KR101801957B1 - 노광될 프린트 배선판의 이동 방법 및 이동 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 이동 방법 및 이동 장치의 목적은 프린트 배선판의 크기·형상이 변화되더라도 전체 구성을 변경할 필요가 없고, 미노광의 프린트 배선판의 대기, 노광기에의 투입, 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 효율적으로 행할 수 있도록 하는 것에 있다. 따라서, 예를 들면, 이동 장치(100)는 적어도 "노광이 필요한 복수의 프린트 배선판을 노광기(200)의 노광 테이블(210)에 순차로 이동하는 이동 장치(100)로서, 상기 프린트 배선판을 수평 상태로 수취하고 동시에 다음 단으로의 반출도 할 수 있는 수취 반송로(20)와, 이 수수 반송로(20) 위로부터 노광 테이블(210) 위로 연장되는 이송 레일(33)에 매달려 있고, 회전 승강기(32)에 의해 프린트 배선판을 흡착 및 해방하는 흡착 헤드(31)를 구비한 회전 이동기(30)를 구비한" 것으로 한 것이다.

Description

노광될 프린트 배선판의 이동 방법 및 이동 장치{METHOD AND APPARATUS FOR TRANSFERRING PRINTED WIRING BOARD TO BE EXPOSED}
본 발명은, 프린트 배선판의 다양한 제조 공정에 있어서, 이동기를 이용하여 노광 처리가 필요한 프린트 배선판을 노광 장치 측으로 이동시키고, 또한 노광이 완료된 프린트 배선판을 원래의 위치로 되돌리는 이동 방법 및 이동 장치에 관한 것이다.
전자 부품이 실장되는 프린트 배선판은 다양한 가공 공정을 거쳐 제조되는데, 예를 들면, 노광 공정에 한해서 보더라도, 노광기에의 투입, 노광기 내에서의 프린트 배선판의 위치 결정, 노광, 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출, 경우에 따라서는, 이들 각 공정을 구성하는 기기의 메인터넌스 공정도 필요하다. 한편, 프린트 배선판이라고 해도 크기나 형상은 다양하고, 이에 따른 노광을 하려고 하면, 이 공정을 구성하는 각 기기 전체는 커질 수밖에 없다. 더구나, 프린트 배선판의 양면에 노광을 해야 한다거나, 투입되는 프린트 배선판 자체의 크기가 끊임없이 변화하는 등, 노광 조건도 다양하게 변경해야 하는 경우에는, 그에 대응할 수 있는 반송로도 준비해야 한다.
일반적으로, 이러한 노광 공정에서도 사용되는 반송(투입이나 배출) 장치는 출원인도 지금까지 다양하게 제안해 오고 있지만, 주로 동기(同期) 구동되는 다수의 롤러를 사용한 롤러 컨베이어를 채용하고 있다. 이것은, 가공 도중에 있는 프린트 배선판이 상처의 발생은 물론, 오염물의 부착에도 약하기 때문에, 회전하고 있는 다수의 롤러의 위에 「점접촉 상태」로 반송하는 것이 가장 바람직하기 때문이다. 그 대신, 롤러를 회전시키기 때문에, 프린트 배선판의 반송에 일정 시간이 소요되는 것은 어쩔 수 없다.
이에 반해, 노광 처리 그 자체는 프린트 배선판 위의 포토 솔더 레지스트에 화상 데이터에 따른 광을 조사함으로써 행하는 것이기 때문에, 반송에 따른 시간보다 훨씬 짧은 시간에 처리가 완료된다. 바꿔 말하면, 노광 공정에서, 노광에 필요로 하는 시간보다, 노광기에 대하여 재료의 프린트 배선판을 투입·배출하기 위한 시간이 훨씬 길게 걸리는 것이 실정인 것이다.
따라서, 이런 종류의 프린트 배선판에 대한 제(諸)작업에 관련하여, "대(對)기판 작업 시스템에는, 콤팩트함, 편리성, 플렉서빌리티와 같은 다양한 요구가 존재하지만, 그러한 요구 중 적어도 몇 가지를 만족하는 대기판 작업 시스템을 얻는 것을 과제로 이루어진" 발명이 특허문헌 1에 제안되어 있다.
일본국 특개 2011-135114호 공보
이 특허문헌 1에 제안된 발명은, 전자 회로의 조립, 즉, 프린트 배선판 등의 회로 기판에 전자 부품 등의 회로 부품을 실장하는 작업에 관한 것이지만, 이 실장 작업은, "복수의 종류의 작업, 예를 들면, 회로 기판에 크림 솔더를 인쇄하는 솔더 인쇄 작업, 회로 기판에 접착제를 도포하는 접착제 도포 작업, 회로 기판에 회로 부품을 장착하는 회로 부품 장착 작업, 회로 부품이 장착된 회로 기판을 가열함으로써 납땜을 행하는 납땜 작업, 이러한 각 작업의 적어도 몇 개의 작업 결과를 검사하는 검사 작업 등을 포함하여 구성되고, 일반적인 회로 부품 실장 라인은 이러한 대(對)회로 기판 작업을 행하는 기판 작업기인, 땜납 인쇄기, 접착제 도포기, 부품 장착기, 리플로우 노, 검사기 등을 포함하여 구성되어 있다."(특허문헌 1의 단락 [0002])는 취지가 기재되어 있다.
그리고, 이 특허문헌 1의 발명은, "종래의 실장 라인에서는, 각각의 작업기의 조정, 메인터넌스 시 등의 편리성을 고려하는 등의 이유로, 상기 작업기가 간격을 두고 배치되어, 각각의 작업기를 반송 컨베이어 등으로 연결하도록 구성되는 것이 일반적이었다. 이러한 실장 라인에서는, 스페이스 효율을 향상시키는 것에 한계가 있어, 콤팩트한 대기판 작업 시스템이 요구된다. 또한, 상기 구성의 실장 라인에서, 라인 편성을 변경하는 경우, 하나하나의 기판 작업기를 이동시켜, 하나하나를 위치 결정해야 하므로, 라인 변경의 관점에서도 콤팩트한 것이 요구되고, 또한, 라인 변경 작업을 신속히 행할 수 있는 편리성이나, 라인 구성의 양태의 폭을 넓힌다는 점에서의 플렉서빌리티가 풍부한 대기판 작업 시스템이 요구된다. 또한, 상술한 바와 같이, 대기판 작업 시스템은 조정, 메인터넌스 시 등의 편리성이 우수한 것도 요구된다."(특허문헌 1의 단락 [0003])는 점에 주목하여, "회로 부품을 지지하여 전자 회로를 구성하는 회로 기판에 대하여, 예정된 대회로 기판 작업을 행하는 기판 작업 시스템으로서, 자신의 작업 영역 내에 적어도 일부분이 위치하는 회로 기판에 대하여 정해진 대회로 기판 작업을 행하는 복수의 대기판 작업 장치를 갖고, 이들 복수의 대기판 작업 장치 중 적어도 하나가 회로 기판의 반송 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 장치 궤도를 따라 이동할 수 있는 가동 장치로 된 것을 특징으로 한다"(특허문헌 1의 단락 [0005])는 구성으로 되어 있다.
이상의 결과, 이 특허문헌 1에 기재된 발명에서는, 상기 특허문헌의 단락 [0007]에서, "장치 배열 중에서 조정 등의 작업의 대상이 되는 장치를 골라낼 수 있도록 이동시킬 수 있다면(있기 때문에), 그 시스템의 편리성이 향상된다"는 효과를 발휘할 수 있다고 기재되어 있다.
그러나, 이 특허문헌 1에 제안된 기술을 상술한 "노광 공정"에 대하여 적용하려고 하면, "장치 배열 중에서 조정 등의 작업의 대상이 되는 장치를 골라낼 수 있도록 이동시킬 수 있게 한다"는 것만으로는, 다음과 같은 요망을 만족시킬 수 없다.
(1) 1대의 노광기에 대하여 프린트 배선판을 효과적·효율적으로 공급(투입)하면서, 오래 걸리는 프린트 배선판의 반송 시간 내에, 이보다 훨씬 더 짧은 시간의 노광을 행할 수 있도록 하는 것
(2) 미노광의 프린트 배선판을 상처나 오염물 부착 없이, 노광할 수 있을 때까지 대기시키는 것
(3) 복수의 노광기가 사용된 경우나, 프린트 배선판의 양면에 대하여 노광을 행해야 하는 경우에도, 상기 (1) 및 (2)를 더욱 발전시킬 수 있는 것
(4) 노광기로의 이동 장치로서 콤팩트하고, 편리성이 우수하며, 플렉서빌리티가 풍부하다는 요구를 모두 달성할 수 있는 것
이에, 본 발명자들은 프린트 배선판의 노광기로의 이동에 대하여, 상기 (1)∼(4)의 요구를 달성하기 위해서는 어떻게 하면 좋을지에 대하여 다양한 검토를 거듭해 온 결과, 본 발명을 완성하였다.
