JPH0256989A - スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機 - Google Patents

スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機

Info

Publication number
JPH0256989A
JPH0256989A JP13275788A JP13275788A JPH0256989A JP H0256989 A JPH0256989 A JP H0256989A JP 13275788 A JP13275788 A JP 13275788A JP 13275788 A JP13275788 A JP 13275788A JP H0256989 A JPH0256989 A JP H0256989A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
station
index table
xyo
printing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP13275788A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0688405B2 (ja
Inventor
Tetsuji Machida
町田 鉄治
Kazuo Murata
村田 師男
Toshihiko Takeda
俊彦 竹田
Noriaki Mukai
範昭 向井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Plant Technologies Ltd
Original Assignee
Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Techno Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Priority to JP13275788A priority Critical patent/JPH0688405B2/ja
Priority to US07/359,631 priority patent/US4981074A/en
Publication of JPH0256989A publication Critical patent/JPH0256989A/ja
Publication of JPH0688405B2 publication Critical patent/JPH0688405B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/16Printing tables
    • B41F15/18Supports for workpieces
    • B41F15/22Supports for workpieces for single sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/0831Machines for printing webs
    • B41F15/0845Machines for printing webs with flat screens
    • B41F15/085Machines for printing webs with flat screens with a stationary screen and a moving squeegee
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Screen Printers (AREA)
  • Printing Methods (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は基板上に電子回路をスクリーン印刷で印刷する
方法とスクリーン印刷機に係り、特に基板の位置合せ作
業と印刷作業を流れ作業で行うに好適なスクリーン印刷
方法及びスクリーン印刷機に関する。
〔従来の技術〕
基板に電子回路を印刷するスクリーン印刷では基板をX
YOテーブル上に載置して吸引またはチャックで支持し
、画像処理装置によりXYOテーブルを移動して基板の
位置合せを行ったのちXYOテーブル上で印刷を行うよ
うになっており、位置合せ作業と印刷作業は流れ作業で
行なえない。
これに対しインデックステーブル上に基板を載置して連
続的に作業する方法と装置として特開昭61−1523
55号がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術では、インデックステーブルは単に部品を
保持して搬送する手段であって、画像認識装置による部
品の認識工程の画像データに対応したレジスタの出力に
基づいて作業工程の作業手段を操作することとなり、画
像認識装置による高精度の画像データから直接部品の位
置合せを行うことができず、部品の作業精度も劣る欠点
