TWI575331B - Exposure device - Google Patents

Description

曝光裝置

本發明係有關於一種印刷電路板之曝光裝置。

在用以製造電路形成於基板雙面之印刷電路板的曝光裝置，排列2台曝光裝置，並將基板之反轉裝置設置於該曝光裝置之間，進行基板雙面之曝光。又，因為在藉輸送帶從曝光裝置往反轉裝置搬運印刷電路板時或藉反轉裝置反轉時印刷電路板偏離基準位置，所以為了修正該位置，將預對準裝置設置於反轉裝置的出口側。

因此，在這種曝光裝置，具有引起裝置之複雜化、生產線之加長、費用之上漲或製造時間之增長、生產力之降低等的問題。

因此，自以往進行各種嘗試，例如在專利文獻1，提議藉由將印刷電路板固定後使其反轉，防止位置偏差，而廢除反轉裝置之出口側的預對準裝置。

【先行專利文獻】 【專利文獻】

[專利文獻1]特開平7-251921號公報

可是，在上述之以往的構成，可廢除對準裝置，但是需要用以從曝光裝置往反轉裝置或從反轉裝置往曝光裝置搬運印刷電路板之搬運輸送帶等的搬運裝置，而具有裝置整體依然是複雜的問題。

本發明之目的在於解決該習知技術的問題。

為了達成該目的，本發明之印刷電路板之曝光裝置的特徵在於包括：一面側曝光部，係對印刷電路板之一面側進行曝光；另一面側曝光部，係對該印刷電路板之另一面側進行曝光；交接部，係設置於該曝光部與曝光部之間，為了在另一方之曝光部對在一方之曝光部結束曝光之印刷電路板進行曝光，而進行交接；一面側吸附手臂，係吸附並固定該印刷電路板之一面側後，在該一面側曝光部與該交接部之間移送印刷電路板；另一面側吸附手臂，係吸附並固定該印刷電路板之另一面側後，在該另一面側曝光部與該交接部之間移送印刷電路板；及手臂轉動機構，係安裝於該一面側吸附手臂或另一面側吸附手臂中的至少一方，藉由使該吸附手臂轉動，而使印刷電路板反轉180度；在該交接部，藉該手臂轉動機構使吸附手臂轉動，而使印刷電路板反轉後，在該一面側吸附手臂與該另一面側吸附手臂之間進行印刷電路板的交接。

又，在本發明，更包括：搬入搬出裝置，係設置於該一面側曝光部與另一面側曝光部之交接部的相反側，並從該曝光部搬入或搬出印刷電路板；及印刷電路板之對準裝置，係設置於該搬入搬出裝置；可進行使印刷電路板從該一面側曝光部往另 一面側曝光部流動的步驟、與相反地進行使印刷電路板從另一面側曝光部往一面側曝光部流動之步驟的雙方。

若依據本發明之曝光裝置，因為不使用以往之反轉裝置，而在交接部藉吸附手臂直接進行印刷電路板的交接，所以不會發生印刷電路板之基準位置的偏差，而不需要將預對準部設置於下游側之曝光部的入口側。又，因為印刷電路板的反轉係藉設置於吸附手臂的手臂轉動機構進行，所以亦不需要反轉裝置。進而，因為從一方之曝光部至另一方之曝光部，全部利用吸附手臂移送印刷電路板，所以具有不必另外將搬運裝置設置於曝光部之間的效果。又，可彈性地應付生產線，而具有亦不需要改造費用等。

1‧‧‧曝光部

2‧‧‧交接部

3‧‧‧曝光部

5‧‧‧吸附手臂

6‧‧‧吸附手臂

7‧‧‧手臂轉動機構

10‧‧‧搬入搬出部

11‧‧‧輥輸送帶

15‧‧‧基座

30‧‧‧搬入搬出部

31‧‧‧輥輸送帶

35‧‧‧基座

50‧‧‧行駛軌道

51‧‧‧行駛基座

52‧‧‧Z軸

53‧‧‧Y軸

54‧‧‧吸附機構

60‧‧‧行駛軌道

61‧‧‧行駛基座

62‧‧‧Z軸

63‧‧‧Y軸

64‧‧‧吸附機構

70‧‧‧旋轉馬達

99‧‧‧印刷電路板

第1圖係表示本發明之一實施形態的示意平面圖。

第2圖係表示本發明之一實施形態的示意立面圖。

第3圖係本發明之一實施形態之一面側及另一面側吸附手臂5的立面圖。

第4圖係本發明之一實施形態之一面側及另一面側吸附手臂5的平面圖。

以下，根據圖面，說明本發明之實施形態。

第1圖係本發明之用以製造印刷電路板之曝光裝置的平面圖，第2圖係立面圖。

本曝光裝置具有進行一面側之曝光的一面側曝光部1、交接部2及進行另一面側之曝光的另一面側曝光部3，這些依序大致等間隔地配設成直線狀。曝光部1具有搬入搬出部10，曝光部3具有搬入搬出部30，從前步驟搬入印刷電路板99或向下一步驟搬出印刷電路板99。

