JP2004309670A - 搬送システムを備えた露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送装置1は平行に配設された2本のフォーク10、10を備えており、このフォーク10、10上に基板50を保持するように構成されている。フォーク10は基板50を吸着するための吸引機構を有している。フォーク10は搬入装置2とプラテン3の長さ分或いはプラテン3と反転機4の長さ分(L1+L2)にほぼ相当する長さを有しており、1の基板50を搬入装置2からプラテン3へ移動し、同時に他の基板51をプラテン3から反転機4へと移動できるように構成されている。フォーク10、10は移動基部11から延出し、移動基部11は搬入装置2の両脇に設置された一対のレール12、12上にスライド可能に支持されており、駆動装置19の駆動によりレール12上を、ほぼL1又はL2の距離に相当する距離移動するようになっている。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
フォトレジストなどの感光材料を塗布した基板表面に所定のパターンを露光装置により感光焼き付けし、その後エッチング工程により基板上にパターンを形成するフォトリソグラフィ法が種々の分野で広く応用されており、プリント配線基板等も近年露光装置を用いて製造されている。
この露光装置に、パターンの焼き付けを行う基板を搬入する搬送機構としては従来ベルト搬送機構や基板吸着ハンドや吸着キャリアを用いて搬送する方法など種々のものが知られているが、ベルト搬送機構は粉塵が発生しやすく、吸着ハンドを用いるものは厚く重量のある基板の搬送ができないなど種々の問題があった。
これらの問題に鑑みて近年フォークリフトのようなフォークにより基板を下から持ち上げて搬送する機構が提案されている(特許文献1参照)。このフォーク機構の場合比較的高速であること、厚板の搬送も可能であること、更には発塵が少ないなどの利点がある。
【0003】
【特許文献1】
特開2001ー343753号
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、フォーク機構の場合、基板を1枚づつ持ち上げて移動させる必要があるため、連続的な搬送が行い難くい欠点がある。
特に露光装置のプラテンに基板を載せる前に、基板のプリアライメントを行う場合には、基板をアライメントプレートに載せ、次にアライメントプレートからプラテンに移動させるという2段階の処理が必要であり、フォーク機構を用いた場合、処理に時間を要する問題があった。更に、基板を途中で反転させて、基板の表裏に焼き付けを行う場合には、上流アライメントプレート、上流プラテン、反転機、下流プラテン、搬出装置という長いプロセスになるため、従来のフォーク機構では処理に更に時間がかかる問題があった。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の搬送システムを備えた露光装置は、露光されるべき基板を搬入し、基板の位置合わせを予備的に行う搬入装置と、該搬入された基板を載置して露光するプラテンと、露光された基板を反転させる反転機とを備えた露光装置であって、前記搬入装置とプラテンと反転機とをほぼ直線状にほぼ等間隔に配設し、露光されるべき基板を少なくとも2枚、前記配設方向に並べて載置可能で、該基板を前記配設方向に移動させる移動装置と、を有することを特徴とする。
上記構成において、支持体に2枚以上の基板を載置して搬送することにより基板搬送の高速化が図れ、プリアライメントと反転機を備えた露光装置においても、支持体を用いた搬送装置を使用できる。
なお、反転機を中央に下流側にもプラテンと搬出装置を配設したシステムにも適用可能である。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は本発明の露光装置の一実施形態を示すもので、(A)は平面図、(B)は動作説明図、(C)は正面図である。
【0007】
この露光装置は搬入装置2、プラテン3、反転機4及び下流側のプラテン3’、搬出装置5を有しこれらはほぼ直線状に且つほぼ等間隔に配設されている。プリント配線を施される基板50をこれらの各装置間に搬送する搬送装置1と搬送装置1’が設けられている。
【0008】
フォトレジストを施された基板50は、前工程から搬入装置2上に導入される。ここでプリアライメントされ、搬送装置1によりプラテン3に送られ、ここで露光される。そして、搬送装置1により反転機4に搬送され、表裏反転されて下流側の搬送装置1’によりプラテン3’に搬送され、ここで基板50の反対面が露光され、搬出装置5に送られ、次工程に送られるように構成されている。
搬送装置1による基板50の搬送は2枚同時に行われ、例えば搬入装置2からプラテン3、プラテン3から反転機4への搬送が同時に行われるようになっている。
【0009】
