JP3576070B2 - 薄板材の給排装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線板などの薄板材を外観検査などの処理部へ送給するとともに、処理部から処理済みの薄板材を排送する薄板材の給排装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
薄板材の処理装置、例えばプリント配線板の欠陥の有無を検査する外観検査装置には、検査しようとするプリント配線板を検査部へ供給するとともに検査済みのプリント配線板を検査部から排出して回収するためのオートローダが併設されている。このオートローダとしては、従来、搬送ロボットを用いたものが一般的であった。すなわち、図6に概略平面図を示すように、外観検査部1の両側に第1搬送ロボット2および第2搬送ロボット3をそれぞれ設置する。第1搬送ロボット2は、複数枚の検査前のプリント配線板pが積み重ねられた状態で収容された供給部4から、プリント配線板pを1枚ずつ吸着パッドで吸着保持して取り出し、アームを旋回させて、外観検査部1の検査台上にプリント配線板pを載置する。また、第2搬送ロボット3は、外観検査部1の検査台上から検査済みのプリント配線板を吸着保持して排出し、アームを旋回させて、収納部5にプリント配線板Pを順次積み重ねて回収する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図6に示したオートローダでは、2台の搬送ロボット2、3が設置され、各搬送ロボット2、3がそれぞれアームを旋回させることにより、供給部4から外観検査部1へ検査前のプリント配線板pを供給するとともに、外観検査部1から収納部5へ検査済みプリント配線板Pを排出する。してがって、両搬送ロボット2、3が旋回動作を支障無く行えるスペースを確保する必要があり、オートローダを含めた外観検査装置全体の占有面積が大きくなる、という問題点があった。
【0004】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、プリント配線板の外観検査装置のように処理部へ処理前の薄板材を送給し処理部から処理済みの薄板材を排送しつつ複数枚の薄板材の処理を行う処理装置の専有面積を低減することができる薄板材の給排装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、薄板材の処理を行う処理部へ処理前の薄板材を送給し前記処理部から処理済みの薄板材を排送する薄板材の給排装置において、下面側に、処理前の薄板材を実質的に水平姿勢で着脱可能に保持する下方保持手段を有するとともに、上面側に、処理済みの薄板材を支持する上方支持手段を有し、前記処理部と処理部の外方位置との間を往復移動して、前記下方保持手段により処理前の薄板材を保持した状態で処理部へ進入して処理前の薄板材を処理部へ渡し前記上方支持手段により処理済みの薄板材を支持した状態で処理部から退出する給排手段を備え、前記処理部から処理部に位置する前記給排手段の上方支持手段へ処理済みの薄板材を移動させる移し替え手段を備えたことを特徴とする。
【0006】
請求項2に係る発明は、請求項1記載の給排装置において、処理前の薄板材を供給するための供給部と処理済みの薄板材を回収するための収納部とを備え、前記供給部には、複数枚の処理前の薄板材を収容する収容部、および、この収容部に収容された処理前の薄板材を1枚ずつ取り出す取出し手段を設け、前記収納部には、処理済みの薄板材を順次回収する回収部、および、前記給排手段の上方支持手段から前記回収部へ処理済みの薄板材を移動させる移送手段を設け、さらに、前記供給部の取出し手段から前記給排手段の下方保持手段へ処理前の薄板材を受け渡す受渡し手段を備えて、前記給排手段を前記収納部と前記処理部との間で往復移動させるようにしたことを特徴とする。
【0007】
請求項3に係る発明は、請求項1または請求項2記載の給排装置において、前記供給部および前記収納部を前記処理部の一方側に配置して、供給部、収納部および処理部を一体的に連接させたことを特徴とする。