があった。とくに本発明の対象とする電子回路の回路ま
たは抵抗またはハンダの印刷では、印刷マスクのパター
ンは細かく精度の高いものであって、基板の位置に合せ
て作業手段を操作するのでは要求精度は得られない。
本発明の目的は、画像認識装置による認識工程では基板
の位置を印刷工程の印刷マスクの基準値に合せ、作業工
程である印刷工程では印刷だけを行うことにより印刷精
度の確保と印刷工程の時間を短くし、生産タクトを向上
することが可能なスクリーン印刷方法及びスクリーン印
刷機を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は、基板の印刷を基板の供給工程と位置合せ工
程と印刷工程と基板を排出位置に戻す複帰工程とに分割
して各作業ステーションとし、位置合せステーションに
は画像処理装置のカメラと昇降可能なXYOテーブルを
設け、搬送テーブルには真空または電磁式の吸着装置と
制御弁を設けて基板受台と基板を吸着し、供給ステーシ
ョンでは基板と基板受台とを吸着し、位置合せステーシ
ョンでは基板は基板受台に吸着を続けながら基板受台の
吸着は解除してXYOテーブルで位置合せ作業を行い、
印刷ステーションでは基板と基板受台を吸着支持して印
刷を行い、複帰ステーションでは基板の排出と次の基板
の供給を受ける位置に基板受台の吸引を解除して戻すこ
とが行われ、各作業ステーションにおいては搬送テーブ
ルの外側から外力または制御信号を制御弁に与えて吸着
を操作して各作業ステーションでの作業を行わしめるこ
とにより達成される。
〔作 用〕
各作業ステーション、とくに位置合せステーションと印
刷ステーションを分けて位置合せ作業を前に流れる基板
の印刷作業中に行えるようにし、搬送テーブルで順送り
することにより、基板の流れを一方向とすることができ
る。位置合せステーションでは、基板受台に吸着載置さ
れた基板の認識マークを画像処理装置のカメラで読みと
り、XYOテーブルにより印刷時の基準位置に基板を合
せて基板受台を搬送テーブル上に吸着し、印刷ステーシ
ョンに搬送する。基板の位置合せ作業時には、基板受台
の吸着を外力または制御信号で制御する制御弁で吸着を
解除し、基板受台をXYOテーブルの動きとともに移動
する把持装置または接融板により位置合せを行った後再
度搬送テーブル上に吸着せしめることにより搬送が可能
である。
吸着の解除は、基板受台については位置合せステーショ
ンと複帰ステーションであり、基板は給排ステーション
の排出時に行う。
〔実施例〕
以下1本発明の一実施例を説明す、る。第1図は本発明
の平面図で搬送テーブルであるインデックステーブル1
の周囲に基板の供給と排出を行う給排ステーション1a
と位置合せステーション1bと印刷ステーション1cと
複帰ステーション1dとが配設されている。第2図は第
1図のA−A断面図で、インデックステーブル1の中心
に旋回軸2を固着し、旋回軸2は軸受3により支持され
て軸端は軸継手4を介して駆動モータ5に連結している
。第3図はインデックステーブル1の下面に旋回軸受3
′を使用した他の実施例の断面図である。第4図は第1
図のB−B断面図で位置合せステーションを示す図で、
基板6は基板受台7に吸着載置し、基板受台7はインデ
ックステーブル1に吸着載置している。基板吸着孔8は
基板受台7に設けられ、基板受台吸着孔10はインデッ
クステーブル1に設けられインデックステーブル1に設
けた真空源12と配管(図示せず)により接続している
搬送コンベヤ(図示せず)で搬送された基板6は給排ス
テーション1aのローダ13の先端に吸着され、ローダ
13が90度旋回してa1位置からインデックステーブ
ル1の上のa2位置に基板6を供給する。ローダ13は
基板6の供給排出に使われる公知のものである。基板6
がa3位置に供給されるとインデックステーブル1は9
0度旋回して基板6を位置合せステーション1bに搬送
する。位置合せステーション1bでは、画像処理装置1
5のカメラ15で基板6の上に設けられた認識マーク(
図示せず)を読みとり、画像処理装置15に前もって記
憶されておいた印刷マスクの基準点(図示せず)との比
較的演算を行い、前記基準点とのいずれが許容値を超え
ているときは画像処理装置15はXYOテーブル17に
基板6の位置を修正する信号を出して基板6の位置合せ
を行う。カメラ16は基板6の種類により単数でもよい
が2個または3個と複数の場合が多く、インデックステ
ーブル1の上部に設置する。第4図の実施例は、xyo
テーブル16をインデックステーブル1の上部に設け、
XYOテーブル16の下部に把持装置18と把持駆動装
置19を設け、位置合せ作業時は基板受台7の吸着を解
除して把持装置19で基板受台7を把持し、XYOテー
ブル17の動きに合せて基板6を基板受台7とともに移
動する。第5図の実施例は、XYOテーブル17をイン
デックステーブル1の下部に設け、インデックステーブ
ル1には基板受台7′の突出部7″′が余裕のある間隔
をもって嵌入する孔1′をあけておく0位置合せ作業時
は基板受台7′の吸着を解除しXYOテーブル17の上
部に設けた昇降シリンダ20により接触板21を介して
