JPH10311680A - 長尺薄板の乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長尺薄板の板幅が変化した場合であっても長
尺薄板の両主面を同一の条件で乾燥することができる長
尺薄板の乾燥装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 乾燥装置は、乾燥炉１と、長尺薄板Ｐを
支持して乾燥炉１中を搬送させる一対の搬送ローラ２と
を備える。乾燥炉１における搬送ローラ２により搬送さ
れる長尺薄板Ｐの両主面側には、各々一対のエアーナイ
フ３と吸水性を有するスポンジローラ４とが配設されて
いる。乾燥炉１は、シリンダ機構６の駆動により、エア
ーナイフ３およびスポンジローラ４とともに、図１にお
いて実線で示す位置と二点鎖線で示す位置の間を移動す
る。また、上流側に配設された搬送ローラ２のさらに上
流側には、長尺薄板Ｐの板幅を検出するための板幅検出
センサ７が配設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は長尺薄板の乾燥装
置に関し、特に、カラー受像管用のシャドウマスク、ト
リニトロン（登録商標）管等に使用するアパーチャグリ
ル、半導体素子用のリードフレーム等をフォトエッチン
グ法を利用して製造する際に、シャドウマスク、アパー
チャグリルまたはリードフレーム等の素材である長尺薄
板の乾燥に好適に用いられる長尺薄板の乾燥装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、フォトエッチング法によりシャ
ドウマスクを製造する製造ラインには、シャドウマスク
の素材である金属製の長尺薄板に付着した洗浄液等の処
理液を除去して長尺薄板を乾燥させるための長尺薄板の
乾燥装置が配設されている。

【０００３】図４は従来の長尺薄板の乾燥装置の側面概
要図であり、図５はその搬送ローラ２を示す平面図であ
る。

【０００４】この乾燥装置は、乾燥炉１と、長尺薄板Ｐ
を支持して乾燥炉１中を搬送させる一対の搬送ローラ２
とを備える。

【０００５】乾燥炉１における搬送ローラ２により搬送
される長尺薄板Ｐの両主面側には、各々一対のエアーナ
イフ３と吸水性を有するスポンジローラ４とが配設され
ている。エアーナイフ３は、長尺薄板Ｐの両主面に対し
高圧の空気を噴出することにより、長尺薄板Ｐに付着し
た処理液を除去するものである。また、スポンジローラ
４は、長尺薄板Ｐの両主面に当接することにより、長尺
薄板Ｐに付着した処理液を吸い取って除去するものであ
る。

【０００６】なお、スポンジローラ４は、互いに噛合す
る一対のギヤ１２に連結されたアーム１３に支持されて
おり、一対のギヤ１２のうちの一方のギヤ１２は、エア
シリンダ１７の駆動により往復移動するラック１５とギ
ヤ１６を介して連結している。このため、スポンジロー
ラ４は、エアシリンダ１７の駆動により、図４に示す長
尺薄板Ｐの両主面に当接する位置と、そこから離隔した
位置との間を往復移動可能となっている。

【０００７】また、長尺薄板Ｐを支持して搬送する搬送
ローラ２は、図５に示すように、その両端部に、互いに
直径の異なる複数の鍔部２１、２２、２３、２４、２５
からなる支持部２０を備える。これらの鍔部２１、２
２、２３、２４、２５は、搬送ローラ２の中央部から両
端部に向けて順次その直径が大きくなっており、鍔部２
１、２２、２３、２４で互いに板幅の異なる４種類の長
尺薄板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４の主面両端部を支持する
とともに、鍔部２２、２３、２４、２５を長尺薄板Ｐ
１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４（以下、これらを総称する場合に
は「長尺薄板」Ｐという）の端縁に当接させてその幅方
向の位置を規制するよう構成されている。

