KR20070080525A - 기판 이송장치 - Google Patents

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KR20070080525A
KR20070080525A KR1020060011891A KR20060011891A KR20070080525A KR 20070080525 A KR20070080525 A KR 20070080525A KR 1020060011891 A KR1020060011891 A KR 1020060011891A KR 20060011891 A KR20060011891 A KR 20060011891A KR 20070080525 A KR20070080525 A KR 20070080525A
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Abstract

기판을 안전하게 이송할 수 있는 기판 이송장치를 개시하고 있다. 기판 이송장치는 이송 암, 상기 이송 암의 일단으로부터 연장되며 상기 이송 암을 기준으로 상기 기판의 일측을 흡착하는 복수의 제1 흡착홀들이 형성된 제1 지지부와 상기 기판의 타측을 흡착할 수 있는 복수의 제2 흡착홀들이 형성된 제2 지지부를 포함하는 핸드부, 상기 제1 흡착홀들 및 상기 제2 흡착홀들에 연결되는 진공유닛을 포함한다. 따라서, 기판 이송장치는 복수의 제1 및 제2 흡착홀을 통하여 기판을 안전하게 이송할 수 있다.
이송 암, 흡착홀, 진공라인

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE}
도 1은 노광 설비를 개략적으로 도시한 블럭도이다.
도 2는 본 발명에 따른 레티클 이송장치를 이용하여 레티클을 레티클 스테이지에 로딩하는 단계를 개략적으로 도시한 블럭도이다.
도 3은 본 발명에 따른 레티클 이송장치를 나타내는 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 웨이퍼 스테이지 4 : 레티클 스테이지
10 : 레티클 이송장치 20 : 레티클 카세트
100 : 이송 암 200 : 핸드부
220 : 제1 지지부 240 : 제2 지지부
300 : 진공유닛 320 : 제1 진공라인
340 : 제2 진공라인 360 : 진공챔버
본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 안전하게 이송할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.
현재 반도체 장치에 대한 연구는 보다 많은 데이터를 단시간 내엥 처리하기 위하여 고집적 및 고성능을 추구하는 방향으로 진행되고 있다. 반도체 장치를 제조하기 위해서는 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등과 같은 일련의 단위 공정을 수행한다.
패턴 형성 공정에는 사진 식각 공정이 포함되며, 사진 식각 공정은 세정 공정, 표면 처리 공정, 포토레지스트 막 형성 공정, 정렬/노광 공정, 현상 공정, 및 검사 공정으로 크게 구분된다. 사진 식각 공정 중에서 정렬/노광 공정을 수행하기 위한 설비가 노광 설비이고, 상기 노광 설비에서 웨이퍼 상에 투영될 회로 패턴이 형성된 레티클(reticle)을 지지하는 장치가 레티클 스테이지(reticle stage)이다.
일반적인 노광 설비는 광원(light source)과, 레티클을 지지하기 위한 레티클 스테이지, 상기 레티클을 통과한 광을 웨이퍼 상으로 투영하는 투영(projection) 유닛, 상기 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 스테이지 등을 포함한다. 이 경우, 상기 레티클 스테이지는 상기 투영 유닛의 상부에 배치되며, 상기 웨이퍼 스테이지는 상기 투영 유닛의 하부에 배치된다.
광원으로부터 생성된 광은 상기 레티클 상으로 조사되며, 상기 레티클을 통과한 광은 상기 투영 유닛을 통해 상기 웨이퍼 상으로 조사된다. 이때, 상기 레티클을 통과한 광을 상기 레티클의 패턴 이미지 정보를 포함하는 투영광으로 변화시키기 위해 상기 레티클 스테이지는 수평 방향으로 이동하며, 상기 웨이퍼 스테이지는 상기 투영광이 상기 웨이퍼 상에 상기 패턴 이미지를 전사하도록 상기 레티클 스테이지의 이동 방향에 대하여 반대 방향으로 이동한다.
