JPH07251921A - 反転装置及び露光システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板の基準位置がほとんどずれることなく、
かつ、小スペースで基板を反転させ、装置さらにはシス
テムの小型化を図る。 【構成】 この露光システムは、基板の両面に露光を行
うものであり、整合・露光部２０により基板の第１の面
に露光し、搬出・反転部８０により基板を反転し、整合
・露光部６０により基板の第２の面に露光する。上記の
反転部は、基板を搬送手段から離反する方向に移動さ
せ、再度所定位置に戻すまでの間において、基板の搬送
方向における幅の範囲内で、かつ、基板の基準位置がそ
の前後で少なくとも略一致するように、基板を反転させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、各種の製造ライン中
で、一つの工程から次工程に移るときに、プリント基板
を反転させる反転装置、及びその反転装置を用いてプリ
ント基板の両面に原版フィルムを密着して露光する露光
システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１７は、従来の露光システムの一例の
概略構成を示す図である。この露光システムは、基板の
両面に露光を行うものである。図１７において、プリン
ト基板は、ベルトコンベアにより図中左側から粗位置決
め部１０に搬入され、各工程を経て、図中右側の搬出部
７０から搬出される。粗位置決め部１０は、前工程から
搬入されてきた基板を粗位置決めする（概ねの位置に位
置決めする）部分であり、例えば複数のピンに基板の端
面を突き当てる等して、位置決めを行う。

【０００３】整合・露光部３０は、粗位置決め部１０で
粗位置決めされた基板を精密位置決めし、かつ、その基
板に露光を行う部分である。ここでは、先ずＣＣＤカメ
ラにより基板上に設けられた位置決め用のマークが読み
取られ、ＣＣＤカメラからの検出信号に基づいて、整合
テーブルにより基板を精密位置決めする。なお、基板
は、前工程の粗位置決め部１０により、その位置決め用
のマークがＣＣＤカメラの視野内にあるように配置され
ている。次に、基板に原版フィルムを密着し、露光ラン
プ等により原版フィルムに照明光を照射し、基板に原版
フィルムのパターンを焼き付ける。

【０００４】次に、露光が終了した基板は、反転部４０
に搬入され、反転される（裏返される）。そして、粗位
置決め部１０，整合・露光部２０，搬出部３０と同様な
粗位置決め部５０，整合・露光部６０，搬出部７０によ
り順次処理され、基板の他方の面にも露光が行われて、
搬出部７０により次工程に搬出される。

【０００５】図１８は、反転部４０の一例の構成を示す
側面図である。反転部４０は、ベルトコンベア４１，４
２と、このベルトコンベア４１と４２との間に配置され
たツメ部４３とから構成されている。ツメ部４３は、そ
の断面が略Ｖ字状に形成され、支持部４３ａを支点とし
て回動自在に取り付けられている。基板１は、ベルトコ
ンベア４１により図中右側に搬送される。このときに
は、ツメ部４３は、図のようにベルトコンベア４１側を
向いており、基板１は、ベルトコンベア４１により、ツ
メ部４３内に搬入される。基板１がツメ部４３に入り込
むと、ツメ部４３が図中時計方向に回転され、基板１が
反転される。反転された基板１は、ベルトコンベア４２
により図中右方向に搬出される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来の
反転装置（反転部４０）とそれを用いた露光システムで
は、以下の課題があった。第１に、反転部４０のような
反転方法では、基板１の搬送方向における幅の倍のスペ
ースを確保する必要があった。従って、反転部４０が大
きくなるという問題があった。第２に、粗位置決め部１
０，整合・露光部２０，搬出部３０間では、基板１はキ
ャリアテーブルで吸引固定されて搬送されるので、基板
１には位置ズレは生じないが、搬出部３０と反転部４０
間では、基板１はベルトコンベアにより搬送されるの
で、基板１を所定位置に定めることができなかった。従
って、基板１の反転後は、基板１の基準位置となるマー
クがＣＣＤカメラの視野内からはずれ、そのままでは整
合を行うことができなくなる。これにより、基板１を反
転させて他方の面に露光を行うときには、再度粗位置決
めを行う必要があり、反転部４０と整合・露光部６０と
の間に、粗位置決め部５０を設けなければならなかっ
た。第３に、以上のことから、基板の両面に露光を行う
露光システムでは、装置全体が大型化してしまうという
問題があった。

【０００７】本発明は、上述のような課題を解消するた
めになされたものであって、基板の基準位置がほとんど
ずれることなく、かつ小スペースで基板を反転させ、反
転装置、さらにはそれを用いた露光システムの小型化を
図ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明による反転装置の第１の解決手段は、搬送手
段により搬送される基板を保持する保持手段と、前記保
持手段を、前記搬送手段から離反する方向に移動させる
離反手段と、前記離反手段により移動された前記保持手
段を、所定位置に戻す復帰手段と、前記離反手段の動作
開始から前記復帰手段の動作終了までの間において、前
記基板の搬送方向の幅の範囲内で、かつ、前記基板の基
準位置がその前後で少なくとも略一致するように、前記
保持手段を駆動して前記基板を反転させる反転手段とを
備えることを特徴とする。

