JP4317488B2 - 露光装置、露光方法および露光処理プログラム - Google Patents
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Description
露光装置1は、搬入された基板(ワーク)の両面に露光処理を実行して、露光処理を実行した基板を排出するものであり、図1に示されるように、表面露光部2(2A)と、裏面露光部2(2B)と、ワーク反転部3と、ストッカ4と、制御装置5と、露光状態表示モニタ6(6A,6B)と、整合状態表示モニタ7(7A,7B)とを備えている。
裏面露光部2(2B)は、基板の他方の面(裏面)に露光処理を実行するものであり、基板を載置するテーブル9(9B)、この基板に形成するパターンを有するマスク10(10B)等を備えている。
ワーク反転部3は、表面露光部2Aにて露光処理を実行された基板を反転させて、裏面露光部2Bに送るものである。
制御装置5は、表面露光部2A、裏面露光部2B、ストッカ4を制御するものである。
露光状態表示モニタ6(6A,6B)は、基板上のどの部位が露光未処理領域であるのかを示す情報を表示するものであり、表面露光部2Aおよび裏面露光部2Bに配設されている。
整合状態表示モニタ7(7A,7B)は、テーブル9(9A,9B)上の基板と、マスク10(10A,10B)との整合位置におけるアライメントマーク(マスクマークおよび基板マーク)の画像を表示するものであり、表面露光部2Aおよび裏面露光部2Bに配設されている。なお、基板マーク近傍には、基板のID(識別番号)が付されている。
CCD駆動手段21は、撮影手段20を駆動するものであり、撮影手段20を構成するCCDカメラを、基板が載置されたテーブル9の上方で、移動レールを介して上下・左右・前後方向に移動させる。
真空ポンプ駆動手段25は、真空ポンプ24を駆動させるものである。
マーク位置誤差算出部34は、画像処理部33が出力する位置情報に基づいて、アライメントマークの位置誤差である整合距離(例えばマスクマークMmの中心位置と基板マークWmの中心位置とのX方向およびY方向の偏差)を算出するものである。このマーク位置誤差算出部34で算出された整合距離は、整合距離情報として判定部36に出力される。
マーク間距離算出部35は、画像処理部33が出力する位置情報に基づいて、基板の4隅にそれぞれ設けられた基板マークWm間の距離(X方向、Y方向、対角線方向)を算出するものである。このマーク間距離算出部35で算出された距離は、距離情報として判定部36に出力される。
処理が開始されると、まず、露光装置1は、不図示の投入口から基板を受け入れる(ステップ401)。なお、1ロット(一連)の基板の枚数として、例えば100〜1000枚の基板が順番に投入されるものとする。投入された基板は、ローラ8上を搬送されてテーブル9に載置される。制御部31は、初期値が0である投入基板番号mをインクリメント(+1歩進)させて、その値をメモリ32に書き込むと共に、面変数i=1、領域変数j=1をメモリ32に書き込む(ステップ402)。ここで、面変数i=1は基板の表面を表し、面変数i=2は基板の裏面を表す。また、本実施例では、基板(長方形)は田の字状に4つに区分けされており、4つの領域(領域1〜領域4)に対応して領域変数jがj=1〜4に設定されている。
なお、アライメントマーク(基板マークWm)の欠損、形成位置のずれ等により、アライメントマークの位置が認識できないときには、前記整合距離の演算が実行されず、アライメント条件は正常ではないと判別される。
なお、搬出された順にストッカ4に格納されている基板は、搬出された順(格納された順)に露光装置1に再投入されるものとする。また、再投入される基板を露光装置1の前段の基板投入ラインに移送する方法は、ストッカ4ごと移送しても良いし、作業者によってストッカ4から取り外して移送するようにしても構わない。
2A 表面露光部
2B 裏面露光部
3 ワーク反転部
4 ストッカ
5 制御装置
6 露光状態表示モニタ(表示部)
7 整合状態表示モニタ
8 ローラ
9 テーブル
10 マスク
20 撮影手段
21 CCD駆動手段
22 露光手段
23 テーブル駆動手段
24 真空ポンプ
25 真空ポンプ駆動手段
26 表示画面出力手段
27 ブラケット駆動手段
31 制御部(露光処理制御手段)
32 メモリ(記憶手段)
33 画像処理部
34 マーク位置誤差算出部
35 マーク間距離算出部
36 判定部(判別手段、エラー情報生成手段)
Claims (5)
- 基板の表面に露光処理を実行する表面露光部と、前記表面露光部にて露光処理を実行された基板を反転させる反転部と、前記反転された基板の裏面に露光処理を実行して排出する裏面露光部とを備え、前記基板の全体の領域または露光させるために予め区分けされた領域毎に、整合処理および露光処理を実行する露光装置において、
前記基板とこの基板に形成するパターンを有するマスクとのそれぞれに形成した基板マークおよびマスクマークを撮影手段により撮影した前記両マークに基づいて、当該基板の前記予め区分けされた領域毎の基板マークが認識できるか否かを判別し、前記基板マークが認識できる場合に、当該領域における前記両マークに基づくアライメント条件がクリアされるか否かを判別し、前記アライメント条件がクリアできる場合に当該領域が露光可能であると判定し、前記アライメント条件がクリアできない場合および当該領域の基板マークが認識できない場合に当該領域が露光不可であると判定する判別手段と、