상술한 바와 같이, 상기 레티클은 상기 레티클 스테이지에 의하여 지지되는 바, 상기 레티클을 상기 레티클 스테이지 상에 로딩하기 위해서는 복수의 레티클들이 적재된 레티클 카세트로부터 상기 레티클을 인출하여 상기 레티클 스테이지로 이송하는 레티클 이송장치가 요구된다.
상기 레티클 이송장치는 흡착홀을 통하여 상기 레티클을 파지한 상태에서, 상기 레티클 카세트로부터 상기 레티클을 인출하며, 상기 레티클을 상기 레티클 스테이지에 로딩한다. 상기 레티클 이송장치는 상기 레티클 카세트로부터 인출한 상기 레티클을 상기 레티클 스테이지에 로딩하기까지 수많은 동작을 반복하게 된다.
그러나, 종래의 레티클 이송장치는 레티클을 안전하게 파지할 수 없었다. 따라서, 상기 레티클 이송장치가 상기 레티클을 파지한 상태에서 상기 카세트로부터 상기 레티클 스테이지까지 이송하는 중 레티클이 레티클 이송장치로부터 탈락하는 문제가 발생하였으며, 이로 인하여 상기 레티클이 파손될 위험이 있다.
본 발명의 목적은 기판을 안전하게 이송할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 기판 이송장치는 이송 암, 상기 이송 암의 일단으로부터 연장되며 상기 이송 암을 기준으로 상기 기판의 일측을 흡착하는 복수의 제1 흡착홀들이 형성된 제1 지지부와 상기 기판의 타측을 흡착할 수 있는 복수의 제2 흡착홀들이 형성된 제2 지지부를 포함하는 핸드부, 상기 제1 흡착홀들 및 상기 제2 흡 착홀들에 연결되는 진공유닛을 포함한다.
상기 제1 흡착홀은 상기 제1 지지부의 전방영역에 위치하는 제1 전방흡착홀과 상기 제1 지지부의 후방영역에 위치하는 제1 후방흡착홀을 포함하며, 상기 제2 흡착홀은 상기 제2 지지부의 전방영역에 위치하는 제2 전방흡착홀과 상기 제2 지지부의 후방영역에 위치하는 제2 후방흡착홀을 포함할 수 있다.
상기 진공유닛은 상기 제1 전방흡착홀 및 상기 제2 후방흡착홀에 연결되는 제1 진공라인, 상기 제2 전방흡착홀 및 상기 제1 후방흡착홀에 연결되는 제2 진공라인, 상기 제1 및 제2 진공라인의 끝단에 연결되는 진공챔버를 포함할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다. 이하에서는 기판 이송장치의 일 예로 레티클 이송장치를 설명하고 있으나, 상기 기판 이송장치는 웨이퍼 등의 기판에도 동일하게 적용될 수 있다.
도 1은 노광 설비를 개략적으로 도시한 블럭도이다.
일반적인 노광 설비는 광원(light source)과, 레티클(2)을 지지하기 위한 레티클 척(3)을 포함하는 레티클 스테이지(4), 레티클(2)을 통과한 광을 웨이퍼 상으로 투영하는 투영(projection) 유닛(5), 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 스테이지 (1)를 포함한다. 이 경우, 레티클 스테이지(4)는 투영 유닛(5)의 상부에 배치되며, 웨이퍼 스테이지(1)는 투영 유닛(5)의 하부에 배치된다.
광원으로부터 생성된 광은 레티클(2) 상으로 조사되며, 레티클(2)을 통과한 광은 투영 유닛(5)을 통해 상기 웨이퍼 상으로 조사된다. 이때, 레티클(2)을 통과한 광을 레티클(2)의 패턴 이미지 정보를 포함하는 투영광으로 변화시키기 위해 레티클 스테이지(4)는 수평 방향으로 이동하며, 웨이퍼 스테이지(1)는 상기 투영광이 상기 웨이퍼 상에 상기 패턴 이미지를 전사하도록 레티클 스테이지(4)의 이동 방향에 대하여 반대 방향으로 이동한다.