【０００９】第２の解決手段（１１０）は、第１の解決
手段において、前記保持手段は、前記基板を挟持する方
向に付勢された一対の腕部（１１６）と、前記一対の腕
部と係合し、前記一対の腕部を開閉させ前記基板の挟持
及びその解除を行う駆動部（１１２，１１３，１１４，
１２２，１２３）とを有することを特徴とする。

【００１０】第３の解決手段（１１０）は、第１又は第
２の解決手段において、前記反転手段は、前記基板を反
転するために駆動された前記保持手段と当接することに
より、前記保持手段を位置決め停止させる当接部（１２
１）を有することを特徴とする。

【００１１】第４の解決手段（１３０）は、第１の解決
手段において、前記保持手段は、前記基板の両端部を保
持する保持部（１３１）と、前記保持部により保持され
る前記基板の大きさに合わせて、前記保持部を駆動する
第１の駆動部（１３６，１３７，１３８等）とを有し、
前記反転手段は、前記保持部と連結し、その回転駆動に
より前記保持部を反転させる第２の駆動部（１３３，１
３４等）を有することを特徴とする。

【００１２】第５の解決手段（１５０）は、第１の解決
手段において、前記離反手段は、前記保持手段を前記搬
送手段から離反する方向に移動させる駆動部（１３３
等）を有し、前記反転手段は、前記保持手段と連結され
たギヤ部（１５１）と、前記ギヤ部とかみ合うとともに
所定位置に固定され、前記駆動部による前記保持手段の
移動に伴い前記ギヤ部を回転させるラック部（１５２）
とを有することを特徴とする。

【００１３】第６の解決手段（１６０）は、第１の解決
手段において、前記反転手段は、前記保持手段と連結さ
れたギヤ部（１６１）と、前記ギヤ部とかみ合い、前記
離反手段による前記保持手段の移動に伴い移動され、そ
の移動により前記ギヤ部を回転させるラック部（１６
２，１６３）とを有することを特徴とする。

【００１４】第７の解決手段（１８０）は、第１の解決
手段において、前記反転手段は、４つのリンクがリンク
結合され、第１の結合部が前記保持手段に支持されると
ともに、前記第１の結合部と対称位置にある第２の結合
部が所定位置に支持されたリンク部（１８７）と、前記
リンク部の前記第１の結合部に前記保持手段と連結して
設けられ、及び前記第１の結合部以外の結合部に回転自
在に設けられた回転体（１８６）と、前記各回転体と係
合し、前記各回転体の回転により駆動されるベルト（１
８５）と、前記第２の結合部に設けられた前記回転体と
係合し、その回転体を回転させて前記ベルトを駆動させ
ることにより、前記保持手段と連結する回転体を回転さ
せることで、前記保持手段を回転させる駆動部（１８
２）とを有することを特徴とする。

【００１５】第８の解決手段（１９０）は、第１の解決
手段において、前記反転手段は、少なくとも２つ以上の
リンクが回動自在に並設され、その一端部が前記保持手
段に回動自在に支持されるとともに、その他端部が所定
の部材に回動自在に支持されたリンク部（１９６）と、
前記リンク部の前記一端部に前記保持手段と連結して設
けられ、及び前記リンク部の節並びに前記リンク部の前
記他端部に回転自在に設けられた回転体（１９７ａ〜１
９７ｃ）と、前記各回転体と係合し、前記各回転体の回
転により駆動されるベルト（１９８ａ，１９８ｂ）と、
前記リンク部の前記他端部に設けられた前記回転体と係
合し、その回転体を回転させて前記ベルトを駆動させる
ことにより、前記保持手段と連結する回転体を回転させ
ることで、前記保持手段を回転させる駆動部（１９３）
とを有することを特徴とする。

【００１６】第９の解決手段（２１０）は、搬送手段に
より所定の方向に搬送される基板の搬送方向側の外縁部
を保持し、前記搬送手段の搬送方向と略平行かつ反対方
向に移動する保持手段（２１１ａ）と、前記保持手段に
より保持された前記基板の前記保持手段により保持され
た側と反対側を前記搬送手段から離反させる離反手段
（２１２）と、前記離反手段により移動された前記基板
と当接して、前記基板の前記搬送手段から離反した側を
前記搬送手段の搬送方向側に移動させることで、前記基
板を反転させる反転手段（２１４）と、前記反転手段に
より反転された前記基板を受け、前記基板を前記搬送手
段に戻す復帰手段（２１３）と、反転された前記基板の
基準位置を検出する検出手段（２１５）と、前記検出手
段による検出結果に基づき、反転された前記基板を基準
位置に移動させる位置決め手段（２１２，２１３）とを
備えることを特徴とする。

【００１７】露光システムの第１の解決手段は、感光性
を有する基板の両面に露光を行う露光システムであっ
て、搬入された基板を粗位置決めする粗位置決め部（１
０）と、前記粗位置決めされた前記基板を精密位置決め
する整合部（２０）と、前記整合部により精密位置決め
された前記基板の第１の面に原版フィルムを密着して露
光する第１の露光部（２０）と、前記第１の露光部によ
り露光された前記基板を反転させる第１〜第９の解決手
段のいずれか１つの反転装置からなる反転部（８０）
と、前記反転部により反転された前記基板の第２の面に
原版フィルムを密着して露光する第２の露光部（６０）
とを備えることを特徴とする。

