JP2001133986A

JP2001133986A - 露光装置用露光テーブル

Info

Publication number: JP2001133986A
Application number: JP31904599A
Authority: JP
Inventors: Minoru Ujimasu; 稔氏益
Original assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-11-10
Filing date: 1999-11-10
Publication date: 2001-05-18

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】露光装置用露光テーブルにワークを載置して各
作業を行っても、露光装置用露光テーブルに貼り付くこ
とがなく、スムーズなワークの移動を可能にする露光装
置用テーブル提供することを課題とする。【解決手段】露光装置で使用され、搬送手段により搬送
されて来るワークを載置する露光装置用露光テーブル１
において、前記露光装置用露光テーブルは、そのワーク
Ｗとの載置面に、前記ワークとの離脱が容易となるフッ
素樹脂で表面処理加工２を施した露光装置用露光テーブ
ル１として構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板や液
晶基板などのワークに、パターンを露光作業により形成
する際に使用される露光装置用露光テーブルに係り、特
に、ワークとの離脱性に優れた露光装置用露光テーブル
に関する。

【従来の技術】

【０００２】従来、露光装置は、搬送手段を介してワー
クを露光テーブルに搬送し、露光テーブルの上方に位置
するマスクとの整合作業および露光作業を行い、所定パ
ターンをワークに形成している。この露光装置で使用さ
れる露光テーブルは、ワークを必要に応じて所定位置に
予備位置決めした後、あるいは、搬送手段により載置し
た位置で、ワークの位置がずれないように支持する必要
がある。また、マスクと整合作業を行うために真空吸着
機構によりワークが露光テーブル表面に押圧され、その
露光テーブル表面に大きな力を受けることから、露光テ
ーブルのワークとの載置面を金属表面として構成してい
る。

【０００３】さらに、ワークにソルダーレジストなどの
柔らかい塗布剤を塗布した状態で整合作業および露光作
業を行う場合、露光テーブルにワークが密着して貼り付
くことがあるため、ワークを露光テーブルから離脱させ
るための離脱手段を、その露光テーブルに備えているこ
とが知られている。

【０００４】前記離脱手段は、機械的な機構により露光
テーブルからワークを離脱させる構成のものが用いられ
ており、例えば、突出ピンを露光テーブルの表面に出没
自在に設ける構成などが提案されている。

【０００５】また、露光テーブルにワークが貼り付くこ
とを防止するため、ソルダーレジストを塗布した後、そ
のソルダーレジストを乾燥させるための放置時間を長く
取ることや、また、ワークに塗布したソルダーレジスト
を、冷却機構を介して強制的に冷却することで乾燥させ
ることも行われていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のワーク
が露光テーブルに密着することを防止する手段では、次
に示すような問題点が存在した。

【０００７】すなわち、ワークにソルダーレジストなど
柔らかい塗布剤が塗布されている場合は、機械的な離脱
手段により露光テーブルからワークを離脱させる動作を
行うと、その塗布剤を損傷させることがあり不都合であ
った。

【０００８】また、レジストなどの塗布後に乾燥させる
ための放置時間を長く取る場合は、ワークを並べて乾燥
させる必要があることから、作業面積を大きく必要とし
た。さらに、露光装置を使用する作業環境の違いから、
ワークの乾燥時間あるいは乾燥状態を一定に保つことは
困難であり、季節や天気による湿度、温度の違いからも
乾燥状態の基準を設けることは困難であった。

【０００９】また、ワークが露光テーブルに貼り付いて
しまい、ワークを露光テーブルから機械的な離脱手段を
介して無理に引き離す操作を行うとワークに破損を生じ
る場合があった。また、ワークが露光テーブルに貼り付
いてしまうと、露光装置の一連の動作が滞ってしまい生
産性の低下につながった。

【００１０】本発明は、前記の問題点に鑑み創案された
ものであり、露光装置用露光テーブルにワークを載置し
て各作業を行っても、露光装置用露光テーブルに貼り付
くことがなく、スムーズなワークの移動を可能にする露
光装置用テーブル提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記の問題を
解決するため、露光装置で使用され、搬送手段により搬
送されて来るワークを載置する露光装置用露光テーブル
において、前記露光装置用露光テーブルは、そのワーク
との載置面に、前記ワークとの離脱が容易となる表面処
理加工を施した露光装置用露光テーブルとして構成し
た。このように構成することで、ワークへの機械的な接
触を行うことなく、ワークが露光装置用露光テーブルか
ら容易に離脱することができる。