【0008】
請求項4に係る発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の給排装置において、前記給排手段として、前記処理部側の一端辺の上部に複数個のコロが取着され処理部と処理部の外方位置との間を水平方向へ往復移動する給排コンベアを設けるとともに、前記移し替え手段として、前記処理部に置かれた処理済みの薄板材の、前記給排コンベアの進入側の一端部を着脱可能に吸着してその一端側だけを持ち上げる吸着パッドを設け、前記吸着パッドにより一端側だけが持ち上げられた処理済みの薄板材の下方へ前記給排コンベアを進入させて、給排コンベアの上面に処理済みの薄板材を支持するようにしたことを特徴とする。
【0009】
請求項5に係る発明は、請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の給排装置において、前記受渡し手段として、前記取出し手段から受け取った処理前の薄板材を支持する上部支持面を有し前記供給部と前記収納部との間を水平方向へ往復移動する供給コンベアを設け、その供給コンベアが供給部から収納部へ移動したときに、前記処理部から収納部へ移動した前記給排手段の直下に供給コンベアを位置させて、供給コンベアの前記上部支持面に支持された処理前の薄板材を給排手段の下方保持手段へ渡すようにしたことを特徴とする。
【0010】
請求項6に係る発明は、請求項2ないし請求項5のいずれかに記載の給排装置において、前記供給部と前記収納部との間に、前記受渡し手段によって供給部から収納部へ搬送される処理前の薄板材の表面を清浄化するクリーンローラを配設したことを特徴とする。
【0011】
請求項1に係る発明の薄板材の給排装置においては、給排手段が、その下方保持手段によって処理前の薄板材を保持した状態で処理部へ進入して薄板材を処理部へ渡すことにより、処理前の薄板材が処理部へ送給される。また、移し替え手段によって処理部から処理部に位置する給排手段の上方支持手段へ処理済みの薄板材が移動させられた後、給排手段が、その上方支持手段によって処理済みの薄板材を支持した状態で処理部から退出することにより、処理済みの薄板材が処理部から排送がされる。このように、処理部と処理部の外方位置との間での給排手段の往復動作により、処理部への処理前の薄板材の送給および処理部からの処理済みの薄板材の排送が行われるので、従来のように搬送ロボットによるアーム旋回動作によって薄板材の送給および排送が行われる装置に比べて、装置の専有面積が少なくて済む。
【0012】
請求項2に係る発明の給排装置では、供給部において、複数枚の処理前の薄板材が収容された収容部から取出し手段によって薄板材が1枚ずつ取り出され、その取出し手段から薄板材を受渡し手段が受け取り、その受け渡し手段から薄板材が、収納部に位置する給排手段の下方保持手段へ渡された後、給排手段によって処理前の薄板材が収納部から処理部へ送給される。また、処理済みの薄板材は、給排手段によって処理部から収納部へ排送された後、収納部において、移送手段によって給排手段の上方支持手段から回収部へ移動させられ、回収部に順次回収される。このように、受け渡し手段による供給部と収納部との間での薄板材の受け渡しおよび収納部と処理部との間での給排手段の往復動作により、処理部への処理前の薄板材の供給および収納部への処理済みの薄板材の回収が行われるので、装置の専有面積が少なくて済む。
【0013】
請求項3に係る発明の給排装置では、供給部および収納部が処理部の一方側に配置されて供給部、収納部および処理部が一体的に連接しているので、処理装置全体の設置スペースが小さくなる。
【0014】
