JPH04107464A

JPH04107464A - 露光装置

Info

Publication number: JPH04107464A
Application number: JP2226244A
Authority: JP
Inventors: Seiichiro Toyoda; 誠一郎豊田; Sadao Funyu; 船生　貞夫; Tetsuo Kashiwazaki; 哲夫柏崎; Kazuo Fujita; 和雄藤田; Kazunori Sasage; 一徳捧; Sadajiro Yamamoto; 山本　定治郎
Original assignee: Ono Sokki Co Ltd
Current assignee: Ono Sokki Co Ltd
Priority date: 1990-08-28
Filing date: 1990-08-28
Publication date: 1992-04-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、原版フィルムと基板とを密着して露光する露
光装置に関するものである。

〔従来の技術〕

回路パターンを基板に転写する方法として、回路パター
ンに対応する透光又は遮光パターンを形成した原版フィ
ルムを、基板に重ねて露光することが知られている。こ
の場合に、十分な解像度を得るために、平行光で露光す
るか、又は、原版フィルムと基板を密着させる必要があ
る。

また、原版フィルムや基板を自動的に位置決めするため
に、位置決めする整合部と、重ね合わせテーブルを別の
位置に配置して、整合部で位置決めした原版フィルムを
重ね合わせテーブルに搬送したのち、同じように、整合
部で位置決めした基板を重ね合わせテーブルに搬送して
、両者の整合をとる方法が既に提案されている（特開昭
６１２８１５８３）。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記提案が適用される露光装置では、原版フィルムを搬
送した後に、基板を重ね合わせて下側から露光していた
ので、原版フィルムにゴミ等が付着して、露光不良が発
生ずる可能性があった。

また、露光光源からの熱により、原版フィルムを貼付す
る透光性板に熱歪みが発生し、露光精度が悪くなるとい
う問題かあった。

本発明の目的は、原版フィルムにゴミ等が付着するのを
防止できる露光装置を提供することである。

本発明の他の目的は、露光光源からの熱により、原版フ
ィルムを貼付する透光性板に熱歪みの影響が出ない露光
装置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

前記課題を解決するために、本発明による露光装置は、
原版フィルム又は基板を整合テープルートで位置決めす
る整合部と、前記整合部で位置決めされた前記原版フィ
ルム又は前記基板をその位置を保ったまま１般送する搬
送部と、前記搬送部で１般送された前記原版フィルムを
フィルム枠の下面に貼イ」シ、次いて前記搬送部で搬送
された前記基板を露光テーブル上に載置したのち、前記
原版フィルムと前記基板とを密着させて上側から露光す
る露光部とを含む構成としである。

また、本発明による露光装置は、原版フィルムが貼付さ
れる透光性板を支持するフィルム枠と。

前記フィルム枠の４辺に設けられ、各辺の中心と直交す
る基準面が形成され、その基準面の反対側に当たり面が
形成されたガイド部材と、前記ガイド部材の基準面に、
その接線で接触するように配置された基準ローラと、前
記基準ローラに前記基準面を押し付け、前記当たり面側
から前記ガイド部材を押さえて前記フィルム枠を固定す
る押さえローラとからなるフィルム枠固定機構を設けた
構成とすることができる。

この場合に、前記ガイド部材の当たり面が斜面になって
おり、前記押さえローラによって押さえるときに、その
押さえローラが前記当たり面を斜め下方に押し付けて固
定するようにしたフィルム枠固定機構を設けた構成とす
ることができる。

更に、本発明による露光装置は、前記フィルム枠の１辺
側を上昇させる駆動手段と、前記フィルム枠の他辺側か
平行移動するようにガイドするガイド手段とを含み、前
記フィルム枠の１辺側を上昇させたときに、下面が操作
者側を向くように前記フィルム枠を開閉するフィルム枠
開閉機構を設けた構成とすることかできる。

〔作用〕

本発明によれば、フィルム枠の下側に原版フィルムを貼
付できるので、原版フィルムへのゴミ等の付着や残留を
防止できる。

また、フィルム枠固定機構によって、フィルム枠の中心
位置で固定するので、フィルム枠及び原版フィルムに熱
による伸縮があっても中心位置は変化しない。

更に、フィルム枠固定機構によって、フィルム枠を下方
に押し付けるので、フィルム枠は浮き−にからない。

更にまた、フィルム枠開閉機構によって、フィルム枠を
開閉して、原版フィルムに補強テープを貼ったり、原版
フィルムの清掃をすることができる。

［実施例］以下、図面等を参照して、実施例につき、本発明の詳細
な説明する。

第１図は、本発明による露光装置の実施例を示した斜視
図である。

この実施例の露光装置は、整合部１．露光部２゜滲込部
３．排出部４．制御部５等から構成されている。

整合部１は、整合テーブル１０上に、第１．第２の固定
吸引盤１１．１２が、基板Ｂの流れ方向（整合部１．露
光部２．排出部４の配列方向）と直交する方向に適宜の
間隔を隔てて設けられている。