【００１８】第２の解決手段は、第１の解決手段におい
て、前記反転部により反転された前記基板を精密位置決
めする第２の整合部（６０）を備えることを特徴とす
る。

【００１９】

【作用】本発明の解決手段においては、基板は、その前
後において、搬送方向における幅の範囲内で、かつ、そ
の基準位置が略一致するように反転される。従って、基
板の反転動作に要するスペースを小さくすることができ
るので、反転装置を小型化することができる。さらに、
基板の反転後に粗位置決めを行う必要がなくなるので、
露光システムを小型化することができる。

【００２０】

【実施例】以下、図面等を参照して、本発明の一実施例
について説明する。図１は、本発明による露光システム
の一実施例の概略構成を示す図である。この露光システ
ムは、基板の両面に露光を行うものである。図１の露光
システムにおいて、従来の露光システム（図１７）と同
一の構成部分には、同一符号を付してある。整合・露光
部２０で基板の第１の面に露光が行われ、その基板は、
搬出・反転部８０で基板の搬出動作中に反転される。こ
こで基板は、キャリアテーブルに吸引固定された状態で
反転される。次に、整合・露光部６０からキャリアテー
ブルが基板を受け取りにきて、この基板は、キャリアテ
ーブルに吸引固定された状態で次の整合・露光部６０に
搬入され、その第２の面に露光が行われる。

【００２１】次に、本発明による搬出・反転部８０に設
けられた反転装置について詳細に説明する。図２は、本
発明による反転装置の第１の実施例の構成を示す図であ
る。図３は、図２のＡ方向の矢視図である。図２の反転
装置１１０において、エアシリンダー１１１ａ，１１１
ｂは、反転装置１１０の図中下側に設けられており、反
転装置１１０全体を図中上下方向に移動させるためのも
のである。腕部１１６ａ，１１６ｂは、基板１を挟持す
るためのものであり、その端部にはクランパー１１７
ａ，１１７ｂが設けられ、回転自在のローター１１５に
取り付けられている。ばね１１９は、腕部１１６ａと１
１６ｂとを常時閉じる方向に付勢するためのものであ
る。カム１２３は、腕部１１６ａと１１６ｂとを開閉さ
せるためのものであり、シャフト１２２に取り付けら
れ、腕部１１６ａ，１１６ｂに設けられた当接片１１８
ａ，１１８ｂと常時当接している。ピン１２１は、ロー
ター１１５の回転を制限するためのものであり、突出，
没入動作によりローター１１５と当接可能に設けられて
いる。モーター１１２は、シャフト１１３に動力を伝達
し、さらにベルト１１４を介してシャフト１２２に動力
を伝達する。

【００２２】次に反転装置１１０の動作について説明す
る。基板１が搬送部（図示せず）により反転装置１１０
に搬入されるときには、ピン１２１が突出してローター
１１５と当接し、ローター１１５の回転が停止されてい
る（図３（ａ））。さらに、カム１２３は、腕部１１６
ａ，１１６ｂを開放している。この状態からモーター１
１２が駆動され、シャフト１１３，ベルト１１４，シャ
フト１２２が駆動されて、カム１２３が回転される（図
３（ａ）中２点鎖線部）。カム１２３は、腕部１１６ａ
と１１６ｂとが閉じられる位置で停止され（図３
（ｂ））、基板１は、クランパー１１７ａ，１１７ｂに
より挟持される。

【００２３】次に、エアシリンダー１１１ａ，１１１ｂ
は、反転装置１１０を図中上方向（基板１が搬送部から
離反する方向）に駆動する。この状態において、ピン１
２１が没入し、ピン１２１とローター１１５との当接状
態が解除され、ローター１１５が駆動手段（図示せず）
により１８０゜回転される。これにより、基板１が反転
される。ローター１１５が回転されると、再度ピン１２
１が突出し、ローター１１５が１８０゜回転したところ
でローター１１５とピン１２１とが当接し、ローター１
１５の回転が停止される。そして、エアシリンダー１１
１ａ，１１１ｂは、反転装置１１０を図中下方向に駆動
し、基板１を元の位置に戻す。反転装置１１０をこのよ
うに駆動するのは、ローター１１５を回転させたとき
に、腕部１１６等が搬送部と干渉しないようにするため
である。

【００２４】以上の動作においては、基板１の厚み方向
の基準位置がほとんどずれることなく基板１を反転させ
ることができる。また、基板１の搬送方向における幅の
範囲で基板１を反転させることができるので、基板の反
転動作に必要な搬送方向のスペースを最小にすることが
できる。