前記の突出部7#をわずか押し上げて吸着し、XYOテ
ーブル17の動きに合せて位置合せを行い1位置合せが
終れば昇降シリンダ20を縮めてXYOテーブル17で
位置合せした状態を保ったままインデックステーブル1
7の上に基板6を基板受台7とともに吸着する。22は
接触板21の昇降ガイドである。第6図の実施例はばね
23で押し上げ枠21′を押し上げ昇降シリンダ20′
で下降させ、押し上げ枠21′は直線ガイド25と25
′により案内されている。位置合せが終るとインデック
ステーブル1は90度旋回して基板6を印刷ステーショ
ン1cに搬送し、スクリーン印刷装置25の昇降シリン
ダ26によりマスク27を基板6と所定の寸法を保つ位
置まで下降し、スキージ28がマスク27の上を摺動し
てスクリーン印刷を行う。印刷が終るとインデックステ
ーブル1はさらに90度旋回して基板6を複帰ステーシ
ョン1dに搬送し、位置合せステーション1bで基板6
上の認識マークに合せて移動した基板6を搬入時の位置
に戻し、排出後の搬送またはカセットへの収納に便なる
ようにする。またこの複帰ステーション1dで基板受台
7または7′の位置を戻すことにより、次の基板の供給
を受けたときにも所定位置に吸着載置ができる。複帰ス
テーション1dでの基板6の位置の戻しは位置合せステ
ーション1bの精度は必要ではないので、インデックス
テーブル1の外側に設けた公知のチャック(図示せず)
で基板受台7または7′の側面を把持することによって
行う。
第7図は基板6と基板受台7の吸着解除を制御する制御
弁部の断面図で、外力で制御する機械弁29は押し棒2
9′を備えており、例えば位置合せステーション1bで
は、インデックステーブル1の外側から押し棒29′を
押し上げるローラ30がばね31に支承されており、イ
ンデックステーブル1が旋回してくると押し捧29′を
押し上げて通気ポート32を開き、基板受台7の吸着を
解除する。さらに制御信号で制御する電気弁33の場合
は、例えば給排ステーション1aで基板6をローダ13
で排出する場合には、インデックステーブル1の外側に
設けた光信号発信機34の発信部34′から電気弁33
の受信部33′に光信号を送信して電気弁の通気ポート
32′を開いて基板6の吸着を解除し、ローダ13によ
る基板6の排出が可能となる。前記の真空吸着の真空源
12と電気弁33を駆動する電源は、インデックステー
ブル1の旋回軸2に公知のスリップリングを設けて供給
する。また軸接手4は、駆動モータ5の駆動トルクを伝
達できるものであって、インデックステーブル1を90
度づつ旋回して精度よく停止する必要があることから駆
動モータ5として使用される直接駆動方式多極電動機に
対応したものがよい。
第8図は本発明の更に他の実施例の平面図で、画像処理
装置を用いた検査ステーション1eを、印刷ステーショ
ン1cと複帰ステーション1dとの間に設け、インデッ
クステーブル1は72度づつ間歇旋回をすることにより
、基板6の供給から排出までを流れ作業で行えるように
したものである。
上記実施例ではインデックステーブル1を旋回して基板
6の搬送を行うが、基板6の位置を精度よく各作業ステ
ーションに搬送と停止が可能な搬送テーブルであれば円
板状のテーブルでなくてもよく、また停止位置を精度よ
く確保するには公知のテーパピンを基板受台に挿入する
方法も併用可能である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、搬送テーブルにより基板を搬送し、基
板の位置合せを行う位置合せステーションで画像処理装
置とXYOテーブルとにより基板の認識マークを読みと
ったときに位置合せを行って基板の位置精度を確保した
状態で搬送テーブル上に吸着して搬送ができるので1次
の印刷ステーションでは印刷のみを行えばよく、印刷装
置を基板の位置に合せる必要がなく、印刷装置の支持は
簡単となりマスクの位置精度も確保できる。また印刷を
行っている間に次に印刷すべき基板の位置合せを行って
おくことができるので生産タクトは短縮することができ
る。さらに本発明によれば、従来の画像処理装置を使っ
た印刷機では不可能であった流れ作業による位置合せと
印刷が行えるので、生産タクト改善の効果が大きい。
【図面の簡単な説明】
真断面図、第4図は第1図のB−B断面図、第5の実施
例のW断面図、第5図は吸着解除を制御する機械弁と電
気弁部の断面図、第8図は本発明の←他の実施例の平面
図である。 1・・・インデックステーブル、2・・・旋回軸、3,
3′・・・旋回軸受、4・・・軸継手、5・・・駆動モ
ータ、6・・・基板、7・・・基板受台、8・・・基板
吸着孔、10・・・基板受台吸着孔、12・・・真空源
、13・・・ローダ、15・・・画像処理装置、16・
・・カメラ、17・・・XYOテーブル、18・・・把
持装置、20.20’・・・昇降シリンダ、23・・・
ばね、25・・・印刷装置、27・・・マスク、29・
・・機械弁、30・・・ローラ、33・・・第1図 /6 / ・・・・・ イシテ゛ン7ステ −j +し13・
・・−〇−711 第 ? 図