搬入装置2は上下方向昇降可能なアライメントプレート20とアライメントプレート20上に進退可能なローラ21を備えており、基板50をローラ21で受けた上、所定の位置に来たらローラ21をアライメントプレート20下に退避させてアライメントプレート20上に基板50を載置するように構成されている。図5に示すように、アライメントプレート20にはストッパ25と移動可能なアライメントピン22が設けられており、ストッパ25により基板50の進行方向位置を規制し、アライメントピン22により基板50の幅方向位置を調整して、プリアライメントを行うようになっている。なお、アライメントプレート20は基板50を吸引して吸着する吸着機構(図示せず)を備えている。
搬出装置5はアライメントピン22とストッパ25がない点を除いて、他はほぼ搬入装置2と同じ構成である。
【0010】
アライメントプレート20には後述する搬送装置1のフォーク10を逃がすための退避溝23、23が形成され、アライメントプレート20の昇降によりフォーク10が露出したり退避したりするようになっている。なお、図5では退避溝23は省略して図示してある。
【0011】
プラテン3、3’は上下方向昇降可能に構成され、また図4に示すように、その上面プレート30が3分割され、開閉可能になっている。上面プレート30の下には退避溝31、31が設けられており、フォーク10がここに退避出来るようになっている。
上面プレート30上に基板50を載置する際には、図4(B)に示すようにプラテン3全体を上昇させ、同時に上面プレート30を開いてフォーク10を退避溝31内に退避させ、再び上面プレート30を閉じて基板50を載置するように構成されている。
【0012】
搬送装置1、1’の構成を図2と図3により説明する。
搬送装置1は平行に配設された2本のフォーク10、10を備えており、このフォーク10、10上に2枚の基板50を載置保持するように構成されている。フォーク10は基板50を吸着するための吸引機構(図示せず)を有している。
フォーク10は搬入装置2とプラテン3の長さ分或いはプラテン3と反転機4の長さ分(L1+L2)にほぼ相当する長さを有しており、1の基板50を搬入装置2からプラテン3へ移動し、同時に他の基板51をプラテン3から反転機4へと移動できるように構成されている。
【0013】
フォーク10、10は移動基部11から延出しており、中間に配置された2つの中間支持部13、13によりスライド可能に中間支持されている。
移動基部11は搬入装置2の両脇に設置された一対のレール12、12上にスライド可能に支持されており、駆動装置19の駆動によりレール12上を移動するようになっている。この移動距離はほぼL1又はL2の距離に相当する距離になっている。
【0014】
なお、下流側の搬送装置1’、搬出装置5、プラテン3’の構成もほぼ同一であるので、説明は省略する。
【0015】
次に図1及び図6乃至図9を参照しつつ動作を説明する。プラテン3、反転機4及びプラテン3’と搬出装置5上に既に前の基板51、52、53、54がある状態から説明する。
最初に前工程から基板50が搬入搬入装置2に搬入し、ここでアライメントが行われる。この間、プラテン3においては前の基板51の露光が行われ、反転機4においては基板52の反転が行われる。またプラテン3’においては基板53の裏面側の露光が行われ、搬出装置5においては、基板受けプレートの上ローラ21により、基板54が次工程に送られる。(図6)
【0016】
各ステージでの動作を終了すると、下流側の搬送装置1’が基板52と基板53とを2枚同時に保持して、基板52をプラテン3’に移動し、基板53を搬出装置5に一回の動作で移動する。(図7)
【0017】
次に、上流側の搬送装置1が基板50と基板51を2枚同時に載置保持し(図8)、基板50をプラテン3に移動し、基板51を反転機4へと一回の動作で移動する。(図9)
【0018】
そして、前工程から搬入装置2へ次の基板を導入して、上記動作を繰り返す。
【0019】
次に各ステージにおける、基板の搬入と搬出動作を説明する。
<搬入装置2の搬入動作>
(a)前工程から基板50が搬入装置2に搬入する。
(b)アライメントプレート20が上昇し、基板50を載置する。そしてアライメントピン22でアライメントしアライメントプレート20に吸着する。
【0020】
<搬入装置2の搬出動作>
(c)フォーク10の高さまでアライメントプレート20が下降し、吸着をオフしてフォーク10が基板50を吸着する。
(d)更にフォーク10が基板50を搬送するため、搬入装置2全体が下降する。
【0021】
<プラテン3の動作>
(e)前記したようにプラテン3では上面プレート30を開き、基板を吸着したフォーク10の高さまで上面プレート30が上昇し、フォーク10の吸着を開放して上面プレート30に基板を搬入する。搬出の際には逆に、上面プレート30がフォーク10の高さまで下降し、吸着をオフしてフォーク10が基板を吸着する。
<反転機4の動作>
(f)次に反転機4では、図10に示すようにそのクランププレート40がまず基板を吸着するために、フォーク10と同じ高さに上昇し、フォーク10は吸着をオフして、クランププレート40は基板を吸着する。
(g)クランププレート40は更に上昇し、上のクランププレート40とで基板をクランプする。
(h)フォーク10は基板を受け取るために原点(元の位置に)に退避する。(この動作は、プラテン3が上方において動作中においても可能であるため、タクト短縮には有利である。)