請求項4に係る発明の給排装置では、給排コンベアにより、その下方保持手段で処理前の薄板材を保持して処理部へ薄板材を送給するのに際し、処理部において吸着パッドで一端側だけが持ち上げられた処理済みの薄板材の下方へ給排コンベアが進入して滑り込み、この動作により給排コンベアの上面に処理済みの薄板材が支持される。このように処理部への処理前の薄板材の送給動作と同時に、処理部から給排コンベアの上方支持手段への処理済みの薄板材の移し替えが行われるので、作業効率が向上する。また、給排コンベアの、処理部側の一端辺の上部には複数個のコロが取着されているので、薄板材の下方へ給排コンベアが進入した際に薄板材の下面は給排コンベアところがり接触するので、薄板材の下面が傷付けられることがない。
【0015】
請求項5に係る発明の給排装置では、供給コンベアが、供給部において取出し手段から受け取った処理前の薄板材を上部支持面に支持した状態で供給部から収納部へ水平移動し、収納部において、処理部から収納部へ移動した給排手段の直下に供給コンベアが位置して、供給コンベアの上部支持面に支持された薄板材が給排手段の下方保持手段へ渡される。このように、供給部と収納部との間での供給コンベアの水平移動動作により、取出し手段から給排手段への処理前の薄板材の受け渡しが行われるので、装置の専有面積が少なくて済む。
【0016】
請求項6に係る発明の給排装置では、処理前の薄板材が受渡し手段によって供給部から収納部へ搬送される途中で、クリーンローラにより薄板材の表面が清浄化される。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図1ないし図5を参照しながら説明する。
【0018】
図1は、この発明の実施形態の1例を示し、薄板材の給排装置を備えた薄板材の処理装置、この例ではプリント配線板の外観検査装置の全体構成を模式的に示す概略正面図である。この外観検査装置は、外観検査部10の一方側に供給部12および収納部14を配置して、供給部12、収納部14および外観検査部10が順番に並んで一体的に連接されている。
【0019】
供給部12には、下方に、複数枚の検査前のプリント配線板pを積み重ねた状態で収容した供給トレイ16が配置されている。供給トレイ16は、昇降自在に支持されており、供給トレイ16を上下方向に往復移動させるために、例えばエンドレスチェーン、スプロケットホイールおよび駆動モータから構成されたトレイ駆動機構18が設けられている。また、図示していないが、供給トレイ16を所定の各高さ位置にそれぞれ停止させるための位置センサが設けられている。
【0020】
供給トレイ16の上方には、前・後(図面の左・右)の位置にそれぞれ吸着パッド20、22が設置されている。前側(収納部14側)の吸着パッド20は、例えば、下端に吸盤が固着されたラック、ピニオンおよび駆動モータから構成されており、この吸着パッド20は、紙面に対し垂直な方向に並列して複数設けられている。後側の吸着パッド22は、例えば、作動ロッドの下端に吸盤が固着されたエアーシリンダにより構成され、この吸着パッド22も、紙面に対し垂直な方向に複数設けられている。また、図示していないが、吸着パッド20、22の吸盤を所定の高さ位置にそれぞれ停止させるための位置センサが設けられている。そして、これらの吸着パッド20、22を駆動させることにより、供給トレイ16に収容された検査前のプリント配線板pが上部から1枚ずつ取り出される。
【0021】
吸着パッド20、22の直下位置には、検査前のプリント配線板pを載置して支持する上部支持面26を有する供給コンベア24が配設されている。供給コンベア24は、供給部12と収納部14との間を水平方向へ往復移動自在に支持されており、供給コンベア24を水平方向へ往復移動させるために、例えばタイミングベルト、プーリおよび駆動モータから構成されたコンベア駆動機構28が設けられている。また、図示していないが、供給コンベア24の搬送路には、供給コンベア24を供給部12および収納部14においてそれぞれ所定位置に停止させるための位置センサが付設されている。さらに、図示していないが、供給コンベア24は、その上部支持面26上に支持されて収納部14へ搬送された検査前のプリント配線板pをX・Y方向にそれぞれ整列させるための整列ユニットを備えている。
【0022】