【００２５】図４は、本発明による反転装置の第２の実
施例の構成を示す図である。図５は、図４のＢ方向の矢
視図である。保持部１３１ａ，１３１ｂは、基板１をそ
の両側から保持するためのものである。支持部１３２
ａ，１３２ｂは、それぞれ保持部１３１ａ，１３１ｂを
支持するものであり、ガイド部材１３８の方向に沿って
移動可能にガイド部材１３８に取り付けられている。モ
ーター１３６は、支持部１３２を移動させるためのもの
であり、ベルト１３７を介してその動力を支持部１３２
ａ，１３２ｂに伝達する。装置移動部１４１は、装置全
体を図中上下方向に移動させるためのものであり、この
移動により、全体を搬送部に対して離反，接近させる。
モーター１３３は、保持部１３１を回転させるためのも
のであり、装置移動部１４１に取り付けられている。回
転軸１３４は、支持部１３２ａ，１３２ｂに回転自在に
取り付けられ、その一端に設けられたギヤ１３４ａは、
モーター１３３のギヤ１３３ａとかみ合っている。ま
た、回転軸１３４の他端に設けられたプーリ１３４ｂ
は、ベルト１３５により、保持部１３１ａと連結するプ
ーリ１３９に動力を伝達する。

【００２６】次に反転装置１３０の動作について説明す
る。基板１が反転装置１３０に搬入されると、モーター
１３６は、制御部（図示せず）からの指令により駆動さ
れる。モータ１３６の回転は、ベルト１３７を介して支
持部１３２ａ，１３２ｂに伝達され、支持部１３２ａ，
１３２ｂは図中左右方向に駆動され、搬入されてくる基
板１の大きさに合う位置に位置決めされる。そして、保
持部１３１ａ，１３１ｂは、搬入された基板１を保持す
る。

【００２７】基板１が保持されると、装置移動部１４１
は、図中上方向に装置全体を移動させる。これにより、
保持部１３１に保持された基板１は、搬送部に対して離
反する。この状態において、モーター１３３が駆動され
る。モーター１３３の動力は、モーターギヤ１３３ａと
アイドルギヤ１３４ａにより回転軸１３４に伝達され、
さらに、プーリ１３４ｂ，ベルト１３５，プーリ１３９
により、保持部１３１ａ，１３２ｂに伝達される。これ
により、保持部１３１ａ，１３１ｂが１８０゜回転さ
れ、基板１が反転される。この後、装置移動部１４１が
装置全体を下降させ、基板１が再度元の位置まで戻され
る。

【００２８】図６は、本発明による反転装置の第３の実
施例（第２の実施例の変形例）の構成を示す図である。
図７は、図６のＣ方向の矢視図である。図４の反転装置
１３０と同様に、支持部１３１ａ，１３１ｂは、基板１
の大きさに合わせて図中左右方向に移動される。また、
ガイド部材１３８には、それぞれ滑車１５４ａ，１５５
ａ（図６中左側）、及び滑車１５４ｂ，１５５ｂ（図６
中右側）が取り付けられている。回転軸１３４の両端部
には、それぞれ滑車１５５ａ，１５５ｂが連結されてい
る。モーター１３３は、保持部１３１等を上下方向に移
動させるためのものであり、回転軸１３４の滑車１５５
ｂ側端部に連結されている。

【００２９】保持部１３１ａ，１３１ｂの端部には、そ
れぞれギヤ１５１ａ，１５１ｂが取り付けられている。
このギヤ１５１ａ，１５１ｂは、それぞれ支持部１３２
ａ，１３２ｂに設けられたラック１５２ａ，１５２ｂと
かみ合っている。ベルト１５３ａ，１５３ｂは、それぞ
れその一端が滑車１５５ａ，１５５ｂと連結され、他端
は、ギヤ１５１ａ，１５１ｂと連結されている。また、
この間で、ベルト１５３ａ，１５３ｂは、滑車１５４
ａ，１５４ｂと係合している。

【００３０】次に反転装置１５０の動作について説明す
る。反転装置１３０と同様の動作により、基板１は、反
転装置１５０に搬入されると保持部１３１ａ，１３１ｂ
により保持され、モーター１３３が駆動される。モータ
ー１３３の駆動により、滑車１５５ｂと、回転軸１３４
により連結された滑車１５５ａが回転される。従って、
ベルト１５３ａ，１５３ｂは、滑車１５５ａ，１５５ｂ
により巻き取られる。これにより、保持部１３１ａ，１
３１ｂは、図中上方向に移動される。このときに、ギヤ
１５１ａ，１５１ｂと、ラック１５２ａ，１５２ｂとが
かみ合っているので、ギヤ１５１ａ，１５１ｂは、それ
ぞれラック１５２ａ，１５２ｂに沿って回転される。こ
の結果、保持部１３１ａ，１３１ｂは、回転されながら
上方向に移動されることとなる。基板１が１８０゜回転
（反転）されたところでモータ１３３の駆動が停止され
る。この状態から装置移動部１４１が装置全体を下降さ
せ、基板１が元の高さの位置まで戻される。