즉, 본 발명의 목적으로 하는 바는 프린트 배선판의 크기·형상이 변화되더라도 전체 구성의 변경이 불필요하여, 미노광의 프린트 배선판의 대기, 노광기에의 투입, 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 효율적으로 행할 수 있는 이동 방법 및 이동 장치를 제공하는 것에 있다.
이상의 과제를 해결하기 위하여, 우선, 제1 발명이 채용한 수단은, 후술하는 실시형태의 설명 중에서 사용하는 부호를 붙여 설명하면,
"노광이 필요한 복수의 프린트 배선판을 노광기(200)의 노광 테이블(210)로 순차로 이동하는 방법으로서,
수취 반송로(20) 위에 수취된 제1 프린트 배선판을 흡착 헤드(31)에 의해 흡착하여 들어올리고, 상기 흡착 헤드(31)를 그 상태 그대로 또는 회전시켜 노광 테이블(210)로 이동시켜 내리고,
상기 노광 테이블(210)에서 앞면을 노광하는 동안에, 흡착 헤드(31)를 수취 반송로(20) 위로 되돌려, 여기에 수취한 제2 프린트 배선판을 들어올려 회전시키고,
상기 제2 프린트 배선판을 흡착 헤드(31)에 의해 노광 테이블(210) 측으로 이동시켜, 상기 흡착 헤드(31)에 의해 노광이 완료된 상기 제1 프린트 배선판을 들어올린 후에, 상기 흡착 헤드(31)를 회전시키고 나서 아래로 움직임으로써, 상기 제2 프린트 배선판을 노광 테이블(210) 위에 내리고,
제1 프린트 배선판을 흡착하고 있는 흡착 헤드(31)를, 제3 프린트 배선판이 수취되어 있는 수취 반송로(20)로 되돌리고, 상기 제3 프린트 배선판을 들어올리고 나서 회전시켜 노광이 완료된 상기 제1 프린트 배선판을 수취 반송로(20) 위에 내리고,
상기 제1 프린트 배선판을 수취 반송로(20)의 다음 단으로 보내는 동안에, 흡착 헤드(31)를 구동시킴으로써 노광이 완료된 상기 제2 프린트 배선판을 흡착하고, 상기 제3 프린트 배선판을 노광 테이블(210) 위에 내리고,
이상을 반복함으로써, 프린트 배선판의 노광 테이블(210)에 의한 이동 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 연속적으로 행하는 것을 특징으로 하는 이동 방법"
이다.
상기 제1 발명에 따른 이동 방법은, 예를 들면 포토 솔더 레지스트가 도포 또는 부착된 프린트 배선판을 노광기(200)의 노광 테이블(210)에 연속적으로 이동하여, 프린트 배선판의 반송이나 배출에 관한 시간을 유효하게 이용하면서, 노광기(200)에서의 프린트 배선판에 대한 노광을 효율적으로 행할 수 있도록 하는 것이다. 또한, 노광기(200)는 노광 테이블(210)을 노광기(200)로 끌어들여, 이 노광 테이블(210) 위의 프린트 배선판에 대한 노광 처리를 행하는 것이다.
따라서, 상기 제1 발명에 따른 이동 방법은, 구체적으로는, 후술하는 제4 발명, 제5 발명, 및 실시형태에 따른 이동 장치(100)에 의해 실시되는 것이지만, 그 근본에는, 다음의 (A)∼(C)의 3가지 기본 사상이 있다.
(A) 수취 반송로(20)와 노광 테이블(210) 사이의 프린트 배선판의 이동은 회전 이동기(30)를 구성하고 있는 흡착 헤드(31)의 직선 왕복 운동에 의해 행한다.
(B) 흡착 헤드(31)는 프린트 배선판을 안거나(carry) 업거나(piggy-back) 또는 안기와 업기의 양쪽 모두에 의해 이동한다.
(C) 수취 반송로(20)는 흡착 헤드(31)의 왕복 등의 작동 시에는, 노광이 완료된 프린트 배선판의 반출, 다음 프린트 배선판의 수취나 대기를 행한다.
상기 제1 발명에 따른 이동 방법은 후술하는 바와 같이, 도 1∼도 8, 도 15, 및 도 16에 도시하는 이동 장치(100)에 의해 실현되지만, 이 이동 방법을 설명하기 전에, 실시형태를 나타내는 도 1∼도 3을 참조하여 이동 장치(100)의 아웃라인을 설명한다.
이 이동 장치(100)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 도시 우측에 설치한 노광기(200)의 좌변에 실제 노광 작업을 하는 노광 테이블(210)이 있고, 이 노광 테이블(210)의 메인터넌스 구역(60)에서 떨어진 좌측에는 프린트 배선판을 수취하거나 반출하는 수취 반송로(20)가 설치되어 있다. 이 수취 반송로(20)의 상측에는 도 2에도 도시하는 바와 같은 회전 이동기(30)가 설치되어 있고, 이 회전 이동기(30)를 구성하고 있는 흡착 헤드(31)는 노광 테이블(210)과 수취 반송로(20) 사이에 설치한 반송 레일(33)을 통하여 노광 테이블(210)과 수취 반송로(20) 사이의 이동을 가능하게 한 것이다.
상기 흡착 헤드(31)는, 도 2에도 도시하는 바와 같이, 반송 레일(33)에 대하여 회전 승강기(32)에 의해 상하 운동 가능하고, 또한 자신이 회전 가능하게 되어 있는 것이며, 이를 도 2의 도시 우측에서 봤을 때의 개략도인 도 12에 도시하는 바와 같이, 다수의 흡착 패드(34)를 구비한 것이다. 물론, 각 흡착 패드(34)는, 예를 들면 부압(負壓)에 의해 프린트 배선판의 흡착을 행함으로써, 어느 흡착 패드(34)에 부압을 발생시키는지 여부는 프린트 배선판의 크기 데이터에 따라 판단되는 것으로 한다.
그런데, 이상의 아웃라인을 가지는 이동 장치(100)에 의해 프린트 배선판을 노광 테이블(210)로 이동하려면, 본 청구항 1의 이동 방법에 따르면, 우선, 수취 반송로(20) 위에 수취한 제1 프린트 배선판을 흡착 헤드(31)에 의해 흡착하여 들어올리고, 상기 흡착 헤드(31)를 그 상태 그대로 또는 회전시켜 노광 테이블(210)로 이동하여 내린다.
상기 작동을 개략도인 도 9, 도 11, 및 도 13을 이용하여 구체적으로 설명하면, 다음과 같다. 여기까지에서는, 도 9(a) 및 도 9(b)에 도시하는 바와 같이, 제1 프린트 배선판이 흡착 헤드(31)에 의해 흡착하여 들어올려지고, 상기 흡착 헤드(31)를 그 상태 그대로(회전하지 않는 상태)로 하거나, 또는 회전시킴으로써, 도 9(b), 및 도 13(b)에 도시하는 바와 같이, 프린트 배선판이 노광 테이블(210)로 이동된다.
이 경우, 프린트 배선판이 1번째라면, 노광 테이블(210)에 프린트 배선판이 없기 때문에, 흡착 헤드(31)는 도 11(a), 도 11(b), 도 11(c)에 도시된 회전하지 않는 상태에서, 즉 프린트 배선판을 안은 채로 노광 테이블(210)로 이동한다. 프린트 배선판이 2번째 이후이고, 노광 테이블(210) 내에 프린트 배선판이 존재하지 않으면, 흡착 헤드(31)는 도 11(c) 내의 화살표로 도시하는 바와 같이 회전되어, 안고 있던 프린트 배선판을 도 11(d)에 도시하는 바와 같이 업음과 동시에, 제3 프린트 배선판을 안는다.
즉, 흡착 헤드(31)를 그 상태 그대로로 하여, 즉 프린트 배선판을 안은 상태로 노광 테이블(210)로 이동하는 것은 이 노광 테이블(210)에 프린트 배선판이 존재하고 있지 않은 경우를 상정하고 있기 때문이고, 흡착 헤드(31)를 회전시켜, 즉 안고 있던 프린트 배선판을 업어 노광 테이블(210)로 이동하는 것은 이 노광 테이블(210)에 프린트 배선판이 존재하고 있는 경우를 상정하고 있기 때문이다. 물론, 이러한 동작의 차이는 흡착 헤드(31) 자체, 노광 테이블(210), 및 수취 반송로(20)에 설치되어 프린트 배선판의 존재를 검출하는 검출기로부터의 신호에 의해 제어되는 것인 것은 말할 것도 없다.