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.被印刷物である基板の上の所定位置に画像処理装置
    とXYOテーブルにより所定精度で電子回路の回路また
    は抵抗またはハンダを印刷するスクリーン印刷において
    、基板の供給と排出とを行う給排ステーションと、前記
    画像処理装置とXYOテーブルとにより前記基板の上の
    認識マークを印刷基準位置に位置合せを行う位置合せス
    テーションと、前記位置合せされた基板の上に所定のス
    クリーン印刷を行う印刷ステーションと、前記位置合せ
    ステーションの位置合せにより移動した前記基板の位置
    を前記給排ステーションの供給位置に戻す複帰ステーシ
    ョンとに作業ステーションを分け、前記基板を給排ステ
    ーシヨン、位置合せステーション、印刷ステーション、
    複帰ステーションの順に搬送して基板の上に電子回路を
    印刷する印刷方法。
  2. 2.前記基板を円板状のインデックステーブルの上面に
    吸着載置し、前記インデックステーブルは間歇的に所定
    の角度を旋回し、前記のインデックステーブル上の基板
    を前記の給排ステーションと位置合せステーションと印
    刷ステーションと複帰ステーションの各作業ステーショ
    ンを順次搬送して前記基板の上に電子回路を印刷するこ
    とを特徴とする請求項1記載の印刷方法。
  3. 3.少なくとも前記基板の位置合せを行う位置合せステ
    ーションと印刷を行う印刷ステーションとは場所が異な
    り、前記基板は位置合せステーション印刷ステーション
    の順に作業を行なうことを特徴とする請求項1または2
    のいずれかに記載の印刷方法。
  4. 4.円板状のインデックステーブルの上に基板を吸着載
    置して間歇的に旋回し、前記基板を画像処理装置とXY
    Oテーブルによる位置合せステーションとスクリーン印
    刷を行う印刷ステーションを順次搬送して前記基板の上
    の所定位置に電子回路を印刷するスクリーン印刷機にお
    いて、前記インデックステーブルに所定数の所定の面積
    を有する貫通孔または切欠を設け、前記基板を吸着載置
    し前記インデックステーブルの貫通孔または切欠に所定
    の余裕間隔を有して嵌入する突出部を有する基板受台を
    前記インデックステーブル上に吸着載置し、前記位置合
    せステーションの前記インデックステーブルの上部には
    前記画像処理装置のカメラを単数または複数設置し下部
    には前記XYOテーブルを昇降可能に設置し、位置合せ
    作業時には前記基板受台の吸着を解除した状態として前
    記突出部に前記XYOテーブルを上昇して押し付けて前
    記画像処理装置の出力信号で前記XYOテーブルを操作
    して前記基板の位置合せを可能とした基板を搬送するイ
    ンデックステーブルと位置合せステーションとを有する
    ことを特徴とするスクリーン印刷機。
  5. 5.前記円板状のインデックステーブル上に前記基板を
    吸着載置する基板受台を所定位置に所定数載置し、前記
    位置合せステーションの前記インデックステーブルの上
    部には前記画像認識装置の単数または複数のカメラと前
    記基板受台を把持する把持装置を有するXYOテーブル
    を昇降可能に設け、位置合せ作業時には前記基板受台の
    吸着を解除した状態として前記把持装置を下降して前記
    基板受台を把持し前記画像認識装置の出力信号で前記X
    YOテーブルを操作して前記基板の位置合せを可能した
    位置合せステーションを有することを特徴とする請求項
    4記載のスクリーン印刷機。
  6. 6.前記インデックステーブルの上に、所定数のXYO
    テーブルを設け、前記位置合せステーションにおいては
    前記画像処理装置の出力信号を光信号または無線信号で
    前記XYOテーブルを操作して位置合せを可能とした光
    信号または無線信号操作XYOテーブルを設けたことを
    特徴とする請求項4記載のスクリーン印刷機。
  7. 7.前記位置合せステーションの前記インデックステー
    ブルの下部に設けられた昇降可能なXYOテーブルは、
    ばねに代表される弾性体とエアシリンダに代表される伸
    縮手段とに支持されかつ垂直に案内する直線ガイドに案
    内され、前記基板受台の突出部に前記XYOテーブルを
    押しあてるときは前記伸縮手段には伸縮力を与えないで
    弾性体の複元伸び力または複元縮み力により前記XYO
    テーブルを上昇可能とし、位置決め作業後は前記伸縮体
    で前記弾性体を縮めまたは伸ばして前記XYOテーブル
    を下降可能とした前記弾性体と伸縮手段と直動ガイドか
    らなるXYOJテーブル昇降手段を有することを特徴と
    する請求項4記載のスクリーン印刷機。
  8. 8.前記インデックステーブルの上部また下部に設けら
    れた前記基板と基板受台とを真空吸着する真空源と、前
    記インデックステーブルの前記基板と基板受台の載置個
    所に設けた真空吸着を外力を与えて制御する所定数の機
    械弁と、真空吸着を解除する必要のある作業ステーショ
    ンの前記インデックステーブルの外側に設けた前記機械
    弁の操作手段とからなることを特徴とする請求項4ない
    し7のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
  9. 9.真空吸着を前記インデックステーブルの外側に設け
    られた光信号または無線信号で制御可能な電気弁を設け
    たことを特徴とする請求項4ないし7のいずれかに記載
    のスクリーン印刷機。
JP13275788A 1988-06-01 1988-06-01 スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機 Expired - Lifetime JPH0688405B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13275788A JPH0688405B2 (ja) 1988-06-01 1988-06-01 スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機
US07/359,631 US4981074A (en) 1988-06-01 1989-05-31 Method and apparatus for screen printing

