JPH04348344A

JPH04348344A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH04348344A
Application number: JP3183695A
Authority: JP
Inventors: Seiichiro Toyoda; 誠一郎豊田; Sadao Funyu; 船生　貞夫; Tetsuo Kashiwazaki; 哲夫柏崎; Kazuo Fujita; 和雄藤田; Kazunori Sasage; 一徳捧; Sadajiro Yamamoto; 山本　定治郎
Original assignee: Ono Sokki Co Ltd
Current assignee: Ono Sokki Co Ltd
Priority date: 1990-07-13
Filing date: 1991-06-28
Publication date: 1992-12-03
Anticipated expiration: 2015-12-11
Also published as: JP3117491B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、整合部と加工部との間
で、被加工物を搬送する搬送装置に関し、特に、気密室
が形成される加工部（例えば、密着露光部）内に被加工
物を搬送して、気密下での加工ができる搬送装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、回路パターンをプリント基板に転
写する方法として、その回路パターンに対応する透光ま
たは遮光パターンを形成した原版フィルムを、プリント
基板に重ねて露光することが知られている。この場合に
、十分な解像度を得るために、平行光で露光するか、ま
たは、原版フィルムとプリント基板を密着させる必要が
あった。

【０００３】また、原版フィルムやプリント基板を自動
的に位置決めするために、位置決めする整合部と、重ね
合わせテーブルを別の位置に配置して、整合部で位置決
めした原版フィルムを重ね合わせテーブルに搬送したの
ち、同じように、整合部で位置決めしたプリント基板を
重ね合わせテーブルに搬送して、両者の整合をとる方法
が既に提案されている（特開昭６１−２８１５８３）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記提案の場合には、
整合部で位置決めしたプリント基板は、吸着アームで吊
って搬送していたので、吸着アームで吸着する際に、位
置ずれが生ずる可能性があった。

【０００５】また、整合部の整合テーブルをそのまま重
ね合わせ位置に移動させると、搬送速度が遅くなるとと
もに、露光中に次のプリント基板の位置決めをしておく
ことができず、作業効率が悪いという問題があった。

【０００６】本発明の目的は、前述の課題を解決し、正
確な位置決めができ、搬送速度が速く、しかも、加工中
に次の被加工物の整合をとれるとともに、気密室での加
工を可能にした搬送装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明による搬送装置は
、被加工物を整合テーブル上で位置決めする整合部と、
前記被加工物を気密室内に配置された加工テーブル上で
気密を保ちながら加工する加工部との間を、前記被加工
物を吸引保持する移動吸引盤が移動して、少なくとも前
記加工テーブルの一部となる搬送装置であって、前記加
工部に前記移動吸引盤が移動したときに、前記加工テー
ブルの残部と前記移動吸引盤との間隙を封止する封止部
を設けた構成としてある。

【０００８】

【作用】本発明によれば、前記移動吸引盤が加工テーブ
ルの一部となっているときに、前記封止部によって前記
気密室を形成した状態で、露光などの加工作業をする。つまり、移動吸引盤が加工テーブルの一部となっている
ときに、それらの間隙を封止するようにした。

【０００９】

【実施例】図１から図６は、本発明による搬送装置の第
１の実施例であり、図１は全体斜視図、図２は搬送部の
斜視図、図３は搬送部の拡大斜視図、図４は搬送部の断
面図、図５は封止部を主に示した断面図、図６は封止部
を主に示した斜視図である。ここでは、本発明の搬送装
置が露光装置に組み込まれた例で説明する。この露光装
置は、整合部１，露光部２，搬送部３，封止部４，排出
部５および制御部６などが含まれている。

【００１０】整合部１は、整合テーブル１０上に、第１
，第２の固定吸引盤１１，１２が被加工物であるプリン
ト基板Ｐの流れ方向（整合部１，露光部２，排出部５の
配列方向）と直交する方向に適宜の間隔を隔てて設けら
れている。

【００１１】整合部１は、整合テーブル１０の上側に配
置されたＣＣＤカメラ１３，１４によって、プリント基
板Ｐに設けられた整合マークを読み取り、制御部６内の
画像処理装置によって、読み取った整合マークの画像に
基づいて画像処理を行って整合信号を生成し、整合テー
ブル１０に内蔵されたＸＹθ３軸テーブルによって、生
成された整合信号に基づいてＸ方向（プリント基板Ｐの
進行方向），Ｙ方向（水平面内でＸ方向と直交する方向
），θ方向（テーブル中心を軸とした回転方向）にプリ
ント基板Ｐを独立して移動することにより、高速かつ高
精度な位置合わせを行うことができる。

