JP2013257389A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 プリント配線基板の反転後にプリアライメントの不要な露光装置を提供する。
【解決手段】
プリント配線基板の一面側の露光を行う一面側露光部1、受け渡し部2、他面側の露光を行う他面側露光部3を有し、露光部1、3は、それぞれ吸着ハンド5、吸着ハンド6を備え、露光部1と露光部3の間に設定された受け渡し部2において吸着ハンド5によりプリント配線基板99の反転を行い、直接吸着ハンド6に受け渡す。
【選択図】 図1
Description
そのため、このような露光装置では、装置が複雑化し、ラインが長くなり、コスト上昇や製造時間の増長、生産性の低下など招く問題があった。
そのため、従来から種々の試みがなされており、例えば下掲特許文献1においては、プリント配線基板を固定して反転させることにより、位置ずれを防止して反転装置の出口側のプリアライメント装置を除去した提案がなされている。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
また本発明においては、前記一面側露光部と他面側露光部の受け渡し部側と反対側に設けられ、プリント配線基板を該露光部から搬入或いは搬出する搬入搬出装置と、該搬入搬出装置に設けられた、プリント配線基板のプリアライメント装置と、を更に備え、前記一面側露光部から他面側露光部へとプリント配線基板を流す工程と、反対に他面面側露光部から一面側露光部へとプリント配線基板を流す工程の両方を行える、ように構成することも可能である。
図1は本発明のプリント配線基板を製造するための露光装置の平面図、図2は立面図である。
この露光装置は、一面側の露光を行う一面側露光部1、受け渡し部2、他面側の露光を行う他面側露光部3を有し、これらが順番に直線状にほぼ等間隔に配設されている。露光部1は搬入搬出部10を、露光部3は搬入搬出部30をそれぞれ備えており、前工程からプリント配線基板99を搬入し或いは次工程へとプリント配線基板99を搬出する。
即ち前工程でフォトレジストを施されたプリント配線基板99は搬入搬出部10から露光部1、受け渡し部2、露光部3を経由し、一面側と他面側の表裏に露光され搬入搬出部30から次工程に送られる。また、後述するように、逆の流れにも対応可能であり、その場合搬入搬出部30から露光部3、受け渡し部2、露光部1を経て、搬入搬出部10から次工程に送られる。
なお、この実施形態では走行レール60は走行レール50の上方に配置されており、受け渡し部2において、後記するようにプリント配線基板99が回動する際に接触しないだけの間隔をあけてある。
吸着機構54は板状の矩形形状をなしており、図4に示すようにその中心線においてY軸53に装着されている。
吸着機構64は板状の矩形形状をなしており、図4に示すようにその中心線においてY軸63に装着されている。
搬入搬出部30も同様にローラコンベア31を備えており、ローラコンベア31は次工程からのローラコンベア31’と連続し、次工程へプリント配線基板99を搬出するように構成されている。また、逆にローラコンベア11’からローラコンベア11へプリント配線基板99を搬入するように構成されている。
アライメントプレートは昇降可能に構成され、前記ローラコンベア11、ローラコンベア31の下側に位置する状態と上側に位置する状態をとれるように構成されている。
そして、プリント配線基板99をローラコンベア11、ローラコンベア31で受けると、アライメントプレートを上昇させてローラコンベア11とローラコンベア31を下に収め、ストッパによりプリント配線基板99の進行方向位置を規制するとともにアライメントピンにより幅方向位置を調整してプリアライメントを行うように構成されている。プリアライメント後は、吸着装置によりプリント配線基板99をプリアライメントした位置で固定するようになっている。
前工程から、ローラコンベア11’を介しローラコンベア11上にプリント配線基板99が搬送されると、ここでプリアライメントされ、アライメントプレートに吸着固定される。
このプリント配線基板99の上方に吸着ハンド5が移動し、吸着機構54が下降してプリント配線基板99の上面を吸着固定して露光部1に搬送し、基台15上にプリント配線基板99を載置し、解放し、吸着ハンド5は所定の位置に退避する。
露光部1において、プリント配線基板99のアライメントが行われたうえ、その一面側が露光される。
露光が終了したら、吸着機構64によりプリント配線基板99の他面側が吸着固定され、搬入搬出部30へと搬送される。そして、プリント配線基板99はローラコンベア31からローラコンベア31’に移送され、次工程に送られる。
更に、露光部1と露光部3の間では、ローラコンベアなどを用いないため、発塵が抑制される。
Claims (2)
- プリント配線基板の一面側を露光する一面側露光部と、
該プリント配線基板の他面側を露光する他面側露光部と、
前記露光部と露光部との間に設けられ、一方の露光部で露光を終了したプリント配線基板を他方の露光部で露光するために受け渡しを行う受け渡し部と、
前記プリント配線基板の一面側を吸着固定し、前記一面側露光部と前記受け渡し部間においてプリント配線基板を移送する一面側吸着ハンドと、
前記プリント配線基板の他面側を吸着固定し、前記他面側露光部と前記受け渡し部間においてプリント配線基板を移送する他面側吸着ハンドと、
前記一面側吸着ハンド又は他面側吸着ハンドの中の少なくとも1つに装着され、前記吸着ハンドを回転させることにより、プリント配線基板を180度反転させるためのハンド回転機構と、を備え、
前記受け渡し部において、前記ハンド回転機構により吸着ハンドを回転させてプリント配線基板を反転し、前記一面側吸着ハンドと他面側吸着ハンド間でプリント配線基板の受け渡しを行う、
ことを特徴とするプリント配線基板の露光装置。 - 前記一面側露光部と他面側露光部の受け渡し部側と反対側に設けられ、プリント配線基板を該露光部から搬入或いは搬出する搬入搬出装置と、
該搬入搬出装置に設けられた、プリント配線基板のプリアライメント装置と、を更に備え、
前記一面側露光部から他面側露光部へとプリント配線基板を流す工程と、反対に他面側露光部から一面側露光部へとプリント配線基板を流す工程の両方を行える、
ことを特徴とする請求項1の露光装置。
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