【００３１】図８は、本発明による反転装置の第４の実
施例の構成を示す図である。図９は、図８のＤ方向の矢
視図である。ギヤ１６１は、並設された一対のギヤ１６
１ａ，１６１ｂからなり、各ギヤ１６１ａ，１６１ｂ
は、ラック１６２，１６３とかみ合っている。ラック１
６２，１６３は、図８中上下方向にのみ移動可能に支持
されている。各ギヤ１６１ａ，１６１ｂの内部には、そ
れぞれワンウェイクラッチ１６４ａ，１６４ｂが設けら
れている。ワンウェイクラッチ１６４ａと１６４ｂと
は、可動方向が反対のクラッチであり、保持部１３１と
連結する軸１６９に固定されている。

【００３２】ボールネジ１６８は、保持部１３１，ギヤ
１６１，ラック１６２及び１６３等を含むユニット１７
０を、図８中上下方向に移動させるためのものであり、
回転軸１６７の端部に設けられている。モーター１６５
は、ボールネジ１６８を回転させるための駆動部であ
り、ベルト１６６により、その動力を回転軸１６７に伝
達する。

【００３３】次に反転装置１６０の動作について説明す
る。基板１が反転装置１６０に搬入され、保持部１３１
により保持されると、モーター１６５が駆動され、その
動力がベルト１６６を介して回転軸１６７に伝達され、
ボールネジ１６８が回転される。ボールネジ１６８の回
転により、ユニット１７０が図８中上方向に移動され
る。この移動により、ラック１６２が、その上部に設け
られたストッパ１７１と当接する。この当接後さらにユ
ニット１７０が上昇されると、ラック１６２が移動さ
れ、ギヤ１６１ｂが図８中時計方向に回転される。この
回転により、軸１６９及びそれと連結する保持部１３１
が回転され、基板１が反転される。基板が９０゜回転さ
れたところでモーター１６５の駆動が停止され、ユニッ
ト１７０の上昇が停止される。なお、ギヤ１６１ｂの回
転により軸１６９が回転されるが、ギヤ１６１ａは、ワ
ンウェイクラッチ１６４ａにより回転されない。

【００３４】次にモーター１６５が上述と反対方向に駆
動され、ユニット１７０が図８中下方向に移動される。
この移動と略同時に、ラック１６３の図８中下側にスト
ッパ（図示せず）が出てきてラック１６３と当接する。
この当接後さらにユニット１７０が下降されると、ラッ
ク１６３が移動され、ギヤ１６１ａが図８中時計方向に
回転される。この回転により、基板１は、さらに９０゜
回転される。ギヤ１６１ａの回転時には、ギヤ１６１ｂ
は、ワンウェイクラッチ１６４ｂにより回転されない。
以上の動作により、ユニット１７０が上昇，下降される
間に、基板１が１８０反転される。反転された基板１
は、元の位置に戻される。

【００３５】図１０は、本発明による反転装置の第５の
実施例の構成を示す図である。ボールネジ１６８は、保
持部１３１を図中上下方向に移動させるためのものであ
り、回転軸１６７の上端部に設けられている。モーター
１８１は、ボールネジ１６８を回転させるためのもので
あり、ベルト１８３を介してその駆動力を回転軸１６７
に伝達する。

【００３６】リンク部１８７は、４つのリンク１８７ａ
〜１８７ｄがそれぞれ両端にまわり対偶を持つようにリ
ンク結合されたものである。これらの各リンク１８７ａ
〜１８７ｄの節には、それぞれプーリ１８６ａ〜１８６
ｄが取り付けられている。プーリ１８６ｃは、保持部１
３１と連結されている。また、リンク部１８７のプーリ
１８６ａを有する節は、所定位置に固定されている。こ
れらのプーリ１８６ａ〜１８６ｄには、ベルト１８５が
かけ渡されている。モーター１８２は、保持部１３１を
回転させるためのものであり、ベルト１８４によりプー
リ１８６ａにその動力を伝達する。

【００３７】次に反転装置１８０の動作について説明す
る。搬入された基板が保持部１３１により保持される
と、モーター１８１が駆動され、ベルト１８３を介して
回転軸１６７とボールネジ１８７とが回転される。これ
により、保持部１３１が図中上方向に移動される。この
ときに、プーリ１８６ｃは保持部１３１と連結され、プ
ーリ１８６ａを有する節は固定されているので、プーリ
１８６ａと１８６ｃとが遠ざかる方向に、プーリ１８６
ｂと１８６ｄとが近づく方向に、リンク１８７ａ〜１８
７ｄが運動する。保持部１３１が所定の位置に到達する
と、モーター１８１の駆動が停止される。

【００３８】この後、モーター１８２が駆動される。こ
の駆動により、ベルト１８４を介してプーリ１８６ａが
回転され、さらにベルト１８５により他のプーリ１８６
ｂ，１８６ｃ、１８６ｄが回転される。プーリ１８６ｃ
の回転により、保持部１３１が回転され、基板が反転さ
れる。基板が反転されると、モーター１８１が上述と逆
方向に駆動され、保持部１３１が下降されて初期位置ま
で戻される。そして、基板の保持状態が解除され、元の
位置に基板が載置される。

