KR20140001774A - 땜납 볼 인쇄 탑재 장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
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Abstract

기판을, 평평한 면을 구비한 제 1 반송 캐리어 상에 탑재하여 플럭스 인쇄기의 인쇄 테이블 상에, 플럭스 인쇄기로부터 제 2 반송 캐리어 상으로, 제 2 반송 캐리어 상으로부터 땜납 볼 인쇄기의 인쇄 테이블 상으로, 땜납 볼 인쇄기로부터 제 3 반송 캐리어 상으로, 진공 흡착 패드를 복수 구비한 제 1 반입 기구, 제 1 반출 기구, 제 2 반입 기구, 제 2 반출 기구를 이용하여 옮겨 탑재하고, 인쇄 테이블상의 기판의 네 모서리, 및 마스크의 네 모서리에 설치한 위치 맞춤 마크를 반송 방향의 앞쪽과 뒤쪽을 다른 카메라 유닛에 동시에 촬상하여, 위치 어긋남 양을 구하는 구성으로 하였다.

Description

땜납 볼 인쇄 탑재 장치{SOLDER BALL PRINTING MOUNTED APPARATUS}
본 발명은 반도체 기판의 전극 상에 땜납 볼을 인쇄하기 위한 인쇄기에 관련된 것으로서, 특히 플럭스를 인쇄하는 플럭스 인쇄기와 땜납 볼을 인쇄하는 땜납 볼 인쇄기를 연동(連動)시킨 땜납 볼 인쇄 탑재 장치에 관한 것이다.
종래의 땜납 볼 인쇄 탑재 장치에서는, 플럭스 인쇄기나, 땜납 볼을 탑재하는 볼 마운터 등을 가로 일렬로 배치하여, 각 장치 간에 있어서의 기판의 주고받기를 벨트 컨베이어에 의해서 행하는 방법이 이용되고 있다. 마찬가지의 전자 부품 제조 장치에서도, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 직선 형상으로 이동할 수 있는 벨트 컨베이어를 배치하여, 벨트 컨베이어 상에 탑재된 기판을 각 장치에 주고받아, 각각의 장치에서 처리를 행하는 전자 부품 제조 장치가 개시되어 있다. 즉, 반도체 칩의 기판 상에의 탑재로부터 반도체 칩의 밀봉 등까지를 일관된 라인에서 연속적으로 행하는 전자 부품 제조 장치가 개시되어 있다.
일본국 공개특허 특개평11-121473호 공보
특허문헌 1에 기재된 전자 부품 제조 장치에서는, 회로기판의 반송을 벨트 컨베이어에 의해서 이동시키는 구성이며, 컨베이어 상으로부터 각 장치에의 회로 기판의 주고받기는 장치에 설치한 리프터를 이용하여 행하는 방식이다. 이 방식에서는 벨트 컨베이어 상을 회로기판이 이동하는 동안에, 벨트 컨베이어의 동작 개시시나 정지시에 기판에 힘이 작용하여 기판의 위치 어긋남이 발생한다. 기판의 위치 어긋남을 방지하기 위하여, 각 장치에서는 처리를 개시하기 전에 반드시 기판의 위치 맞춤의 동작을 필요로 하고 있다.
또한, 특허문헌 1에 기재된 전자 부품 제조 장치는 하나의 벨트 컨베이어를 각 장치 전체에 건너질러 회로기판을 반송하는 구성이다. 택트 타임이 긴 장치가 있으면, 그 장치에 맞추어 벨트 컨베이어를 구동하게 되어, 택트 타임을 단축하기가 어렵다.
또, 기판의 두께가 0.5 ㎜∼0.1 ㎜로 얇아지면 기판에 큰 휨이 발생하여 벨트 컨베이어에 의한 반송을 할 수 없게 된다. 또, 기판 중앙에 휨 방지의 벨트를 설치하면, 테이블 중앙으로 벨트가 통과하기 때문에, 정밀도가 좋은 인쇄를 할 수 없게 되는 등의 문제가 있다.
