JP4476081B2 - 部品実装装置、基板搬送装置及び部品実装方法 - Google Patents

部品実装装置、基板搬送装置及び部品実装方法 Download PDF

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Description

本発明は、基板上に実装部品を実装する部品実装装置に係り、とりわけ、パネル用基板やプリント基板等の基板上に異方性導電膜(ACF)等の接着膜を介してテープキャリアパッケージ(TCP)等の実装部品を実装する部品実装装置、このような部品実装装置で用いられる基板搬送装置及び部品実装方法に関する。
従来の部品実装装置は一般に、基板上にACFを貼り付けるACF貼付装置と、ACFが貼り付けられた基板上に実装部品を熱圧着する熱圧着装置とを備えている。また、このような部品実装装置において、ACF貼付装置と熱圧着装置との間には、ACF貼付装置と熱圧着装置との間で基板を搬送するための、移動テーブル等からなる基板搬送装置が設けられている(特許文献1参照)。
ところで、このような部品実装装置で用いられる基板は、その外形形状が平坦でなく、また、その外周部に他の部品が取り付けられていることが多い。このような場合には、基板搬送装置を構成する移動テーブル等に基板を直接載置することが困難となり、また、基板の搬送時に加えられる振動等により基板及びそれに取り付けられた他の部品が劣化しやすい。
このため、従来の部品実装装置では、基板の外形形状等に合致した治具を準備し、この治具により基板を保持した状態で当該基板を移動テーブル等により搬送することが行われている。
しかしながら、この場合には、ACF貼付装置と熱圧着装置との間に設けられる基板搬送装置が単一の移動テーブル等からなり、また、基板を保持する治具も移動テーブル等に固定的に取り付けられるものであることから、1台の部品実装装置で扱うことが可能な基板の種類は1種類のみに限定され、複数種類の基板に対して熱圧着処理等を行うことが困難である。すなわち、1台の部品実装装置により複数種類の基板に対して熱圧着処理等を行う場合には、移動テーブルの取り替え等が必要になり、装置の稼働率の低下を招いてしまう。なおこの場合、複数台の部品実装装置を用いて複数種類の基板に対して熱圧着処理等を行うことは当然可能であるが、この場合にはコストの上昇を招く。
特開2002−57494号公報
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、2種類の基板に対して効率良く熱圧着処理等の部品実装処理を行うことが可能な生産性の高い部品実装装置、基板搬送装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。
本発明は、第1の解決手段として、基板上に実装部品を実装する部品実装装置において、実装処理の対象となる基板に対して実装用の第1処理を行う第1処理装置と、前記第1処理装置により実装用の第1処理が行われた基板に対して実装用の第2処理を行う第2処理装置と、前記第1処理装置と前記第2処理装置との間で基板を搬送する基板搬送装置とを備え、前記基板搬送装置は、実装用の第1処理の対象となる基板を当該基板を保持する治具とともに移動させる第1移動機構と、実装用の第2処理の対象となる基板を当該基板を保持する治具とともに移動させる第2移動機構と、実装用の第1処理が行われた基板を当該基板を保持する治具とともに前記第1移動機構と前記第2移動機構との間で搬送する搬送アーム機構とを有し、前記第1移動機構は、実装用の第1処理が行われる前の基板を空の治具により保持した後、当該治具を前記第1処理装置に位置付けるとともに、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記搬送アーム機構へ引き渡すように構成され、前記第2移動機構は、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記第2処理装置に位置付けるとともに、実装用の第2処理が行われた後の基板が次工程に引き渡されることによって空になった治具を前記搬送アーム機構へ引き渡すように構成され、前記搬送アーム機構は、前記第1移動機構から引き渡される、基板が保持された状態の治具を受け取り、当該治具を当該基板とともに搬送して前記第2移動機構へ引き渡すとともに、前記第2移動機構から引き渡される空の治具を受け取り、当該治具を搬送して前記第1移動機構へ引き渡すように構成されていることを特徴とする部品実装装置を提供する。
