査することにより被検
査体の欠縮検査を行う被検査体の搬送検査装置であっ
て、 前記平行配置の搬送ベルトの外周に巡らせた平行配置の
ガイドレールと、 この平行配置のガイドレールにより各々案内されつつ前
記搬送ベルトの長さ方向端縁部を挟持して搬送ベルトと
ともに移動し、搬送ベルトの位置ずれ、振動を防止する
１又は２以上任意個数の位置ずれ振動防止機構部を設け
たことを特徴とする被検査体の搬送検査装置。 - 【請求項２】前記位置ずれ振動防止機構部は、搬送ベル
トの長さ方向端縁部に線又は点接触状態で接触し振動を
防止するベルト拘束部と、このベルト拘束部をガイドレ
ールに係合させる移動案内部とを具備することを特徴と
する請求項１記載の被検査体の搬送検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002081460A JP2003279493A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 被検査体の搬送検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002081460A JP2003279493A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 被検査体の搬送検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003279493A true JP2003279493A (ja) | 2003-10-02 |
Family
ID=29230081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002081460A Pending JP2003279493A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 被検査体の搬送検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003279493A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101142952B1 (ko) | 2010-03-22 | 2012-05-11 | 주식회사 아바코 | 케이블베어 처짐 방지 장치 및 이를 구비한 케이블베어 시스템 |
| JP2015504598A (ja) * | 2011-11-08 | 2015-02-12 | インテヴァック インコーポレイテッド | 基板処理システムおよび基板処理方法 |
| US9583661B2 (en) | 2012-12-19 | 2017-02-28 | Intevac, Inc. | Grid for plasma ion implant |
| CN106494847A (zh) * | 2016-10-19 | 2017-03-15 | 宁夏大学 | 皮带运输机巡检系统 |
| US9741894B2 (en) | 2009-06-23 | 2017-08-22 | Intevac, Inc. | Ion implant system having grid assembly |
| WO2024091647A1 (en) * | 2022-10-28 | 2024-05-02 | Applied Materials, Inc. | Transporting media for inspection with low particle generation |
-
2002
- 2002-03-22 JP JP2002081460A patent/JP2003279493A/ja active Pending
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| US9875922B2 (en) | 2011-11-08 | 2018-01-23 | Intevac, Inc. | Substrate processing system and method |
| US9583661B2 (en) | 2012-12-19 | 2017-02-28 | Intevac, Inc. | Grid for plasma ion implant |
| CN106494847A (zh) * | 2016-10-19 | 2017-03-15 | 宁夏大学 | 皮带运输机巡检系统 |
| CN106494847B (zh) * | 2016-10-19 | 2018-08-07 | 宁夏大学 | 皮带运输机巡检系统 |
| WO2024091647A1 (en) * | 2022-10-28 | 2024-05-02 | Applied Materials, Inc. | Transporting media for inspection with low particle generation |
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