다음에, 상기 제1 프린트 배선판에 대하여, 노광 테이블(210)에서 앞면을 노광하는 동안에, 흡착 헤드(31)를 수취 반송로(20) 위로 되돌리고, 여기에서 수취된 제2 프린트 배선판을 들어올려 상기 흡착 헤드(31)를 회전시키는, 즉 도 11(d)에 도시하는 바와 같은 상태로 프린트 배선판을 업는다. 그 다음에, 상기 제2 프린트 배선판을 흡착 헤드(31)에 의해 업은 채로 노광 테이블(210) 측으로 이동하여, 상기 흡착 헤드(31)에 의해 노광이 완료된 상기 제1 프린트 배선판을 들어올린다. 즉, 안는다. 그 후에, 상기 흡착 헤드(31)를 회전시켜, 즉 업고 있던 제2 프린트 배선판을 안은 상태로 하고 나서 아래로 움직임으로써, 안은 상태에 있는 제2 프린트 배선판을 노광 테이블(210) 위에 내린다.
따라서, 제1 프린트 배선판을 흡착하고 있는, 즉 업고 있는 흡착 헤드(31)를, 제3 프린트 배선판이 수취되어 있는 수취 반송로(20)로 되돌리고, 상기 제3 프린트 배선판을 들어올려, 즉, 도 14(a)에 예시하는 바와 같이 업는다. 그 다음에, 흡착 헤드(31)를 회전시켜, 노광이 완료된 업은 상태에 있던 제1 프린트 배선판을 안은 상태로 하고 나서, 수취 반송로(20) 위에 내린다.
이 수취 반송로(20) 위에 내려진 제1 프린트 배선판은 도 14(b)에 예시하는 바와 같이, 상기 수취 반송로(20)에 의해 다음 단으로 보내진다. 그 동안에, 흡착 헤드(31)를 구동시킴으로써, 노광 테이블(210)에 있는 노광이 완료된 상기 제2 프린트 배선판의 흡착, 즉 안고 나서 업은 상태로 함과 동시에 업고 있던 상기 제3 프린트 배선판을 안은 상태로 하여 노광 테이블(210) 위에 내린다.
이상을 반복함으로써, 복수의 프린트 배선판의 노광 테이블(210)에의 이동 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을, 연속적으로, 게다가 대기 시간을 줄이면서 행할 수 있다.
따라서, 이 청구항 1의 이동 방법은, 프린트 배선판의 크기·형상이 변화했다고 하더라도 전체 구성의 변경이 불필요하여, 미노광의 프린트 배선판의 대기, 노광기에의 투입, 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 효율적으로 행할 수 있다.
보다 구체적으로는, 상기 제1 발명에 따른 이동 방법에 의하면, 앞의 프린트 배선판의 노광기(200)에 대한 세트나 노광을 행하고 있는 동안에, 흡착 헤드(31)에 의한 프린트 배선판의 업기 또는 안기를 선택하면서, 상기 흡착 헤드(31)에 의한 다음 프린트 배선판의 노광 테이블(210)에의 이동을 행할 준비를 완료시키기 때문에,
(1) 1대의 노광기에 대하여 프린트 배선판을 효과적·효율적으로 공급(투입)하면서, 오래 걸리는 프린트 배선판의 반송 시간 내에, 이보다 훨씬 더 짧은 시간의 노광을 행할 수 있도록 하는 것
이 가능하고, 흡착 헤드(31)에 의해 프린트 배선판을 업거나 안아 이동을 행하기 때문에,
(2) 미노광의 프린트 배선판을 상처나 오염물 부착 없이, 노광할 수 있을 때까지 대기시키는 것
이 가능하다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 제2 발명에 따른 이동 방법이 채용한 수단은, 상기 제1 발명의 이동 방법에 대하여,
"수취 반송로(20)의 다음 단에 반전기(40)를 배치함과 동시에, 이 반전기(40)의 다음 단에 제2 수취 반송로(20), 흡착 헤드(31), 및 노광기(200)를 배치하고,
반전기(40)로 앞면에 노광이 완료된 프린트 배선판을 반전시켜 뒷면이 상측이 되도록 하고 나서, 제2 수취 반송로(20) 및 상기 흡착 헤드(31)에 의해, 제2 노광기(200)의 노광 테이블(210)로 이동하는 것"
이다.
상기 제2 발명에 따른 이동 방법은, 도 16에 도시하는 바와 같은 이동 장치(100)에 의해 구현되는 것이지만, 이 이동 장치(100)에서는, 수취 반송로(20)의 다음 단에 반전기(40)를 배치함과 동시에, 이 반전기(40)의 다음 단에 제2 수취 반송로(20), 흡착 헤드(31), 및 노광기(200)를 배치하는 것이 조건이 된다.
그리고, 상기 제2 발명에 따른 이동 방법에서는, 앞면(1st side)이 노광이 완료된 프린트 배선판(예를 들면, 상기 제1 발명의 이동 방법에서 설명한 제1 프린트 배선판으로, 수취 반송로(20)로부터 배출된 것)을 반전기(40)에서 반전시켜, 상기 프린트 배선판의 아직 노광되어 있지 않은 뒷면(2nd side)이 상측이 되도록 하여, 제2 수취 반송로(20)로 보내는 것이다.
다음에, 제2 수취 반송로(20) 위로 이송된 프린트 배선판에 대하여, 그(제2) 흡착 헤드(31)에 의해, 제2 노광기(200)의 노광 테이블(210)로 이동하여, 노광하는 것이다. 그 후, 이 프린트 배선판은 제2 수취 반송로(20)로 되돌려져, 다음 단으로 보내진다.
따라서, 상기 제2 발명에 따른 이동 방법은, 상기 제1 발명의 그것과 같은 기능을 발휘하는 것 외에, 제2 노광기(200)를 유효하게 활용할 수 있는 것이다.
보다 구체적으로는, 상기 제2 발명의 이동 방법에서는, 준비된 제2 노광기(200)를 유효하게 활용하여, 프린트 배선판의 앞뒤 양면의 노광을 단시간 내에 행할 수 있는 것이기 때문에,
(1) 1대의 노광기에 대하여 프린트 배선판을 효과적·효율적으로 공급(투입)하면서, 오래 걸리는 프린트 배선판의 반송 시간 내에, 이보다 훨씬 더 짧은 시간의 노광을 행할 수 있도록 하는 것
(2) 미노광의 프린트 배선판을 상처나 오염물 부착 없이, 노광할 수 있을 때까지 대기시키는 것
(3) 복수의 노광기가 사용된 경우나, 프린트 배선판의 양면에 대하여 노광을 행해야 하는 경우에도, 상기 (1) 및 (2)를 더욱 발전시킬 수 있는 것
이 가능한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 제3 발명에 따른 이동 방법이 채용한 수단은, 상기 제1 발명의 이동 방법에 대하여,
"수취 반송로(20)의 다음 단에 배치한 반전기(40)에 의해, 수취 반송로(20) 위의 앞면에 노광이 완료된 프린트 배선판을 수취하여 반전시키고 나서, 뒷면이 상측이 된 상기 프린트 배선판을 수취 반송로(20) 위로 되돌리고,
상기 프린트 배선판의 뒷면을 흡착 헤드(31)에 의해 흡착하여 노광 테이블(210)로 이동하여, 상기 프린트 배선판의 뒷면에 노광하도록 하는 것"
이다.
상기 제3 발명에 따른 이동 방법에서는, 제2 발명의 설명에서 서술한 반전기(40)를 채용하는 것이지만, 제2 발명에서는 필수인, 제2 노광기(200), 수취 반송로(20), 및 회전 승강기(32)를 가지는 회전 이동기(30)는 필요로 하지 않는다. 그 대신, 여기서의 반전기(40)는 반전시킨 프린트 배선판을 다시 수취 반송로(20) 위로 되돌리는 기능을 완수하는 것이 요구되고, 이에 따라, 앞면에 노광이 완료된 프린트 배선판을 노광 테이블(210)로 보내, 이 프린트 배선판의 뒷면을 노광하는 것이다.
이렇게 하기 위하여, 상기 제3 발명의 이동 방법에서는, 반전기(40)에 의해 수취 반송로(20) 위의 앞면에 노광이 완료된 프린트 배선판을 수취하여 반전시키고 나서, 뒷면이 상측이 된 상기 프린트 배선판을 수취 반송로(20) 위로 되돌린다. 그리고, 상기 프린트 배선판의 뒷면을 흡착 헤드(31)에 의해 흡착하여 노광 테이블(210)로 이동하여, 상기 프린트 배선판의 뒷면을 노광하는 것이다.
