KR102550166B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다. 기판 이송 장치는, 내부에 좌우로 나란히 배치되는 제1 영역과 제2 영역으로 구획되는 공간이 마련된 메인 프레임; 상기 메인 프레임의 상기 제1 영역에 설치되는 제1 픽업유닛; 상기 메인 프레임의 상기 제2 영역에 설치되는 제2 픽업유닛; 및 컨베이어를 지지하는 컨베이어 프레임을 포함하고, 상기 컨베이어 프레임은, 상기 컨베이어가 상기 제1 픽업유닛의 측부 또는 상기 제2 픽업유닛의 측부에 선택적으로 설치되도록, 상기 메인 프레임에 탈착 가능하게 결합된다.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
인쇄회로기판(PCB)의 제조공정은 기판(Substrate)을 세정하는 전처리공정, 상기 전처리공정을 거친 기판을 도금하는 도금공정 및 후처리공정으로 구분될 수 있다. 인쇄회로기판(PCB)의 제조공정은 컨베이어(Conveyor) 등으로 이루어진 로딩 장치를 이용하여 기판을 전처리공정에서 도금공정으로, 그리고 상기 도금공정에서 후처리공정으로 이송하고 있으며, 각 공정에서는 기판을 정렬한 후 흡착하여 이송토록 하고 있다.
일본 특허공개공보 제2000-332493호(2000.11.30. 공개)
본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 좌우로 나란히 배치되는 제1 영역과 제2 영역으로 구획되는 공간이 마련된 메인 프레임; 상기 메인 프레임의 상기 제1 영역에 설치되는 제1 픽업유닛; 상기 메인 프레임의 상기 제2 영역에 설치되는 제2 픽업유닛; 및 컨베이어를 지지하는 컨베이어 프레임을 포함하고, 상기 컨베이어 프레임은, 상기 컨베이어가 상기 제1 픽업유닛의 측부 또는 상기 제2 픽업유닛의 측부에 선택적으로 설치되도록, 상기 메인 프레임에 탈착 가능하게 결합되는 기판 이송 장치가 제공된다.
도 1은 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 한 결합 상태를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 다른 결합 상태를 나타낸 도면.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.
또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
또한 이하에서 설명한 본 발명의 각각의 실시예는 반드시 하나의 실시예 만을 나타내는 개념이 아니며, 각각의 실시예에 대하여 종속된 실시예들을 포괄하는 개념으로 이해되어야 한다.
도 1은 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 메인 프레임(110), 제1 픽업유닛(120), 제2 픽업유닛(130) 및 컨베이어 프레임(140)을 포함할 수 있다.
메인 프레임(110)은 복수의 선형 구조물로 이루어지는 틀로서, 메인 프레임(110)은 직육면체의 모서리(변)에 대응하는 복수의 선형 구조물로 이루어질 수 있다. 복수의 선형 구조물들은 큰 강성을 가지는 강재나 철재 등으로 이루어질 수 있으나, 소재가 제한되는 것은 아니다. 한편, 메인 프레임(110)의 하부에는 다수의 지지 레그(leg)가 결합될 수 있다.
메인 프레임(110)의 내부에 좌우로 나란히 배치되는 제1 영역(111)과 제2 영역(112)으로 구획되는 공간이 마련된다. 제1 영역(111)과 제2 영역(112)의 구획은 가상으로 구획되거나 선형 구조물에 의하여 실제로 구획될 수 있다. 제1 영역(111)와 제2 영역(112)의 형상, 크기는 모두 동일할 수 있다.
복수의 기판(S)은 상하로 적재되어 기판 이송 장치로 공급되는데, 복수의 기판(S) 사이마다 간지(P)가 개재될 수 있다. 간지(P)는 일정한 두께를 갖는 사각형의 종이나 합성수지로 이루어진 것일 수 있다.