【０００８】より具体的には、最も板幅が狭い長尺薄板
Ｐ１を搬送する場合には、鍔部２１でこの長尺薄板Ｐ１
の主面両端部を支持するとともに、鍔部２２を長尺薄板
Ｐ１の端縁に当接させてその幅方向の位置を規制する。
同様に、長尺薄板Ｐ２を搬送する場合には、鍔部２２で
この長尺薄板Ｐ２の主面両端部を支持するとともに、鍔
部２３を長尺薄板Ｐ２の端縁に当接させてその幅方向の
位置を規制する。また、長尺薄板Ｐ３を搬送する場合に
は、鍔部２３でこの長尺薄板Ｐ３の主面両端部を支持す
るとともに、鍔部２４を長尺薄板Ｐ３の端縁に当接させ
てその幅方向の位置を規制する。さらに、最も板幅が広
い長尺薄板Ｐ４を搬送する場合には、鍔部２４でこの長
尺薄板Ｐ４の主面両端部を支持するとともに、鍔部２５
を長尺薄板Ｐ４の端縁に当接させてその幅方向の位置を
規制する。

【０００９】上述した乾燥装置により長尺薄板Ｐを乾燥
する場合においては、図４において矢印で示す長尺薄板
Ｐの搬送方向の上流側に配設された搬送ローラ２に長尺
薄板Ｐの一方の主面を当接させ、長尺薄板Ｐの搬送方向
の下流側に配設された搬送ローラ２に長尺薄板Ｐの他方
の主面を当接させた状態で、長尺薄板Ｐを乾燥炉１中を
搬送させる。そして、長尺薄板Ｐの両主面にスポンジロ
ーラ４を当接させ、長尺薄板Ｐに付着した処理液をスポ
ンジローラ４に吸い取らせて除去した後、エアーナイフ
３から長尺薄板Ｐの両主面に対し高圧の空気を噴出する
ことにより、長尺薄板Ｐに付着した処理液を完全に除去
する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の乾燥
装置において、長尺薄板Ｐの板幅が変化した場合には、
長尺薄板Ｐの両端部が支持される鍔部２１、２２、２
３、２４が変化することから、長尺薄板Ｐの搬送経路が
変化する。このため、長尺薄板Ｐとエアーナイフ３また
はスポンジローラ４との間隔が両主面側で互いに異なる
ことになる。

【００１１】例えば、図４において実線で示すように、
図５に示す最も板幅が狭い長尺薄板Ｐ１を搬送ローラ２
の鍔部２１で支持して搬送する場合に、長尺薄板Ｐ１が
一対のエアーナイフ３間の中央を通過するように、乾燥
装置における各々一対のエアーナイフ３および搬送ロー
ラ２を配置すれば、この乾燥装置により最も板幅が広い
長尺薄板Ｐ４を搬送ローラ２の鍔部２４により支持して
搬送した場合には、図４において二点鎖線で示すよう
に、長尺薄板Ｐ４は、一対のエアーナイフ３のうちの一
方に近接する位置に移動する。このように、長尺薄板Ｐ
とエアーナイフ３との間隔が両主面側で互いに異なった
場合には、長尺薄板Ｐの両主面において乾燥状態に差が
生じるという問題が生ずる。

【００１２】このような問題は、一対のエアーナイフ３
のみならず、一対のスポンジローラ４においても生ず
る。すなわち、長尺薄板Ｐの搬送経路が変化した場合に
は、長尺薄板Ｐが一対のスポンジローラ４の一方にのみ
当接したり、長尺薄板Ｐに対するスポンジローラ４の押
圧力が変化したりすることにより、長尺薄板Ｐの両主面
において乾燥状態に差が生じる。

【００１３】この発明は上記課題を解決するためになさ
れたものであり、長尺薄板の板幅が変化した場合であっ
ても長尺薄板の両主面を同一の条件で乾燥することがで
きる長尺薄板の乾燥装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明は、互いに直径
の異なる複数の鍔部から構成され板幅の異なる長尺薄板
の両端部に各々当接して長尺薄板を支持する支持部をそ
の両端に備える一対の搬送ローラと、一対の搬送ローラ
により支持される長尺薄板の両主面側に配設された乾燥
部材とを有し、長尺薄板を乾燥部材の間を通過させるこ
とにより、長尺薄板に付着した処理液を除去する長尺薄
板の乾燥装置において、長尺薄板の板幅に応じて、乾燥
部材または搬送ローラを移動させる移動手段を配設した
ことを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１は、この発明の第１実施形
態に係る長尺薄板Ｐの乾燥装置の側面概要図である。な
お、図４に示す従来の乾燥装置と同一の部材について
は、同一の符号を付している。