따라서, 상기 제3 발명에 따른 이동 방법은, 상기 제1 발명의 그것과 같은 기능을 발휘하는 것 외에, 프린트 배선판의 뒤 양면의 노광을 1대의 노광기(200)에 의해 행할 수 있는 것이다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위하여, 제4 발명이 채용한 수단은,
"노광이 필요한 복수의 프린트 배선판을 노광기(200)의 노광 테이블(210)에 순차로 이동하는 이동 장치(100)로서,
상기 프린트 배선판을 수평 상태로 수취하고 동시에 다음 단으로 반출도 할 수 있는 수취 반송로(20)와,
상기 수취 반송로(20) 위에서 노광 테이블(210) 위로 연장되는 이송 레일(33)에 매달려 있고, 회전 승강기(32)에 의해 회전 및 승강되어 프린트 배선판을 흡착 및 해방하는 흡착 헤드(31)를 구비한 회전 이동기(30)를 구비한 것"
이다.
이 제4 발명은, 상술한 제1 발명 및 제3 발명에 따른 이동 방법을 실제로 구현화할 수 있는 이동 장치(100)에 관한 것으로, 이 이동 장치(100)는, 상기 및 도 1에 도시하는 바와 같이, 도시 우측에 나타내는 노광기(200)의 좌변에 설치한, 실제의 노광 작업을 행하는 노광 테이블(210)의 도시 좌측에, 메인터넌스 구역(60)에서 떨어져 설치되는, 프린트 배선판을 수취하거나 반출하는 수취 반송로(20)를 가지고 있다. 이 수취 반송로(20)의 상측에는, 도 2에 도시하는 바와 같은 회전 이동기(30)가 설치되어 있고, 이 회전 이동기(30)를 구성하고 있는 흡착 헤드(31)는, 노광 테이블(210)과 수취 반송로(20) 사이에 설치한 반송 레일(33)을 통하여 노광 테이블(210)과 수취 반송로(20) 사이의 이동을 가능하게 한 것이다.
이 회전 이동기(30)를 구성하고 있는 흡착 헤드(31)는 도 2에도 도시하는 바와 같이, 회전 이동기(30)를 구성하고 있는 반송 레일(33)에 대하여 회전 승강기(32)에 의해 상하 운동 가능하고, 또한 자신이 회전 가능하게 되어 있는 것이며, 이것을 도 2의 도시 우측에서 보았을 때의 개략도인 도 12(a)∼도 12(c)에 도시하는 바와 같이, 단면이 다각 형상인, 말하자면 상자형의 것이다. 또한, 상기 흡착 헤드(31)는 도 12의(a)∼(c)에 도시하는 바와 같이, 그 상자의 측면으로 다수의 흡착 패드(34)의 흡착부를 동일량 돌출시킨 것이고, 이러한 흡착부의 각 선단은 흡착 헤드(31)를 구성하고 있는 측면과 평행한 면을 구성하고 있다.
따라서, 각 흡착 패드(34)의 흡착부의 선단이 구성하고 있는 면이 4개 있고, 도 11(a)에 도시하는 바와 같이, 1개의 면을 수취 반송로(20) 또는 노광 테이블(210) 위의 프린트 배선판에 평행하게 대향시켜, 각 흡착 패드(34)가 흡인 작용 또는 그 정지를 행하면, 수취 반송로(20) 또는 노광 테이블(210) 위의 프린트 배선판의 흡착(안기) 또는 해방이 이루어지는 것이다. 또한, 상기 흡착 헤드(31)는 회전 가능하게 되어 있는 것이기 때문에, 도 11(a)∼(d)에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 프린트 배선판을 안고나서 180° 회전시킴으로써, 상기 프린트 배선판을 상측면에서 유지(업기)할 수 있고, 동시에 그때까지 상측에 있던 흡착면이 하측이 되기 때문에, 다음 프린트 배선판을 안을 준비가 이루어지는 것이다. 물론, 각 흡착 패드(34)는, 예를 들면 부압에 의해 프린트 배선판의 흡착을 행하는 것이며, 어느 흡착 패드(34)에 부압을 발생시키는지 여부는 프린트 배선판의 크기 데이터에 따라 판단되는 것이다.
이상의 흡착 헤드(31)를 상하 운동시켜, 회전시키기 위한 회전 승강기(32)는 도 2∼도 5에 도시하는 바와 같이, 흡착 헤드(31)의 회전축이 노광 테이블(210) 및 수취 반송로(20)의 지지면과 평행이 되도록 흡착 헤드(31)를 외팔 지지하는 것으로, 이 회전 승강기(32)는 후술하는 반송 레일(33)과, 이것을 지지하는 프레임에 상하 운동 및 왕복 운동 가능하게 조립되는 것이다. 즉, 이 회전 승강기(32)는 흡착 헤드(31)를 도 9(a)에 도시하는 바와 같이, 노광 테이블(210)과 수취 반송로(20) 위의 사이에 왕복 운동시킴과 동시에, 도 10에 도시하는 바와 같이, 노광 테이블(210) 또는 수취 반송로(20) 위에 대하여 상하 운동시키고, 도 11(c)에 나타내는 화살표와 같은 흡착 헤드(31)의 회전을 행하는 것이다.
이상의 회전 승강기(32)를 조립한 반송 레일(33)은 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같은 프레임을 조립하여 구성한 것이고, 흡착 헤드(31) 및 이것을 구동하는 회전 승강기(32)를 노광 테이블(210)과 수취 반송로(20) 사이에 메인터넌스 구역(60)을 확보한 상태로 왕복 운동 가능하게 지지하는 것이다. 이 반송 레일(33)에 의해 상기 이동 장치(100)에 있어서 메인터넌스 구역(60)을 확보하는 것은 이 메인터넌스 구역(60) 내에 메인터넌스 작업원이 들어갈 수 있도록 하여, 이 메인터넌스 구역(60)의 주위에 있는, 예를 들면 노광기(200), 수취 반송로(20), 흡착 헤드(31)나 회전 승강기(32) 등으로 이루어지는 회전 이동기(30)의 메인터넌스를 지장 없이 행할 수 있도록 하기 위해서이다.
따라서, 이 제4 발명에 따른 이동 장치(100)는 상기 제1 발명 및 제3 발명의 이동 방법을 구체적으로 실시할 수 있고, 게다가 메인터넌스 구역(60)을 확보하면서도, 콤팩트하게 통합된 기능성이 높은 장치이며, 프린트 배선판의 크기·형상이 변화되었다고 해도 전체 구성의 변경이 불필요하여, 미노광의 프린트 배선판의 대기, 노광기에의 투입, 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 효율적으로 행할 수 있는 것이다.
바꿔 말하면, 이 제4 발명에 따른 이동 장치(100)에 의하면,
(1) 1대의 노광기에 대하여 프린트 배선판을 효과적·효율적으로 공급(투입)하면서, 오래 걸리는 프린트 배선판의 반송 시간 내에, 이보다 훨씬 더 짧은 시간의 노광을 행할 수 있도록 하는 것
(2) 미노광의 프린트 배선판을 상처나 오염물 부착 없이, 노광할 수 있을 때까지 대기시키는 것
(3) 복수의 노광기가 사용된 경우나, 프린트 배선판의 양면에 대하여 노광을 행해야 하는 경우에도, 상기 (1) 및 (2)를 더욱 발전시킬 수 있는 것
(4) 노광기로의 이동 장치로서 콤팩트하고, 편리성이 우수하며, 플렉서빌리티가 풍부하다는 요구를 모두 달성할 수 있는 것
이 가능한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 제5 발명이 채용한 수단은, 상기 제 4 발명의 이동 장치(100)에 대하여,
"수취 반송로(20)의 다음 단에, 여기에 수취된 프린트 배선판의 앞뒤를 반전시키는 반전기(40)를 구비한 것"
이다.
이 제5 발명의 이동 장치(100)에서 채용한 반전기(40)는, 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 프린트 배선판을 사이에 끼워 넣을 수 있도록, 상하 2면의 전송 면을 형성하는 상하의 핀치 롤러(41)를 가지는 것이고, 이러한 핀치 롤러(41)의 사이에 끼워 넣은 프린트 배선판을 상하 롤러의 서로의 역회전으로 회전하는 방향으로 보내는 것이다.