この判別手段により前記予め区分けされた領域が露光不可と判別された基板に関する情報と、この基板において露光不可と判別された領域である露光未処理領域に関する情報とをエラー情報として記憶する記憶手段と、
前記露光未処理領域の存在する基板が、一連の基板枚数について前記整合処理および露光処理を終了した後に排出された順に再投入されたときに、前記記憶手段に記憶されたエラー情報に基づいて、前記アライメント条件がクリアできなかった基板については、前記基板の全体の領域の整合処理後に前記露光未処理領域に露光処理を実行させ、前記基板マークが認識できなかった基板については、前記基板の全体の領域の整合処理をパスして前記露光未処理領域に前記整合処理および露光処理を実行させるように制御する露光処理制御手段と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記判別手段は、前記アライメント条件として、第1の条件がクリアされるか否かを判別し、前記第1の条件がクリアできないときに前記第1の条件よりも緩い第2の条件をクリアできるか判別し、前記第1または前記第2の条件がクリアできる場合に当該領域が露光可能であると判定し、前記第2の条件がクリアできない場合に当該領域が露光不可であると判定することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記記憶手段に記憶されている予め区分けされた基板の領域と前記エラー情報とに基づいて、基板上のどの部位が前記露光未処理領域であるのかを示す情報を表示する表示部を設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の露光装置。
- 基板の表面に露光処理を実行する表面露光部と、前記表面露光部にて露光処理を実行された基板を反転させる反転部と、前記反転された基板の裏面に露光処理を実行して排出する裏面露光部とを備える露光装置が、前記基板の全体の領域または露光させるために予め区分けされた領域毎に、整合処理および露光処理を実行する露光方法において、
前記基板とこの基板に形成するパターンを有するマスクとのそれぞれに形成した基板マークおよびマスクマークを撮影手段により撮影した前記両マークに基づいて、当該基板の前記予め区分けされた領域毎の基板マークが認識できるか否かを判別し、前記基板マークが認識できる場合に、当該領域における前記両マークに基づくアライメント条件がクリアできるか判別し、前記アライメント条件がクリアできる場合に当該領域が露光可能であると判定し、前記アライメント条件がクリアできない場合および当該領域の基板マークが認識できない場合に当該領域が露光不可であると判定する判別ステップと、
この判別ステップにより前記予め区分けされた領域が露光不可と判別された基板に関する情報と、この基板において露光不可と判別された領域である露光未処理領域に関する情報とをエラー情報として記憶するステップと、
前記露光未処理領域の存在する基板が、一連の基板枚数について前記整合処理および露光処理を終了した後に排出された順に再投入されたときに、前記エラー情報に基づいて、前記アライメント条件がクリアできなかった基板については、前記基板の全体の領域の整合処理後に前記露光未処理領域に露光処理を実行させ、前記基板マークが認識できなかった基板については、前記基板の全体の領域の整合処理をパスして前記露光未処理領域に前記整合処理および露光処理を実行させるように制御する露光処理制御ステップと、
を含んでいることを特徴とする露光方法。 - 基板の表面に露光処理を実行する表面露光部と、前記表面露光部にて露光処理を実行された基板を反転させる反転部と、前記反転された基板の裏面に露光処理を実行して排出する裏面露光部とを備える露光装置に対して、前記基板の全体の領域または露光させるために予め区分けされた領域毎に、整合処理および露光処理を実行させるために、コンピュータを、
前記基板とこの基板に形成するパターンを有するマスクとのそれぞれに形成した基板マークおよびマスクマークを撮影手段により撮影した前記両マークに基づいて、当該基板の前記予め区分けされた領域毎の基板マークが認識できるか否かを判別し、前記基板マークが認識できる場合に、当該領域における前記両マークに基づくアライメント条件がクリアされるか否かを判別し、前記アライメント条件がクリアできる場合に当該領域が露光可能であると判定し、前記アライメント条件がクリアできない場合および当該領域の基板マークが認識できない場合に当該領域が露光不可であると判定する判別手段、
この判別手段により前記予め区分けされた領域が露光不可と判別された基板に関する情報と、この基板において露光不可と判別された領域である露光未処理領域に関する情報とをエラー情報として生成するエラー情報生成手段、
前記露光未処理領域の存在する基板が、一連の基板枚数について前記整合処理および露光処理を終了した後に排出された順に再投入されたときに、前記エラー情報生成手段により生成されたエラー情報に基づいて、前記アライメント条件がクリアできなかった基板については、前記基板の全体の領域の整合処理後に前記露光未処理領域に露光処理を実行させ、前記基板マークが認識できなかった基板については、前記基板の全体の領域の整合処理をパスして前記露光未処理領域に前記整合処理および露光処理を実行させるように制御する露光処理制御手段、
として機能させることを特徴とする露光処理プログラム。
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