【００３９】図１１は、本発明による反転装置の第６の
実施例の構成を示す平面図である。また、図１２，１３
は、それぞれ図１１のＥ，Ｆ方向の矢視図である。キャ
リアテーブル３は、基板１を順次各工程に搬送するため
のものである。基板１を保持する保持部１３１は、支持
部１９１にそれに沿って移動可能に取り付けられ、ま
た、ボールネジが設けられた回転軸１９５に係合されて
いる。モーター１９２は、前記ボールネジを回転させる
ためのものであり、ベルト１９４を介して回転軸１９５
にその駆動力を伝達する。

【００４０】リンク部１９６は、２つのリンク１９６
ａ，１９６ｂが回動自在にリンク結合されたものであ
る。リンク１９６ａの一端部は、保持部１３１に回動自
在に支持されており、かつ、その一端部には、プーリ１
９７ａが保持部１３１と連結して取り付けられている。
また、リンク１９６ａの他端部（リンク１９６ｂとの結
合部）には、プーリ１９７ｂが回転自在に取り付けられ
ている。リンク１９６ｂの他端部は、反転装置１９０の
所定の部材に回動自在に支持されており、かつ、その他
端部には、プーリ１９７ｃが回転自在に取り付けられて
いる。プーリ１９７ａと１９７ｂとには、ベルト１９８
ａがかけられており、プーリ１９７ｂと１９７ｃとに
は、ベルト１９８ｂがかけられている。

【００４１】モーター１９３は、保持部１３１を回転さ
せるためのものである。モーター１９３とプーリ１９７
ｃとには、ベルト１９８ｃがかけられている。ここで、
図１３に示すように、モーター１９３は、図中左側のプ
ーリ１９７ｃとのみ係合しており、図中左右両側のプー
リ１９７ｃは、支持軸２０１により連結されている。こ
れにより、モーター１９３の駆動力は、双方のプーリ１
９７ｃに伝達される。

【００４２】次に反転装置１９０の動作について説明す
る。搬入された基板１が保持部１３１により保持される
と、モーター１９２が駆動され、ベルト１９４を介して
回転軸１９５とボールネジとが回転される。これによ
り、保持部１３１がキャリアテーブル３から離反する方
向に移動される。なお、この保持部１３１の移動によ
り、リンク部１９６ａ，１９６ｂが運動する。この状態
において、モーター１９３が駆動される。この駆動力
は、ベルト１９８ｃ，プーリ１９７ｃ，ベルト１９８
ｂ，プーリ１９７ｂ，ベルト１９８ａを介して、プーリ
１９７ａに伝達される。プーリ１９７ａの回転により保
持部１３１が回転され、基板１が反転される。基板１が
反転されると、モーター１９２が逆方向に駆動され、保
持部１３１が下降されて初期位置に戻される。そして、
基板１の保持状態が解除され、基板１がキャリアテーブ
ル３上に載置される。なお、実施例では１つのモーター
１９３により保持部１３１ａと１３１ｂとを回転させる
ようにしたが、保持部１３１ａと１３１ｂとをそれぞれ
別個に回転させる２つのモーターを設け、これらのモー
ターを同期をとるように駆動しても良い。

【００４３】図１４は、本発明による反転装置の第７の
実施例の構成を示す平面図（（ａ））、及びその動作を
示す側面図（（ｂ）〜（ｅ））である。この実施例にお
いては、基板は、搬送用ベルト２により搬送され、吸引
固定されていない。反転装置２１０は、基板を搬送する
搬送用ベルト２を挟んで両側に対称に設けられた保持用
ベルト２１１と、反転用ベルト２１２及び２１３と、ア
ーム部２１４等とから構成されている。保持用ベルト２
１１，移動用ベルト２１２及び２１３は、搬送用ベルト
２と略平行に配置され、かつ、その上面が搬送用ベルト
２の上面と略一致するように配置されている。搬送用ベ
ルト２は、基板１を次工程方向（図中右方向）に搬送す
るためのものである。保持用ベルト２１１は、基板１の
外縁部を支持するための支持部２１１ａを有しており、
搬送用ベルト２と反対方向に駆動される。移動用ベルト
２１２，２１３は、基板１を搬送用ベルト２から上部に
移動させるとき等に用いられるものである。アーム部２
１４は、基板１を反転させるときに用いられるものであ
る。

【００４４】次に反転装置２１０の動作について説明す
る。先ず、搬送用ベルト２により搬送される基板１の搬
送方向側（図中右側）の外縁部が、支持部２１１ａと係
合する（図中（ｂ））。保持用ベルト２１１は、図中反
時計回りに駆動されているので、この状態で基板１は図
中左側方向に移動される。次に、移動用ベルト２１２
は、図中右側の支点を中心として、時計回りに駆動され
る。これにより、移動用ベルト２１２の左側支点は、搬
送用ベルト２の上側に移動される。これにより、基板１
は、その左側端部が搬送用ベルト２から離反する方向に
移動される（図中（ｃ））。また、移動用ベルト２１３
は、図中左側の支点を中心として、反時計回りに駆動さ
れ、さらに支持部２１１ａが図中左側に移動されると、
基板１の下面が移動用ベルト２１２の上面に当接される
（図中（ｄ））。