또한, 이 반전기(40)는 상기 상하의 양 핀치 롤러(41)에 대하여, 그 평행 상태를 유지한 상태로, 예를 들면 도 3의 가상선으로 나타낸 것처럼 회전시키는 구동기(42)를 가지고 있는 것이고, 이 구동기(42)에 의해, 상기 핀치 롤러(41) 사이에 수취한 프린트 배선판의 반전을 행하는 것이다. 즉, 이 반전기(40)는 수취 반송로(20)로부터 보내져 온 앞면(1st side)의 노광이 끝난 프린트 배선판을 수취한 후, 이 프린트 배선판의 미노광면인 뒷면(2nd side)을 상측이 되도록 반전시키는 것이고, 다음 공정에서 뒷면에 노광을 할 수 있도록 준비하는 것이다.
그리고, 이 반전기(40)는 도 1에 도시하는 바와 같이 노광기(200)가 1대 밖에 없는 경우로, 프린트 배선판의 뒷면을 노광하는 이동 장치(100)로 하는 경우에는, 반전에 의해 뒷면을 상측으로 한 프린트 배선판을 그 반전기(40)에 의해 다시 수취 반송로(20) 위로 되돌려, 상술한 방법에 따라 1대의 노광기(200)에 의해 뒷면을 노광할 수 있도록 준비한다. 또한, 도 15에 도시하는 바와 같이, 노광기(200)가 수취 반송로(20)의 좌우에 1대씩 있는 경우에, 한쪽의 노광기(200)로 프린트 배선판의 앞면의 노광을, 다른 한쪽의 노광기(200)로 프린트 배선판의 뒷면에 노광하도록 하는 경우에도, 반전기(40)는 반전 기능에 의해 뒷면을 상측으로 한 프린트 배선판을 다시 수취 반송로(20) 위로 되돌려, 상술한 방법에 따라 2대의 노광기(200)에 의한 앞뒤 양면의 노광을 행할 수 있도록 준비한다.
또한, 도 1에 예시하는 이동 장치(100)와 같이, 프린트 배선판의 노광을 앞면만 행하는 경우에는, 이 반전기(40)는 뒷면을 상측으로 한 프린트 배선판을 수취 반송로(20)와는 다른 반송로로 보내고, 그 다음 작업 공정의 준비만 하게 된다. 한편, 도 16에 예시하는 이동 장치(100)와 같이, 2개의 노광기(200)가 상기 반전기(40)를 사이에 두고 배치되어 있는 경우에는, 이 반전기(40)는 뒷면을 상측으로 한 프린트 배선판을 다음 단의 수취 반송로(20) 위로 보내고, 제2 노광기의 노광 작업을 준비하게 된다.
따라서, 이 제5 발명에 따른 이동 장치(100)는 상기 제 4 발명과 같은 기능을 발휘하는 것 외에, 반전기(40)에 의해 라인 내에서 프린트 배선판의 반전을 행할 수 있는 것이다.
이상에 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 이동 방법에서는,
"노광이 필요한 복수의 프린트 배선판을 노광기(200)의 노광 테이블(210)에 순차로 이동하는 방법으로서,
수취 반송로(20) 위에 수취된 제1 프린트 배선판을 흡착 헤드(31)에 의해 흡착하여 들어올리고, 상기 흡착 헤드(31)를 그 상태 그대로 또는 회전시켜 노광 테이블(210)로 이동시켜 내리고,
이 노광 테이블(210)에서 앞면을 노광하는 동안에, 흡착 헤드(31)를 수취 반송로(20) 위로 되돌려, 여기에 수취한 제2 프린트 배선판을 들어올려 회전시키고,
상기 제2 프린트 배선판을 흡착 헤드(31)에 의해 노광 테이블(210) 측으로 이동하여, 상기 흡착 헤드(31)에 의해 노광이 완료된 상기 제1 프린트 배선판을 들어올린 후에, 상기 흡착 헤드(31)를 회전시키고 나서 아래로 움직임으로써, 상기 제2 프린트 배선판을 노광 테이블(210) 위에 내리고,
제1 프린트 배선판을 흡착하고 있는 흡착 헤드(31)를, 제3 프린트 배선판이 수취되어 있는 수취 반송로(20)로 되돌리고, 상기 제3 프린트 배선판을 들어올리고 나서 회전시켜 노광이 완료된 상기 제1 프린트 배선판을 수취 반송로(20) 위에 내리고,
상기 제1 프린트 배선판을 수취 반송로(20)의 다음 단에 보내는 동안에, 흡착 헤드(31)를 구동시킴으로써 노광이 완료된 상기 제2 프린트 배선판을 흡착하고, 상기 제3 프린트 배선판을 노광 테이블(210) 위에 내리고,
이상을 반복함으로써, 프린트 배선판의 노광 테이블(210)에의 이동 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 연속적으로 행하도록 한 것"
에 그 구성상의 주된 특징이 있고, 이것에 의해, 프린트 배선판의 크기·형상이 변화되었다고 해도 전체 구성의 변경이 불필요하여, 미노광의 프린트 배선판의 대기, 노광기에의 투입, 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 효율적으로 행할 수 있는 이동 방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 이동 장치(100)에서는,
"노광이 필요한 복수의 프린트 배선판을 노광기(200)의 노광 테이블(210)에 순차로 이동하는 이동 장치(100)로서,
상기 프린트 배선판을 수평 상태로 수취하고 동시에 다음 단으로 반출도 할 수 있는 수취 반송로(20)와,
이 수취 반송로(20) 위에서 노광 테이블(210) 위로 연장되는 이송 레일(33)에 매달려 있고, 회전 승강기(32)에 의해 회전 및 승강되어 프린트 배선판을 흡착 및 해방하는 흡착 헤드(31)를 구비한 회전 이동기(30)를 구비한 것"
에 그 구성상의 주된 특징이 있고, 이것에 의해, 프린트 배선판의 크기·형상이 변화되었다고 해도 전체 구성의 변경이 불필요하여, 미노광의 프린트 배선판의 대기, 노광기에의 투입, 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 효율적으로 행할 수 있는 이동 장치(100)를 제공할 수 있다.
바꿔 말하면, 이상의 이동 방법 및 이동 장치(100) 모두,
(1) 1대의 노광기에 대하여 프린트 배선판을 효과적·효율적으로 공급(투입)하면서, 오래 걸리는 프린트 배선판의 반송 시간 내에, 이보다 훨씬 더 짧은 시간의 노광을 행할 수 있도록 하는 것
(2) 미노광의 프린트 배선판을 상처나 오염물 부착 없이, 노광할 수 있을 때까지 대기시키는 것
(3) 복수의 노광기가 사용된 경우나, 프린트 배선판의 양면에 대하여 노광을 행해야 하는 경우에도, 상기 (1) 및 (2)를 더욱 발전시킬 수 있는 것
(4) 노광기로의 이동 장치로서 콤팩트하고, 편리성이 우수하며, 플렉서빌리티가 풍부하다는 요구를 모두 달성할 수 있는 것
이 가능하게 되는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 이동 장치(100), 및 이 이동 장치(100)와 노광기(200)의 위치 관계를 나타내는 평면도이다.
도 2는 상기의 정면도이다.
도 3은 상기 이동 장치(100)의 측면도이다.
도 4는 상기 이동 장치(100)를 구성하고 있는 수취 반송로(20), 회전 이동기(30), 및 노광기(200)를 나타내는 것으로, 도 4(a)는 평면도, 도 4(b)는 정면도이다.
도 5는 상기 이동 장치(100)를 구성하고 있는 수취 반송로(20) 및 회전 이동기(30)를 나타내는 것으로, 반송 레일(33)과의 위치 관계를 나타내는 측면도이다.
도 6은 상기 이동 장치(100)를 구성할 수 있는 반전기(40)를 나타내는 것으로, 도 6(a)은 정면도, 도 6(b)은 측면도이다.
도 7은 상기 반전기(40)의 평면도이다.
도 8은 상기 이동 장치(100)를 구성하고 있는 수취 반송로(20)를 나타내는 것으로, 도 8(a)은 평면도, 도 8(b)은 정면도, 도 8(c)은 측면도이다.
도 9는 회전 이동기(30)의 흡착 헤드(31)에 의해 프린트 배선판을 안아 수취 반송로(20) 위에서 노광 테이블(210)로 이동하는 양태를 나타내는 것으로, 도 9(a)는 흡착 헤드(31)의 이동의 양태를 나타내는 개략 정면도, 도 9(b)는 수취 반송로(20)로부터 노광 테이블(210)로 이동된 프린트 배선판의 양태를 나타내는 개략 정면도이다.
도 10은 수취 반송로(20) 위에서의 흡착 헤드(31)에 의한 프린트 배선판의 안기 및 업기의 양태를 나타내는 것으로, 도 10(a)은 흡착 헤드(31)에 의해 수취 반송로(20) 위의 프린트 배선판을 안으러 가는 양태를 나타내는 개략 정면도, 도 10(b)은 안고 있던 프린트 배선판을 업는 프린트 배선판의 양태를 나타내는 개략 정면도, 도 10(c)은 안고 있던 프린트 배선판을 업은 채로 다음 프린트 배선판을 안으러 가는 양태를 나타내는 개략 정면도이다.