【００１２】また、露光装置で使用され、搬送手段によ
り搬送されてくるワークを載置する露光テーブルにおい
て、前記露光テーブルは、その上部に当接板を、係合手
段を介して着脱自在に設け、その当接板の前記ワークと
の載置面に、前記ワークとの離脱が容易となる表面処理
加工を施した露光装置用露光テーブルとして構成した。
このように構成することで、ワークと直接接触する当接
板が磨耗しても、適宜、係合手段を介して当接板だけを
取り替えることが可能となる。

【００１３】そして、前記載置面に施される表面処理加
工は、フッ素樹脂加工を行う構成とした。このように構
成することで、汎用性に優れた材料を使用することにな
り、経済性にも優れている。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。図１は、露光装置用露光テーブ
ルを示す斜視図、図２は、露光装置用露光テーブルの表
面処理加工の要部を示す断面図、図３は、露光装置用露
光テーブルに当接板を設けた状態を示す断面図、図４
は、露光装置用露光テーブルを露光装置に適用した場合
の状態を示す模式図、図５は、露光装置用露光テーブル
を他の露光装置に適用した場合の状態を示す模式図であ
る。

【００１５】図１に示すように、露光装置用露光テーブ
ル１は、ワークＷを載置する定盤３に、そのワークＷを
吸引保持するための小孔４を複数設けている。そして、
定盤３のワークＷを載置する載置面３ａ（図２参照）
に、そのワークＷとの離脱が容易となる表面処理加工と
してフッ素樹脂加工を行うことでフッ素樹脂２の被膜を
一定の厚みＴになるように施している。

【００１６】フッ素樹脂２を施す場合は、加工を行う表
面部分にフッ素樹脂紛体を配置して加熱することで一様
な表面を形成することや、溶融したフッ素樹脂流体中に
浸漬させて一様な表面を形成している。もちろん、一定
の平面精度が確保できれば、フッ素樹脂２を施す手段は
特に限定されるものではない（ロールコータ、カーテン
コータなどでも良い）。さらに、露光装置用露光テーブ
ル１は、既存の露光装置用露光テーブルにスプレー等に
よりフッ素樹脂２を施す構成としても良く、ワークＷが
露光装置用露光テーブル１の載置面３ａから離脱容易と
なる処理を施されるものであれば、特に限定されるもの
ではない。

【００１７】また、露光装置用露光テーブル１の定盤３
に小孔4や、他の構成（予備位置決め機構）から凹部分
（図示せず）が形成されている際は、その小孔４および
凹部分の垂直壁面にも、フッ素樹脂２を施す構成として
いる。このように構成することで、ワークＷが露光装置
用露光テーブル１に密着して不都合を生じる可能性を最
小限に押さえることができる。

【００１８】つぎに、図３に示すように、他の構成の露
光装置用露光テーブル１Ａについて説明する。露光装置
用露光テーブル１Ａは、その定盤８の上部に当接板５
を、係合手段としての固定ネジ６を介して着脱自在に設
ける構成としている。そして、当接板５は、ワークＷと
の載置面５ａに、そのワークＷとの離脱が容易となるた
めの表面処理加工としてフッ素樹脂加工によりフッ素樹
脂７が所定厚みに施されている（小孔や凹部分があれ
ば、その垂直壁面にも、フッ素樹脂７を施す構成として
いる）。

【００１９】なお、当接板５および定盤８は、互いの当
接面に凹凸部分（図示せず）を形成し、当接板５の水平
方向の移動を確実に防止できる構成としても良い。その
場合、当接板５の底面に凹部を設け、かつ、定盤８の上
部に凸部を設ける構成とすることや、また、当接板５の
底面に凸部を設け、かつ、定盤８の上部に凹部を設ける
構成とすること、あるいは、当接板５の底面に凹凸部を
設け、かつ、定盤８の上部に凹凸部を設ける構成とす
る。そして、それらの凹凸部が係合あるいは摺動させて
嵌合する構成にすると都合が良い。