なお、上述した本発明の第1の解決手段において、前記基板搬送装置の前記搬送アーム機構は、前記第1移動機構及び前記第2移動機構のうちのいずれかから引き渡される治具をそれぞれ搬送する一対の搬送アームを有し、これらの一対の搬送アームは、前記第1移動機構と前記第2移動機構とをつなぐように延びる搬送経路に沿って互いに干渉することなく移動することが好ましい。
また、上述した本発明の第1の解決手段において、前記基板搬送装置で用いられる複数の治具は互いに異なる2種類の治具を含み、これらの2種類の治具により保持される2種類の基板に対して前記第1処理装置及び前記第2処理装置により実装用の第1処理及び第2処理が行われることが好ましい。
さらに、上述した本発明の第1の解決手段において、前記第1処理装置は、基板上に接着膜を貼り付ける接着膜貼付装置であり、前記第2処理装置は、接着膜が貼り付けられた基板上に実装部品を熱圧着する熱圧着装置であることが好ましい。
本発明は、第2の解決手段として、実装処理の対象となる基板に対して実装用の第1処理を行う第1処理装置と、前記第1処理装置により実装用の第1処理が行われた基板に対して実装用の第2処理を行う第2処理装置との間で基板を搬送する基板搬送装置において、実装用の第1処理の対象となる基板を当該基板を保持する治具とともに移動させる第1移動機構と、実装用の第2処理の対象となる基板を当該基板を保持する治具とともに移動させる第2移動機構と、実装用の第1処理が行われた基板を当該基板を保持する治具とともに前記第1移動機構と前記第2移動機構との間で搬送する搬送アーム機構とを有し、前記第1移動機構は、実装用の第1処理が行われる前の基板を空の治具により保持した後、当該治具を前記第1処理装置に位置付けるとともに、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記搬送アーム機構へ引き渡すように構成され、前記第2移動機構は、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記第2処理装置に位置付けるとともに、実装用の第2処理が行われた後の基板が次工程に引き渡されることによって空になった治具を前記搬送アーム機構へ引き渡すように構成され、前記搬送アーム機構は、前記第1移動機構から引き渡される、基板が保持された状態の治具を受け取り、当該治具を当該基板とともに搬送して前記第2移動機構へ引き渡すとともに、前記第2移動機構から引き渡される空の治具を受け取り、当該治具を搬送して前記第1移動機構へ引き渡すように構成されていることを特徴とする基板搬送装置を提供する。
なお、上述した本発明の第2の解決手段において、前記搬送アーム機構は、前記第1移動機構及び前記第2移動機構のうちのいずれかから引き渡される治具をそれぞれ搬送する一対の搬送アームを有し、これらの一対の搬送アームは、前記第1移動機構と前記第2移動機構とをつなぐように延びる搬送経路に沿って互いに干渉することなく移動することが好ましい。
本発明は、第3の解決手段として、基板上に実装部品を実装する部品実装方法において、実装処理の対象となる基板を基板受取位置にて受け取って空の治具により保持した後、当該基板が保持された当該治具を第1処理位置に位置付ける工程と、前記第1処理位置に治具とともに位置付けられた基板に対して実装用の第1処理を行う工程と、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記第1処理位置から第1受渡位置へ移動させる工程と、前記第1受渡位置にて、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を受け取り、当該治具を当該基板とともに前記第1受渡位置から