도 11은 수취 반송로(20) 위에서의 흡착 헤드(31)에 의한 프린트 배선판의 안기 및 업기의 양태를 흡착 헤드(31)의 측면에서 본 상태를 나타내는 것으로, 도 11(a)은 흡착 헤드(31)에 의해 수취 반송로(20) 위의 프린트 배선판을 안으러 가는 양태를 나타내는 개략 측면도, 도 11(b)은 프린트 배선판을 안는 양태를 나타내는 개략 측면도, 도 11(c)은 안고 있던 프린트 배선판을 업기 직전의 양태를 나타내는 개략 정면도, 도 11(d)은 안고 있던 프린트 배선판을 업은 채로 다음 프린트 배선판을 안으러 가는 양태를 나타내는 개략 정면도이다.
도 12는 흡착 헤드(31)의 변형예를 측면에서 본 상태를 개략적으로 나타내는 것으로, 도 12(a)는 사각 형상의 단면을 가지는 흡착 헤드(31)의 상하 양면에만 흡착 패드(34)를 돌출시킨 것을 나타내는 개략 측면도, 도 12(b)는 삼각 형상의 단면을 갖는 흡착 헤드(31)의 3면에 흡착 패드(34)를 돌출시킨 것을 나타내는 개략 측면도, 도 12(c)는 사각 형상의 단면을 가지는 흡착 헤드(31)의 상하 좌우의 4면에 흡착 패드(34)를 돌출시킨 것을 나타내는 개략 측면도이다.
도 13은 본 발명에 따른 이동 장치(100)의 개략을 이동 방법과 아울러 개략적으로 나타내는 것으로, 도 13(a)은 프린트 배선판을 반입 컨베이어(10)로부터 수취 반송로(20) 위에 수취한 상태의 개략 평면도, 도 13(b)은 프린트 배선판을 노광 테이블(210)로 이동하고, 또한 반입 컨베이어(10) 위에 다음에 수취 반송로(20) 위로 반송해야 할 프린트 배선판을 준비한 상태의 개략 평면도이다.
도 14는 상기 이동 장치(100)의 개략을 이동 방법과 아울러 나타내는 것으로, 도 14(a)는 노광이 완료된 프린트 배선판을 노광 테이블(210)에서 수취 반송로(20) 위에 수취하여 업고, 제2 프린트 배선판을 안고, 또한 컨베이어(10) 위에 제3 프린트 배선판을 반입 컨베이어(10) 위에 준비한 상태의 개략 평면도, 도 14(b)는 반전기(40)에서 프린트 배선판을 반전하여 다음 공정으로 이동하고, 또한 노광 테이블(210) 위에 제2 프린트 배선판을 이동하여 제3 프린트 배선판을 안고, 반입 컨베이어(10) 위에 다음에 수취 반송로(20) 위로 반송해야 할 프린트 배선판을 준비한 상태의 개략 평면도이다.
도 15는 다른 실시예에 따른 이동 장치(100)로서, 하나의 수취 반송로(20)의 양측에 노광기(200)를 설치한 평면도이다.
도 16은 또 다른 실시예에 따른 이동 장치(100)로서, 하나의 반전기(40)의 전후에 노광기(200)를 설치한 평면도이다.
이상과 같이 구성한 각 발명을, 도면에 나타낸 실시형태인 이동 장치(100)에 대하여 설명한다. 이 경우, 이 실시형태의 이동 장치(100)의 설명에서, 이 이동 장치(100)의 작동 및 기능을 설명함으로써 상기 각 이동 방법도 실질적으로 설명되므로, 이동 방법에 대해서는 여기에서는 생략하기로 한다.
또한, 이 이동 장치(100)의 실시형태에는, 도 1∼도 8에 나타낸 실시예 1, 도 15에 나타낸 실시예 2, 및 도 16에 나타낸 실시예 3의 3형태가 있으므로, 이하에서는, 각 실시예마다 설명을 순차로 행해가기로 한다.
[실시예 1]
이 실시예 1의 이동 장치(100)는, 예를 들면, 포토 솔더 레지스트가 도포 또는 부착된 프린트 배선판을 노광기(200)의 노광 테이블(210)에 연속적으로 이동하여, 프린트 배선판의 반송이나 배출에 관한 시간을 유효하게 이용하면서, 노광기(200)에서의 프린트 배선판에 대한 노광을 효율적으로 행할 수 있도록 하는 것이며, 도 1∼도 3에 나타낸 것처럼, 노광 테이블(210)을 도시 우측에 설치한 노광기(200)의 좌측에의 출입을 가능하게 하고, 이 노광기(200)의 메인터넌스 구역(60)에서 떨어진 좌측에 설치한, 프린트 배선판을 수취하거나 반출하는 수취 반송로(20)를 구비하고 있다.
이 수취 반송로(20)의 상측에는, 도 2에도 도시한 바와 같은 회전 이동기(30)가 설치되어 있고, 이 회전 이동기(30)를 구성하고 있는 흡착 헤드(31)는 노광 테이블(210)과 수취 반송로(20) 사이에 설치한 반송 레일(33)을 통하여 노광 테이블(210)과 수취 반송로(20) 사이의 이동을 가능하게 한 것이다. 그리고, 이 이동 장치(100)는 그 수취 반송로(20)의 다음 단에 노광이 완료된 프린트 배선판의 반전을 행하는 반전기(40)를 설치한 것이다.
또한, 본 실시형태에 따른 이동 장치(100)에서는, 포토 솔더 레지스트가 도포 또는 부착된 프린트 배선판을 수취 반송로(20) 위로 보내기 위한 반입 컨베이어(10)가 부설되는 것으로, 이 반입 컨베이어(10)에는 각 도면의 부호 13으로 나타낸 랙 카트에 실은 복수의 프린트 배선판을, 투입기(11) 및 클린 롤러(12)를 통하여 반입한다. 랙 카트(13)는, 예를 들면 도 2의 좌측에 도시한 것처럼, 복수의 프린트 배선판을 비스듬하게 세운 상태로 운반되는 것으로, 이 비스듬하게 세운 각 프린트 배선판을 투입기(11)에 의해 수평으로 하면서 한 장씩 클린 롤러(12)로 보내고, 이 클린 롤러(12)에 수취된 각 프린트 배선판은 클린 롤러(12)에 의해 오염물을 제거하면서 수취 반송로(20) 위로 보내지는 것이다.
이들 투입기(11) 및 클린 롤러(12) 등으로 이루어지는 일련의 반입 컨베이어(10)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 수취 반송로(20)의 노광기(200)와는 반대 측에 설치되는 경우도 있지만, 도 15에 도시한 바와 같이, 수취 반송로(20)의 반출 방향과 평행하게 수취 반송로(20)의 바로 앞에 설치하는 경우도 있고, 또, 도 16에 도시한 바와 같이, 2대의 수취 반송로(20)마다 설치되는 경우도 있다.
한편, 본 실시형태에 따른 이동 장치(100)에서는, 도 1에 도시한 바와 같이, 수취 반송로(20) 또는 이것에 부설한 반전기(40)의 송출 측에, 배출 반송로(50) 및 수취기(51)가 설치되는 것이다. 이러한 배출 반송로(50) 및 수취기(51)는, 한면 또는 양면의 노광이 끝난 프린트 배선판을 다음의 공정으로 보내는 것이며, 상술한 랙 카트(13)에의 싣기를 행하는 것이다.
그런데, 이 이동 장치(100)를 구성하고 있는 수취 반송로(20)는, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 프린트 배선판의 종횡의 반송을 행하는 2종류의 롤러 컨베이어를 갖는 것으로, 이러한 롤러 컨베이어는 서로 독립되어 있으며, 세로 또는 가로의 반송을 독립적으로 행할 수 있도록, 상대적으로 상하 운동을 행할 수 있게 되어 있다. 물론, 이러한 롤러 컨베이어의 적절한 개소에는 이송되어 온 프린트 배선판의 종횡 방향의 위치 결정을 독립적으로 행하여, 적절히 반송면에 대하여 출입되는 스토퍼를 가지고 있다는 것은 말할 필요도 없다.