도 2는 본 발명에 따른 레티클 이송장치(10)를 이용하여 레티클(2)을 레티클 스테이지(4)에 로딩하는 단계를 개략적으로 도시한 블럭도이다.
레티클 카세트(20) 내에는 복수의 레티클(2)들이 적재된다.
레티클 이송장치(10)는 원하는 패턴 이미지가 형성된 레티클(2)을 레티클 카세트(20)로부터 인출한다. 레티클(2)은 레티클 이송장치(10)에 의하여 파지된 채로 인출된다.
인출된 레티클(2)은 레티클(2)에 제공된 바코드를 리딩하는 과정과, 레티클(2)의 오염여부를 검사하는 과정을 거친 뒤 레티클 스테이지(4)에 로딩된다.
도 3은 본 발명에 따른 레티클 이송장치(10)를 나타내는 도면이다.
레티클 이송장치(10)는 이송 암(100), 이송 암(100)의 일단으로부터 연장되어 레티클(2)을 지지하는 핸드(200), 핸드(300)에 형성된 흡착홀에 연결되는 진공유닛(300)을 포함한다.
이송 암(100)은 레티클(2)을 이송하는 역할을 하며, 이송 암(100)의 타단에는 이송 암(100)을 구동하는 구동 유닛(도시안됨)이 결합된다.
핸드(200)는 이송 암(100)의 일단에 연결되며, 레티클(2)을 안정적으로 지지하기 위하여 'U'자 형상을 가진다. 핸드(200)는 이송 암(100)을 기준으로 일측에 위치하는 제1 지지부(220) 및 타측에 위치하는 제2 지지부(240)를 포함한다. 제1 및 제2 지지부(220, 240)는 레티클(2)의 일측 및 타측을 각각 지지한다.
제1 및 제2 지지부(220, 240) 상에는 복수의 흡착홀이 각각 형성된다. 제1 지지부(220) 상에는 제1 전방흡착홀(222) 및 제1 후방흡착홀(224)이 형성되며, 제2 지지부(240) 상에는 제2 전방흡착홀(242) 및 제2 후방흡착홀(244)이 형성된다. 제1 및 제2 후방흡착홀(224, 244)은 이송 암(100)을 기준으로 후방영역에 형성되며, 제1 및 제2 전방흡착홀(222, 242)은 이송 암(100)을 기준으로 전방영역에 형성된다.
진공유닛(300)은 제1 및 제2 진공라인(320), 진공챔버(360)를 포함한다.
제1 진공라인(320)의 일단은 진공챔버(360)에 연결되며, 제1 진공라인(320) 상에는 제1 진공라인(320)을 개폐하는 제1 밸브(322)가 설치된다. 제1 진공라인(320)의 타단은 분기되어, 하나는 제1 전방흡착홀(222)에 연결되며, 다른 하나는 제2 후방흡착홀(244)에 연결된다.
제2 진공라인(340)의 일단은 진공챔버(360)에 연결되며, 제2 진공라인(340) 상에는 제2 진공라인(340)을 개폐하는 제2 밸브(342)가 설치된다.제2 진공라인(340)의 타단은 분기되어, 하나는 제2 전방흡착홀(242)에 연결되며, 다른 하나는 제1 후방흡착홀(224)에 연결된다.
이하, 도 3을 참조하여 레티클 이송장치(10)의 작동에 대하여 설명하기로 한다.
레티클(2)은 핸드(200)에 의하여 지지된다. 레티클(2)은 핸드(200)의 상부면에 안착되며, 레티클(2)의 일측은 제1 지지부(220)에 의하여 지지되며, 레티클(2)의 타측은 제2 지지부(240)에 의하여 지지된다.