供給部12と収納部14との境界部には、供給コンベア24の搬送路の上方に、供給コンベア24の上部支持面26上に支持されて供給部12から収納部14へ搬送される検査前のプリント配線板pの表面を清浄化するクリーンローラ30が配設されている。クリーンローラ30は、昇降自在に支持されており、クリーンローラ30を上下方向へ往復移動させるエアーシリンダ32が設けられている。
【0023】
収納部14には、供給コンベア24の搬送路の下方に、検査済みのプリント配線板Pを順次積み重ねて回収する収納トレイ34が配置されている。収納トレイ34は、昇降自在に支持されており、収納トレイ34を上下方向へ往復移動させるために、例えばエンドレスチェーン、スプロケットホイールおよび駆動モータから構成されたトレイ駆動機構36が設けられている。また、図示していないが、収納トレイ34を所定の各高さ位置にそれぞれ停止させるための位置センサが設けられている。
【0024】
供給コンベア24の搬送路の上方には、左・右の位置にそれぞれ吸着パッド38、38が設置されている。それぞれの吸着パッド38は、例えば、下端に吸盤が固着されたラック、ピニオンおよび駆動モータから構成されており、吸着パッド38はそれぞれ、紙面に対し垂直な方向に並列して複数設けられている。また、図示していないが、吸着パッド38の吸盤を所定の高さ位置にそれぞれ停止させるための位置センサが設けられている。そして、これらの吸着パッド38、38を駆動させることにより、検査済みのプリント配線板Pが収納トレイ34に順次積み重ねられて回収される。
【0025】
収納部14へ移動した状態の供給コンベア24の直上位置には、給排コンベア40が配設されている。給排コンベア40は、下面側に、検査前のプリント配線板pを実質的に水平姿勢で着脱可能に保持する複数の吸着パッド42を有するとともに、検査済みのプリント配線板Pを載置して支持する上部支持面44を有している。給排コンベア40は、収納部14と外観検査部10との間を水平方向へ往復移動自在に支持されており、給排コンベア40を水平方向へ往復移動させるために、例えばタイミングベルト、プーリおよび駆動モータから構成されたコンベア駆動機構46が設けられている。また、図示していないが、給排コンベア40の搬送路には、給排コンベア40を収納部14および外観検査部10においてそれぞれ所定位置に停止させるための位置センサが付設されている。
【0026】
外観検査部10には、プリント配線板pが載置されて外観検査される検査台48の上方に、前・後(図面の右・左)の位置にそれぞれ吸着パッド50、52が設置されている。前側(収納部14側)の吸着パッド50は、例えば、下端に吸盤が固着されたラック、ピニオンおよび駆動モータから構成されており、この吸着パッド50は、紙面に対し垂直な方向に並列して複数設けられている。後側の吸着パッド52は、例えば、作動ロッドの下端に吸盤が固着されたエアーシリンダにより構成され、この吸着パッド52も、紙面に対し垂直な方向に並列して複数設けられている。また、図示していないが、吸着パッド50、52の吸盤を所定の高さ位置にそれぞれ停止させるための位置センサが設けられている。そして、これらの吸着パッド50、52を駆動させることにより、外観検査が終わったプリント配線板Pが検査台48上から給排コンベア40の上部支持面44へ移し替えられる。
【0027】
上記した外観検査装置において、給排コンベア40および吸着パッド50、52がそれぞれ、請求項1で言うところの給排手段および移し替え手段に対応し、この発明に係る薄板材(プリント配線板)の給排装置は、上記実施形態では給排コンベア40と吸着パッド50、52とから構成されている。
【0028】