본 실시형태의 수취 반송로(20)는, 상기 수취 반송로(20)의 상방 부분에 설치한 회전 이동기(30)를 구비하고 있다. 이 회전 이동기(30)는 수취 반송로(20) 위로부터 노광 테이블(210) 위로 연장되는 이송 레일(33), 이 반송 레일(33)에 매단 회전 승강기(32), 및 이 회전 승강기(32)에 의해 회전 및 승강되어, 프린트 배선판을 흡착 및 해방하는 흡착 헤드(31)를 구비한 것이다. 본 실시형태의 흡착 헤드(31)는 도 4(b) 및 도 5에 도시한 것처럼, 흡착 헤드(31)의 앞면으로부터 약간 돌출하여, 부압 공기에 의한 프린트 배선판의 흡인을 행하는 다수의 흡착 패드(34)를 가진 것이고, 각 흡착 패드(34)의 작동은 프린트 배선판의 크기 데이터에 의해 적절히 설정할 수 있는 것으로 하고 있다.
이 회전 이동기(30)를 구성하고 있는 흡착 헤드(31)에 대해서는, 상기 흡착 헤드(31)의 회전축에 직교하는 방향에서 본, 도 12(a)∼도 12(c)에 도시한 바와 같은 다양한 형태를 생각할 수 있다. 도 12(a)에 나타낸 형태에서는, 상기 흡착 헤드(31)의 회전축에 직교하는 방향의 단면 형상을 사각형으로 한 것이고, 상기 흡착 헤드(31)의 회전축에 평행한 4개의 측면 중, 도시한 상측과 하측에만 각 흡착 패드(34)를 돌출시켜, 이들 양면만을 흡착면으로 한 것으로, 본 실시형태에서 채용하고 있는 형상이다. 이러한 형태라면, 각 흡착 패드(34)에 의해 흡착한 프린트 배선판이 상기 흡착 헤드(31)로부터 튀어나오는 크기의 것이어도, 각 프린트 배선판들을 서로 간섭하지 않는 상태로 흡착할 수 있는 것이다.
도 12(b)에 나타낸 형태에서는, 상기 흡착 헤드(31)의 회전축에 직교하는 방향의 단면 형상을 삼각형으로 한 것이고, 상기 흡착 헤드(31)의 회전축에 평행한 3개의 측면의 전면으로부터 각 흡착 패드(34)를 돌출시켜, 이들 전면을 흡착면으로 한 것이다. 도 12(c)에 나타낸 형태에서는, 상기 흡착 헤드(31)의 회전축에 직교하는 방향의 단면 형상을 사각형으로 하고, 상기 흡착 헤드(31)의 회전축에 평행한 4개의 측면의 전면으로부터 각 흡착 패드(34)를 돌출시켜, 이들 전면을 흡착면으로 한 것이다. 이러한 형태라면, 각 흡착 패드(34)에 의해 흡착한 프린트 배선판이 상기 흡착 헤드(31)로부터 튀어나오는 크기의 것인 경우에는, 각 프린트 배선판들을 서로 간섭하지 않는 상태로 흡착할 수 없지만, 흡착면의 수의 증대는 도모할 수 있다.
이상과 같은 흡착 헤드(31)는, 예를 들면 도 4(b)에 도시한 것처럼, 내부에 흡착 패드(34)의 대부분이나, 이에 대한 배관을 실시할 수 있어, 상기 흡착 헤드(31)의 측면에, 흡착 패드(34)의 선단부 이외의 돌기물을 형성하는 것도 아니기 때문에, 프린트 배선판의 앞면에 상처를 내는 일은 없다.
상기 흡착 헤드(31)는, 회전 승강기(32)에 의한 반송 레일(33)에 대한 왕복 운동에 의해, 예를 들면 도 9에 도시한 바와 같은, 수취 반송로(20) 위와 노광 테이블(210) 위의 사이를 왕복할 수 있고, 회전 승강기(32)의 회전 작동에 의해, 도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같은 회전 동작, 즉 안기(carry) 또는 업기(piggy-back)를 할 수 있는 것이다. 또한, 회전 승강기(32)는 이러한 작동을 행할 수 있도록 구성되어 있다.
반전기(40)는 프린트 배선판의 앞뒤를 반전시키는 경우에 채용된다. 즉, 1개의 프린트 배선판에 대하여 그 앞뒤 양면의 노광을 행하는 경우의 반전 작업에 채용되고, 예를 들면 청구항 1에 따른 이동 방법을 채용하는 경우에는, 불필요하게 된다. 또한, 이 반전기(40)는, 배출 반송로(50)의 수취기(51)에 다수의 프린트 배선판을 단지 반전시킨 상태로 수취할 필요가 있는 경우도, 채용되는 것이라는 것은 말할 필요도 없다.
본 실시형태에서의 반전기(40)는 도 6 및 도 7에 도시한 것처럼, 프린트 배선판을 사이에 끼워 넣을 수 있도록, 상하 2면의 전송 면을 형성하는 상하의 핀치 롤러(41)를 가지는 것이고, 이러한 핀치 롤러(41) 사이에 끼워 넣은 프린트 배선판을 각 핀치 롤러(41)의 서로 역회전 방향으로 보내는 것이다.
또한, 이 반전기(40)는 상기의 상하의 양(兩)핀치 롤러(41)에 대하여, 그 평행 상태를 유지한 상태로, 예를 들면 도 3의 가상선으로 나타낸 것처럼 회전시키는 구동기(42)를 가지고 있는 것이고, 이 구동기(42)에 의해, 상기 핀치 롤러(41) 사이에 수취한 프린트 배선판의 반전을 행하는 것이다. 즉, 이 반전기(40)는 수취 반송로(20)로부터 보내져 온 앞면(1st side)의 노광이 끝난 프린트 배선판을 수취한 후, 이 프린트 배선판의 미노광면인 뒷면(2nd side)을 상측이 되도록 반전시키는 것이고, 다음 공정에서 뒷면을 노광할 수 있도록 준비하는 것이다.
그리고, 이 반전기(40)는, 도 1에 도시하는 바와 같이 노광기(200)가 1대밖에 없는 경우로, 프린트 배선판의 뒷면을 노광하는 이동 장치(100)로 하는 경우에는, 반전에 의해 뒷면을 상측으로 한 프린트 배선판을 그 반전기(40)에 의해 다시 수취 반송로(20) 위로 되돌려 1대의 노광기(200)에 의해 뒷면을 노광할 수 있도록 준비한다. 또한, 도 15에 도시한 것처럼, 노광기(200)가 수취 반송로(20)의 좌우에 1대씩 있는 경우로, 한쪽의 노광기(200)로 프린트 배선판의 앞면의 노광을, 다른 한쪽의 노광기(200)로 프린트 배선판의 뒷면에 노광하도록 하는 경우에도, 반전기(40)는 반전 기능에 의해 뒷면을 상측으로 한 프린트 배선판을 다시 수취 반송로(20) 위로 되돌려, 상술한 방법에 따라 2대의 노광기(200)에 의한 앞뒤 양면의 노광을 행할 수 있도록 준비한다.
또한, 도 1에 예시하는 이동 장치(100)와 같이, 프린트 배선판의 노광을 앞면만 행하는 경우에는, 이 반전기(40)는 뒷면을 상측으로 한 프린트 배선판을 수취 반송로(20)와는 다른 반송로로 보내고, 그 다음의 실크 인쇄나 노광 작업의 준비만 하게 된다. 한편, 도 16에 예시하는 이동 장치(100)와 같이, 2개의 노광기(200)가 상기 반전기(40)를 사이에 두고 배치되어 있는 경우에는, 이 반전기(40)는 뒷면을 상측으로 한 프린트 배선판을 다음 단의 수취 반송로(20) 위로 보내어, 제2 노광기의 노광 작업의 준비를 하게 된다.
[실시예 2]
도 15에는, 실시예 2에 따른 이동 장치(100)의 평면도가 도시되어 있지만, 이 실시예 2의 이동 장치(100)에서는, 1대의 수취 반송로(20)의 좌우에 2대의 노광기(200)를 각각 대칭적으로 배치한 것이다. 물론, 각 프린트 배선판의 양면의 노광을 행하는 경우에, 상술한 반전기(40)가 1대의 수취 반송로(20)로 되돌리는 작업을 행하는 것은, 상술한 실시예 1에서의 설명과 같다.
이와 같이 한 이동 장치(100)에서는, 수취 반송로(20)에서의 다수의 프린트 배선판의 수취, 위치 결정, 회전, 이동, 반출 등에 관한 시간 중에서, 2대의 노광기(200)에 의해, 각 프린트 배선판의 한 면, 또는 양면의 노광 작업이 순조롭게 연속하여 행할 수 있게 된다. 또한, 이 실시예 2에 관한 이동 장치(100)가 반전기(40)를 구비한 것이면, 한쪽의 노광기(200)로 프린트 배선판 표면의 노광을 행하고, 다른 한쪽의 노광기(200)로 프린트 배선판 이면의 노광을 행하도록 하면, 콤팩트하고, 편리성이 우수하며, 플렉서빌리티가 풍부하다는 요구를 모두 달성할 수 있게 된다.