整合部１は、整合テーブル１０の上側に配置されたＣＣ
Ｄカメラ１３，１．４によって、基板Ｂに設げられた整
合マークを読め取り、制御部５内の画像処理装置によっ
て、読み取った整合マークの画像に基づいて画像処理を
行って整合信号を生成し、整合テーブル１０に内蔵され
たＸＹθ３軸テーブルによって、生成された整合信号に
基づいてＸ方向（基板Ｂの進行方向）、Ｙ方向（水平面
内でＸ方向と直交する方向）、θ方向（テーブル中心を
軸とした回転方向）に基板Ｂを独立して移動することに
より、高速かつ高精度な位置合わせを行うことができる
。

露光部２は、露光テーブル２０上に、第３．第４の固定
吸引盤２１．２２が、第１．第２の固定吸引盤１１．１
２と同様な間隔で、かつ、同方向に配置されている。露
光部２は、基板Ｂに原版フィルムＦを密着して、露光ラ
ンプ２３によって露光する部分である。二の露光部２は
、露光ボックス２４で覆われており、露光ボックス２４
内には下方から冷却空気が送られ、対流により上方に向
かう熱流を冷却ファン２８によって露光ボックス２４の
外に排出している。このため、フィルム枠２６のアクリ
ル板などからなる透光板２６ａや原版フィルムＦが熱膨
張するのを防止している。フィルム枠２６は、上下に移
動して、透光板２６ａに貼り付けられた原版フィルムＦ
を搬送されてきた基板Ｂに被せる。

搬送部３は、搬送テーブル３０が第１．第２の固定吸引
盤１１．１２の間と、第３．第４の固定吸引盤２１．２
２の間に設けられた幅の広い溝に挿入されている。搬送
テーブル３０ば、搬入用の移動吸引盤３１と搬出用の移
動吸引盤３２とからなり、第１Ｂ図には移動吸引盤３１
が整合テーブル１０上にあり、移動吸引盤３２が露光テ
ーブル１０」二にある状態を示している。

搬出部４ば、露光部２で露光された基板Ｂを次工程に搬
出する部分であり、製造ラインによって、ス１−ツク部
としたり、基板Ｂの裏面にも露光する場合に、反転部と
したりすることができる。

次に、本発明による露光装置の実施例の動作を説明する
。

搬送部３は、第１Ｂ図に示すように、移動吸引盤３］が
整合部１に、移動吸引盤３２が露光部２にある。この位
置で、整合部１では、固定吸引盤１１．１２で吸引した
状態で、原版フィルムＦの位置決めを行う。このとき、
原版フィルムＦの上面に両面接着テープを貼り付けてお
く。

移動吸引盤３１は、原版フィルムＦを吸引した状態で、
露光部２に搬送される。この位置で、フィルム枠２６が
下降しできて、両面接着テープによって原版フィルムＦ
がフィルム枠２６の透光板２６ａに貼り付けられる。こ
の後に、フィルム枠２６を上昇させるとともに、後述す
るフィルム枠開閉機構により、手前に引き」二げて、さ
らに固定テープで確実に固定する。なお、テープ接着の
代わりに、透光板２６ａの対向面に吸引溝を設け、原版
フィルムＦを吸引させてもよい。以上の原版フィルムＦ
の位置決めとそのフィルム枠２６への貼り付けば、基板
Ｂへの露光に先立って行う準備段階の操作であり、以降
の基板Ｂに対する露光工程とは独立に１回たけ行われる
。

次に、移動吸引盤３１が整合部１に戻り、既に整合部］
で位置決めされている未露光の基板Ｂを吸引して、露光
部２に搬送する。

この後、フィルム枠２６が下降して、移動吸引盤３１で
吸引された基板Ｂ上に、原版フィルムＦを被せる。この
位置では、フィルム枠２６に貼り付けられた原版フィル
ムＦと基板Ｂは、正確に位置決めされている。

このとき、図示しない封止部のエアシリンダのロンドが
伸びて、そのロンドに取り付けられたパツキンによって
固定吸引盤２１．２２と移動吸引盤３１の間隙を塞ぎ、
フィルム枠２６との間に気密室を形成する。この状態で
、固定吸引盤２１２２と移動吸引盤３１から吸引するこ
とにより、原版フィルムＦと基板Ｂを密着させ、露光ラ
ンプ２３によって露光を行う。