【００１６】この乾燥装置は、従来の乾燥装置と同様、
乾燥炉１と、長尺薄板Ｐを支持して乾燥炉１中を搬送さ
せる一対の搬送ローラ２とを備える。

【００１７】乾燥炉１における搬送ローラ２により搬送
される長尺薄板Ｐの両主面側には、乾燥部材としての各
々一対のエアーナイフ３と吸水性を有するスポンジロー
ラ４とが配設されている。エアーナイフ３は、長尺薄板
Ｐの両主面に対し高圧の空気を噴出することにより、長
尺薄板Ｐに付着した処理液を除去するものである。ま
た、スポンジローラ４は、長尺薄板Ｐの両主面に当接す
ることにより、長尺薄板Ｐに付着した処理液を吸い取っ
て除去するものである。

【００１８】なお、スポンジローラ４は、互いに噛合す
る一対のギヤ１２に連結されたアーム１３に支持されて
おり、一対のギヤ１２のうちの一方のギヤ１２は、エア
シリンダ１７の駆動により往復移動するラック１５とギ
ヤ１６を介して連結している。このため、スポンジロー
ラ４は、エアシリンダ１７の駆動により、図１に示す長
尺薄板Ｐの両主面に当接する位置と、そこから離隔した
位置との間を往復移動可能となっている。

【００１９】また、長尺薄板Ｐを支持して搬送する搬送
ローラ２は、図５に示す構造を有する。すなわち、この
搬送ローラ２は、その両端部に、互いに直径の異なる複
数の鍔部２１、２２、２３、２４、２５からなる支持部
２０を備える。これらの鍔部２１、２２、２３、２４、
２５は、搬送ローラ２の中央部から両端部に向けて順次
その直径が大きくなっており、鍔部２１、２２、２３、
２４で互いに板幅の異なる４種類の長尺薄板Ｐ１、Ｐ
２、Ｐ３、Ｐ４の主面両端部を支持するとともに、鍔部
２２、２３、２４、２５を長尺薄板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、
Ｐ４の端縁に当接させてその幅方向の位置を規制するよ
う構成されている。

【００２０】上述した乾燥炉１は、ガイドレール５に沿
って平行移動可能となっている。そして、乾燥炉１は、
乾燥装置本体に固定されたエアシリンダ等から構成され
るシリンダ機構６と連結されている。このため、乾燥炉
１は、シリンダ機構６の駆動により、図１において実線
で示す位置と二点鎖線で示す位置の間を移動する。な
お、図１において実線で示す位置は、図５に示す最も板
幅が狭い長尺薄板Ｐ１を搬送ローラ２の鍔部２１で支持
して搬送する場合に、長尺薄板Ｐ１が一対のエアーナイ
フ３間の中央を通過する位置である。また、図１におい
て二点鎖線で示す位置は、図５に示す最も板幅が広い長
尺薄板Ｐ４を搬送ローラ２の鍔部２４で支持して搬送す
る場合に、長尺薄板Ｐ４が一対のエアーナイフ３間の中
央を通過する位置である。

【００２１】さらに、図１において矢印で示す長尺薄板
Ｐの搬送方向の上流側に配設された搬送ローラ２のさら
に上流側には、長尺薄板Ｐの板幅を検出するための板幅
検出センサ７が配設されている。この板幅検出センサ７
は、シリンダ機構６と図示しない制御部を介して電気的
に接続されている。