【００１２】露光部２は、露光テーブル２０上に、第３
，第４の固定吸引盤２１，２２が、第１，第２の固定吸
引盤１１，１２と同様な間隔で、かつ、同方向に配置さ
れている。加工部としての露光部２は、図５に示すよう
に、プリント基板Ｐに原版フィルムＦを密着して、露光
ランプ２３によって露光する部分である。この露光部２
は、露光ボックス２４で覆われており、露光ボックス２
４内には下方から冷却空気が送られ、対流により上方に
向かう熱流を冷却ファン２５によって露光ボックス２４
の外に排出している。このため、露光台２６のアクリル
板などからなる透明支持板２６ａや原版フィルムＦが熱
膨張するのを防止している。露光台２６は、上下に移動
して、透明支持板２６ａに貼り付けられた原版フィルム
Ｆを搬送されてきたプリント基板Ｐに被せることができ
る。

【００１３】搬送部３は、搬送テーブル３０が第１，第
２の固定吸引盤１１，１２の間と、第３，第４の固定吸
引盤２１，２２の間に設けられた幅の広い溝に挿入され
ている。搬送テーブル３０は、搬入用の移動吸引盤３１
と搬出用の移動吸引盤３２とからなり、図２のように移
動吸引盤３１が整合テーブル１０上にあり、移動吸引盤
３２が加工テーブル１０上にある状態を示している。

【００１４】封止部４は、露光部２の固定吸引盤２１，
２２と搬送部３の移動吸引盤３１，３２との間隙を封止
するためのものである。この封止部４は、図５に示すよ
うに、固定吸引盤２１，２２の下側に設けられており、
エアシリンダ４１のロッドに、その間隙に対応した長さ
でベルト状のパッキン４２が取り付けられた構造をして
いる。エアシリンダ４１のロッドが伸びたときは、パッ
キン４２が固定吸引盤２１と移動吸引盤３２との間隙を
封止するようにしてある。

【００１５】搬出部５は、露光部２で露光されたプリン
ト基板Ｐを次工程に搬出する部分であり、製造ラインに
よって、ストック部としたり、プリント基板Ｐの裏面に
も露光する場合に、反転部としたりすることができる。

【００１６】次に、本発明の搬送装置の動作を、図２か
ら図６を参照して露光装置の場合を例にして説明する。搬送部３は、図２に示すように、移動吸引盤３１が整合
部１に、移動吸引盤３２が露光部２にある。この位置で
、整合部１では、固定吸引盤１１，１２で吸引した状態
で、原版フィルムＦの位置決めを行う。このとき、原版
フィルムＦの上面に両面接着テープを貼り付けておく。

【００１７】移動吸引盤３１は、原版フィルムＦを吸引
した状態で、露光部２に搬送される。この位置で、露光
台２６が下降してきて、両面接着テープによって原版フ
ィルムＦが露光台２６の透明支持板２６ａに貼り付けら
れる。この後に、露光台２６を上昇させるとともに、手
前に引き上げて、さらに固定テープで確実に固定する。なお、テープ接着の代わりに、透明支持板２６ａの対向
面に吸引溝を設け、原版フィルムＦを吸引させてもよい
。以上の原版フィルムＦの位置決めとその露光台２６へ
の貼り付けは、基板への露光に先立って行う準備段階の
操作であり、以降の基板に対する露光工程とは独立に１
回だけ行われる。

【００１８】次に、移動吸引盤３１が整合部１に戻り、
既に整合部１で位置決めされている未露光のプリント基
板Ｐを吸引して、露光部２に搬送する。この後、露光台
２６が下降して、移動吸引盤３１で吸引されたプリント
基板Ｐ上に、原版フィルムＦを被せる。この位置では、
露光台２６に貼り付けられた原版フィルムＦとプリント
基板Ｐは、正確に位置決めされている。

【００１９】このとき、封止部４のエアシリンダ４１の
ロッドが伸びて、パッキン４２によって、固定吸引盤２
１，２２と移動吸引盤３１の間隙を塞ぎ、露光台２６と
の間に気密室を形成する。この状態で、固定吸引盤２１
，２２と移動吸引盤３１から吸引することにより、原版
フィルムＦとプリント基板Ｐを密着させ（図５参照）、
露光ランプ２３によって露光を行う。

【００２０】露光後には、搬送部３の移動吸引盤３１が
整合部１に戻り、既に位置決めされているプリント基板
Ｐを露光部２に搬送すると同時に、搬送部３の移動吸引
盤３２が露光部２で露光されたプリント基板Ｐを搬出部
５に搬出する。以後、この動作を繰り返す。