제1 지지부(220)에 형성된 제1 전방흡착홀(222) 및 제1 후방흡착홀(224)은 레티클(2)의 일측을 흡착하며, 제2 지지부(240)에 형성된 제2 전방흡착홀(242) 및 제2 후방흡착홀(244)은 레티클(2)의 타측을 흡착한다. 제1 진공라인(320)은 제1 전방흡착홀(222) 및 제2 후방흡착홀(244)에 연결되며, 제2 진공라인(340)은 제2 전방흡착홀(242) 및 제1 후방흡착홀(224)에 연결된다.
따라서, 제1 진공라인(320)에 오류가 발생하면, 레티클(2)은 제2 진공라인(340)에 연결된 제2 전방흡착홀(242) 및 제1 후방흡착홀(224)을 이용하여 레티클(2)을 파지할 수 있으며, 제2 전방흡착홀(242)과 제1 후방흡착홀(224)은 대각선 상에 위치하므로 레티클(2)을 안정적으로 파지할 수 있다.
또한, 제2 진공라인(340)에 오류가 발생하면, 레티클(2)은 제1 진공라인(320)에 연결된 제1 전방흡착홀(222) 및 제2 후방흡착홀(244)을 이용하여 레티클(2)을 파지할 수 있으며, 제1 전방흡착홀(222)과 제2 후방흡착홀(244)은 대각선 상에 위치하므로 레티클(2)을 안정적으로 파지할 수 있다.
본 실시예에서는 제1 및 제2 진공라인(320, 340)에 각각 연결된 흡착홀들이 대각선으로 배치되는 것으로 설명하였으나, 상기 흡착홀들은 일렬로 배치될 수 있 다. 그러나, 제1 및 제2 지지부(220, 240)를 통하여 레티클(2)을 파지하기 위해서는 제1 및 제2 지지부(220, 240)에 각각 형성되어야 한다.
상술한 바에 의하면, 제1 및 제2 진공라인(320, 340)에 각각 연결된 흡착홀들이 대각선으로 배치되므로, 제1 및 제2 진공라인(320, 340) 중 어느 하나에 오류가 발생한 경우 다른 하나를 통하여 레티클(2)을 안전하게 파지할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 지지부(220, 240)에 복수의 흡착홀이 형성되므로 어느 하나의 흡착홀이 막히는 경우에도 다른 하나의 흡착홀을 이용하여 레티클(2)을 안전하게 파지할 수 있다. 따라서, 레티클 카세트(20)에 적재된 레티클(2)을 레티클 스테이지(4)로 안전하게 이송할 수 있다.
본 발명에 의하면 기판을 안전하게 파지할 수 있으므로 기판을 안전하게 이송할 수 있다.

Claims (3)

  1. 이송 암;
    상기 이송 암의 일단으로부터 연장되며, 상기 이송 암을 기준으로 상기 기판의 일측을 흡착하는 복수의 제1 흡착홀들이 형성된 제1 지지부와 상기 기판의 타측을 흡착할 수 있는 복수의 제2 흡착홀들이 형성된 제2 지지부를 포함하는 핸드; 및
    상기 제1 흡착홀들 및 상기 제2 흡착홀들에 연결되는 진공유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 흡착홀은 상기 제1 지지부의 전방영역에 위치하는 제1 전방흡착홀과 상기 제1 지지부의 후방영역에 위치하는 제1 후방흡착홀을 포함하며,
    상기 제2 흡착홀은 상기 제2 지지부의 전방영역에 위치하는 제2 전방흡착홀과 상기 제2 지지부의 후방영역에 위치하는 제2 후방흡착홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 진공유닛은,
    상기 제1 전방흡착홀 및 상기 제2 후방흡착홀에 연결되는 제1 진공라인;
    상기 제2 전방흡착홀 및 상기 제1 후방흡착홀에 연결되는 제2 진공라인; 및
    상기 제1 및 제2 진공라인의 끝단에 연결되는 진공챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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