なお、図1に示した例では、供給部12において、前・後の位置にそれぞれ吸着パッド20、22を設置し、前・後の吸着パッド20、22により、供給トレイ16に収容された検査前のプリント配線板pの上面の両端部をそれぞれ吸着保持し、プリント配線板pを水平姿勢に保ちながら持ち上げ、その後に、供給部12へ移動してきた供給コンベア24の上部支持面26上にプリント配線板pを載置するようにしているが、図2に示すように、前側(供給コンベア24の進入側)の位置だけに吸着パッド20を設置するようにしてもよい。この場合には、供給コンベア24の、供給部12側の一端辺の上部に複数個のコロ54を取着する。このような構成では、吸着パッド20によって前側だけが持ち上げられたプリント配線板pの下方へ供給コンベア24が進入して滑り込むことにより、供給コンベア24の上部支持面26上にプリント配線板pが支持されることになる。この際、プリント配線板pの下面は、供給コンベア24の一端辺上部ところがり接触するので、プリント配線板pの下面が傷付くことはない。
【0029】
また、図1に示した例では、外観検査部10において、前・後の位置にそれぞれ吸着パッド50、52を設置し、前・後の吸着パッド50、52により、検査台48上に載置された検査済みのプリント配線板Pの上面の両端部をそれぞれ吸着保持し、プリント配線板Pを水平姿勢に保ちながら持ち上げ、その後に、外観検査部10へ移動してきた給排コンベア40の上部支持面44上にプリント配線板Pを載置するようにしているが、図3に示すように、前側(給排コンベア40の進入側)の位置だけに吸着パッド50を設置するようにしてもよい。この場合には、給排コンベア40の、外観検査部10側の一端辺の上部に複数個のコロ56を取着する。このような構成では、吸着パッド50によって前側だけが持ち上げられた検査済みのプリント配線板Pの下方へ、吸着パッド42によって検査前のプリント配線板pを保持した状態の給排コンベア40が進入して滑り込むことにより、給排コンベア40の上部支持面44上にプリント配線板Pが支持されることになる。この際、プリント配線板Pの下面は、給排コンベア40の一端辺上部ところがり接触するので、プリント配線板Pの下面が傷付くことはない。そして、給排コンベア40が外観検査部10の所定位置に停止すると、吸着パッド42が駆動して、検査前のプリント配線板pを検査台48の上面に押し当てた後、吸着パッド42からプリント配線板pを離脱させることにより、検査台48上にプリント配線板pが載置される。
【0030】
次に、上記したプリント配線板の外観検査装置において外観検査部へ検査前のプリント配線板pを供給し検査済みのプリント配線板Pを外観検査部10から排出して回収する一連の動作を、図4および図5に基づいて説明する。なお、図4および図5においては、図2および図3に示したように、供給部12での検査前のプリント配線板pの取出しおよび外観検査部10での検査済みのプリント配線板Pの移し替えが、プリント配線板p、Pの一端側だけを持ち上げて行われる実施形態を示している。また、図示の都合上、各プリント配線板p、Pの一端側だけを持ち上げたときにそれぞれの他端側が収納トレイ16上のプリント配線板pおよび検査台48から離れたように表している。
【0031】
図4の(a)は、供給部12において、吸着パッド20により検査前のプリント配線板pの一端側が吸着されて持ち上げられ、収納部14において、供給コンベア24が停止するとともに、下面側に検査前のプリント配線板pを保持した給排コンベア40が供給コンベア24の直上位置に停止し、吸着パッド38に検査済みのプリント配線板Pが吸着保持され、外観検査部10において、吸着パッド50により検査済みのプリント配線板Pの一端側が吸着されて持ち上げられた状態を示しており、この状態から説明を始める。
【0032】
図4の(a)に示した状態から、供給コンベア24が供給部12の方へ移動するとともに、給排コンベア40が検査処理部10の方へ移動し、吸着パッド38が下方へ移動する。これらの動作により、図4の(b)に示すように、供給部12では、供給コンベア24の上面側に検査前のプリント配線板pが支持され、収納部14では、収納トレイ34上に検査済みのプリント配線板Pが回収され、外観検査部10では、給排コンベア40の上面側に検査済みのプリント配線板Pが支持される。
【0033】