第2受渡位置へ搬送する工程と、前記第2受渡位置にて、実装用の第1処理が行われた基板が保持された治具を受け取り、当該治具を前記第2受渡位置から第2処理位置へ移動させる工程と、前記第2処理位置に治具とともに位置付けられた基板に対して実装用の第2処理を行う工程と、実装用の第2処理が行われた後の基板が次工程に引き渡されることで空になった治具を前記第2処理位置から前記第2受渡位置へ移動させる工程と、前記第2受渡位置にて空の治具を受け取り、当該治具を前記第2受渡位置から前記第1受渡位置へ搬送する工程と、前記第1受渡位置にて空の治具を受け取り、当該治具を前記第1受渡位置から前記基板受取位置へ移動させる工程とを含み、前記複数の工程が実装処理の対象となる基板の枚数に対応する回数だけ繰り返されることを特徴とする部品実装方法を提供する。
なお、上述した本発明の第3の解決手段においては、前記第1受渡位置から前記第2受渡位置へ治具を搬送する工程と、前記第2受渡位置から前記第1受渡位置へ治具を搬送する工程とが同時に行われることが好ましい。
本発明によれば、第1処理装置と第2処理装置との間に配置される基板搬送装置が、実装用の第1処理の対象となる基板を治具とともに移動させる第1移動機構と、実装用の第2処理の対象となる基板を治具とともに移動させる第2移動機構と、実装用の第1処理が行われた基板を治具とともに第1移動機構と前記第2移動機構との間で搬送する搬送アーム機構とを有し、かつ、その搬送アーム機構が、第1移動機構から引き渡される、基板が保持された状態の治具を受け取り、当該治具を当該基板とともに搬送して第2移動機構へ引き渡すとともに、第2移動機構から引き渡される空の治具を受け取り、当該治具を搬送して第1移動機構へ引き渡すように構成されているので、基板を保持する治具を少なくとも2種類持つことが可能となり、1台の部品実装装置で2種類の基板に対して効率良く部品実装処理を行うことができる。
また、本発明によれば、基板搬送装置の第1移動機構及び第2移動機構が搬送アーム機構を介して互いに並列に接続されているので、第1移動機構により位置付けられた基板に対して実装用の第1処理が行われている間に、第2移動機構により位置付けられた基板に対して実装用の第2処理を行うことが可能となり、部品実装処理の生産性を向上させることができる。
発明を実施するための形態
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
まず、図1により、本実施の形態に係る部品実装装置の全体構成について説明する。
図1に示すように、部品実装装置1は、実装処理の対象となる基板51上に実装部品(図示せず)を実装するものであり、基板51上に接着膜としてのACF(図示せず)を貼り付けるACF貼付処理(実装用の第1処理)を行うACF貼付装置(第1処理装置)61と、ACF貼付装置61によりACF(図示せず)が貼り付けられた基板51上に実装部品(図示せず)を熱圧着する熱圧着処理(実装用の第2処理)を行う熱圧着装置(第2処理装置)62とを備えている。また、ACF貼付装置61と熱圧着装置62との間には、ACF貼付装置61と熱圧着装置62との間で基板51を搬送する基板搬送装置10が設けられている。
ここで、ACF貼付装置61及び熱圧着装置62により実装用の処理(ACF貼付処理及び熱圧着処理)が行われる基板51は、治具41により保持した状態で基板搬送装置10により搬送されるようになっている。なお、基板搬送装置10で用いられる治具41としては、互いに異なる2種類の治具を用いることが可能であり、これにより、2種類の治具41により保持される2種類の基板51に対してACF貼付装置61及び熱圧着装置62により実装用の処理(ACF貼付処理及び熱圧着処理)を行うことができる。
以下、基板搬送装置10の詳細について説明する。
図1に示すように、基板搬送装置10は、ACF貼付処理の対象となる基板51を治具41とともに移動させる第1移動機構11と、熱圧着処理の対象となる基板51を治具41とともに移動させる第2移動機構12と、ACF貼付処理が行われた基板51を治具41とともに第1移動機構11と第2移動機構12との間で搬送するアーム搬送機構15とを有している。