픽업유닛은 투입되는 기판(S)을 픽업하여 컨베이어(141)에 로딩하거나, 기판(S)과 함께 투입되는 간지(P)를 픽업하여 수취하는 장비이다. 픽업유닛은 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)을 포함할 수 있다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 기판(S) 로딩 기능 또는 간지(P) 수취 기능을 할 수 있다. 즉, 제1 픽업유닛(120)이 기판(S) 로딩 기능을 하면, 제2 픽업유닛(130)은 간지(P) 수취 기능을 하고, 제2 픽업유닛(130)이 기판(S) 로딩 기능을 하면, 제1 픽업유닛(120)은 간지(P) 수취 기능을 한다.
제1 픽업유닛(120)은 메인 프레임(110)의 제1 영역(111)에 설치되고, 제2 픽업유닛(130)은 메인 프레임(110)의 제2 영역(112)에 설치된다. 제1 영역(111)과 제2 영역(112)은 좌우로 나란히 배치되며, 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130) 역시 좌우로 나란히 배치된다.
제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 모두 메인 프레임(110)에 결합될 수 있지만, 메인 프레임(110)에 대해 탈착 가능할 수 있다.
제1 영역(111)에 형성되는 제1 픽업유닛(120)과 제2 영역(112)에 형성되는 제2 픽업유닛(130)은 서로 동일한 형상을 가질 수 있고, 제1 영역(111)과 제2 영역(112) 사이에 존재하는 가상의 평면에 대해 서로 면대칭을 이루는 형상을 가질 수 있다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 동일한 형상을 가지면서 서로 면대칭을 이룰 수도 있다. 도 1에서는 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)이 동일한 형상을 가지도록 도시되었으나, 이러한 특징으로 한정되는 것이 아니라, 상술한 것과 같이 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)이 서로 면대칭인 형상을 가질 수도 있다.
제1 픽업유닛(120)은, 상하로 승강 가능한 제1 암(arm)(121); 및 상기 제1 암(121)에 결합되는 제1 흡착기(122)를 포함하고, 제2 픽업유닛(130)은, 상하로 승강 가능한 제2 암(arm)(131); 및 상기 제2 암(131)에 결합되는 제2 흡착기(132)를 포함할 수 있다.
제1 암(121)은 상하로 승강하면서, 제1 암(121)에 결합되는 제1 흡착기(122)를 상하로 승강시킬 수 있다. 제1 암(121)이 하강하면 제1 흡착기(122)는 기판(S) 또는 간지(P)를 흡착할 수 있다. 제1 암(121)이 상승하면 제1 흡착기(122)에 의하여 기판(S) 또는 간지(P)가 픽업될 수 있다. 이 때, 제1 흡착기(122)는 내부를 진공으로 만들어 압력 차에 의하여 기판(S) 또는 간지(P)가 흡착되도록 한다.
또한, 제1 암(121)이 기판(S) 또는 간지(P)를 흡착한 상태에서 하강하고 제1 흡착기(122)의 내부의 진공 상태를 해제하면, 기판(S)이 제1 흡착기(122)로부터 분리되어 컨베이어(141) 상에 로딩되거나 제1 흡착기(122)로부터 간지(P)가 분리되어 소정의 위치로 수취될 수 있다.
제2 암(131)은 상하로 승강하면서, 제2 암(131)에 결합되는 제2 흡착기(132)를 상하로 승강시킬 수 있다. 제2 암(131)이 하강하면 제2 흡착기(132)는 기판(S) 또는 간지(P)를 흡착할 수 있다. 제1 암(121)이 상승하면 제2 흡착기(132)에 의하여 기판(S) 또는 간지(P)가 픽업될 수 있다. 여기서, 제2 흡착기(132)는 내부를 진공으로 만들어 압력 차에 의하여 기판(S) 또는 간지(P)가 흡착되도록 한다.
또한, 제2 암(131)이 기판(S) 또는 간지(P)를 흡착한 상태에서 하강하고 제2 흡착기(132)의 내부의 진공 상태를 해제하면, 기판(S)이 로딩되거나 간지(P)가 수취될 수 있다.