그래서, 본 발명의 목적은 상기 과제를 해결하여, 장치의 소형화를 도모함과 함께, 간단한 동작으로 휨이 발생한 얇은 기판을 반송할 수 있고 또한 정밀도 좋게 필요한 양의 땜납 볼을 인쇄할 수 있는 땜납 볼 인쇄 탑재 장치를 제공하는 데에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는, 기판을 탑재하여 플럭스 인쇄기에 반송하는 제 1 반송 캐리어를 구비한 제 1 반송부와, 제 1 반송부의 플럭스 인쇄기 측의 상부에 설치되고, 제 1 반송 캐리어 상방(上方)에 기판 반송 방향으로 이동 가능하게 설치된 제 1 반입 기구와, 플럭스 인쇄기에 의해 플럭스를 인쇄한 기판을 제 2 반송 캐리어에 옮겨 탑재하기 위한 제 1 반출 기구와, 제 2 반송 캐리어로부터 땜납 볼 인쇄기에 옮겨 탑재하는 제 2 반입 기구와, 땜납 볼을 충전한 기판을 제 3 반송 캐리어에 옮겨 탑재하는 제 2 반출 기구를 구비하며, 플럭스 인쇄기의 인쇄 테이블 상에 탑재한 기판의 네 모서리에 설치한 위치 맞춤 마크와 마스크의 네 모서리에 설치한 위치 맞춤 마크를, 제 1 반입 기구에 설치한 카메라 유닛과 제 1 반출 기구에 설치한 카메라 유닛으로 동시에 촬상함과 함께, 땜납 볼 인쇄기의 인쇄 테이블 상에 탑재한 기판과 마스크에 설치한 위치 맞춤 마크를 제 2 반입 기구와 제 2 반출 기구에 설치한 카메라 유닛으로 촬상하여 제어부에서 위치 어긋남 양을 구하여, 인쇄 테이블을 수평 이동하여 위치 어긋남을 보정하는 구성으로 한 것을 특징으로 한다.
상기 구성으로 함으로써, 기판 반송시의 기판의 변형을 없애고, 인쇄 테이블 상으로의 기판의 주고받기도 원활해져서 인쇄에 걸리는 시간을 단축할 수 있고도 정밀도가 좋은 땜납 볼 인쇄를 할 수 있다.
도 1은 땜납 볼 인쇄 탑재 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 플럭스 인쇄기와 주변기기의 정면도이다.
도 3 (a)는 제 1 반송부의 상면도이다.
도 3 (b)는 제 1 반송부의 단면도이다.
도 4 (a)는 제 1 반송 캐리어의 단면도이다.
도 4 (b)는 제 1 반송 캐리어의 단면도에서, 기판을 옮겨 탑재할 때의 기판 낙하 방지판 아암이 동작한 상태이다.
도 5는 땜납 볼 인쇄 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
이하에 도면을 이용하여 본 발명을 설명한다. 도 1에 본 발명의 땜납 볼 인쇄 탑재 장치의 전체 배치도를 나타낸다. 도 2에 플럭스 인쇄부의 개략적인 구성을 나타낸다.
도 1에 나타낸 바와 같이 본 발명의 땜납 볼 인쇄 탑재 장치는, 플럭스 인쇄기(4)와 땜납 볼 인쇄기(5)를 직선 형상으로 배치함과 함께, 인쇄하는 기판을 플럭스 인쇄기(4)에 반송하는 제 1 반송부(1)와, 플럭스 인쇄기(4)에 의해 플럭스를 인쇄한 기판을 땜납 볼 인쇄기(5)에 반송하는 제 2 반송부(2)와, 땜납 볼 인쇄기로 인쇄한 기판을 도시하고 있지 않은 검사 리페어 장치 또는 리플로우 로(爐)에 반송하는 제 3 반송부(3)로 구성한다. 제 1 반송부(1)로부터 플럭스 인쇄기(4)로 기판을 주고받기 위하여, 복수의 흡착 패드를 구비한 제 1 반입 기구(41)가 제 1 반송부(1)의 상방부와 플럭스 인쇄기(4)를 왕래할 수 있게 설치되어 있다. 또한, 제 1 반입 기구(41)에 인접하여 제 1 판(版) 아래 청소기(80)가 설치되어 있다. 또, 플럭스 인쇄기(4)로부터 기판을 수취한 후에 제 2 반송부(2)에 기판을 주고받기 위한 제 1 반출 기구(42)와, 제 2 반송부(2)로부터 땜납 볼 인쇄기(5)에 기판을 주고받는 제 2 반입 기구(51)가 설치되어 있다. 또한, 땜납 볼 인쇄기(5)로부터 기판을 수취하여, 제 3 반송부(3)에 기판을 주고받는 제 2 반출 기구(52)가 설치되어 있다. 또, 제 2 반입 기구(51)에 인접하여 제 2 판 아래 청소기(90)가 설치되어 있다. 또한, 제 1 반입 기구, 제 2 반입 기구, 및 제 1 반출 기구, 제 2 반출 기구의 인쇄기 측에는 위치 맞춤 마크를 검출하기 위한 카메라 유닛(41a, 42a, 51a, 52a)이 각각 설치되어 있고, 제 1, 2 반입 기구, 제 1, 2 반출 기구와 함께 이동하도록 구성되어 있다. 인쇄 대상인 기판의 네 모서리에는 위치 맞춤 마크가 설치되어 있고, 반입 기구 및 반출 기구의 카메라 유닛(41a, 42a, 51a, 52a)에 의해 이 마크를 기판 반송 방향의 전후의 마크를 동시에 검출하여 위치 맞춤을 행한다.