即，在前步驟被施加光阻劑的印刷電路板99係從搬入搬出部10經由曝光部1、交接部2及曝光部3，在一面側及另一面側之表背被曝光後，從搬入搬出部30被送至下一步驟。又，如後述所示，在相反的流程亦可應付，在此情況，從搬入搬出部30經由曝光部3、交接部2及曝光部1後，從搬入搬出部10被送至下一步驟。

曝光部1、3係構成為分別具有基座15、基座35，將印刷電路板99載置基座，並藉對準裝置(未圖示)對準位置後，從曝光光源(未圖示)發出曝光光，將遮罩(未圖示)上所畫的圖案印相於印刷電路板99上。

交接部2被設定於曝光部1與曝光部3之間，在交接部2進行印刷電路板99之反轉與交接。

在該曝光裝置，設置吸附並搬運印刷電路板99之一面側的一面側吸附手臂5、與吸附並搬運印刷電路板99之另一面側的另一面側吸附手臂6。吸附手臂5具有行駛軌道50，該行駛軌道50係橫跨搬入搬出部10、曝光部1及交接部2並在X方向延伸，可將印刷電路板99從搬入搬出部10搬往曝光部1，再從曝光部1搬至交接部2。又，構成為可在反方向從交接部2搬往曝光部1，再從曝光部1搬至搬入搬出部10。

吸附手臂6具有行駛軌道60，該行駛軌道60係橫跨搬入搬出部30、曝光部3及交接部2並在X方向延伸，可將印刷電路板99從交接部2搬往曝光部3，再從曝光部3搬至搬入搬出部30。又，構成為可在反方向從搬入搬出部30搬往曝光部3，再從曝光部3搬至交接部2。

此外，在本實施形態，行駛軌道60係配置於行駛軌道50的上方，在交接部2，如後述所示，空出在印刷電路板99轉動時不會接觸的間隔。

如第3圖所示，吸附手臂5包括：在行駛軌道50行駛的行駛基座51、及從行駛基座51在上方向所延伸設置的Z軸52。在該Z軸52，設置在基座15之寬度方向、Y方向所延伸出的Y軸53，Y軸53被安裝成可在Z軸52上在上下方向升降。藉本構成，Y軸53構成為可在Z方向上下升降，而且可在X方向行駛。

吸附機構54安裝於Y軸53，並構成為藉該吸附機構54吸附並固定印刷電路板99後，搬運印刷電路板99。

吸附機構54係形成板狀的矩形形狀，如第4圖所示，在其中心線安裝於Y軸53。

在本實施形態，在吸附手臂5具有手臂轉動機構7，Y軸53構成為藉手臂轉動機構7的旋轉馬達70可轉動配管360度。藉本構成，吸附手臂5構成為可在其中心線使印刷電路板99以垂直於其水平面之方向轉動180度後使其反轉。

吸附手臂6亦一樣，如第3圖所示，包括：在行駛軌道60行駛的行駛基座61、及從行駛基座61在上方向所延 伸設置的Z軸62。在該Z軸62，設置在基座35之寬度方向、Y方向所延伸出的Y軸63，Y軸63被安裝成可在Z軸62上在上下方向升降。藉本構成，Y軸63構成為可在Z方向上下升降，而且可在X方向行駛。

吸附機構64安裝於Y軸63，並構成為藉該吸附機構64吸附並固定印刷電路板99後，搬運印刷電路板99。

吸附機構64構成板狀的矩形形狀，如第4圖所示，在其中心線安裝於Y軸63。

搬入搬出部10具有輥輸送帶11，輥輸送帶11係與來自前步驟的輥輸送帶11’連接，並構成為搬入來自前步驟的印刷電路板99。又，構成為相反地從輥輸送帶11向輥輸送帶11’搬出印刷電路板99。

搬入搬出部30亦一樣，具有輥輸送帶31，輥輸送帶31係與來自下一步驟的輥輸送帶31’連接，並構成為向下一步驟搬出印刷電路板99。又，構成為相反地從輥輸送帶31’向輥輸送帶31搬入印刷電路板99。

搬入搬出部10與搬入搬出部30分別具有是預對準裝置的對準板(未圖示)，更在對準板設置止動器(未圖示)與可移動的對準銷(未圖示)。又，對準板具有吸附並固定印刷電路板99的吸附裝置。

對準板構成為可升降，並構成為可取得位於該輥輸送帶11、輥輸送帶31之下側的狀態與位於上側的狀態。

而且，構成為在輥輸送帶11、輥輸送帶31接受印刷電路板99後，使對準板上升，在下收容輥輸送帶11與輥輸送帶31， 藉止動器限制印刷電路板99的行進方向位置，而且藉對準銷調整寬度方向位置，進行預對準。預對準後，藉吸附裝置在預對準位置固定印刷電路板99。