한편, 상기 제1 픽업유닛(120)은 제1 암 지지부(123)를 포함하고, 제2 픽업유닛(130)은 제2 암 지지부(133)를 포함할 수 있다.
제1 암 지지부(123)는 제1 암(121)을 지지하되, 제1 암(121)은 제1 암 지지부(123)에 상하로 이동 가능하게 결합된다. 예를 들어, 제1 암 지지부(123)에는 홈과 같은 가이드가 형성되어, 제1 암(121)은 상기 가이드를 따라 상하로 이동할 수 있다.
제2 암 지지부(133)는 제2 암(131)을 지지하되, 제2 암(131)은 제2 암 지지부(133)에 상하로 이동 가능하게 결합된다. 예를 들어, 제2 암 지지부(133)에는 홈과 같은 가이드가 형성되어, 제2 암(131)은 상기 가이드를 따라 상하로 이동할 수 있다.
한편, 메인 프레임(110)에는 레일(R)이 결합될 수 있고, 레일(R)에는 상기 제1 암 지지부(123) 및 상기 제2 암 지지부(133)가 좌우 이동 가능하게 결합된다. 즉, 제1 암 지지부(123)는 레일(R)을 따라 좌우 이동하고, 제2 암 지지부(133) 역시 레일(R)을 따라 좌우 이동할 수 있다.
결국, 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 상하 좌우 이동이 모두 가능할 수 있다. 또한, 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 레일(R)을 따라 동시에 왕복 이동될 수 있고, 함께 상하 이동될 수도 있다.
컨베이어 프레임(140)은 컨베이어(141)를 지지하는 복수의 선형 구조물이다.
컨베이어(141)는 로딩된 기판(S)을 수평 방향으로 이송시킨다. 컨베이어(141)는 기판(S)을 기판(S) 제조 과정에서 요구되는 외부 장비로 투입시킬 수 있다. 컨베이어(141)는 외부 장비에 투입될 기판(S) 중 최대의 기판(S)을 이송시킬 수 있는 크기를 가질 수 있다.
컨베이어(141)는 복수의 롤러를 포함할 수 있다. 롤러를 샤프트에 의하여 제자리에 회전을 하게 되고, 복수의 롤러가 동일 방향으로 회전함에 따라, 롤러에 안착된 기판(S)은 전진할 수 있다. 한편, 컨베이어(141)의 롤러는 양 방향 회전이 가능할 수 있다.
컨베이어 프레임(140)은 컨베이어(141)가 상기 제1 픽업유닛(120)의 측부 또는 상기 제2 픽업유닛(130)의 측부에 선택적으로 설치되도록, 메인 프레임(110)에 탈착 가능하게 결합된다.
컨베이어 프레임(140)은 제1 영역(111) 측부에 위치하도록 메인 프레임(110)에 결합되거나, 제2 영역(112)의 위치하도록 메인 프레임(110)에 결합될 수 있다. 즉, 컨베이어 프레임(140)은 메인 프레임(110)에 대해 탈착되는 독립적인 구성이다.
컨베이어 프레임(140)과 메인 프레임(110)은 서로 탈착 가능하도록 볼트(B) 결합으로 결합될 수 있다. 따라서, 컨베이어 프레임(140)과 메인 프레임(110)이 서로 접하는 영역의 선형 구조물들에는 볼트(B)가 끼워질 수 있는 볼트 삽입 홀(H)이 형성될 수 있다.
컨베이어 프레임(140)의 볼트 삽입 홀(H)은 컨베이어 프레임(140)의 한쪽 또는 양쪽에 위치할 수 있다. 도 1의 경우, 컨베이어 프레임(140)의 양쪽에 볼트 삽입 홀(H)이 형성되며, 도 2 및 도 3의 경우, 컨베이어 프레임(140)의 한쪽에 볼트 삽입 홀(H)이 형성된다.
메인 프레임(110)의 볼트 삽입 홀(H)은 메인 프레임(110)의 양쪽에 위치한다. 왜냐하면, 컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합되거나, 우측에 결합되기 때문이다.