このうち、第1移動機構11は、治具41が載置された状態で水平移動を行うことが可能な第1移動テーブル11aを有している。これにより、第1移動機構11は、基板受取位置A、ACF貼付位置B及び第1受渡位置Cのうちのいずれかに第1移動テーブル11aを位置付けることにより、実装処理の対象となる基板51を基板受取位置Aにて受け取って治具41により保持した後、このような基板51が保持された治具41をACF貼付装置61(ACF貼付位置B)に位置付け、さらに、ACF貼付処理が行われた後の基板51が保持された治具41を第1受渡位置Cに位置付けて搬送アーム機構15へ引き渡す、という一連の動作を行うことができるようになっている。
第2移動機構12は、治具41が載置された状態で水平移動を行うことが可能な第2移動テーブル12aを有している。これにより、第2移動機構12は、第2受渡位置D及び熱圧着位置Eのうちのいずれかに第2移動テーブル12aを位置付けることにより、ACF貼付処理が行われた後の基板51を治具41とともに第2受渡位置Dにて受け取った後、このようなACF貼付処理が行われた後の基板51が保持された治具41を熱圧着装置62(熱圧着位置E)に位置付け、さらに、熱圧着処理が行われた後の基板51が次工程に引き渡されることによって空になった治具41を第2受渡位置Dに位置付けて搬送アーム機構15へ引き渡す、という一連の動作を行うことができるようになっている。
搬送アーム機構15は、第1移動機構11及び第2移動機構12のうちのいずれかから引き渡される治具41をそれぞれ搬送する一対の搬送アーム21,31を有している。なお、搬送アーム21,31は、第1移動機構11と第2移動機構12とをつなぐように延びる搬送レール(搬送経路)16に沿って互いに干渉することなく移動することが可能となっている。これにより、搬送アーム機構15は、第1受渡位置Cと第2受渡位置Dとの間で搬送アーム21,31を移動させることにより、第1移動機構11から引き渡される治具41(基板51が保持された状態の治具)を第1受渡位置Cにて受け取り、当該治具41を当該基板51とともに搬送して第2受渡位置Dにて第2移動機構12へ引き渡すとともに、第2移動機構12から引き渡される空の治具41を第2受渡位置Dにて受け取り、当該治具41を搬送して第1受渡位置Cにて第1移動機構11へ引き渡すことができる。
ここで、図1及び図2により、基板搬送装置10で用いられる搬送アーム機構15の詳細について説明する。
図1及び図2に示すように、搬送アーム機構15に含まれる搬送アーム21,31はそれぞれ、搬送レール16の両側に形成された走行用レール部16a,16bに沿って移動するように構成されている。
このうち、搬送アーム21は、搬送レール16のうち裏面側(移動機構11,12から遠い方の側)に位置する走行用レール部16aに沿って水平移動するものであり、治具41を支持するアーム本体22と、アーム本体22を昇降自在に支持する走行部材24とを有している。アーム本体22は、治具41の両端部を支持することが可能な一対の突出部材からなる本体上部22aと、本体上部22aから下方に延びる本体下部22bとを有している。ここで、アーム本体22の本体下部22bには一対の昇降用ガイド片23が固着されており、これらの昇降用ガイド片23と走行部材24に形成された昇降用レール部24aとを摺動自在に嵌合させた状態でアーム本体22を駆動機構(図示せず)等により駆動することにより、アーム本体22を走行部材24に対して相対的に昇降させることができるようになっている。また、走行部材24には一対の走行用ガイド片25が固着されており、これらの走行用ガイド片25と走行用レール部16aとを摺動自在に嵌合させた状態で走行部材24を駆動機構(図示せず)等により駆動することにより、走行部材24を搬送レール16に対して水平移動させることができるようになっている。