도 2에 플럭스 인쇄기를 중심으로 한 기판 반송의 상태를 나타낸다.
제 1 반송부(1)에 반입된 기판(7)은 가운데가 비어 있는 화살표 40 방향으로 이동하여, 제 1 반입 기구(41)에 의해서 플럭스 인쇄기(4)의 인쇄 테이블(46) 상에 옮겨 탑재된다. 인쇄 테이블(46) 상의 기판(7)은 카메라 유닛(41a)과 카메라 유닛(42a)에 의해서, 기판(7)과 마스크(44)에 설치되어 있는 위치 맞춤 마크를 촬상하여, 위치 맞춤 후에 플럭스를 인쇄한다. 인쇄가 종료되면 제 1 반출 기구(42)에 의해, 제 2 반송부(2)에 주고받아진다. 제 1 반송부(1)는 제 1 반송 가대(架臺)(11) 상에 제 1 반송 캐리어(12)가 리니어 레일(15)과 로드리스 공압(空壓) 실린더(13)로 구성된 구동부에 의해 수평 방향으로 이동할 수 있게 구성되어 있다. 이 제 1 반송 캐리어(12) 상에 탑재되어 반송되어 온 기판(7)을, 인쇄 테이블(46) 상에 주고받기 위한 제 1 반입 기구(41)가 설치되어 있다. 이 제 1 반입 기구(41)는 부압(負壓)의 공급구멍을 갖는 복수의 흡착 패드(73)가 흡착 패드 지지판(72)에 설치되어 있다. 제 1 반송 캐리어(12)의 기판 탑재면에는 복수의 흡착구멍이 마련되어 있고, 흡착구멍에 부압을 공급함으로써 기판(7)을 유지하여, 기판(7) 반송시에 기판(7)이 어긋나는 것을 방지하고 있다.
또, 제 1 반입 기구(41)는, 흡착 패드 지지판(72)이 상하로 이동할 수 있는 구동 장치로서, 실린더로 이루어지는 흡착 패드 상하 구동 기구(74)가 흡착 패드 지지판(72)의 상부에 접속하여 설치되어 있다. 또, 이 제 1 반입 기구(41)에는, 기판에 미리 설치된 위치 맞춤 마크의 위치를 검출하기 위한 카메라 유닛(41a)이 부착되고, 일체로 수평 방향으로 이동할 수 있게 설치되어 있다. 또, 제 1 반입 기구(41)에 인접하여 플럭스 인쇄기(4)의 마스크 하면(下面)을 청소하는 제 1 판 아래 청소기(80)가 설치되어 있다. 제 1 판 아래 청소기(80)는 청소용 포(布)를 권출(卷出) 드럼(83)으로부터 풀어 청소부(81)를 경유하여 권취(卷取) 드럼(82)에 감는 구성이다. 이 제 1 판 아래 청소기(80)와 카메라 유닛(41a)은 도시하고 있지 않은 실린더에 의해 연결되어 있다. 제 1 판 아래 청소기(80)는 마스크(44) 하면에 청소부(81)를 접촉시키면서 기판 반송 방향으로 이동시켜 청소한다. 인쇄 테이블(46)은 기판(7)을 탑재하여 상하 이동과 수평 방향(XY θ 방향) 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 인쇄 테이블(46) 위에 마스크(44)가 설치되어 있고, 인쇄 테이블(46)에 탑재된 기판(7)은 카메라 유닛(41a) 및 카메라 유닛(42a)에 의해서 기판의 네 모서리에 설치된 위치 맞춤 마크를 검출하여 위치 맞춤을 행한 후 인쇄 테이블(46) 상의 기판(7)이 마스크 면에 접촉하는 위치까지 상승할 수 있다. 즉, 기판 반송 방향 측(앞쪽) 2점을 카메라 유닛(42a)으로, 뒤쪽 2점을 카메라 유닛(41a)으로 촬상한다. 또한, 기판(7)을 인쇄 테이블(46)에 탑재하기 전에 반송부(1)에서 X,Y 방향으로 1차 위치 결정할 수 있도록 위치 결정 스토퍼가 설치되어 있고, 인쇄 테이블에 옮겨 탑재할 때에는 큰 위치 어긋남을 발생시키는 일은 없다.