続いて、図4の(c)に示すように、外観検査部10において、給排コンベア40の下面側に保持されていた検査前のプリント配線板pが検査台48へ移され、検査台48上に載置されたプリント配線板pの外観検査が開始される。また、収納部14では、吸着パッド38が上方へ移動し、吸着パッド38が上方位置に停止した後に、図5の(d)に示すように、上面側に検査前のプリント配線板pを支持した供給コンベア24が供給部12から収納部14へ移動する。このとき、クリーンローラ30(図1参照)が下降し、供給コンベア24上に支持された検査前のプリント配線板pの表面にクリーンローラ30が当接してプリント配線板pの表面を清浄化する。また、図5の(e)に示すように、上面側に検査済みのプリント配線板Pを支持した給排コンベア40が外観検査部10から収納部14へ移動する。これらの動作が行われている間に、外観検査部10においてプリント配線板pの外観検査が進行する。
【0034】
外観検査部10でのプリント配線板の外観検査が終了すると、外観検査部10では、吸着パッド50が下方へ移動して、検査台48上に置かれた検査済みのプリント配線板Pの一端側を吸着した後、吸着パッド50が上方へ移動する。また、供給部12では、吸着パッド20が下方へ移動して、供給トレイ16に収容された複数枚の検査前のプリント配線板pのうちの最上のプリント配線板pの一端側を吸着した後、吸着パッド20が上方へ移動する。収納部14では、供給コンベア24の上面側に支持されていた検査前のプリント配線板pを給排コンベア40の下面側へ受け渡す。また、吸着パッド38が下方へ微小距離だけ移動して、給排コンベア40の上面側に支持された検査済みのプリント配線板Pの上面を吸着した後、吸着パッド38が元の上方位置へ移動する。これらの動作により、図4の(a)に示した最初の状態に戻る。以後は、収納トレイ16上から検査前のプリント配線板pが無くなり、検査済みのプリント配線板Pが収納トレイ24に積み重ねられた状態で全て回収されるまで、上記した一連の動作が繰り返される。
【0035】
なお、上記した実施形態では、この発明をプリント配線板の外観検査装置に適用した場合について説明したが、この発明は、それ以外でも、薄板材を処理部へ供給し処理部から処理済みの薄板材を排出して回収する機構を備える薄板材の処理装置に適用することが可能である。また、上記実施形態では、供給部12、収納部14および処理部10を一方向に並列させて配置したが、例えば、供給部、収納部および処理部を鉤形に配置して供給コンベアの搬送路と給排コンベアの搬送路とを交差させるようにようにしてもよい。その他、プリント配線板の保持機構や搬送機構なども、上記した実施形態のものに限定されない。
【0036】
【発明の効果】
請求項1に係る発明の薄板材の給排装置を使用すると、プリント配線板の外観検査装置のように処理部へ処理前の薄板材を送給し処理部から処理済みの薄板材を排送しつつ複数枚の薄板材の処理を行う処理装置の専有面積を低減することができる。
【0037】
請求項2に係る発明の給排装置では、薄板材の処理装置の専有面積をより低減することができる。
【0038】
請求項3に係る発明の給排装置では、薄板材の処理装置全体の設置スペースを小さくすることができる。
【0039】
請求項4に係る発明の給排装置では、作業効率が向上し、薄板材の下面が傷付くこともない。
【0040】
請求項5に係る発明の給排装置では、薄板材の処理装置の専有面積をより低減することができる。
【0041】
請求項6に係る発明の給排装置では、処理前の薄板材の表面を効率良く清浄化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態の1例を示し、薄板材の給排装置を備えたプリント配線板の外観検査装置の全体構成を模式的に示す概略正面図である。
【図2】図1に示したプリント配線板の外観検査装置の供給部において検査前のプリント配線板を取り出す別の方式を示す概略正面図である。
【図3】図1に示したプリント配線板の外観検査装置の外観検査部において検査済みのプリント配線板を移し替える別の方式を示す概略正面図である。
【図4】図1に示したプリント配線板の外観検査装置において外観検査部へ検査前のプリント配線板を供給し検査済みのプリント配線板を外観検査部から排出して回収する一連の動作を説明するための模式図である。