【００２２】上述した乾燥装置により長尺薄板Ｐを乾燥
する場合においては、長尺薄板Ｐの搬送方向の上流側に
配設された搬送ローラ２に長尺薄板Ｐの一方の主面を当
接させ、長尺薄板Ｐの搬送方向の下流側に配設された搬
送ローラ２に長尺薄板Ｐの他方の主面を当接させた状態
で、長尺薄板Ｐを乾燥炉１中を搬送させる。そして、板
幅検出センサ７により、長尺薄板Ｐの板幅を検出する。

【００２３】板幅検出センサ７により、搬送ローラ２で
搬送されている長尺薄板Ｐの板幅を検出することによ
り、長尺薄板Ｐが搬送ローラ２の支持部２０におけるど
の鍔部により支持されているかを識別することができ、
そのときの長尺薄板Ｐの搬送経路を判断することができ
る。これにより、シリンダ機構６によって乾燥炉１を、
そこに配設されたエアーナイフ３およびスポンジローラ
４とともに、一対の搬送ローラ２により搬送される長尺
薄板Ｐが一対のエアーナイフ３間の中央を通過する位置
まで、水平方向に移動させる。

【００２４】そして、エアシリンダ１７の駆動により、
長尺薄板Ｐの両主面にスポンジローラ４を当接させる。
また、エアーナイフ３から長尺薄板Ｐの両主面に対し高
圧の空気を噴出する。これにより、長尺薄板Ｐに付着し
た処理液をスポンジローラ４に吸い取らせて除去した
後、エアーナイフ３からの高圧の空気により長尺薄板Ｐ
に付着した処理液を完全に除去することができる。

【００２５】このとき、長尺薄板Ｐを乾燥するための乾
燥部材としてのエアーナイフ３およびスポンジローラ４
は、乾燥炉１の移動に伴い、長尺薄板Ｐの搬送経路の変
動に対応するように移動している。このため、長尺薄板
Ｐの両主面を同一の条件で乾燥することが可能となる。

【００２６】なお、上述した乾燥炉１の移動により、長
尺薄板Ｐは一対のエアーナイフ３間の中央を通過するこ
とになるが、長尺薄板Ｐが搬送ローラ２の支持部２０に
おける比較的小径の鍔部により支持されて搬送される場
合には、長尺薄板Ｐの搬送経路が鉛直方向に対して傾斜
することから、長尺薄板Ｐは一対のスポンジローラ４間
の正確な中央位置を通過することにはならない。しかし
ながら、スポンジローラ４は適度の弾性を有することか
ら、この程度の誤差が長尺薄板Ｐの両主面の乾燥状態に
影響を与えることはない。

【００２７】上述した実施の形態においては、乾燥炉１
を移動させることにより、長尺薄板Ｐの搬送経路の移動
に対応している。このため、長尺薄板２の搬送方向に対
して上流側に配設された搬送ローラ２が例えば処理液槽
中に浸漬されたローラである場合等、この搬送ローラ２
を移動し得ない場合においても、長尺薄板Ｐの搬送経路
の変動に対応することができる。

【００２８】なお、上述した実施の形態においては、乾
燥炉１を介して乾燥部材としてのエアーナイフ３および
スポンジローラ４を水平方向に移動させているが、エア
ーナイフ３およびスポンジローラ４を直接、個別の移動
手段により移動させるようにしてもよい。

【００２９】次に、この発明の他の実施の形態について
説明する。図２は、この発明の第２実施形態に係る長尺
薄板Ｐの乾燥装置の側面概要図である。なお、図１に示
す第１実施形態に係る乾燥装置と同一の部材について
は、同一の符号を付している。

【００３０】この第２実施形態に係る乾燥装置は、乾燥
炉１を移動させるかわりに、一対の搬送ローラ２を、図
２において実線で示す位置と二点鎖線で示す位置の間で
移動させるようにした点が、上述した第１実施形態とは
異なる。すなわち、この実施の形態の形態においては、
図２において矢印で示す長尺薄板Ｐの搬送方向に対して
上流側の搬送ローラ２は、乾燥装置本体に固定されたエ
アシリンダ等から構成されるシリンダ機構９と連結され
ている。また、長尺薄板Ｐの搬送方向に対して下流側の
搬送ローラ２は、乾燥装置本体に固定されたエアシリン
ダ等から構成されるシリンダ機構８と連結されている。