구체적으로 살펴보면, 도 1을 참조할 때, 컨베이어 프레임(140)의 일면이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합되면, 컨베이어 프레임(140)의 우측면이 메인 프레임(110)의 좌측면과 볼트(B) 결합될 수 있다. 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)의 우측에 결합시키려고 할 때, 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)으로부터 분리하되, 컨베이어 프레임(140)을 회전시키지 않고, 컨베이어 프레임(140)의 상기 일면의 반대면이 메인 프레임(110)의 우측면과 접하도록, 메인 프레임(110)에 결합시킬 수 있다. 즉, 컨베이어 프레임(140)은 메인 프레임(110)의 좌측에서 우측으로 평행이동 된다. 이 경우, 컨베이어 프레임(140)에는 볼트 삽입 홀(H)이 양면에 형성될 수 있다.
도 2 또는 도 3을 참조하면, 메인 프레임(110)의 좌측에 결합된 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)의 우측에 결합시키려고 할 때, 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)으로부터 분리(볼트 제거)하여, 컨베이어 프레임(140)의 상기 일면이 메인 프레임(110)의 우측면과 접하도록, 컨베이어 프레임(140)을 180도 회전시켜 메인 프레임(110)에 결합(볼트 결합)시킬 수 있다. 이 경우, 컨베이어 프레임(140)에는 볼트 삽입 홀(H)이 일면에만 형성될 수 있다.
한편, 컨베이어(141)는 컨베이어 프레임(140)에 대해 탈착 가능할 수 있다. 상술한 두 경우에 있어서, 컨베이어 프레임(140)을 분리하여 메인 프레임(110)에 새로이 결합시킬 때, 컨베이어(141)도 분리되어 회전되어 재결합될 수 있다.
구체적으로, 도 1을 참조한 경우에 있어서, 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)의 좌측에서 우측으로 변경할 때, 컨베이어 프레임(140)은 180도 회전 시키지 않고 평행이동하되, 컨베이어(141)가 180도 회전 되어 재결합될 수 있다. 다만, 도 1의 경우에도, 컨베이어(141)의 롤러가 역방향 회전이 가능하고, 컨베이어(141) 형상 및 기능에 있어서 방향성이 없다면, 컨베이어 프레임(140)과 컨베이어(141) 전체가 회전 없이 평행이동 될 수도 있다.
도 2 또는 도 3을 참조한 경우에 있어서는, 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)의 좌측에서 우측으로 변경할 때, 컨베이어(141)를 컨베이어 프레임(140)과 분리시키지 않는다면, 컨베이어 프레임(140)은 컨베이어(141)와 함께 180도 회전될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 리프트를 더 포함할 수 있다. 리프트는 제1 리프트(150)와 제2 리프트(160)를 포함한다.
제1 리프트(150)는 제1 픽업유닛(120) 하부에 설치되어 상하로 승강하고, 제2 리프트(160)는 제2 픽업유닛(130) 하부에 설치되어 상하로 승강한다.
제1 픽업유닛(120)이 기판(S) 로딩 기능을 하는 경우, 사이마다 간지(P)가 개재된 복수의 기판(S)(기판 세트라고 함)은 제1 리프트(150)로 제공되고, 제1 리프트(150)가 기판 세트를 상하로 이동시킨다. 제1 리프트(150)는 기판 세트를 받치면서 승강하면 제1 픽업유닛(120)이 하강하여 한 기판(S)을 픽업하여 컨베이어(141)에 로딩할 수 있다. 또한, 제2 픽업유닛(130)은 상기 한 기판(S) 아래에 놓여져 있던 간지(P)를 픽업할 수 있다. 제2 픽업유닛(130)은 간지(P)를 제2 리프트(160) 상에 수취시킬 수 있다. 제2 리프트(160)는 상하로 승강하면서 수취된 간지(P)를 처리할 수 있다.