其次，說明動作。在第1圖與第2圖，說明生產線從左流動至右之情況的動作。

將印刷電路板99從前步驟經由輥輸送帶11’搬運至輥輸送帶11上時，在此被對準後，被對準板吸附並固定。

吸附手臂5移至該印刷電路板99的上方後，吸附機構54下降，吸附並固定印刷電路板99的上面，並搬運至曝光部1，將印刷電路板99載置於基座15上後解除吸附，吸附手臂5退避至既定位置。

在曝光部1，進行印刷電路板99的對準後，對其一面側進行曝光。

曝光結束後，藉吸附機構54再吸附印刷電路板99的一面側，並將印刷電路板99搬運至交接部2。在交接部2，驅動手臂轉動機構7的旋轉馬達70，如第3圖所示，使印刷電路板99轉動180度後，使印刷電路板99反轉。藉此，印刷電路板99之未曝光的另一面側朝向上方向。

接著，如第2圖所示，吸附手臂6移至交接部2，其吸附機構64下降後，吸附並固定反轉後朝上之印刷電路板99的另一面側。同時解除吸附機構54的固定，吸附手臂6將印刷電路板99搬運至曝光部3，將印刷電路板99載置於基座35後，解除固定，吸附手臂6退避至既定位置。印刷電路板99係在基座35上被對準後，對該另一面側進行曝光。

曝光結束後，藉吸附機構64吸附並固定印刷電路板99的另一面側，並向搬入搬出部30搬運。然後，將印刷電路板99從輥輸送帶31移送至輥輸送帶31’，送至下一步驟。

在上述，說明從左向右流動之生產線的情況，但是從右向左流動之生產線的動作亦大致相同，在此情況，在搬入搬出部30進行預對準。又，在交接部2，藉吸附手臂6搬運已結束另一面側之曝光的印刷電路板99，在此藉反轉180度之吸附機構54吸附印刷電路板99的下側(一面側)，吸附機構54轉動180度而復原，藉此，使印刷電路板99反轉。因為其他的動作係上述之動作的相反，所以省略說明。

如以上之說明所示，若依據本發明之曝光裝置，因為藉吸附手臂5進行印刷電路板99的搬運、反轉，並將其直接交給吸附手臂6，所以不會發生印刷電路板99的位置偏差。又，在從右向左之生產線的情況，亦因為藉吸附手臂6搬運印刷電路板99，並直接交給吸附手臂5，再藉吸附手臂5反轉，所以不會發生印刷電路板99的位置偏差。因此，不需要反轉裝置或反轉後的對準裝置，而可簡化裝置。又，因為在交接部2之反轉係以印刷電路板99之中心線為軸的反轉，所以亦可使交接部2本身的空間變成最小。

進而，因為在曝光部1與曝光部3之間，使用輥輸送帶等，所以抑制灰塵的產生。

50‧‧‧行駛軌道

53‧‧‧Y軸

63‧‧‧Y軸

60‧‧‧行駛軌道

15、35‧‧‧基座

10‧‧‧搬入搬出部

1‧‧‧曝光部

2‧‧‧交接部

3‧‧‧曝光部

30‧‧‧搬入搬出部

Claims (2)

1. 一種印刷電路板之曝光裝置，其特徵在於包括：一面側曝光部，係對印刷電路板之一面側進行曝光；另一面側曝光部，係對該印刷電路板之另一面側進行曝光；交接部，係設置於該一面側曝光部與該另一面側曝光部之間，為了在另一方之曝光部對在一方之曝光部結束曝光之印刷電路板進行曝光，而進行交接；一面側吸附手臂，係吸附並固定該印刷電路板之一面側後，在該一面側曝光部與該交接部之間移送印刷電路板；另一面側吸附手臂，係吸附並固定該印刷電路板之另一面側後，在該另一面側曝光部與該交接部之間移送印刷電路板；及手臂轉動機構，係安裝於該一面側吸附手臂或另一面側吸附手臂中的至少一方，藉由使該吸附手臂轉動，而使印刷電路板以垂直於其水平面之方向反轉180度；在該交接部，藉該手臂轉動機構使吸附手臂轉動，而使印刷電路板反轉後，在該一面側吸附手臂與該另一面側吸附手臂之間進行印刷電路板的交接。
2. 如申請專利範圍第1項之曝光裝置，其中更包括：搬入搬出裝置，係設置於該一面側曝光部與另一面側曝光部之交接部的相反側，並從該曝光部搬入或搬出印刷電路板；及印刷電路板之對準裝置，係設置於該搬入搬出裝置；可進行使印刷電路板從該一面側曝光部往另一面側曝光部 流動的步驟、與相反地進行使印刷電路板從另一面側曝光部往一面側曝光部流動之步驟。