TWI485533B - 旋轉式曝光載送設備 - Google Patents

Description

旋轉式曝光載送設備

本發明係關於一種曝光載送設備，特別是關於一種旋轉式曝光載送設備。

在LCD、印刷電路板及無線充電器等需要電子迴路圖像成型的產品，都需要經過設計電路、塗抹光阻、對準、曝光、顯影、蝕刻、去光阻、及檢測等步驟，以將所設計之電子迴路圖像轉印在一基材上。曝光製程通常使用一光源(例如，短弧形汞燈)照射基材以使基材曝光。

然而，在習知技術中，當使用曝光設備曝光基材的各個表面時，需藉由依次翻轉基材而使基材的各表面依序曝光。因此曝光步驟繁複，使得製程時間增加。

緣此，本發明之目的是提供一種旋轉式曝光載送設備，以簡化曝光步驟及改善整體製程時間。

本發明為解決習知技術之問題所採用之技術手段為一種旋轉式曝光載送設備，用於載送一基材以進行曝光，旋轉式曝光載送設備包含一承載裝置及一轉動式移動裝置，承載裝置將基材固定於其上而承載基材，轉動式移動裝置具有一轉動機構，轉動機構連接承載裝置且在轉動的狀態下為移動。

在本發明之一實施例中，轉動機構為軸向旋轉的一支軸。

在本發明之一實施例中，轉動機構為平行於基材之縱向表面。

在本發明之一實施例中，轉動機構之轉動軸心線通過基材之中心處。

在本發明之一實施例中，轉動機構之轉動軸心線與基材之中心處之距離為基材之橫向表面之長度的一半。

在本發明之一實施例中，轉動機構之轉動軸心線與基材之中心處之距離大於基材之橫向表面之長度的一半。

在本發明之一實施例中，更包括一延接構件，連接在轉動機構與承載裝置之間。

在本發明之一實施例中，承載裝置為多數個，並藉由多數個延接構件而使各個承載裝置與轉動機構相連接。

在本發明之一實施例中，延接構件之延伸方向為平行於基材之橫向表面。

在本發明之一實施例中，延接構件為設置為以其延伸方向為旋轉軸向。

經由本發明所採用之技術手段，藉由本發明之旋轉式曝光載送設備，基材之多個表面可在一次曝光過程中都被曝光，而省去依次將基材翻面以使基材的各表面依序曝光的步驟，使得製程時間更為減少以及操作步驟更為簡化，而改善曝光製程之效率。

在一實施例中，藉由旋轉式曝光載送設備能夠對多個基材及基材的各表面曝光，以提高曝光效率。

本發明所採用的具體實施例，將藉由以下之實施 例及附呈圖式作進一步之說明。

參閱第1圖所示，其係顯示本發明之第一實施例之旋轉式曝光載送設備之示意圖。本發明之第一實施例之旋轉式曝光載送設備100包含一承載裝置1及一轉動式移動裝置2。

承載裝置1用以承載一基材4。在本實施例中，承載裝置1包括一固定構件11以固定基材4。承載裝置1為一載台，固定構件11為一夾具。

轉動式移動裝置2包括一轉動機構21、一驅動機構22、及一輸送機構23。其中，轉動機構21連接於承載裝置1。在本實施例中，轉動機構21為軸向旋轉的一支軸21，且在旋轉的狀態下為移動。當然，本發明不以此為限，轉動機構21也可為一轉盤，可使承載裝置1旋轉即可。

在本實施例中，轉動機構21為平行於基材4之縱向表面S1，且轉動機構21之轉動軸心線A通過基材4之中心O處。

驅動機構22連接於轉動機構21之一端，以驅動轉動機構21旋轉，使得轉動機構21以轉動軸心線A為旋轉軸向而旋轉。輸送機構23連接驅動機構22，以移動驅動機構22，而一併使轉動機構21沿著一曝光路徑P移動。在本實施例中，驅動機構22為一馬達，輸送機構23為一輸送帶，但本發明並不限於此，也可只用單一機構使轉動機構旋轉及輸送，例如驅動機構22與輸送機構23可改為機械手臂等，只要可以使轉動機構21旋轉並沿著曝光路徑P移動即可。