또한, 제2 픽업유닛(130)이 기판(S) 로딩 기능을 하는 경우, 사이마다 간지(P)가 개재된 복수의 기판(S)(기판 세트라고 함)은 제2 리프트(160)로 제공되고, 제2 리프트(160)가 기판 세트를 상하로 이동시킨다. 제2 리프트(160)는 기판 세트를 받치면서 승강하면 제2 픽업유닛(130)이 하강하여 한 기판(S)을 픽업하여 컨베이어(141)에 로딩할 수 있다. 또한, 제1 픽업유닛(120)은 상기 한 기판(S) 아래에 놓여져 있던 간지(P)를 픽업할 수 있다. 제1 픽업유닛(120)은 간지(P)를 제1 리프트(150) 상에 수취시킬 수 있다. 제2 리프트(160)는 상하로 승강하면서 수취된 간지(P)를 처리할 수 있다.
이러한 제1 리프트(150)와 제2 리프트(160)는 서로 면대칭인 형상을 가지거나, 동일한 형상을 가질 수 있다.
기판 이송 장치는 제1 리프트 프레임(151)과 제2 리프트 프레임(161)을 더 포함할 수 있다.
제1 리프트 프레임(151)은 제1 리프트(150)를 지지하고, 메인 프레임(110)의 제1 영역(111) 하에 위치하도록 메인 프레임(110)에 결합되고, 제2 리프트 프레임(161)은 제2 리프트(160)를 지지하고, 메인 프레임(110)의 제2 영역(112) 하에 위치하도록 메인 프레임(110)에 결합될 수 있다. 제1 리프트(150)는 제1 리프트 프레임(151)에 승강 가능하게 결합되고, 제2 리프트(160)는 제2 리프트 프레임(161)에 승강 가능하게 결합된다.
제1 리프트 프레임(151)과 제2 리프트 프레임(161) 각각은 복수의 선형 구조물로 이루어질 수 있고, 복수의 선형 구조물은 직육면체 모서리(변)에 대응하여 형성될 수 있다.
또한, 제1 리프트 프레임(151), 제2 리프트 프레임(161) 및 메인 프레임(110)은 서로 탈착 가능하게 결합될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 한 결합 상태를 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 다른 결합 상태를 나타낸 도면이다.
도 2 에서는 컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합된다. 도 3에서는 컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 우측에 결합된다. 요컨대, 컨베이어 프레임(140)은 도 2와 같이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합될 수도 있고, 도 3과 같이 메인 프레임(110)의 우측에 결합될 수도 있다. 컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 좌측 또는 우측에 선택적으로 결합할 수 있고, 이를 위하여, 컨베이어 프레임(140)은 메인 프레임(110)에 탈착 가능하게 결합된다.
도 2 및 도 3을 참조하여, 기판 이송 장치의 결합상태 및 작동을 설명하기로 한다. 도 2에 대해 먼저 설명한다.
컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합(볼트 결합)되고, 컨베이어(141)는 메인 프레임(110)의 제1 영역(111)에 설치된 제1 픽업유닛(120)의 좌측에 위치한다. 제1 픽업유닛(120)은 컨베이어(141)와 제1 리프트(150) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있고, 제2 픽업유닛(130)은 제1 리프트(150)와 제2 리프트(160) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있다.
우선, 제1 픽업유닛(120)은 제1 리프트(150) 상에 위치하고, 제2 픽업유닛(130)은 제2 리프트(160) 상에 위치(원 위치)할 때, 간지(P)를 포함하는 기판(S)은 제1 리프트(150) 상에 적재되고, 제1 리프트(150)는 상승하고, 제1 픽업유닛(120)은 하강하여 제1 픽업유닛(120)의 제1 흡착기(122)가 기판(S)과 접하면, 제1 픽업유닛(120)은 상승하고, 기판(S)은 제1 픽업유닛(120)에 의하여 픽업된다.