【００３１】この第２実施形態に係る乾燥装置により長
尺薄板Ｐを乾燥する場合においては、シリンダ機構８、
９と図示しない制御部を介して電気的に接続された板幅
検出センサ７により、搬送ローラ２で搬送されている長
尺薄板Ｐの板幅を検出し、シリンダ機構８、９により各
搬送ローラ２を、これらの搬送ローラ２により搬送され
る長尺薄板Ｐが一対のエアーナイフ３間の中央を通過す
る位置まで水平方向に移動させる。

【００３２】そして、エアシリンダ１７の駆動により、
長尺薄板Ｐの両主面にスポンジローラ４を当接させる。
また、エアーナイフ３から長尺薄板Ｐの両主面に対し高
圧の空気を噴出する。これにより、長尺薄板Ｐに付着し
た処理液をスポンジローラ４に吸い取らせて除去した
後、エアーナイフ３からの高圧の空気により長尺薄板Ｐ
に付着した処理液を完全に除去することができる。この
とき、各搬送ローラ２の移動に伴い、これらの搬送ロー
ラ２により搬送される長尺薄板Ｐが一対のエアーナイフ
３間の中央を通過する位置に移動していることから、長
尺薄板Ｐの両主面を同一の条件で乾燥することが可能と
なる。

【００３３】なお、上述した実施の形態においては、各
搬送ローラ２を移動させていることから、長尺薄板Ｐの
搬送経路を常に鉛直方向に維持することができる。この
ため、各搬送ローラ２をこれらの搬送ローラ２により搬
送される長尺薄板Ｐが一対のエアーナイフ３間の中央を
通過する位置に移動させた場合に、この長尺薄板Ｐは一
対のスポンジローラ４に対してもその中央位置を通過す
ることになる。従って、長尺薄板Ｐの両主面の乾燥状態
を、さらに同一の状態に維持することが可能となる。

【００３４】次に、この発明のさらに他の実施の形態に
ついて説明する。図３は、この発明の第３実施形態に係
る長尺薄板Ｐの乾燥装置の側面概要図である。なお、図
１、図２に示す第１、第２実施形態に係る乾燥装置と同
一の部材については、同一の符号を付している。

【００３５】この第３実施形態に係る乾燥装置は、乾燥
炉１と、一方の搬送ローラ２とを、図２において実線で
示す位置と二点鎖線で示す位置の間で移動させるように
した点が、上述した第１、第２実施形態とは異なる。す
なわち、この実施の形態の形態においては、乾燥炉１
は、ガイドレール５に沿って平行移動可能となってお
り、乾燥装置本体に固定されたエアシリンダ等から構成
されるシリンダ機構６と連結されている。また、図３に
おいて矢印で示す長尺薄板Ｐの搬送方向に対して下流側
の搬送ローラ２は、乾燥装置本体に固定されたエアシリ
ンダ等から構成されるシリンダ機構８と連結されてい
る。

【００３６】この第３実施形態に係る乾燥装置により長
尺薄板Ｐを乾燥する場合においては、シリンダ機構６、
９と図示しない制御部を介して電気的に接続された板幅
検出センサ７により、搬送ローラ２で搬送されている長
尺薄板Ｐの板幅を検出し、シリンダ機構６、９により、
乾燥炉１と一方の搬送ローラ２とを、一対の搬送ローラ
２により搬送される長尺薄板Ｐが一対のエアーナイフ３
間の中央を通過する位置まで水平方向に移動させる。