[실시예 3]
도 16에는, 실시예 3에 관한 이동 장치(100)의 평면도가 도시되어 있지만, 이 실시예 3의 이동 장치(100)에서는 2대의 수취 반송로(20)를 1대의 반전기(40)를 사이에 두고 직렬적으로 배치하고, 각 수취 반송로(20)의 동일 측에 2대의 노광기(200)를 각각 배치한 것이다. 또한, 각 반입 컨베이어(10)는 각 수취 반송로(20)의 각 노광기(200)와는 반대 측에 설치된다.
이 실시예 3에 관한 이동 장치(100)는 각 프린트 배선판의 앞뒤 양면의 노광을 행하는 경우에 적합한 것이고, 예를 들면 도시 하측의 노광기(200)로 프린트 배선판 표면의 노광을 행하고, 이 노광이 끝난 프린트 배선판을 반전기(40)에서 반전시켜, 제2 수취 반송로(20)에 보내고 나서 그 뒷면을 노광하기에 적합한 것이다. 그 외의 구성은, 실시예 1과 같기는 하지만, 2대의 노광기(200) 및 수취 반송로(20)와 이들 수취 반송로(20) 사이에 1대의 반전기(40)가 필요하다는 것이 조건이다.
100: 이동 장치
10: 반입 컨베이어
11: 투입기
12: 클린 롤러
13: 랙 카트
20: 수취 반송로
30: 회전 이동기
31: 흡착 헤드
32: 회전 승강기
33: 반송 레일
34: 흡착 패드
40: 반전기
41: 핀치 롤러
42: 구동기
50: 배출 반송로
51: 수취기
60: 메인터넌스 구역
200: 노광기
210: 노광 테이블
W(n)1: 제n 프린트 배선판으로서 앞(1st side)이 위로 되어 있는 것
W(n)2: 제n 프린트 배선판으로서 뒤(2nd side)가 위로 되어 있는 것

Claims (5)

  1. 노광이 필요한 복수의 프린트 배선판을 노광기(200)의 노광 테이블(210)로 순차로 이동하는 방법으로서,
    수취 반송로(20) 위에 수취된 제1 프린트 배선판을 흡착 헤드(31)에 의해 흡착하여 들어올리고, 상기 흡착 헤드(31)를 그 상태 그대로 또는 회전시켜 노광 테이블(210)로 이동시켜 내리고,
    상기 노광 테이블(210)에서 앞면을 노광하는 동안에, 흡착 헤드(31)를 수취 반송로(20) 위로 되돌려, 여기에 수취한 제2 프린트 배선판을 들어올려 회전시키고,
    상기 제2 프린트 배선판을 흡착 헤드(31)에 의해 노광 테이블(210) 측으로 이동시켜, 상기 흡착 헤드(31)에 의해 노광이 완료된 상기 제1 프린트 배선판을 들어올린 후에, 상기 흡착 헤드(31)를 회전시키고 나서 아래로 움직임으로써, 상기 제2 프린트 배선판을 노광 테이블(210) 위에 내리고,
    제1 프린트 배선판을 흡착하고 있는 흡착 헤드(31)를, 제3 프린트 배선판이 수취되어 있는 수취 반송로(20)로 되돌리고, 상기 제3 프린트 배선판을 들어올리고 나서 회전시켜 노광이 완료된 상기 제1 프린트 배선판을 수취 반송로(20) 위에 내리고,
    상기 제1 프린트 배선판을 수취 반송로(20)의 다음 단으로 보내는 동안에, 흡착 헤드(31)를 구동시킴으로써 노광이 완료된 상기 제2 프린트 배선판을 흡착하고, 상기 제3 프린트 배선판을 노광 테이블(210) 위에 내리고,
    이상을 반복함으로써, 프린트 배선판을 노광 테이블(210)로 이동 및 노광이 완료된 프린트 배선판의 배출을 연속적으로 행하는 것을 특징으로 하는 이동 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    수취 반송로(20)의 다음 단에 반전기(40)를 배치함과 동시에, 이 반전기(40)의 다음 단에 제2 수취 반송로(20), 제2 흡착 헤드(31), 및 제2 노광기(200)를 배치하고,
    반전기(40)로 앞면에 노광이 완료된 프린트 배선판을 반전시켜 뒷면이 상측이 되도록 하고 나서, 제2 수취 반송로(20) 및 상기 제2 흡착 헤드(31)에 의해, 제2 노광기(200)의 노광 테이블(210)로 이동하는 것을 특징으로 하는 이동 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    수취 반송로(20)의 다음 단에 배치한 반전기(40)에 의해, 수취 반송로(20) 위의 앞면에 노광이 완료된 프린트 배선판을 수취하여 반전시키고 나서, 뒷면이 상측이 된 상기 프린트 배선판을 수취 반송로(20) 위로 되돌리고,
    상기 프린트 배선판의 뒷면을 흡착 헤드(31)에 의해 흡착하여 노광 테이블(210)로 이동하여, 상기 프린트 배선판의 뒷면에 노광하도록 하는 것을 특징으로 하는 이동 방법.
  4. 삭제
  5. 삭제
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001166495A (ja) 1999-12-06 2001-06-22 Nsk Ltd 両面露光装置
JP2007246179A (ja) 2006-03-13 2007-09-27 Taiyo Manufacturing Co Ltd 基板の受取り積替機
JP2011048239A (ja) 2009-08-28 2011-03-10 Ushio Inc 両面露光装置
JP2012203265A (ja) * 2011-03-25 2012-10-22 Hitachi Via Mechanics Ltd 反転装置及びそれを用いた露光装置並びに露光方法
JP2013257389A (ja) * 2012-06-11 2013-12-26 Adtec Engineeng Co Ltd 露光装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0281105B1 (en) * 1987-03-05 1993-05-19 Sharp Kabushiki Kaisha Color image copying device
EP0586841A1 (de) * 1992-07-30 1994-03-16 Reichle + De-Massari AG Elektro-Ingenieure Printplatte und Montagemodul für einen Anschluss abgeschirmter Leiter und Verteilersysteme im Schwachstrom-Anlagebau
JPH1191943A (ja) * 1997-09-25 1999-04-06 Zetekku Kk 基板搬送システム
JP2002175972A (ja) * 2000-12-08 2002-06-21 Orc Mfg Co Ltd 自動露光装置
JP3976531B2 (ja) * 2001-09-27 2007-09-19 Hoya株式会社 基板受渡機構、及びフォトマスクの製造方法
JP3371899B2 (ja) * 2001-10-15 2003-01-27 株式会社ニコン リソグラフィシステム、情報収集装置、設定装置、露光装置、及びデバイス製造方法
JP4365883B2 (ja) 2002-07-19 2009-11-18 富士機械製造株式会社 対基板作業システム
CN101258581B (zh) * 2005-09-09 2011-05-11 株式会社尼康 曝光装置及曝光方法以及设备制造方法
JP2009256029A (ja) * 2008-04-15 2009-11-05 Toray Eng Co Ltd 板状部材の搬送装置および板状部材の搬送方法
CN102736421B (zh) * 2011-03-31 2015-06-17 上海微电子装备有限公司 一种接近接触式扫描曝光装置与方法
CN102183880A (zh) * 2011-05-11 2011-09-14 武汉东羽光机电科技有限公司 Led自动曝光机基板快速预定位装置
CN202953546U (zh) * 2012-08-16 2013-05-29 迅得机械(东莞)有限公司 曝光机自动上下料装置
CN103984208B (zh) * 2013-02-07 2016-03-02 上海微电子装备有限公司 掩模版传输系统
CN104035286B (zh) * 2013-03-05 2015-12-23 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 圆筒形掩模板系统、曝光装置和曝光方法
CN104035284B (zh) * 2013-03-05 2016-08-03 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 圆筒形掩模板系统、曝光装置和曝光方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001166495A (ja) 1999-12-06 2001-06-22 Nsk Ltd 両面露光装置
JP2007246179A (ja) 2006-03-13 2007-09-27 Taiyo Manufacturing Co Ltd 基板の受取り積替機
JP2011048239A (ja) 2009-08-28 2011-03-10 Ushio Inc 両面露光装置
JP2012203265A (ja) * 2011-03-25 2012-10-22 Hitachi Via Mechanics Ltd 反転装置及びそれを用いた露光装置並びに露光方法
JP2013257389A (ja) * 2012-06-11 2013-12-26 Adtec Engineeng Co Ltd 露光装置

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