(i)反転機4は基板50をクランプしたまま反転する。
(j)下流のフォーク10’が反転機4に侵入するためクランププレート40が上昇する。
(k)下流のフォーク10’は基板を受け取るため、反転機4に侵入する。
(l)クランププレート40は基板をフォーク10に渡すためフォーク10と同じ高さに下降する。クランププレート40は吸着をオフして、フォーク10は吸着オンする。
(m)クランププレート40は下降する。下流フォーク10’はプラテン3’に基板を搬送する。
【0022】
この実施形態における、搬入装置2、プラテン3、反転機4及びプラテン3’と搬出装置5の位置関係を図11により更に詳細に説明する。
即ち上流側においては、搬入装置2の搬入コンべアのストッパ25からプラテン3のプラテン中心35までの距離と、プラテン中心35から反転機4の左端45までの距離は同一の距離Aとなっている。
一方下流側においては、反転機4の右端46からプラテン3’のプラテン中心35’までの距離とプラテン中心35’から搬出装置5の搬出コンべアの基板受け取り位置59までの距離が同一の距離Aになっている。
従って、搬送装置1、1’のストロークSはS=A+基板長さの1/2で決定される。
即ち、この実施形態では、反転機4の反転軸を中心にして、上下流ユニットが対称に配置されており、いかなるサイズの基板50であっても搬送装置1により反転機4の左端に基板50の左端が合致するように運ばれてくる。そのため、基板50の中心と反転機4の回転中心とは一致しないこともあるが、反転後の基板50の右端は下流側のプラテン3’の右端46に一致するため、搬送ストロークSは上下流で同一である。
これによりフォーク10で2枚同時に同間隔で搬送でき、搬送ストロークは上下流で同一である。
【0023】
なお、図12に示すように、ストッパ25を基板50の長さにあわせて移動可能とすれば、搬入装置2、プラテン3、反転機4及びプラテン3’と搬出装置5の中心間の距離を搬送装置1、1’のストロークSとすることも可能である。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の露光装置によれば、効率的な基板の搬送が可能になる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す概略図。
【図2】本発明の一実施形態のフォーク10を示す平面図。
【図3】本発明の一実施形態のフォーク10を示す正面図。
【図4】本発明の一実施形態のプラテン3の説明図。
【図5】搬入装置の概略斜視図。
【図6】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図7】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図8】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図9】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図10】反転機の概略斜視図。
【図11】本発明の一実施形態の配置説明図。
【図12】本発明の他の実施形態の配置説明図。
【符号の説明】
1:搬送装置、2:搬入装置、3:プラテン、4:反転機、5:搬出装置、10:フォーク、11:移動基部、12:レール、13:中間支持部、19:駆動装置、20:アライメントプレート、21:ローラ、22:アライメントピン、23:退避溝、25:ストッパ、30:上面プレート、31:退避溝、35:プラテン中心、40:クランププレート、50:基板、51:基板、52:基板、53:基板、54:基板。
Claims (2)
- 露光されるべき基板を搬入し、基板の位置合わせを予備的に行う搬入装置と、該搬入された基板を載置して露光するプラテンと、露光された基板を反転させる反転機とを備えた露光装置であって、
前記搬入装置とプラテンと反転機とをほぼ直線状にほぼ等間隔に配設し、
露光されるべき基板を少なくとも2枚、前記配設方向に並べて載置可能で、該基板を前記配設方向に移動させる移動装置と、
を有することを特徴とする搬送システムを備えた露光装置。 - 露光されるべき基板を搬入し、基板の位置合わせを予備的に行うプリアライメント搬入装置と、該搬入された基板を載置して露光するプラテンと、露光された基板を反転させる反転機とを備えた露光装置であって、
更に第2のプラテンと搬出装置とを備え、
前記搬入装置とプラテンと反転機と第2のプラテンと搬出装置とをほぼ直線状にほぼ等間隔に配設し、
露光されるべき基板を少なくとも2枚、前記配設方向に並べて載置可能で、該基板を前記搬入装置と前記プラテンと反転機との間で前記配設方向に移動させる第1の移動装置と、
露光されるべき基板を少なくとも2枚、前記配設方向に並べて載置可能で、該基板を前記反転機と第2のプラテンと搬出装置との間で前記配設方向に移動させる第2の移動装置と、
を有することを特徴とする搬送システムを備えた露光装置。
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