【００２１】次に、図７〜図１７を参照しながら、本発
明による搬送装置の他の実施例を説明する。なお、ここ
では、封止部の構造を主に説明し、他の部分は、前述し
た実施例と同様な機能を果たす部分には、同一の符号を
付してある。

【００２２】図７と図８は、本発明による搬送装置の第
２の実施例であり、図７は封止部の断面図、図８はフィ
ルムＦ等を封止した状態を示した断面図である。図７の
示すように、第２の実施例の封止部７０は、固定吸引盤
２１，２２の端面にパッキン７２が設けられており、エ
アシリンダ７１によって、固定吸引盤２１，２２を移動
吸引盤３１に押し付けるようにして間隙を封止するよう
にしたものである。このとき、図８に示すように、固定
吸引盤２１，２２を移動させる瞬間に、エアシリンダ７
１の排気を利用して、プリント基板Ｐや原版フィルムＦ
等の両側を上昇させ、それらがたるむのを防止するよう
にできる。

【００２３】図９，図１０は、本発明による搬送装置の
第３の実施例であり、図９は封止部の断面図、図１０　
は図９のＩＶＢ部の拡大図である。第３の実施例の封止
部７３は、移動吸引盤３１の端面に凹部を設け、その部
分に棒状のパッキン７６を挿入したものであり、固定吸
引盤２１，２２側に設けられたエアシリンダ７４のロッ
ドのシャッタ７５により、間隙を封止するようにしたも
のである。

【００２４】図１１，図１２は、本発明による搬送装置
の第４の実施例であり、図１１は封止部の断面図、図１
２は１１図のＶＢ部の拡大図である。第４の実施例の封
止部７７は、固定吸引盤２１，２２の端部に、チューブ
状のパッキン７８を取り付け、パッキン７８内に給気、
排気することにより、パッキン７８を変形させて間隙を
封止するようにしたものである。固定吸引盤２１，２２
と透明支持板２６ａの間にも、チューブ状のパッキン７
９を挿入して、給排気を連動させるようにしてもよい。

【００２５】図１３，図１４は、本発明による搬送装置
の第５の実施例であり、図１３は封止部の断面図、図１
４は図１３のＶＩＢ部の拡大図である。第５の実施例の
封止部８０は、固定吸引盤２１，２２の端部に、斜め下
方に溝を設けておき、その溝に棒状のパッキン８１を挿
入しておく。密着のために吸引を始めると、固定吸引盤
２１，２２と移動吸引盤３１の間の間隙からエアが矢印
方向に流れるので、その負圧を利用して、パッキン８１
を上昇させるたことにより、間隙を封止するようにした
ものである。

【００２６】図１５は、本発明による搬送装置の第６の
実施例を示した断面図である。第６の実施例の封止部８
２は、間隙の下方に設けられたエアシリンダ８３のロッ
ドを伸縮させることにより、ロッド先端に設けられたパ
ッキン８４を上下させて、固定吸引盤２１，２２と移動
吸引盤３１の間隙を封止するようにしたものである。

【００２７】図１６は、本発明による搬送装置の第７の
実施例を示した断面図である。第７の実施例の封止部８
５は、エアシリンダ８６のロッドを伸縮させることによ
り、ロッド先端に設けられたパッキン８７を前後に移動
させて、固定吸引盤２１，２２と移動吸引盤３１の間隙
を封止するようにしたものである。

【００２８】図１７は、本発明による搬送装置の第８の
実施例を示した断面図である。第８の実施例の封止部８
８は、固定吸引盤２１，２２と移動吸引盤３１の端部を
テーパー状にして、その部分にパッキン８９，９０を貼
り付け、移動吸引盤３１が移動する際の固定吸引盤２１
，２２との上下の位置を変える動作で、間隙を封止する
ようにしたものである。

【００２９】図１８から図２０は、本発明による搬送装
置の第９の実施例であり、図１８は平面図、１９図は加
工部を主に示した平面図、２０図は１９図のＸＣ−ＸＣ
断面図である。第９の実施例の搬送装置は、整合部１１
０と、露光部１２０と、搬送部１３０とから構成されて
いる。

【００３０】整合部１１０は、プッシャやストッパ等に
より、移動吸引盤１３２に吸引されるプリント基板Ｐの
粗位置決めのみを行う。露光部１２０の枠体１２６に支
持された透明支持板１２６ａには、原版フィルムＦが所
定の位置に貼付されており、この枠体１２６は、パルス
モータ１２９Ａ，１２９Ｂによってθ方向に、１２９Ｃ
によってＸ方向に、それぞれ精密に駆動することができ
る。