而曝光路徑P之側邊位置處設置有一曝光裝置5， 使基材4受曝光裝置5之曝光。

藉由上述結構，當輸送機構23沿著輸送方向T輸送驅動機構22時，連帶使轉動機構21、承載裝置1、以及被固定在承載裝置1上的基材4沿著輸送方向T移動。基材4在沿著輸送方向T移動的過程中，會受到發曝光裝置5照射而被曝光。

由於轉動機構21藉由驅動機構22而以轉動軸心線A之延伸方向為旋轉軸向而旋轉，藉此承載裝置1也會隨著轉動機構21而以轉動軸心線A之延伸方向為旋轉軸向而旋轉，從而固定於承載裝置1上之基材4也會隨著轉動機構21而旋轉。在本實施例中，轉動機構21的旋轉方向R1為逆時針，當然，本創作不以此為限，旋轉方向R1也可為順時針。

當基材4旋轉時，基材4之各個縱向表面S1都會被曝光裝置5所發出的光照射到。從而達到在一次曝光過程中，基材4之各個縱向表面S1都被曝光之效果。

參閱第2圖所示，其係顯示本發明之第二實施例之旋轉式曝光載送設備之示意圖。此一實施例之旋轉式曝光載送設備100a之組成元件大致與前述第一實施例相同，故相同之元件乃標示以相同之元件編號，以資對應。其差異在於本實施例中轉動機構21a之轉動軸心線A'與基材4之中心處O之距離D1為基材4的橫向表面S2之長度的一半，因此固定於承載裝置1a上之基材4隨著轉動機構21a旋轉的旋轉半徑與前述第一實施例不相同，以應對不同情況下的曝光。其它結構均與第一實施例相同，故不再贅述。

參閱第3圖所示，其係顯示本發明之第三實施例之旋轉式曝光載送設備之示意圖。此一實施例之旋轉式 曝光載送設備100b之組成元件大致與第一實施例相同，故相同之元件乃標示以相同之元件編號，以資對應。其差異在於，在本實施例中，旋轉式曝光載送設備100b包括四個承載裝置1b(也可以一個或以上的承載裝置)，並藉由四個延接構件3(也可一個或以上的延接構件)以使各個承載裝置1b與轉動機構21b相連接。

在本實施例中，轉動機構21b之轉動軸心線A"與基材4之中心處O之距離D2超過基材4橫向表面S2之長度的一半。

在本實施例中，延接構件3連接在轉動機構21b與承載裝置1b之間，且各延接構件3之延伸方向E平行於各基材4之橫向表面S2並垂直於轉動機構21b，當然，本發明不以此為限，延伸方向E也可與轉動機構21b不垂直且與基材4之橫向表面S2不平行。

在本實施例中，延接構件3藉由轉動機構(圖未示)而以其延伸方向E為旋轉軸向而旋轉。在本實施例中，延接構件3的旋轉方向R2為逆時針旋轉，當然，本發明不以此為限，旋轉方向R2也可為順時針。

因此，每個承載裝置1b分別依各個延接構件3的旋轉軸向而旋轉，且依轉動機構21b的旋轉而以轉動機構21b之轉動軸心線A"為公轉軸而公轉，以使固定於承載裝置1上之基材4之表面都可以被曝光裝置5發出的光照射到而被曝光。從而達到四個基材4之表面都被曝光之效果。

由本發明之實施例可以得知，藉由本發明之旋轉式曝光載送設備，使基材之多個表面都被曝光，而省去依次將基材翻面而使基材的各表面依序曝光的步驟，使得製程時間更為減少及操作步驟更為簡化，而改善曝光 製程之效率。