【図5】同じく一連の動作を説明するための模式図である。
【図6】搬送ロボットを用いたオートローダが併設された従来のプリント配線板の外観検査装置の全体構成を示す概略平面図である。
【符号の説明】
10 外観検査部
12 供給部
14 収納部
16 供給トレイ
18 トレイ駆動機構
20、22、38、50、52 吸着パッド
24 供給コンベア
26 供給コンベアの上部支持面
28 コンベア駆動機構
30 クリーンローラ
32 エアーシリンダ
34 収納トレイ
36 トレイ駆動機構
40 給排コンベア
42 給排コンベアの吸着パッド
44 給排コンベアの上部支持面
46 コンベア駆動機構
48 検査台
54、56 コロ
p 検査前のプリント配線板
P 検査済みのプリント配線板

Claims (6)

  1. 薄板材の処理を行う処理部へ処理前の薄板材を送給し前記処理部から処理済みの薄板材を排送する薄板材の給排装置において、
    下面側に、処理前の薄板材を実質的に水平姿勢で着脱可能に保持する下方保持手段を有するとともに、上面側に、処理済みの薄板材を支持する上方支持手段を有し、前記処理部と処理部の外方位置との間を往復移動して、前記下方保持手段により処理前の薄板材を保持した状態で処理部へ進入して処理前の薄板材を処理部へ渡し前記上方支持手段により処理済みの薄板材を支持した状態で処理部から退出する給排手段と、
    前記処理部から処理部に位置する前記給排手段の上方支持手段へ処理済みの薄板材を移動させる移し替え手段と、
    を備えたことを特徴とする薄板材の給排装置。
  2. 複数枚の処理前の薄板材を収容する収容部、および、この収容部に収容された処理前の薄板材を1枚ずつ取り出す取出し手段を有する供給部と、
    処理済みの薄板材を順次回収する回収部、および、前記給排手段の上方支持手段から前記回収部へ処理済みの薄板材を移動させる移送手段を有する収納部と、前記供給部の取出し手段から前記給排手段の下方保持手段へ処理前の薄板材を受け渡す受渡し手段と、
    を備え、
    前記給排手段が前記収納部と前記処理部との間を往復移動するようにした請求項1記載の薄板材の給排装置。
  3. 前記供給部および前記収納部が前記処理部の一方側に配置されて、供給部、収納部および処理部が一体的に連接した請求項1または請求項2記載の薄板材の給排装置。
  4. 前記給排手段が、前記処理部と処理部の外方位置との間を水平方向へ往復移動する給排コンベアであり、その給排コンベアの、処理部側の一端辺の上部に複数個のコロが取着され、
    前記移し替え手段が、前記処理部に置かれた処理済みの薄板材の、前記給排コンベアの進入側の一端部を着脱可能に吸着してその一端側だけを持ち上げる吸着パッドであり、
    前記吸着パッドにより一端側だけが持ち上げられた処理済みの薄板材の下方へ前記給排コンベアが進入して、給排コンベアの上面に処理済みの薄板材が支持されるようにした請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の薄板材の給排装置。
  5. 前記受渡し手段が、前記取出し手段から受け取った処理前の薄板材を支持する上部支持面を有し前記供給部と前記収納部との間を水平方向へ往復移動する供給コンベアであり、その供給コンベアが供給部から収納部へ移動したときに、前記処理部から収納部へ移動した前記給排手段の直下に供給コンベアが位置して、供給コンベアの前記上部支持面に支持された処理前の薄板材が給排手段の下方保持手段へ渡されるようにした請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の薄板材の給排装置。
  6. 前記供給部と前記収納部との間に、前記受渡し手段によって供給部から収納部へ搬送される処理前の薄板材の表面を清浄化するクリーンローラが配設された請求項2ないし請求項5のいずれかに記載の薄板材の給排装置。
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