露光後には、搬送部３の移動吸引盤３１が整合部１に戻
り、既に位置決めされている基板Ｂを露光部２に１般送
すると同時に、搬送部３の移動吸引盤３２が露光部２で
露光された基板Ｂを搬出部４に搬出する。以後、この動
作を繰り返す。

次に、本発明による露光装置の細部の構造をさらに詳し
く説明する。

第２図、第３図は、本発明による露光装置に用いられる
フィルム枠固定機構を示した図である。

フィルム枠固定機構７は、基準ローラ７１と、ガイド部
材７２と、押さえローラ７３と、エアシリンダ７４等と
から構成されている。

基準ローラ７１は、フレーム２５（第４Ａ図）の各辺の
センタラインをその接線とする位置にそれぞれ配置され
ている。ガイド部材７２は、各基準ローラ７１と接する
基準面７２ａがセンタラインと同じ位置になるように、
フィルム枠２６にそれぞれ取り付けられている。ガイド
部材７２の基準面７２ａと反対側の面は当たり面７２ｂ
になっている。各押さえローラ７３ば、各エアシリンダ
７４により駆動され、ガイド部材７２の当たり面７２ｂ
を押して、フィルム枠２６をフレーム２５に固定する。

このフィルム枠固定機構７によって、フィルム枠２６が
常にフレーム２５の中心になるように固定するので、露
光ランプ２３からの熱により、原版フィルムＦやフィル
ム枠２６が伸縮しても、フィルム枠２６の中心位置が変
化しないので、露光精度がよい。

また、フィルム枠固定機構７は、フィルム枠２６を固定
するときに、フィルム枠２６の浮き上がりを防止する機
能をもたせることができる。つまり、第３Ａ図に示した
ように、ガイド部材７２の当たり面７２ｃをテーパ加工
するとともに、押さえローラ７３を自動調心ローラにす
ることにより、第３Ｂ図に示したように、押さえローラ
７３の移動によって、ガイド部材７２を基準ローラ７１
に押しイーｊけながら、ガイド部材７２を下方に押し、
フィルム枠２６をフレーム２５に固定すると同時に、フ
ィルム枠２６の浮き上がりを防止することができる。

第４回〜第６図は、本発明による露光装置に用いられる
フィルム枠開閉機構の第１の実施例を示した図である。

ベース２つには、スティ８０が設けられており、そのス
ティ８０に固定リンク８１と上下リンク８２を介して、
主アーム８３とリフトアーム８４とが設けられている。

主アーム８３とリフトアーム８４には、先端に切り天部
が設けられており、フィルム枠２６に設けられたピン２
６ｂに係合している。フィルム枠２６の後端には、ガイ
ドローラ２６ｃが設けられている。

また、スティ８０には、駆動シリンダ８５が設けられて
おり、駆動シリンダ８５のロンドの先端にはりフトロー
ラ８６が設けられている。このリフトローラ８６と同軸
に、駆動アーム８７が回転自在に取り付けられている。

駆動アーム８７は、軸８７ａによって、スティ８０に回
転自在に設けられている。

第６Ａ図に示すように、駆動シリンダ８５が駆動されて
、ロンドが伸びると、駆動アーム８７のカム８７ｂが上
下リンク８２のカム８２ａに接触して、上下リンク８２
を上方に押し上げる。上下リンク８７の上昇により、リ
フトアーム８４を介して、フィルム枠２６の手前側（第
６Ａ図右側）がもち上けられる。

次に、第６Ｂ図に示すように、リフトローラ８６が主ア
ーム８３を押していくと、主アーム８３を介して、フィ
ルム枠２６を手前側に移動しながら徐々に開いていく。

この位置で、原版フィルムＦに補強テープを貼ったり、
原版フィルムＦの清掃をするなどの作業を行う。

なお、フィルム枠２６のパツキンの交換などのメインテ
ナンスの場合には、フィルム枠２６を外すことができる
。

逆に、駆動シリンダ８５のロッドが縮むと、前述と逆の
動作により、フィルム枠２６を閉じる。

駆動アーム８７のロックローラ８７ｃが、主アーム８３
を押して、フィルム枠２６を元の位置に戻す。この後、
前述した第２図、第３図に示したフィルム枠固定機構７
により、フィルム枠２６を正確に元の位置に戻す。

第７図、第８図は、本発明による露光装置に用いられる
フィルム枠開閉機構の第２の実施例を示した図である。

スティ９０には、アーム９１が軸９１ａで回転自在に支
持されている。このアーム９１の先端には切り大部９１
ｂが設けられており、フィルム枠２６に設けられたピン
２６ｂに係合している。フィルム枠２６の後端には、ガ
イドローラ２６ｃが設けられている。