【００４５】このときに、アーム部２１４が時計回りに
回転され、基板１が移動用ベルト２１２側から２１３側
に移される（図中（ｅ））。これにより、基板１が反転
される。この反転動作が行われた後、移動用ベルト２１
２及び２１３が上述と反対に駆動され、元の位置に戻さ
れる。

【００４６】図１５は、上述のようにして基板１が反転
された後の様子を示す側面図である。図に示すように、
反転装置２１０には、基板１の基準位置を検出する検出
センサ２１５が設けられている。検出センサ２１５は、
ベルト２１６を介してモーター２１７と連結されてお
り、モーター２１７により予め基板１のサイズごとに所
定位置に配置されている。検出センサ２１５が反転され
た基板１の基準位置を検出すると、移動用ベルト２１
２，２１３が駆動され、基板１は、反転前の位置に略一
致するように移動される。

【００４７】図１６は、支持部２１１ａの詳細を示す側
面図である。支持部２１１ａには、例えば図のようにお
もり２１１ａ−１が取り付けられている。支持部２１１
ａは、基板１を保持する前には図中（ａ）に示す方向を
向いているが、基板１が反転されると図中（ｂ），
（ｃ）に示すように向きが変えられる。この後、支持部
２１１ａは、保持用ベルト２１１が１回転すると、おも
り２１１ａ−１により再度元の状態（図中（ａ）の状
態）に戻される。

【００４８】上述した第２〜第７の実施例においては、
第１の実施例と同様に、基板１の厚み方向の基準位置が
ほとんどずれることなく基板１を反転させることができ
る。また、基板の搬送方向における幅の範囲で基板を反
転させることができるので、基板の反転動作に必要な搬
送方向のスペースを最小にすることができる。

【００４９】以上のことから、図１において、搬出・反
転部８０で反転された基板は、粗位置決めを行うことな
く第２の面に露光を行うことができる。また、第１の面
に露光を行った後、次工程への搬出動作中に反転動作を
行うことができるので、露光システム全体での反転部の
スペースを小さくすることができる。従来の露光システ
ムでは、図１７に示したように、搬送方向における幅が
約６７００ｍｍ程度であったが、本発明による反転装置
を用いれば、図１に示すように約３８００ｍｍ程度にす
ることができ、システム全体を大幅に小型化することが
できる。

【００５０】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は、上述した実施例に限定されることなく、
その要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能であ
る。例えば、基板１の離反動作と反転動作とを独立して
行うもの（反転装置１１０，１３０，１８０，１９０）
では、基板１を搬送部から離反させた後、基板１の反転
動作を行うようにしたが、基板１の離反，復帰動作が行
われているときに基板１の反転動作を行っても良い。す
なわち、基板１が搬送部その他の部材と干渉しないよう
に基板１を反転することができれば良い。

【００５１】整合・露光部６０は、反転された基板１を
精密位置決めして露光を行うものであるが、精密位置決
めを行う必要がない程度に基板１の反転精度を確保する
ことができれば、基板の反転後には精密位置決めを行う
必要はない。

【００５２】

【発明の効果】本発明によれば、基板を、搬送方向にお
ける幅の範囲内で、かつ、基準位置が略一致するように
反転させることができるので、基板の反転動作に要する
スペースを小さくすることができ、反転装置を小型化す
ることができる。さらに、基板の反転後に粗位置決め、
さらには精密位置決めを行う必要がなくなるので、露光
システムを小型化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による露光システムの一実施例の概略構
成を示す図である。

【図２】本発明による反転装置の第１の実施例の構成を
示す図である。

【図３】図２のＡ方向の矢視図である。

【図４】本発明による反転装置の第２の実施例の構成を
示す図である。

【図５】図４のＢ方向の矢視図である。

【図６】本発明による反転装置の第３の実施例（第２の
実施例の変形例）の構成を示す図である。

【図７】図６のＣ方向の矢視図である。

【図８】本発明による反転装置の第４の実施例の構成を
示す図である。

【図９】図８のＤ方向の矢視図である。

【図１０】本発明による反転装置の第５の実施例の構成
を示す図である。

【図１１】本発明による反転装置の第６の実施例の構成
を示す平面図である。

【図１２】図１１のＥ方向の矢視図である。

【図１３】図１１のＦ方向の矢視図である。

【図１４】本発明による反転装置の第７の実施例の構
成、及びその動作を示す図である。

【図１５】図１４の反転装置により基板１が反転された
後の様子を示す側面図である。

【図１６】支持部２１１ａの詳細を示す側面図である。

【図１７】従来の露光システムの一例の概略構成を示す
図である。

【図１８】反転部４０の一例の構成を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 粗位置決め部 ２０，６０ 整合・露光部 ７０ 搬出部 ８０ 搬出・反転部 １１０，１３０，１５０，１６０，１８０，１９０，２
１０ 反転装置