또한, 제 1 반입 기구(41)의 X 방향 기판 위치 결정 기구(16) 및 Y 방향 기판 위치 결정 기구(17)의 선단부는, 기판 사이즈가 변경된 경우에 위치를 가변할 수 있도록, 마그넷 등을 이용하여 스토퍼의 부착, 분리를 간단하게 할 수 있도록 해도 된다.
마스크(44)의 상방에는 마스크 면 상에 공급된 플럭스를, 마스크(44)의 개구부를 거쳐 기판 전극 상에 인쇄하기 위한 스퀴지 헤드(43)가 설치되어 있다. 이 스퀴지 헤드(43)는 도시하고 있지 않은 우레탄 고무 등이 헤드 부착 부재에 부착되고, 상하로 이동할 수 있게 되어 있다. 또, 헤드 부착 부재는 기판 반송과 직각 방향으로 (수평) 왕복 운동하도록 볼 나사와 구동 모터로 구성한 헤드 구동 기구가 더 설치되어 있다.
또한, 도 2에서는 플럭스 인쇄기의 기판 주고받기 상태를 이용하여 설명하였는데, 땜납 볼 인쇄기의 주변 구성도 거의 동일한 구성이다. 단, 인쇄 대상이 다르기 때문에, 플럭스를 인쇄하기 위한 스퀴지 헤드(43)와, 땜납 볼을 충전하기 위한 충전 헤드(45)의 구조가 다르다. 여기서는, 스퀴지 헤드(43) 및 땜납 볼 충전 헤드(45)의 상세 구성에 관해서는 설명을 생략한다.
도 3 (a), 3 (b)에 제 1 반송부의 개략적인 구조를 나타내고, 도 4(a), 4 (b)에는 Y 방향의 단면을 나타낸다. 제 1 반송 캐리어(12)의 기판 반송 방향을 X 방향, 기판 반송 방향에 직각인 방향을 Y 방향으로 한다.
제 1 반송부(1)는, 제 1 반송 캐리어 가대(11), 그 위에 설치한, 기판(7)을 탑재하는 제 1 캐리어부(12), 제 1 캐리어부(12)를 구동하기 위한 로드리스 공압 실린더(13), 제 1 반입 기구(41)에 기판을 주고받을 때, 기판의 탑재 위치를 대략 일정하게 하기 위한 한 쌍의 X 방향 기판 위치 결정 기구(16) 및 한 쌍의 Y 방향 기판 위치 결정 기구(17)로 구성되어 있다. 제 2 반송부(2) 및 제 3 반송부(3)도 제 1 반송부(1)와 거의 동일한 구성으로 되어 있다. 또한, 제 1 반송 캐리어(12)의 정지 위치를 조정하기 위하여 조정 볼트(18)를 설치하고 있다. 제 2 반송부(2), 제 3 반송부(3)에도 동일한 정지 위치 조정 스토퍼가 설치되어 있다.
또, 도 4 (a), 4 (b)에 나타낸 바와 같이 제 1 반입 기구(41)이 기판(7)을 흡착 유지할 때에 기판이 낙하했을 때에 기판(7)에 데미지를 주지 않도록 구동 실린더(19)를 구비한 기판 낙하 방지판 아암(19a)에 의해 기판(7)의 하부를 유지하도록 하고 있다.
다음으로, 본 장치의 동작을 도 5 (1)∼(4)를 이용하여 설명한다.
도 5 (1)은 플럭스 인쇄기(4) 및 땜납 볼 인쇄기(5)에 의해 플럭스의 인쇄 및 땜납 볼의 인쇄(충전)을 행하고 있는 경우의 각 부분의 상태를 나타내고 있다.