【００３１】枠体１２６の上側には、ＣＣＤカメラ等の
監視カメラ１２８Ａ，１２８Ｂが配置されており、これ
らの監視カメラ１２８Ａ，１２８Ｂによって、露光部１
２０内に、移動吸引盤１３２によって運び込まれたプリ
ント基板Ｐおよび原版フィルムＦの相対位置に設けられ
た整合マークＲＭを読み取る。パルスモータ１２９Ａ，
１２９Ｂ，１２９Ｃは、監視カメラ１２８Ａ，１２８Ｂ
で検出された位置信号に従って、枠体１２６を移動させ
て、プリント基板Ｐと原版フィルムＦの精密な整合をと
る。

【００３２】このような搬送装置に対しても、第１から
第８の実施例で説明した封止部を適用することができる
。

【００３３】以上説明した実施例に限定されることなく
、種々の変形や変更ができ、それらも本発明の範囲内で
ある。露光装置を例に説明したが、加工部で気密を要す
る作業であれば、他の装置に使用してもよいし、気密室
を減圧する場合だけでなく、加圧する場合にも使用でき
る。各実施例で説明した封止部は、固定吸引盤または移
動吸引盤側に付けたものは、各部の動作を妨げない限り
、移動吸引盤または固定吸引盤側に設けることは可能で
ある。例えば、パッキン７２は、移動吸引盤３１側に設
けられていてもよい。

【００３４】図１に示した実施例では、整合部１と露光
部２の他に排出部５を設けた例で説明したが、排出部５
のない装置にも、本発明の搬送装置を適用することがで
きる。例えば、特開平１−３０６２４５に開示されてい
る印刷装置は、整合機と印刷機を隔離して配置し、それ
らの板状の整合テーブルと印刷テーブルの一部には溝を
形成し、少なくとも印刷テーブルの残部には固定吸引盤
を形成し、前記両溝間にはガイドレールを挿通し、カイ
ドレール上には移動吸引盤を移動自在に支承し、移動吸
引盤は可逆移動源と連結して両テーブル間距離と対応し
た所定のストローク分往復動自在とし、高さ切替機構に
より、前記移動吸引盤の上面と両テーブルの一部の上面
とを同一平面、突出、陥没の３段階に切替自在とした印
刷装置にあって、前記移動吸引盤はその移動方向の長さ
を略印刷テーブル長と同じに、幅を前記の溝よりわずか
に小に形成し、無端ベルトの一部に結合した構造である
。従って、被印刷体の排出は、溝内を通る排出ベルトに
より行われるので、搬出部は不用となる。このような印
刷装置の搬送部をそのまま第１の実施例の露光装置に適
用した場合にも、動吸引盤と固定吸引盤の間に封止部を
設ける構造も、本発明の範囲内である。

【００３５】図２０に示した実施例では、監視カメラ１
２８Ａ，１２８Ｂ等は、枠体１２６の上側に配置した例
で説明したが、下側に配置することもできる。この場合
には、テーブル（１２１，１２２等）の一部または全部
を透明体にしておけばよい。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、移動吸引盤が加工テー
ブルの一部となっているときに、封止部によって気密室
を形成した状態で、露光などの加工作業をすることがで
きる。つまり、移動吸引盤が加工テーブルの一部となっ
ているときに、それらの間隙を封止するようにしたので
、加工部での気密の作業が可能になった。従って、移動
吸引盤のみを移動させる搬送ができ、整合部と加工部と
の間の被加工物の搬送が高速に行えるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による搬送装置の第１の実施例
を示した斜視図である。