同様に、搬送アーム31は、搬送レール16のうち表面側(移動機構11,12に近い方の側)に位置する走行用レール部16bに沿って水平移動するものであり、治具41を支持するアーム本体32と、アーム本体32を昇降自在に支持する走行部材34とを有している。アーム本体32は、治具41の両端部を支持することが可能な一対の突出部材からなる本体上部32aと、本体上部32aから下方に延びる本体下部32bとを有している。ここで、アーム本体32の本体下部32bには一対の昇降用ガイド片33が固着されており、これらの昇降用ガイド片33と走行部材34に形成された昇降用レール部34aとを摺動自在に嵌合させた状態でアーム本体32を駆動機構(図示せず)等により駆動することにより、アーム本体32を走行部材34に対して相対的に昇降させることができるようになっている。また、走行部材34には一対の走行用ガイド片35が固着されており、これらの走行用ガイド片35と走行用レール部16bとを摺動自在に嵌合させた状態で走行部材34を駆動機構(図示せず)等により駆動することにより、走行部材34を搬送レール16に対して水平移動させることができるようになっている。
なお、搬送アーム21,31は互いに異なる走行用レール部16a,16bに沿って移動するように構成されており、また、搬送アーム21,31のアーム本体22,32の高さについても本体上部22a,32aが互いに干渉しないように調整することができるので、搬送アーム21,31は互いに干渉することなく搬送レール16に沿って移動することが可能である。
次に、図3A乃至図3Fにより、図1及び図2に示す部品実装装置1の動作について説明する。なおここでは、部品実装装置1の基板搬送装置10において互いに異なる2種類の治具41a,41bが用いられ、これらの2種類の治具41a,41bにより保持される2種類の基板51a,51bに対してACF貼付装置61及び熱圧着装置62により実装用の処理(ACF貼付処理及び熱圧着処理)が行われる場合を例に挙げて説明する。
図3Aに示すように、第1移動機構11においては、まず、空の治具41aが載置された第1移動テーブル11aを移動させて基板受取位置Aに位置付ける。そして、前工程から引き渡されたACF貼付処理の対象となる基板51aを基板受取位置Aにて受け取って空の治具41aにより保持した後、第1移動テーブル11aを基板受取位置AからACF貼付位置Bへ移動させ、このような基板51aが保持された治具41aをACF貼付位置Bに位置付ける。なおこのとき、基板51a上に設けられた位置決め用マークをCCDカメラ等の画像処理装置により認識して基板51a(治具41a)の位置の補正を行うようにするとよい。そして、ACF貼付装置61により、このようにして治具41aとともに位置付けられた基板51a上にACFを貼り付ける。一方、第2移動機構12においては、基板が保持されていない空の治具41bが第2移動テーブル12a上に載置されている。なお、図3Aにおいては、第2移動テーブル12aが熱圧着位置Eに位置付けられる様子が示されているが、この時点での第2移動テーブル12aの位置は任意であってよい。
次に、図3Bに示すように、第1移動機構11においては、第1移動テーブル11aにより、ACF貼付処理が行われた後の基板51aが保持された治具41aをACF貼付位置Bから第1受渡位置Cへ移動させ、第1受渡位置Cにて搬送アーム機構15へ引き渡す。このとき、第1受渡位置Cには搬送アーム機構15の搬送アーム21がそのアーム本体22の高さが調整された状態で位置付けられており、このような搬送アーム21によって、ACF貼付処理が行われた後の基板51が保持された治具41aが第1移動テーブル11aから受け取られる。一方、第2移動機構12においては、第2移動テーブル12aにより、空の治具41bを熱圧着位置Eから第2受渡位置Dへ移動させ、第2受渡位置Dにて搬送アーム機構15へ引き渡す。このとき、第2受渡位置Dには搬送アーム機構15の搬送アーム31がそのアーム本体32の高さが調整された状態で位置付けられており、このような搬送アーム31によって、空の治具41bが第2移動テーブル12aから受け取られる。