제 1 반송부(1)의 제 1 반송 캐리어(12)는, 플럭스 인쇄기(4)의 방향으로 기판(7)을 탑재하여 이동한다. 이 때, 제 1 반입 기구(41)는 제 1 반송부(1) 측에서 대기하고 있다. 제 1 반출 기구(42)는 제 2 반송부(2) 상에서 대기 상태로 되어 있다. 또, 제 2 반송부(2)의 제 2 반송 캐리어(22)는, 플럭스 인쇄기(4) 측으로 이동하여, 제 1 반출 기구(42) 아래에서 대기하고 있다. 플럭스 인쇄기(4)에서는, 기판(7)의 전극 상에 플럭스를 인쇄하고 있다. 제 2 반입 기구(51)는, 제 2 기판 반송 캐리어(22)로부터 수취한 기판을 흡착 유지하여 상승시켜 대기하고 있다. 이 때, 만일 기판(7)이 낙하하더라도 기판(7)에 데미지를 주지 않도록 도 4 (b)에 나타낸 바와 같이 아암(19a)을 내밂으로써 기판(7)의 낙하를 방지한다. 땜납 볼 인쇄기(5)에서는, 플럭스가 도포된 기판 전극 상에 땜납 볼을 충전한다. 제 2 반출 기구(52)는, 땜납 볼 인쇄기(5)에 의해 땜납 볼의 탑재가 완료될 때까지 제 3 반송부(3) 위에서 대기하고 있다.
다음으로, 기판 상에 플럭스의 인쇄 및 땜납 볼의 충전이 종료되면 도 5 (2)의 상태로 이행한다. 즉, 제 1 반송부(1)의 제 1 반송 캐리어(12)가 기판(7)을 싣고 플럭스 인쇄기(4) 측으로 이동하고, 제 1 반송부(1)의 상부에서 대기하고 있던 제 1 반입 기구(41)가 흡착 유지하여 대기한다. 플럭스 인쇄기(4)의 인쇄 테이블을 강하시켜, 제 2 반송부(2) 상에 대기하고 있던 제 1 반출 기구(42)를 기동한다. 테이블 상의 플럭스를 인쇄한 기판(7)을 제 1 반출 기구(42)에 의해 흡착 유지한다. 제 2 반송부(2)의 제 2 반송 캐리어(22)는 플럭스 인쇄기(4) 측으로 이동한다. 플럭스를 인쇄한 기판을 유지하고 있는 제 2 반입 기구(51)는 대기 상태를 계속한다. 땜납 볼의 충전을 종료한 땜납 볼 인쇄기(5)는 강하하여 제 2 반출 기구(52)는 땜납 볼 인쇄 테이프 상으로 이동하여, 충전이 완료된 기판을 흡착 유지한다. 제 3 반송부(3)의 제 3 반송 캐리어(32)는 대기 상태를 유지하고 있다.
다음으로, 도 5 (3)의 공정으로 이행한다. 즉, 플럭스 인쇄기(4)로 인쇄한 기판(7)을 제 1 반출 기구(42)에 의해 흡착 유지하여 제 2 반송부(2) 측으로 이동함과 동시에, 제 1 반송부(1) 위에서 기판(7)을 유지하여 대기하고 있던 제 1 반입 기구(41)가 플럭스 인쇄기(4)의 인쇄 테이블 상으로 이동한다. 제 1 반출 기구(42)는 제 2 반송부(2)의 제 2 반송 캐리어(22) 상으로 이동하고, 제 2 반송 캐리어(22) 상에 기판(7)을 주고받는다. 또, 제 2 반입 기구(51)는 땜납 볼 인쇄기(5) 상으로 이동하여, 플럭스가 인쇄된 기판(7)을 인쇄 테이블 상에 주고받는다. 또한, 제 2 반입 기구(51)가 동작함과 동시에 제 2 반출 기구(52)이 동작하여, 땜납 볼을 충전한 기판을 제 3 반송부(3)의 제 3 반송 캐리어(32) 상으로 이동하여 캐리어 상에 기판의 주고받기를 행한다.
다음으로, 도 5 (4)의 공정으로 이동한다.