【図２】図２は、第１の実施例の搬送部を抜き出して示
した斜視図である。

【図３】図３は、第１の実施例の搬送部を抜き出して示
した拡大斜視図である。

【図４】図４は、第１の実施例の搬送部を抜き出して示
した断面図である。

【図５】図５は、第１の実施例の封止部を主に示した断
面図である。

【図６】図６は、第１の実施例の封止部を主に示した斜
視図である。

【図７】図７は、本発明による搬送装置の第２の実施例
を示した断面図である。

【図８】図８は、第２の実施例の封止した状態を示した
断面図である。

【図９】図９は、本発明による搬送装置の第３の実施例
を示した断面図である。

【図１０】図１０　は、９図のＩＶＢ部の拡大図である
。

【図１１】図１１は、本発明による搬送装置の第４の実
施例を示した断面図である。

【図１２】図１２は、１１図のＶＢ部の拡大図である。

【図１３】図１３は、本発明による搬送装置の第５の実
施例を示した断面図である。

【図１４】図１４は、図１３のＶＩＢ部の拡大図である
。

【図１５】図１５は、本発明による搬送装置の第６の実
施例を示した断面図である。

【図１６】図１６は、本発明による搬送装置の第７の実
施例を示した断面図である。

【図１７】図１７は、本発明による搬送装置の第８の実
施例を示した断面図である。

【図１８】図１８は、本発明による搬送装置の第９の実
施例を示した平面図である。

【図１９】図１９は、本発明による搬送装置の第９の実
施例の加工部を主にを示した平面図である。

【図２０】図２０は、１９図のＸＣ−ＸＣ断面図である
。

【符号の説明】

１　　整合部２　　露光部３　　搬送部４　　封止部５　　排出部６　　制御部１０　　整合テーブル１１，１２　　固定吸引盤Ｆ　　原版フィルムＰ　　プリント基板１３，１４　　ＣＣＤカメラ２０　　露光テーブル２１，２２　　固定吸引盤２３　　露光ランプ２４　　露光ボックス２５　　冷却ファン２６　　露光台３０　　搬送テーブル３１，３２　　移動吸引盤４１　　エアシリンダ４２　　パッキン７０，７３，７７，８０，８２，８５，８８　　封止部
７１，７４，８３，８６　　エアシリンダ７２，７６，
７８，７９，８１，８４，８７，８９，９０　　パッキ
ン７５　　シャッタ１１０　　整合部１２０　　露光部１２６　　枠体１２９Ａ，１２９Ｂ，１２９Ｃ　　パルスモータ１３０
　　搬送部１３２　　移動吸引盤１２８Ａ，１２８Ｂ　　監視カメラ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　被加工物を整合テーブル上で位置決め
する整合部と、前記被加工物を気密室内に配置された加
工テーブル上で気密を保ちながら加工する加工部との間
を、前記被加工物を吸引保持する移動吸引盤が移動して
、少なくとも前記加工テーブルの一部となる搬送装置で
あって、前記加工部に前記移動吸引盤が移動したときに
、前記加工テーブルの残部と前記移動吸引盤との間隙を
封止する封止部を設けたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】　　前記移動吸引盤の端面および／または
前記加工テーブルの残部の端面には収容部が形成されて
おり、前記封止部は、前記収容部に配置され、前記間隙
を覆える長さのベルト状をした気密性のある可撓性膜と
、前記可撓性膜を前記各収容部の内壁に押し付ける駆動
手段と、から構成したことを特徴とする請求項１記載の
搬送装置。
【請求項３】　　前記封止部は、前記移動吸引盤の端面
および／または前記加工テーブルの残部の端面に取り付
けられた封止材と、前記加工テーブルを前記移動吸引盤
側に押し付ける駆動手段と、から構成したことを特徴と
する請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】　　前記封止部は、前記移動吸引盤の端面
および／または前記加工テーブルの残部の端面に取り付
けられた封止材と、前記封止材に気密に当接するシャッ
タ部材と、前記シャッタ部材を前記封止材に押し付けよ
うに駆動する駆動手段と、から構成したことを特徴とす
る請求項１記載の搬送装置。
【請求項５】　　前記封止部は、前記間隙に挿入される
チューブ状の封止材と、前記封止材の内部空間にエアを
供給するエア源と、から構成したことを特徴とする請求
項１記載の搬送装置。
【請求項６】　　前記移動吸引盤の端面または前記加工
テーブルの残部の端面には前記気密室側に傾斜した凹部
が形成されており、前記封止部は、前記凹部に収容され
た細長い棒材であり、前記気密室が負圧になったときに
、前記棒材が吸い出されて前記端面に押し付けられるよ
うに構成したことを特徴とする請求項１記載の搬送装置
。
【請求項７】　　前記封止部は、前記間隙を封止する封
止材と、前記封止材を前記間隙に対して平行または垂直
な方向に移動して押し付けるように駆動する駆動手段と
、から構成したことを特徴とする請求項１記載の搬送装
置。
【請求項８】　　前記移動吸引盤の端面と前記加工テー
ブルの残部の端面は、それぞれ傾斜しており、前記封止
部は、前記端面の双方または一方に設けられた封止材と
、前記移動吸引盤を盤面と垂直な方向に移動する駆動手
段と、から構成したことを特徴とする請求項１記載の搬
送装置。