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13275788A JPH0688405B2 (ja) 1988-06-01 1988-06-01 スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0256989A true JPH0256989A (ja) 1990-02-26
JPH0688405B2 JPH0688405B2 (ja) 1994-11-09

Family

ID=15088845

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13275788A Expired - Lifetime JPH0688405B2 (ja) 1988-06-01 1988-06-01 スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0688405B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06328659A (ja) * 1993-05-21 1994-11-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 印刷装置および印刷方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101236295B1 (ko) * 2010-12-03 2013-02-26 주식회사 대영테크 로터리 작업방식의 터치윈도우 스크린 인쇄장치
CN105922723A (zh) * 2016-06-14 2016-09-07 广州九红智能装备有限公司 一种多功能丝印机转盘

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06328659A (ja) * 1993-05-21 1994-11-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 印刷装置および印刷方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0688405B2 (ja) 1994-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4981074A (en) Method and apparatus for screen printing
WO2018070016A1 (ja) スクリーン印刷機
KR20140001774A (ko) 땜납 볼 인쇄 탑재 장치
JP4499661B2 (ja) 基板搬送方法および装置
JP2000037846A (ja) ソルダペースト印刷機
WO2007074798A1 (ja) 基板処理装置への基板搬送方法
JPH0256989A (ja) スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機
JP4713776B2 (ja) 電気部品供給システム
CN114895539B (zh) 一种芯片光刻设备
JPS6242597A (ja) 電子部品実装装置
JPH01317000A (ja) 電子部品装着機
JP3058798B2 (ja) ロータリキャリアのワーク供給・取出し装置
JP4145439B2 (ja) 電子部品装着装置
JPS59133149A (ja) プリント基板位置決め装置
JP2578035B2 (ja) 基板位置決め方法
JP2000174158A (ja) ボールマウント装置
JPH029633A (ja) スクリーン印刷方法とスクリーン印刷機
JP3231246B2 (ja) 露光装置
JP2000127590A (ja) 刻印装置
JPH06166166A (ja) スクリーン印刷機用の被印刷物搬送装置
JP2000150546A (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
USRE33641E (en) Method and apparatus for proper registration of mating parts
JP6961444B2 (ja) 印刷装置および印刷方法
JP2009125934A (ja) 基板切断装置
JP2514931B2 (ja) 電子部品装着装置

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071109

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081109

Year of fee payment: 14

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081109

Year of fee payment: 14