이 공정에서는, 제 1 반송부(1)에서는 신규 기판(7)을 제 1 반송 캐리어(12) 상에 탑재한다. 제 1 반송부(1)의 상부의 제 1 반입 기구(41)는 빈 상태로 대기한다. 플럭스 인쇄기(4)에서는 플럭스를 인쇄한다. 제 2 반송부(2)에서는 제 2 반송 캐리어(22)가 플럭스를 인쇄한 기판(7)을 싣고 땜납 볼 인쇄기(5) 측으로 이동중이다. 또, 제 1 반출 기구(42)는 빈 상태로 제 2 반송부(2) 상에 대기한다. 마찬가지로 제 2 반입 기구(51)는 플럭스를 인쇄한 기판(7)을 수취하기 위하여 제 2 반송부(2) 위에서 대기한다.
땜납 볼 인쇄기(5)는 땜납 볼의 인쇄를 행한다. 제 3 반송부(3)의 제 3 반송 캐리어(32)는 땜납 볼의 인쇄(충전)이 종료된 기판을 탑재하여 기판 반출측으로 이동중이다. 또, 제 2 반출 기구(52)는 제 3 반송부(3) 위에서 대기중이다.
또, 플럭스의 인쇄를 수십 회 행하면, 인쇄 테이블을 강하시킨 상태에서, 제 1 반입 기구(41)와 제 1 판 아래 청소기(80)를 기판 이동 방향으로, 제 1 판 아래 청소기(80)가 마스크(44)의 하면에 위치할 때까지 이동시킨다. 그리고, 마스크(44)를 제 1 판 아래 청소기(80)의 청소부(81)의 청소용 포가 마스크(44) 이면에 접촉할 때까지 상승시킨다. 그 후, 제 1 판 아래 청소기(80)를 기판 반송 방향으로 이동시킴으로써 판 아래 청소를 실행한다. 마스크의 판 아래 청소가 종료되면 청소용 포의 더러워진 부분이 감기고, 판 아래 청소기 및 제 1 반입 기구(41)는 대기위치로 되돌아간다.
또한, 제 1, 제 2 반입 기구 및 제 1, 제 2 반출 기구를 이용하여 기판(7)을 반송 캐리어로부터 인쇄 테이블 또는 인쇄 테이블로부터 반송 캐리어에 주고받을 때에는, 예를 들면 도 2에 나타낸 바와 같이, 제 1 반입 기구(41)에 의해서 제 1 반송 캐리어 상의 기판을 흡착 유지하여 플럭스 인쇄 테이블 상에 탑재한다. 그 후, 제 1 반입 기구(41)와 제 1 반출 기구(42)를 기판 상으로 이동하여 카메라 유닛(41a, 42a)에 의해, 기판의 네 모서리에 설치되어 있는 위치 맞춤 마크와 마스크에 설치되어 있는 위치 맞춤 마크를 촬상한다. 그리고, 도시하고 있지 않은 제어부에서 위치 어긋남 양을 구한다. 또한, 카메라 유닛에 설치되어 있는 카메라는 상하 2 시야 카메라여서, 기판(7)과 마스크(44)를 동시에 촬상할 수 있다. 위치 어긋남 양이 구해지면 인쇄 테이블(46)을 수평 방향으로 이동함으로써 위치 맞춤을 행한다. 위치 맞춤이 종료되면, 제 1 반입 기구(41)와 제 1 반출 기구(42)를 퇴피시키고, 인쇄 테이블(46)을 상승시켜 마스크 면에 접촉시킨다. 다음으로, 인쇄 헤드를 마스크 면에 강하시켜 스퀴지를 마스크 면에 접촉시키고, 인쇄 헤드를 수평 이동시킴으로써 플럭스의 인쇄를 행한다. 플럭스의 인쇄가 종료되면, 플럭스 인쇄 테이블(46)을 강하시켜, 제 1 반출 기구(42)를 인쇄 테이블(46) 상으로 이동하여 기판(7)을 흡착 유지하여 제 2 반송부(2)로 이동하여 제 2 반송 캐리어(22)에 탑재한다. 이상이 인쇄 동작의 개략이다.
또, 땜납 볼 인쇄기(5)에 있어서도, 기판과 마스크의 위치 맞춤은 플럭스 인쇄기와 거의 동일한 동작으로 행한다.
이상의 구성으로 함으로써, 휘기 쉬운 박형 기판이더라도 반송할 수 있고, 또한 기판을 주고받는 데에 걸리는 시간도 단축할 수 있으며, 정밀도가 더 좋은 인쇄가 가능하게 된다.