【００２０】前記した露光装置用露光テーブル１，１Ａ
は、図４および図５に示すような構成の露光装置Ａ，Ｂ
の構成で使用されると都合が良い。すなわち、図４に示
すように、露光装置Ａは、ワークＷを搬入および搬出す
る搬出手段としての送りローラ１１Ａと、露光装置用露
光テーブル１（１Ａ）と、この露光装置用露光テーブル
１（１Ａ）の上方に配置したマスク（Ｍ）を支持する透
光板１４Ａを備える上焼枠１２Ａと、透光板１４Ｂを整
合移動させることでマスク（Ｍ）とワークＷとの整合作
業を行う整合機構(Ｘ，Ｙ，θ方向に移動可能な三点ロ
ケータ機構)１３Ａと、ワークＷとマスク（Ｍ）とに設
けた位置決めマーク（図示せず）の位置を撮像するＣＣ
Ｄカメラなどの撮像手段１５Aと、この撮像手段１５Aに
より認識した画像を処理してマスク（Ｍ）の整合移動距
離を検出して整合機構１３Ａを作動させる制御機構（図
示せず）と、上焼枠１２Ａの上方に配置した光源装置１
６Ａとから構成されている。

【００２１】そのため、ワークＷを処理する場合は、つ
ぎのような動作を行う。すなわち、ワークＷは、送りロ
ーラ１１Ａにより露光装置用露光テーブル１（１Ａ）に
搬送され、必要に応じて予備位置決め機構（図示せず）
によりそのワークＷの中央に予備位置決めされる。この
とき、ワークＷは、露光装置用露光テーブルの上で予備
位置決めのための移動をするが、その露光装置用露光テ
ーブル１（１Ａ）にはフッ素樹脂２（図２参照）の加工
が施してあるため、その移動をスムーズに行うことがで
きる。そして、ワークＷとマスク（Ｍ）が近接あるいは
当接する状態になるように、露光装置用露光テーブル１
（１Ａ）は、昇降機構１３ａにより上昇させられる。そ
して、上焼枠１２Ａと露光装置用露光テーブル１とで囲
繞される空間の空気を、真空吸引機構（図示せず）によ
り吸引することで、マスク（Ｍ）とワークＷを真空密着
して撮像手段１５Ａにより位置が確認される。

【００２２】このとき、撮像手段１５Ａにより撮像した
位置決めマークの位置が許容範囲内であれば、撮像手段
１５Ａは退避して光源装置１６Ａにより所定波長の紫外
線を含む光を照射して露光作業を行う。また、許容範囲
外であれば、真空密着を解除して露光装置用露光テーブ
ル１（１Ａ）を少し降下させ、整合機構１３Ａによりマ
スク（Ｍ）を整合移動させてワークＷ側に合わせる。そ
して、再び、露光装置用露光テーブル１を上昇させワー
クＷとマスク（Ｍ）を真空密着させ、撮像手段１５Ａに
より確認して許容範囲内であれば、撮像手段１５Ａは退
避して光源装置１６Ａにより所定波長の紫外線を含む光
を照射して露光作業を行う。

【００２３】なお、ワークＷは、露光作業が終了する
と、露光装置用露光テーブル１が降下して受渡し機構
（図示せず）により送りローラ１１Ａに受け渡され次の
工程（裏面の露光作業など）に送られていくが、このと
き露光装置用露光テーブル１（１Ａ）にはフッ素樹脂２
（図１，２参照）の加工が施されていることから、ワー
クＷは、露光装置用露光テーブル１に貼りつくことなく
スムーズに移動することが可能となる。

【００２４】つぎに、図５に示すように、露光装置Ｂ
は、ワークＷを搬送する搬送手段としてのハンドラ１１
Ｂと、露光装置用露光テーブル１（１Ａ）と、この露光
装置用露光テーブル１（１Ａ）上のワークＷの整合作業
を行う整合機構（Ｘ、Ｙ，θ方向に移動可能なアライメ
ントテーブル）１３Ｂと、この整合機構１３Ｂおよび露
光装置用露光テーブル１（１Ａ）を昇降させる昇降機構
１３ｂと、露光装置用露光テーブル１（１Ａ）の上方に
配置した透光板１４Ｂにマスク（Ｍ）を支持する上焼枠
１２Ｂと、この上焼枠１２Ｂの上方に配置した光源装置
１６Ｂとから構成されている。