제1 픽업유닛(120)은 레일(R)을 따라 이동하여 컨베이어(141) 상측에 위치한다. 동시에 제2 픽업유닛(130) 역시 레일(R)을 따라 이동하여 제1 리프트(150) 상에 위치할 수 있다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 함께 하강하고, 제1 픽업유닛(120)은 기판(S)을 컨베이어(141) 상에 로딩하며, 제2 픽업유닛(130)의 제2 흡착기(132)는 간지(P)와 접한다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)이 상승하면, 제2 픽업유닛(130)은 간지(P)를 픽업한다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 레일(R)을 따라 이동하여 원 위치로 돌아온 후, 하강하고, 제1 픽업유닛(120)은 다시 기판(S)을 픽업하는 작업을 반복하게 되고, 제2 픽업유닛(130)은 간지(P)를 제2 리프트(160) 상에 수취시킨 후 상술한 작업을 반복하게 된다.
도 2의 상태를 도 3의 상태로 전환하기 위해서, 먼저, 컨베이어 프레임(140)은 메인 프레임(110)으로부터 분리(볼트 제거)된다. 필요에 따라서 컨베이어(141)도 컨베이어 프레임(140)으로부터 분리된다. 다만, 컨베이어(141)가 컨베이어 프레임(140)으로부터 분리되지 않더라도 컨베이어 프레임(140)과 컨베이어(141)는 함께 180도 회전하여, 메인 프레임(110)의 우측에 결합될 수 있다.
도 3에 대해 설명한다.
컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 우측에 결합(볼트 결합)되고, 컨베이어(141)는 메인 프레임(110)의 제2 영역(112)에 설치된 제2 픽업유닛(130)의 우측에 위치한다. 제2 픽업유닛(130)은 컨베이어(141)와 제2 리프트(160) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있고, 제1 픽업유닛(120)은 제2 리프트(160)와 제1 리프트(150) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있다.
우선, 제2 픽업유닛(130)은 제2 리프트(160) 상에 위치하고, 제1 픽업유닛(120)은 제1 리프트(150) 상에 위치(원 위치)할 때, 간지(P)를 포함하는 기판(S)은 제2 리프트(160) 상에 적재되고, 제2 리프트(160)는 상승하고, 제2 픽업유닛(130)은 하강하여 제2 픽업유닛(130)의 제2 흡착기(132)가 기판(S)과 접하면, 제2 픽업유닛(130)은 상승하고, 기판(S)은 제2 픽업유닛(130)에 의하여 픽업된다.
제2 픽업유닛(130)은 레일(R)을 따라 이동하여 컨베이어(141) 상측에 위치한다. 동시에 제1 픽업유닛(120) 역시 레일(R)을 따라 이동하여 제2 리프트(160) 상에 위치할 수 있다. 제2 픽업유닛(130)과 제1 픽업유닛(120)은 함께 하강하고, 제2 픽업유닛(130)은 기판(S)을 컨베이어(141) 상에 로딩하며, 제1 픽업유닛(120)의 제1 흡착기(122)는 간지(P)와 접한다. 제2 픽업유닛(130)과 제1 픽업유닛(120)이 상승하면, 제1 픽업유닛(120)은 간지(P)를 픽업한다. 제2 픽업유닛(130)과 제1 픽업유닛(120)은 레일(R)을 따라 이동하여 원 위치로 돌아온 후, 하강하고, 제2 픽업유닛(130)은 다시 기판(S)을 픽업하는 작업을 반복하게 되고, 제1 픽업유닛(120)은 간지(P)를 제1 리프트(150) 상에 수취시킨 후 상술한 작업을 반복하게 된다.