1 : 제 1 반송부 2 : 제 2 반송부
3 : 제 3 반송부 4 : 플럭스 인쇄기
5 : 땜납 볼 인쇄기 7 : 기판
11 : 제 1 반송 가대 12 : 제 1 반송 캐리어
13 : 로드리스 공압 실린더 15 : 리니어 레일
16 : X 방향 기판 위치 결정 기구 17 : Y 방향 기판 위치 결정 기구
18 : 조정 볼트 19 : 구동 실린더
19a : 기판 낙하 방지판 아암 22 : 제 2 반송 캐리어
32 : 제 3 반송 캐리어 40 : 기판 진행 방향
41 : 제 1 반입 기구 41a : 카메라 유닛
42 : 제 1 반출 기구 42a : 카메라 유닛
43 : 스퀴지 헤드 44 : 마스크
45 : 땜납 볼 충전 헤드 46 : 인쇄 테이블
51 : 제 2 반입 기구 52 : 제 2 반출 기구
72 : 흡착 패드 지지판 73 : 흡착 패드
74 : 상하 기구 80 : 제 1 판 아래 청소기
81 : 청소부 82 : 권취 드럼
83 : 권출 드럼 90 : 제 2 판 아래 청소기

Claims (4)

  1. 기판을 탑재하여 플럭스 인쇄기에 반송하는 제 1 반송 캐리어를 구비한 제 1 반송부와, 상기 제 1 반송부의 플럭스 인쇄기 측의 상부에 설치되고, 상기 제 1 반송 캐리어 상방에, 기판 반송 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상기 제 1 반송 캐리어로부터 상기 플럭스 인쇄기에 옮겨 탑재하는 제 1 반입 기구와, 상기 플럭스 인쇄기에 의해 플럭스를 인쇄한 기판을 제 2 반송 캐리어에 옮겨 탑재하기 위한 제 1 반출 기구와, 상기 제 2 반송 캐리어로부터 땜납 볼 인쇄기에 옮겨 탑재하는 제 2 반입 기구와, 땜납 볼을 충전한 기판을 제 3 반송 캐리어에 옮겨 탑재하는 제 2 반출 기구를 구비하며, 상기 플럭스 인쇄기의 인쇄 테이블 상에 탑재한 기판의 네 모서리에 설치한 위치 맞춤 마크와, 상기 플럭스 인쇄기 상방 및 땜납 볼 인쇄기 상방에 배치되는 마스크의 네 모서리에 설치한 위치 맞춤 마크를 상기 제 1 반입 기구에 설치한 카메라 유닛과, 상기 제 1 반출 기구에 설치한 카메라 유닛으로 동시에 촬상함과 함께, 땜납 볼 인쇄기의 인쇄 테이블 상에 탑재한, 기판과 마스크에 설치한 상기 위치 맞춤 마크를 상기 제 2 반입 기구와 상기 제 2 반출 기구에 설치한 카메라 유닛으로 촬상하여 제어부에서 위치 어긋남 양을 구하여, 인쇄 테이블을 수평 이동하여 위치 어긋남을 보정하는 구성으로 한 것을 특징으로 한 땜납 볼 인쇄 탑재 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 반입 기구, 및 상기 제 1, 2 반출 기구에는 흡착 패드 지지판에 복수의 진공 흡착 패드가 설치되고, 상기 진공 흡착 패드 지지판을 상하로 이동시키기 위한 구동기구와 흡착 패드에 부압을 공급하는 진공기구가 접속되어 있는 구성인 것을 특징으로 하는 땜납 볼 인쇄 탑재 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1∼3 반송 캐리어의 기판 탑재면 및 상기 플럭스 및 땜납 볼을 인쇄하는 인쇄 테이블 및 땜납 볼 인쇄 테이블의 기판 탑재면에는 복수의 흡착구멍이 마련되어 있고, 기판 반송시 및 기판 인쇄시에 상기 흡착구멍에 부압을 공급하여 기판을 탑재면에 고정하는 것을 특징으로 하는 땜납 볼 인쇄 탑재 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1∼제 3 반송부에 설치한 상기 제 1∼제 3 반송 캐리어에는, 상기 기판의 탑재 위치를 규정하는 X 방향 및 Y 방향의 위치 결정 기구를 설치한 것을 특징으로 하는 땜납 볼 인쇄 탑재 장치.
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