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送手段により搬送される基板を保持す
   る保持手段と、 前記保持手段を、前記搬送手段から離反する方向に移動
   させる離反手段と、 前記離反手段により移動された前記保持手段を、所定位
   置に戻す復帰手段と、 前記離反手段の動作開始から前記復帰手段の動作終了ま
   での間において、前記基板の搬送方向の幅の範囲内で、
   かつ、前記基板の基準位置がその前後で少なくとも略一
   致するように、前記保持手段を駆動して前記基板を反転
   させる反転手段とを備えることを特徴とする反転装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記保持手段は、 前記基板を挟持する方向に付勢された一対の腕部と、 前記一対の腕部と係合し、前記一対の腕部を開閉させ前
   記基板の挟持及びその解除を行う駆動部とを有すること
   を特徴とする反転装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、 前記反転手段は、前記基板を反転するために駆動された
   前記保持手段と当接することにより、前記保持手段を位
   置決め停止させる当接部を有することを特徴とする反転
   装置。
4. 【請求項４】 請求項１において、 前記保持手段は、 前記基板の両端部を保持する保持部と、 前記保持部により保持される前記基板の大きさに合わせ
   て、前記保持部を駆動する第１の駆動部とを有し、 前記反転手段は、前記保持部と連結し、その回転駆動に
   より前記保持部を反転させる第２の駆動部を有すること
   を特徴とする反転装置。
5. 【請求項５】 請求項１において、 前記離反手段は、前記保持手段を前記搬送手段から離反
   する方向に移動させる駆動部を有し、 前記反転手段は、 前記保持手段と連結されたギヤ部と、 前記ギヤ部とかみ合うとともに所定位置に固定され、前
   記駆動部による前記保持手段の移動に伴い前記ギヤ部を
   回転させるラック部とを有することを特徴とする反転装
   置。
6. 【請求項６】 請求項１において、 前記反転手段は、 前記保持手段と連結されたギヤ部と、 前記ギヤ部とかみ合い、前記離反手段による前記保持手
   段の移動に伴い移動され、その移動により前記ギヤ部を
   回転させるラック部とを有することを特徴とする反転装
   置。
7. 【請求項７】 請求項１において、 前記反転手段は、 ４つのリンクがリンク結合され、第１の結合部が前記保
   持手段に支持されるとともに、前記第１の結合部と対称
   位置にある第２の結合部が所定位置に支持されたリンク
   部と、 前記リンク部の前記第１の結合部に前記保持手段と連結
   して設けられ、及び前記第１の結合部以外の結合部に回
   転自在に設けられた回転体と、 前記各回転体と係合し、前記各回転体の回転により駆動
   されるベルトと、 前記第２の結合部に設けられた前記回転体と係合し、そ
   の回転体を回転させて前記ベルトを駆動させることによ
   り、前記保持手段と連結する回転体を回転させること
   で、前記保持手段を回転させる駆動部とを有することを
   特徴とする反転装置。
8. 【請求項８】 請求項１において、 前記反転手段は、 少なくとも２つ以上のリンクが回動自在に並設され、そ
   の一端部が前記保持手段に回動自在に支持されるととも
   に、その他端部が所定の部材に回動自在に支持されたリ
   ンク部と、 前記リンク部の前記一端部に前記保持手段と連結して設
   けられ、及び前記リンク部の節並びに前記リンク部の前
   記他端部に回転自在に設けられた回転体と、 前記各回転体と係合し、前記各回転体の回転により駆動
   されるベルトと、 前記リンク部の前記他端部に設けられた前記回転体と係
   合し、その回転体を回転させて前記ベルトを駆動させる
   ことにより、前記保持手段と連結する回転体を回転させ
   ることで、前記保持手段を回転させる駆動部とを有する
   ことを特徴とする反転装置。
9. 【請求項９】 搬送手段により所定の方向に搬送される
   基板の搬送方向側の外縁部を保持し、前記搬送手段の搬
   送方向と略平行かつ反対方向に移動する保持手段と、 前記保持手段により保持された前記基板の前記保持手段
   により保持された側と反対側を前記搬送手段から離反さ
   せる離反手段と、 前記離反手段により移動された前記基板と当接して、前
   記基板の前記搬送手段から離反した側を前記搬送手段の
   搬送方向側に移動させることで、前記基板を反転させる
   反転手段と、 前記反転手段により反転された前記基板を受け、前記基
   板を前記搬送手段に戻す復帰手段と、 反転された前記基板の基準位置を検出する検出手段と、 前記検出手段による検出結果に基づき、反転された前記
   基板を基準位置に移動させる位置決め手段とを備えるこ
   とを特徴とする反転装置。
10. 【請求項１０】 感光性を有する基板の両面に露光を行
    う露光システムであって、 搬入された基板を粗位置決めする粗位置決め部と、 前記粗位置決めされた前記基板を精密位置決めする整合
    部と、 前記整合部により精密位置決めされた前記基板の第１の
    面に原版フィルムを密着して露光する第１の露光部と、 前記第１の露光部により露光された前記基板を反転させ
    る請求項１〜９のいずれか１項に記載の反転装置からな
    る反転部と、 前記反転部により反転された前記基板の第２の面に原版
    フィルムを密着して露光する第２の露光部とを備えるこ
    とを特徴とする露光システム。
11. 【請求項１１】 請求項１０において、 前記反転部により反転された前記基板を精密位置決めす
    る第２の整合部を備えることを特徴とする露光システ
    ム。