次に、図3Cに示すように、搬送アーム機構15の搬送アーム21及び搬送アーム31を搬送レール16に沿って移動させる。具体的には、搬送アーム21を移動させることにより、第1受渡位置Cにて受け取られた治具41aを基板51aとともに第1受渡位置Cから第2受渡位置Dへ搬送すると同時に、搬送アーム31を移動させることにより、第2受渡位置Dにて受け取られた空の治具41bを第2受渡位置Dから第1受渡位置Cへ搬送する。なおこのとき、搬送アーム21,31のアーム本体22,32の高さは、搬送アーム21,31が搬送レール16に沿って移動する際に互いに干渉しないように調整されている。
次に、図3Dに示すように、第2移動機構12においては、第2移動テーブル12aにより、ACF貼付処理が行われた後の基板51aが保持された治具41aを第2受渡位置Dにて受け取った後、第2移動テーブル12aを第2受渡位置Dから熱圧着位置Eへ移動させ、このような基板51aが保持された治具41aを熱圧着位置Eに位置付ける。なおこのとき、基板51a上に設けられた位置決め用マークをCCDカメラ等の画像処理装置により認識して基板51a(治具41a)の位置の補正を行うようにするとよい。そして、熱圧着装置62により、このようにして治具41aとともに位置付けられた基板51a上に実装部品(図示せず)を熱圧着する。一方、第1移動機構11においては、第1移動テーブル11aにより、空の治具41bを第1受渡位置Cにて受け取った後、第1移動テーブル11aを第1受渡位置Cから基板受取位置Aへ移動させ、空の治具41bを基板受取位置Aに位置付ける。そしてこの状態で、前工程から引き渡されたACF貼付処理の対象となる基板51b(基板51aとは異なる種類の基板)を基板受取位置Aにて受け取って空の治具41bにより保持する。
その後、図3Eに示すように、第1移動機構11においては、第1移動テーブル11aを基板受取位置AからACF貼付位置Bへ移動させ、このような基板51bが保持された治具41bをACF貼付位置Bに位置付け、図3Aに示す場合と同様にして、ACF貼付装置61により基板51b上にACFを貼り付ける。一方、第2移動機構12においては、熱圧着装置により基板51a上に実装部品(図示せず)を熱圧着した後、治具41aに保持された基板51aのみが取り出されて次工程に引き渡される。
そして、図3Fに示すように、ACF貼付処理が行われた後の基板51bが保持された治具41b、及び、熱圧着処理が行われた後の基板51aが次工程に引き渡されることで空になった治具41aはいずれも、図3Bに示す場合と同様にして、搬送アーム機構15へ向かって移動され、上述した図3C乃至図3Eに示す場合と同様の処理が繰り返し行われる。
以上により、図1に示す部品実装装置1において、2種類の治具41a,41bにより保持される2種類の基板51a,41bに対してACF貼付装置61及び熱圧着装置62により実装用の処理(ACF貼付処理及び熱圧着処理)が順次行われ、実装部品(図示せず)がACFを介して熱圧着された基板が、基板51a,基板51b,基板51a,基板51b,…の順で得られる。
このように本実施の形態によれば、ACF貼付装置61と熱圧着装置62との間に配置される基板搬送装置10が、ACF貼付処理の対象となる基板51を治具41とともに移動させる第1移動機構11と、熱圧着処理の対象となる基板51を治具41とともに移動させる第2移動機構12と、ACF貼付処理が行われた基板51を治具41とともに第1移動機構11と前記第2移動機構12との間で搬送する搬送アーム機構15とを有し、かつ、搬送アーム機構15が、第1移動機構11から引き渡される、基板51が保持された状態の治具41を受け取り、当該治具41を当該基板51とともに搬送して第2移動機構12へ引き渡すとともに、第2移動機構12から引き渡される空の治具41を受け取り、当該治具41を搬送して第1移動機構11へ引き渡すように構成されているので、基板51を保持する治具41を少なくとも2種類持つことが可能となり、1台の部品実装装置1で2種類の基板51に対して効率良く熱圧着処理(部品実装処理)を行うことができる。
また、本実施の形態によれば、基板搬送装置10の第1移動機構11及び第2移動機構12が搬送アーム機構15を介して互いに並列に接続されているので、第1移動機構11により位置付けられた基板51に対してACF貼付装置61によりACF貼付処理が行われている間に、第2移動機構12により位置付けられた基板51に対して熱圧着装置61により熱圧着処理を行うことが可能となり、部品実装処理の生産性を向上させることができる。