상술한 기판 이송 장치에 의하면, 도 2에서 도 3으로 전환되는 경우와 같이, 컨베이어 프레임(140)의 위치가 전환되더라도, 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)의 픽업 대상물이 서로 바뀔 뿐 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)의 위치는 그대로 유지될 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
S: 기판
P: 간지
B: 볼트
H: 볼트 삽입 홀
R: 레일
110: 메인 프레임
111: 제1 영역
112: 제2 영역
120: 제1 픽업유닛
121: 제1 암
122: 제1 흡착기
123: 제1 암 지지부
130: 제2 픽업유닛
131: 제2 암
132: 제2 흡착기
133: 제2 암 지지부
140: 컨베이어 프레임
141: 컨베이어
150: 제1 리프트
151: 제1 리프트 프레임
160: 제2 리프트
161: 제2 리프트 프레임

Claims (15)

  1. 내부에 좌우로 나란히 배치되는 제1 영역과 제2 영역으로 구획되는 공간이 마련된 메인 프레임;
    상기 메인 프레임의 상기 제1 영역에 설치되는 제1 픽업유닛;
    상기 메인 프레임의 상기 제2 영역에 설치되는 제2 픽업유닛; 및
    컨베이어를 지지하는 컨베이어 프레임을 포함하고,
    상기 컨베이어 프레임은, 상기 컨베이어가 상기 제1 픽업유닛의 측부 또는 상기 제2 픽업유닛의 측부에 선택적으로 설치되도록, 상기 메인 프레임에 탈착 가능하게 결합되고,
    상기 메인 프레임의 좌측 및 우측에는 각각 상기 컨베이어 프레임과 결합하기 위한 볼트 삽입 홀을 포함하는, 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인 프레임과 상기 컨베이어 프레임은 볼트 결합되는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 컨베이어는 상기 컨베이어 프레임에 대해 탈착 가능한 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 서로 동일한 크기를 가지는 기판 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 픽업유닛과 상기 제2 픽업유닛은 서로 동일한 형상을 가지는 기판 이송 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 픽업유닛과 상기 제2 픽업유닛은 서로 면대칭인 형상을 가지는 기판 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 픽업유닛은,
    상하로 승강 가능한 제1 암; 및
    상기 제1 암에 결합되는 제1 흡착기를 포함하고,
    상기 제2 픽업유닛은,
    상하로 승강 가능한 제2 암; 및
    상기 제2 암에 결합되는 제2 흡착기를 포함하는 기판 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 픽업유닛은 상기 제1 암이 상하 이동 가능하게 결합되는 제1 암 지지부를 포함하고,
    상기 제2 픽업유닛은 상기 제2 암이 상하 이동 가능하게 결합되는 제2 암 지지부를 포함하고,
    상기 제1 암 지지부 및 상기 제2 암 지지부가 좌우 이동 가능하게 결합되고, 상기 메인 프레임에 결합되는 레일을 더 포함하는 기판 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 픽업유닛 하부에 설치되어 상하로 승강하는 제1 리프트 및
    상기 제2 픽업유닛 하부에 설치되어 상하로 승강하는 제2 리프트를 더 포함하는 기판 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 리프트를 지지하고, 상기 제1 영역 하에 위치하도록 상기 메인 프레임에 결합되는 제1 리프트 프레임; 및
    상기 제2 리프트를 지지하고, 상기 제2 영역 하에 위치하도록 상기 메인 프레임에 결합되는 제2 리프트 프레임을 더 포함하는 기판 이송 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제1 리프트와 상기 제2 리프트는 서로 면대칭인 형상을 가지는 기판 이송 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 컨베이어 프레임이 상기 컨베이어가 상기 제1 픽업유닛의 측부에 설치되도록 상기 메인 프레임에 결합된 경우,
    상기 제1 픽업유닛은 기판을 픽업하여 상기 컨베이어에 로딩하는 기판 이송 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 기판은 사이마다 간지가 개재된 복수로 상기 제1 픽업유닛에 제공되고,
    상기 제2 픽업유닛은 상기 간지를 픽업하는 기판 이송 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 컨베이어 프레임이 상기 컨베이어가 상기 제2 픽업유닛의 측부에 설치되도록 상기 메인 프레임에 결합된 경우,
    상기 제2 픽업유닛은 기판을 픽업하여 상기 컨베이어에 로딩하는 기판 이송 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 기판은 사이마다 간지가 개재된 복수로 상기 제2 픽업유닛에 제공되고,
    상기 제1 픽업유닛은 상기 간지를 픽업하는 기판 이송 장치.
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