【００２５】この露光装置Ｂは、搬送機構をハンドラ１
１Ｂにより行うことと、整合機構１３ＢがワークＷを移
動させて整合作業を行う以外は前記したものと構成およ
び動作は同じであるため説明を省略する。

【００２６】このように、ハンドラ１１Ｂにより露光作
業前後におけるワークを搬送する場合、あるいは、予備
位置決め作業を行う場合など、ワークＷを露光装置用露
光テーブル１（１Ａ）の上で扱う場合に露光装置用露光
テーブル１（１Ａ）にフッ素樹脂２が施されているた
め、ワークＷの移動をスムーズに行うことができる。

【００２７】なお、露光装置用露光テーブル１Ａの構成
を使用することでワークＷとの摩擦によりその表面処理
加工が磨耗しても簡単に係合手段を介して取り替えるこ
とができるために都合が良い。

【００２８】また、ここでは、表面処理加工としてフッ
素樹脂の加工をその一例にとって説明したが、フッ素樹
脂の加工以外の例えば、フェノール樹脂や、アセタール
樹脂などを使用しても構わない。そして、表面処理加工
を行う場合は、マトリックス樹脂（バインダー樹脂）を
使用するが、ポリエステル樹脂、線状高分子ポリエステ
ル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹
脂、ファノキシ樹脂、フェノール樹脂など、一般的な樹
脂が使用される。さらに、表面処理加工が行い易いよう
に、露光装置用露光テーブルのワークの載置面にプライ
マー層をあらかじめ設ける構成としても良い。

【００２９】

【発明の効果】露光装置用露光テーブルは、ワーク
との載置面に所定の表面処理を施しているため、ワーク
の真空吸着動作や、露光作業後に、その露光装置用露光
テーブルにワークが貼りつくことはなく、スムーズなワ
ークの移動作業を行うことができる。そのため、露光装
置の一連の動作を滞りなく連続して行うことが可能とな
る。

【００３０】露光装置用露光テーブルは、上部に当
接板を、係合手段を介して着脱自在に設けていると共
に、その当接板の表面に所定の表面処理加工を施してい
る。そのため、ワークが押圧することなどで、その載置
面に施された処理表面加工が磨耗しても、当接板を取り
替える作業が容易に行えるため、の効果に加えてメン
テナンス性にも優れている。

【００３１】露光装置用露光テーブルは、その表面処
理加工が、汎用性に優れた材料であるフッ素樹脂を施す
構成であるため、価格も安価で経済性にも優れた構成に
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光装置用露光テーブルを示す斜視図
である。

【図２】本発明の露光装置用露光テーブルの表面処理加
工の要部を示す断面図である。

【図３】本発明の露光装置用露光テーブルに当接板を設
けた状態を示す断面図である。

【図４】本発明の露光装置用露光テーブルを露光装置に
適用した場合の状態を示す模式図である。

【図５】本発明の露光装置用露光テーブルを他の露光装
置に適用した場合の状態を示す模式図である。

【符号の説明】

１露光装置用露光テーブル２フッ素樹脂（表面処理加工）３定盤３ａ載置面４小孔５当接板５ａ載置面６固定ボルト（係合手段）７フッ素樹脂（表面処理加工）８定盤Ａ，Ｂ露光装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光装置で使用され、搬送手段により搬
送されてくるワークを載置する露光装置用露光テーブル
において、前記露光装置用露光テーブルは、そのワークの載置面
に、前記ワークとの離脱が容易となる表面処理加工を施
したことを特徴とする露光装置用露光テーブル。
【請求項２】露光装置で使用され、搬送手段により搬
送されてくるワークを載置する露光装置用露光テーブル
において、前記露光装置用露光テーブルは、その上部に当接板を、
係合手段を介して着脱自在に設け、その当接板の前記ワ
ークとの載置面に、前記ワークとの離脱が容易となる表
面処理加工を施したことを特徴とする露光装置用露光テ
ーブル。
【請求項３】前記載置面に施される表面処理加工は、
フッ素樹脂加工を施すことを特徴とする請求項１または
２に記載の露光装置用露光テーブル。