本発明による部品実装装置の一実施の形態を示す概略構成図。 図1に示す部品実装装置の基板搬送装置の要部(搬送アーム機構)をII方向から見た側面図。 図1に示す部品実装装置の動作を説明するための図。 図1に示す部品実装装置の動作を説明するための図。 図1に示す部品実装装置の動作を説明するための図。 図1に示す部品実装装置の動作を説明するための図。 図1に示す部品実装装置の動作を説明するための図。 図1に示す部品実装装置の動作を説明するための図。
符号の説明
1 部品実装装置
10 基板搬送装置
11 第1移動機構
11a 第1移動テーブル
12 第2移動機構
12a 第2移動テーブル
15 搬送アーム機構
16 搬送レール
16a,16b 走行用レール部
21,31 搬送アーム
22,32 アーム本体
22a,32a 本体上部
22b,32b 本体下部
23,33 昇降用ガイド片
24,34 走行部材
24a,34a 昇降用レール部
25,35 走行用ガイド片
41,41a,41b 治具
51,51a,51b 基板
61 ACF貼付装置(第1処理装置)
62 熱圧着装置(第2処理装置)
A 基板受取位置
B ACF貼付位置
C 第1受渡位置
D 第2受渡位置
E 熱圧着位置

Claims (8)

  1. 基板上に実装部品を実装する部品実装装置において、
    実装処理の対象となる基板に対して実装用の第1処理を行う第1処理装置と、
    前記第1処理装置により実装用の第1処理が行われた基板に対して実装用の第2処理を行う第2処理装置と、
    前記第1処理装置と前記第2処理装置との間で基板を搬送する基板搬送装置とを備え、
    前記基板搬送装置は、
    実装用の第1処理の対象となる基板を当該基板を保持する治具とともに移動させる第1移動機構と、
    実装用の第2処理の対象となる基板を当該基板を保持する治具とともに移動させる第2移動機構と、
    実装用の第1処理が行われた基板を当該基板を保持する治具とともに前記第1移動機構と前記第2移動機構との間で搬送する搬送アーム機構とを有し、
    前記第1移動機構は、実装用の第1処理が行われる前の基板を空の治具により保持した後、当該治具を前記第1処理装置に位置付けるとともに、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記搬送アーム機構へ引き渡すように構成され、
    前記第2移動機構は、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記第2処理装置に位置付けるとともに、実装用の第2処理が行われた後の基板が次工程に引き渡されることによって空になった治具を前記搬送アーム機構へ引き渡すように構成され、
    前記搬送アーム機構は、前記第1移動機構から引き渡される、基板が保持された状態の治具を受け取り、当該治具を当該基板とともに搬送して前記第2移動機構へ引き渡すとともに、前記第2移動機構から引き渡される空の治具を受け取り、当該治具を搬送して前記第1移動機構へ引き渡すように構成されていることを特徴とする部品実装装置。
  2. 前記基板搬送装置の前記搬送アーム機構は、前記第1移動機構及び前記第2移動機構のうちのいずれかから引き渡される治具をそれぞれ搬送する一対の搬送アームを有し、これらの一対の搬送アームは、前記第1移動機構と前記第2移動機構とをつなぐように延びる搬送経路に沿って互いに干渉することなく移動することを特徴とする、請求項1に記載の部品実装装置。
  3. 前記基板搬送装置で用いられる複数の治具は互いに異なる2種類の治具を含み、これらの2種類の治具により保持される2種類の基板に対して前記第1処理装置及び前記第2処理装置により実装用の第1処理及び第2処理が行われることを特徴とする、請求項1又は2に記載の部品実装装置。
  4. 前記第1処理装置は、基板上に接着膜を貼り付ける接着膜貼付装置であり、前記第2処理装置は、接着膜が貼り付けられた基板上に実装部品を熱圧着する熱圧着装置であることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の部品実装装置。