由以上之實施例可知，本發明所提供之旋轉式曝光載送設備確具產業上之利用價值，故本發明業已符合於專利之要件。惟以上之敘述僅為本發明之較佳實施例說明，凡精於此項技藝者當可依據上述之說明而作其它種種之改良，惟這些改變仍屬於本發明之發明精神及以下所界定之專利範圍中。

100、100a、100b‧‧‧旋轉式曝光載送設備

1、1a、1b‧‧‧承載裝置

11‧‧‧固定構件

2‧‧‧轉動式移動裝置

21、21a、21b‧‧‧轉動機構

22‧‧‧驅動機構

23‧‧‧輸送機構

3‧‧‧延接構件

4‧‧‧基材

5‧‧‧曝光裝置

A、A'、A"‧‧‧轉動軸心線

D1、D2‧‧‧距離

E‧‧‧延伸方向

O‧‧‧中心處

P‧‧‧曝光路徑

R1、R2‧‧‧旋轉方向

S1‧‧‧縱向表面

S2‧‧‧橫向表面

第1圖係顯示本發明之第一實施例之旋轉式曝光載送設備之示意圖。

第2圖係顯示本發明之第二實施例之旋轉式曝光載送設備之示意圖。

第3圖係顯示本發明之第三實施例之旋轉式曝光載送設備之示意圖。

100‧‧‧旋轉式曝光載送設備

1‧‧‧承載裝置

11‧‧‧固定構件

2‧‧‧轉動式移動裝置

21‧‧‧轉動機構

22‧‧‧驅動機構

23‧‧‧輸送機構

4‧‧‧基材

5‧‧‧曝光裝置

A‧‧‧轉動軸心線

O‧‧‧中心處

P‧‧‧曝光路徑

R1‧‧‧旋轉方向

S1‧‧‧縱向表面

S2‧‧‧橫向表面

Claims (10)

1. 一種旋轉式曝光載送設備，用於載送一基材以進行曝光，該旋轉式曝光載送設備包含：一承載裝置，將該基材固定於該承載裝置上，而承載該基材；一轉動式移動裝置，具有一轉動機構、一驅動機構及一輸送機構，該輸送機構連接該驅動機構，該輸送機構使該轉動機構沿著一曝光路徑移動，且該轉動機構以一轉動軸心線轉動該承載裝置；以及一曝光裝置，設置於該曝光路徑之側邊位置處，該基材被該輸送機構移動的過程中，固定於該承載裝置的該基材以該轉動軸心線之延伸方向為旋轉軸向而旋轉且受到該曝光裝置照射而被曝光。
2. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式曝光載送設備，該轉動機構為軸向旋轉的一支軸。
3. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式曝光載送設備，其中該轉動機構為平行於該基材之縱向表面。
4. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式曝光載送設備，其中該轉動機構之該轉動軸心線通過該基材之中心處。
5. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式曝光載送設備，其中該轉動機構之該轉動軸心線與該基材之中心處的距離為該基材之橫向表面之長度的一半。
6. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式曝光載送設備，其中該轉動機構之該轉動軸心線與該基材之中心處之距離係大於該基材之橫向表面之長度的一半。
7. 如申請專利範圍第1項所述之旋轉式曝光載送設備，更包括一延接構件，連接在該轉動機構與該承載裝 置之間。
8. 如申請專利範圍第7項所述之旋轉式曝光載送設備，其中該承載裝置為多數個，並藉由多數個該延接構件而使各個該承載裝置與該轉動機構相連接。
9. 如申請專利範圍第7項所述之旋轉式曝光載送設備，其中該延接構件之延伸方向係平行於該基材之橫向表面。
10. 如申請專利範圍第7項所述之旋轉式曝光載送設備，其中該延接構件係設置為以其延伸方向為旋轉軸向，其中該延伸方向垂直於該轉動機構。