また、フレーム２５には、駆動シリンダ９２が設けられ
ており、出力部９２ａでガイドローラ２６ｃを移動する
。また、フィルム枠２６の手前側には、リフトアップシ
リンダ９３が設けられている。

第８Ａ図に示すように、リフトアップシリンダ９３のロ
ッドが伸びると、フィルム枠２６の手前側（第８Ａ図右
側）がもち上げられる。

次に、第８Ｂ図に示すように、駆動シリンダ９２の出力
部９２ａが左側に移動すると、アーム９１を介して、フ
ィルム２６が手前側に移動しながら徐々に開いていく。

逆に、駆動シリンダ９２の出力部９２ａが右側に移動す
ると、フィルム枠２６を閉じる。さらに、リフトアップ
シリンダ９３のロッドを縮めフィルム枠２Ｇを元の位置
に戻す。この後、前述したフィルム枠固定機構７により
、フィルム枠２６を正確に元の位置に戻す。

〔発明の効果〕

以上詳しく説明したように、請求項（１）によればフィ
ルム枠の下側に原版フィルムを貼付できるので、原版フ
ィルムへのゴミ等の付着や残留を防止でき、露光不良を
減少させることができる。

請求項（２）によれば、フィルム枠固定機構によりフィ
ルム枠の中心位置で固定するので、フィルム枠及び原版
フィルムに熱による伸縮があっても中心位置は変化する
ことはなく、露光精度を向上させることができる。

請求項（３）によれば、フィルム枠固定機構によりフィ
ルム枠を下方に押し付けるので、フィルム枠は浮き上が
らず、原版フィルムと基板を完全に密着させることがで
き、更に露光精度を向上させることができる。

請求項（４）によれば、フィルム枠開閉機構によって、
フィルム枠を開閉して、原版フィルムに補強テープを貼
ったり、原版フィルムの清掃をすることができ、作業後
には再び元の位置にもどして、正確な位置決めをするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による露光装置の実施例を示した斜視
図である。第２図、第３図は、本発明による露光装置に用いられる
フィルム枠固定機構を示した図である。第４図〜第６図は、本発明による露光装置に用いられる
フィルム枠開閉機構の第１の実施例を示した図である。第７図、第８図は、本発明による露光装置に用いられる
フィルム枠開閉機構の第２の実施例を示した図である。１・・・整合部２・・・露光部３・・・搬送部４・・・排出部５・・・制御部７・・・フィルム枠固定機構７Ｉ・・・基準ローラ　　　７２・・・ガイド部材７３
・・・押さえローラ　　７４・・・エアシリンダ８・・
・フィルム枠開閉機構８１・・・固定リンク　　　８２・・・上下リンク８３
・・・主アーム　　　　８４・・・リフトアーム８５・
・・駆動シリンダ　　８６・・・リフトローラ８７・・
・駆動アーム９・・・フィルム枠開閉機構９１・・・アーム　　　　　９２・・・駆動シリンダ９
３・・・リフトアップシリンダ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）原版フィルム又は基板を整合テーブル上で位置決
めする整合部と、前記整合部で位置決めされた前記原版フィルム又は前記
基板をその位置を保ったまま搬送する搬送部と、前記搬送部で搬送された前記原版フィルムをフィルム枠
の下面に貼付し、次いで前記搬送部で搬送された前記基
板を露光テーブル上に載置したのち、前記原版フィルム
と前記基板とを密着させて上側から露光する露光部とを含む露光装置。
（２）原版フィルムが貼付される透光性板を支持するフ
ィルム枠と、前記フィルム枠の４辺に設けられ、各辺の中心と直交す
る基準面が形成され、その基準面の反対側に当たり面が
形成されたガイド部材と、前記ガイド部材の基準面に、その接線で接触するように
配置された基準ローラと、前記基準ローラに前記基準面を押し付け、前記当たり面
側から前記ガイド部材を押さえて前記フィルム枠を固定
する押さえローラとからなるフィルム枠固定機構を設けたことを特徴とする
請求項（１）記載の露光装置。
（３）前記ガイド部材の当たり面が斜面になっており、
前記押さえローラによって押さえるときに、その押さえ
ローラが前記当たり面を斜め下方に押し付けて固定する
ようにしたフィルム枠固定機構を設けたことを特徴とす
る請求項（２）記載の露光装置。
（４）前記フィルム枠の１辺側を上昇させる駆動手段と
、前記フィルム枠の他辺側が平行移動するようにガイドす
るガイド手段とを含み、前記フィルム枠の１辺側を上昇させたときに、下面が操
作者側を向くように前記フィルム枠を開閉するフィルム
枠開閉機構を設けたことを特徴とする請求項（１）〜（
３）記載の露光装置。