JP5311006B2 - 周辺露光装置および周辺露光方法 - Google Patents
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Description
、周辺露光装置全体はコンパクトであるが、露光ユニットは基板長辺に合わせた長さが必要であり、しかも回転するステージを跨ぐ形で保持されるため、露光装置の光学系の寸法が非常に大きくなりコストが高くなる。
前記基板を前記搬送ステージに受け入れ・払い出しを行う受け入れ・払い出し機構と、
前記搬送ステージごと基板を水平にタテ・ヨコ90度回転させる基板方向転換機構と、
前記受け入れ・払い出し機構と前記基板方向転換機構との間に設置され前記搬送ステージごと前記基板を往復動作で水平搬送する搬送機構と、
前記搬送機構上に設けた前記基板を整列するアライメント機構と、
前記搬送機構の搬送路の両側で前記基板の幅に調整可能に設置された一対の露光ヘッドからなる露光機構と、
を具備し、
且つ、前記搬送機構上に前記受け入れ・払い出し機構から見て、前記アライメント機構が前記露光機構の前後に備えられていて、前記受け入れ・払い出し機構と前記基板方向転換機構と前記搬送機構とはそれぞれ前記基板を往復水平搬送できることを特徴とする周辺露光装置である。
また、本発明の請求項2に係る発明は、請求項1に記載する周辺露光装置により、少なくとも、(1)〜(9)で構成される処理段階を具備することを特徴とする周辺露光方法である。
(1)前記基板を載置する前記搬送ステージへの受け入れ段階、
(2)往路での露光処理用に前記基板を整列する往路基板整列段階、
(3)搬送路両側に設置された一対の露光ヘッドの紫外光照射エリアを、往路での前記基板の幅に対応させた位置に移動・固定する往路露光位置設定段階、
(4)前記基板を前記搬送ステージごと搬送し、往路で前記基板の搬送方向に平行な2辺側を、前記搬送路両側の前記一対の露光ヘッドで露光処理する往路露光段階、
(5)前記基板を載置した前記搬送ステージを、正転または逆転で90度回転する基板方向転換段階、
(6)復路での露光処理用に前記基板を整列する復路基板整列段階、
(7)前記一対の露光ヘッドの紫外光照射エリアを復路での前記基板の幅に対応させた位置に移動・固定する復路露光位置設定段階、
(8)前記基板を前記搬送ステージごと搬送し、復路で前記基板の搬送方向に平行な2辺側を、前記一対の露光ヘッドで露光処理する復路露光段階、
(9)露光済み前記基板を前記搬送ステージから払い出す段階。
(ハ)・・・搬送機構 (ニ)・・・露光機構
10・・・基板 11・・・基板(2辺処理) 12・・・基板(4辺処理)
30、31・・・アライメント機構 50,51・・・露光ヘッド
Claims (4)
- 露光装置により矩形の基板上に形成される所定のマスクパターンの露光領域外の周辺を露光する周辺露光装置において、
前記基板を載置する搬送ステージと、
前記基板を前記搬送ステージに受け入れ・払い出しを行う受け入れ・払い出し機構と、
前記搬送ステージごと基板を水平にタテ・ヨコ90度回転させる基板方向転換機構と、
前記受け入れ・払い出し機構と前記基板方向転換機構との間に設置され前記搬送ステージごと前記基板を往復動作で水平搬送する搬送機構と、
前記搬送機構上に設けた前記基板を整列するアライメント機構と、
前記搬送機構の搬送路の両側で前記基板の幅に調整可能に設置された一対の露光ヘッドからなる露光機構と、
を具備し、
且つ、前記搬送機構上に前記受け入れ・払い出し機構から見て、前記アライメント機構が前記露光機構の前後に備えられていて、前記受け入れ・払い出し機構と前記基板方向転換機構と前記搬送機構とはそれぞれ前記基板を往復水平搬送できることを特徴とする周辺露光装置。 - 請求項1に記載する周辺露光装置により、少なくとも、(1)〜(9)で構成される処理段階を具備することを特徴とする周辺露光方法。
(1)前記基板を載置する前記搬送ステージへの受け入れ段階、
(2)往路での露光処理用に前記基板を整列する往路基板整列段階、
(3)搬送路両側に設置された一対の露光ヘッドの紫外光照射エリアを、往路での前記基板の幅に対応させた位置に移動・固定する往路露光位置設定段階、
(4)前記基板を前記搬送ステージごと搬送し、往路で前記基板の搬送方向に平行な2辺側を、前記搬送路両側の前記一対の露光ヘッドで露光処理する往路露光段階、
(5)前記基板を載置した前記搬送ステージを、正転または逆転で90度回転する基板方向転換段階、
(6)復路での露光処理用に前記基板を整列する復路基板整列段階、
(7)前記一対の露光ヘッドの紫外光照射エリアを復路での前記基板の幅に対応させた位置に移動・固定する復路露光位置設定段階、
(8)前記基板を前記搬送ステージごと搬送し、復路で前記基板の搬送方向に平行な2辺側を、前記一対の露光ヘッドで露光処理する復路露光段階、
(9)露光済み前記基板を前記搬送ステージから払い出す段階。 - 前記受け入れ・払い出し機構が、前記搬送ステージの縦横方向を検知して基板を90度回転可能な機構を有することを特徴とする請求項1に記載する周辺露光装置。
- 請求項3に記載する周辺露光装置により、前記搬送ステージへの受け入れ段階、および前記搬送ステージからの払い出し段階が、前記搬送ステージの縦横方向を検知して基板を90度回転し、基板の受け入れが、基板1枚毎に、前記搬送ステージの長辺、短辺の方向に対応して行われることを特徴とする請求項2に記載する周辺露光方法。
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