【００３７】そして、エアシリンダ１７の駆動により、
長尺薄板Ｐの両主面にスポンジローラ４を当接させる。
また、エアーナイフ３から長尺薄板Ｐの両主面に対し高
圧の空気を噴出する。これにより、長尺薄板Ｐに付着し
た処理液をスポンジローラ４に吸い取らせて除去した
後、エアーナイフ３からの高圧の空気により長尺薄板Ｐ
に付着した処理液を完全に除去することができる。この
とき、乾燥炉１と一方の搬送ローラ２との移動に伴い、
一対の搬送ローラ２により搬送される長尺薄板Ｐが一対
のエアーナイフ３間の中央を通過する位置に移動してい
ることから、長尺薄板Ｐの両主面を同一の条件で乾燥す
ることが可能となる。

【００３８】なお、上述した実施の形態においても、図
２に示す第２実施形態の場合と同様、長尺薄板Ｐの搬送
経路を常に鉛直方向に維持することができる。このた
め、各搬送ローラ２をこれらの搬送ローラ２により搬送
される長尺薄板Ｐが一対のエアーナイフ３間の中央を通
過する位置に移動させた場合に、この長尺薄板Ｐは一対
のスポンジローラ４に対してもその中央位置を通過する
ことになる。従って、長尺薄板Ｐの両主面の乾燥状態
を、さらに同一の状態に維持することが可能となる。

【００３９】上述した第１、第２、第３実施形態におい
ては、いずれも、長尺薄板Ｐの搬送方向の上流側に配設
された搬送ローラ２に長尺薄板Ｐの一方の主面を当接さ
せ、長尺薄板Ｐの搬送方向の下流側に配設された搬送ロ
ーラ２に長尺薄板Ｐの他方の主面を当接させた状態で長
尺薄板Ｐを搬送する場合について説明したが、一対の搬
送ローラ２を長尺薄板Ｐの同一側の主面を当接させた状
態で長尺薄板Ｐを搬送するようにしてもよい。

【００４０】また、上述した第１、第２、第３実施形態
においては、いずれも、エアシリンダ等から構成される
シリンダ機構６、８、９により乾燥炉１または搬送ロー
ラ２を移動させる場合について説明したが、モータ駆動
機構等の他の駆動機構を使用するようにしてもよい。

【００４１】

【発明の効果】この発明に係る長尺薄板の乾燥装置によ
れば、長尺薄板の板幅に応じて乾燥部材または搬送ロー
ラを移動させる移動手段を配設していることから、例え
ば一対の搬送ローラにより搬送される長尺薄板が長尺薄
板の両主面側に配設された乾燥部材の中央を通過するよ
うに、乾燥部材または搬送ローラの位置を調整すること
が可能となる。このため、長尺薄板の両主面を同一の条
件で乾燥することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施形態に係る長尺薄板の乾燥
装置の側面概要図である。

【図２】この発明の第２実施形態に係る長尺薄板の乾燥
装置の側面概要図である。

【図３】この発明の第３実施形態に係る長尺薄板の乾燥
装置の側面概要図である。

【図４】従来の長尺薄板の乾燥装置の側面概要図であ
る。

【図５】搬送ローラ２を示す平面図である。

【符号の説明】

１ 乾燥炉 ２ 搬送ローラ ３ エアーナイフ ４ スポンジローラ ５ ガイドレール ６ シリンダ機構 ７ 板幅検出センサ ８ シリンダ機構 ９ シリンダ機構 ２０ 支持部 Ｐ 長尺薄板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに直径の異なる複数の鍔部から構成
   され板幅の異なる長尺薄板の両端部に各々当接して長尺
   薄板を支持する支持部をその両端に備える一対の搬送ロ
   ーラと、前記一対の搬送ローラにより支持される長尺薄
   板の両主面側に配設された乾燥部材とを有し、前記長尺
   薄板を前記乾燥部材の間を通過させることにより、前記
   長尺薄板に付着した処理液を除去する長尺薄板の乾燥装
   置において、 前記長尺薄板の板幅に応じて、前記乾燥部材または前記
   搬送ローラを移動させる移動手段を配設したことを特徴
   とする長尺薄板の乾燥装置。