  5. 実装処理の対象となる基板に対して実装用の第1処理を行う第1処理装置と、前記第1処理装置により実装用の第1処理が行われた基板に対して実装用の第2処理を行う第2処理装置との間で基板を搬送する基板搬送装置において、
    実装用の第1処理の対象となる基板を当該基板を保持する治具とともに移動させる第1移動機構と、
    実装用の第2処理の対象となる基板を当該基板を保持する治具とともに移動させる第2移動機構と、
    実装用の第1処理が行われた基板を当該基板を保持する治具とともに前記第1移動機構と前記第2移動機構との間で搬送する搬送アーム機構とを有し、
    前記第1移動機構は、実装用の第1処理が行われる前の基板を空の治具により保持した後、当該治具を前記第1処理装置に位置付けるとともに、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記搬送アーム機構へ引き渡すように構成され、
    前記第2移動機構は、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記第2処理装置に位置付けるとともに、実装用の第2処理が行われた後の基板が次工程に引き渡されることによって空になった治具を前記搬送アーム機構へ引き渡すように構成され、
    前記搬送アーム機構は、前記第1移動機構から引き渡される、基板が保持された状態の治具を受け取り、当該治具を当該基板とともに搬送して前記第2移動機構へ引き渡すとともに、前記第2移動機構から引き渡される空の治具を受け取り、当該治具を搬送して前記第1移動機構へ引き渡すように構成されていることを特徴とする基板搬送装置。
  6. 前記搬送アーム機構は、前記第1移動機構及び前記第2移動機構のうちのいずれかから引き渡される治具をそれぞれ搬送する一対の搬送アームを有し、これらの一対の搬送アームは、前記第1移動機構と前記第2移動機構とをつなぐように延びる搬送経路に沿って互いに干渉することなく移動することを特徴とする、請求項5に記載の基板搬送装置。
  7. 基板上に実装部品を実装する部品実装方法において、
    実装処理の対象となる基板を基板受取位置にて受け取って空の治具により保持した後、当該基板が保持された当該治具を第1処理位置に位置付ける工程と、
    前記第1処理位置に治具とともに位置付けられた基板に対して実装用の第1処理を行う工程と、
    実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を前記第1処理位置から第1受渡位置へ移動させる工程と、
    前記第1受渡位置にて、実装用の第1処理が行われた後の基板が保持された治具を受け取り、当該治具を当該基板とともに前記第1受渡位置から第2受渡位置へ搬送する工程と、
    前記第2受渡位置にて、実装用の第1処理が行われた基板が保持された治具を受け取り、当該治具を前記第2受渡位置から第2処理位置へ移動させる工程と、
    前記第2処理位置に治具とともに位置付けられた基板に対して実装用の第2処理を行う工程と、
    実装用の第2処理が行われた後の基板が次工程に引き渡されることで空になった治具を前記第2処理位置から前記第2受渡位置へ移動させる工程と、
    前記第2受渡位置にて空の治具を受け取り、当該治具を前記第2受渡位置から前記第1受渡位置へ搬送する工程と、
    前記第1受渡位置にて空の治具を受け取り、当該治具を前記第1受渡位置から前記基板受取位置へ移動させる工程とを含み、
    前記複数の工程が実装処理の対象となる基板の枚数に対応する回数だけ繰り返されることを特徴とする部品実装方法。
  8. 前記第1受渡位置から前記第2受渡位置へ治具を搬送する工程と、前記第2受渡位置から前記第1受渡位置へ治具を搬送する工程とが同時に行われることを特徴とする、請求項7に記載の部品実装方法
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