JP5158881B2 - 浮上搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、板状基板に対する気体の噴出によって、板状基板を浮上した状態にし、この状態で板状基板を移動、停止、静止、上昇及び方向転換させる場合、重くて大きい板状基板でも確実に、且つ高速で移動、停止、静止、上昇及び方向転換させることが出来る浮上搬送装置に関する。

特許第３５１９６７５号公報 特開２００８−１９５５４１号公報 特開２００５−７５４９６号公報従来から、成形、加工工程における液晶ディスプレイ等に用いられるガラス板や半導体装置が形成されるウエハ等の板状基板を気流の噴射によって行う浮上搬送装置が知られている（例えば、特許文献１，２，３参照。）。

特許文献１において、搬送ローラやエンドレスベルトに設けられた押圧部材により、基板の搬送方向の後方端部の側面を後押しして搬送するなどして、制動は搬送ローラによるものである。特許文献２、３において、基板の移動方向とは逆の方向に気体を噴出して、基板を捕捉・停止させているものである。

画面の大型化の要望に応じ、基板等のサイズが大型化する傾向にあることに対応して、先行技術に係る浮上搬送装置にあっては、ローラとの摩擦抵抗や、気体の送気方向の調節による基板の速やかで高精度な停止は極めて難しいという問題がある。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。

請求項１の発明によれば、
気体を噴出させて、基板を浮上させる第１の浮上ユニットと、
歯付きベルトを有し、この歯付きベルトの背面の押圧搬送突起部により、
浮上された前記基板の後方端面を押圧し搬送する第１の押圧搬送ユニットと、
この第１の押圧搬送ユニットと協同して、同期移動しながら、
歯付きベルトを有し、この歯付きベルトの背面の受け搬送突起部により、
浮上された前記基板の前方端面を受けて搬送する第１の受け搬送ユニットを備えた第１の浮上搬送装置により、浮上された前記基板を、次の、第２の浮上搬送装置に搬送し、
この第２の浮上搬送装置は、
気体を噴出させて、搬送されてくる前記基板を浮上させる第２の浮上ユニットと、
前記第１の押圧搬送ユニットにより、後方端面を押圧搬送されると共に、
浮上された前記基板の前方端面を、前記第１の受け搬送ユニットにより、
受け搬送される方向と同一方向に受け搬送するように配置されていて、
各々歯付きベルトを有し、この各々歯付きベルトの背面の受け搬送突起部により、
同期移動しながら、浮上された前記基板の前方端面を、
第３の受け搬送ユニットから第３′の受け搬送ユニットにより、順々に受け搬送しつつ、浮上された前記基板を徐行してから一時停止させる前記第３の受け搬送ユニットおよび第３′の受け搬送ユニットと、
この一時停止され、浮上された前記基板の右方端面を、歯付きベルトを有し、この歯付きベルトの背面の押圧搬送突起部により押圧搬送する第２の押圧搬送ユニットと、
この第２の押圧搬送ユニットに協同して、同期移動しながら、
歯付きベルトを有し、この歯付きベルトの背面の受け搬送突起部により、
浮上された前記基板の左方端面を受けて搬送する第２の受け搬送ユニットとを備えており、
前記第１の浮上搬送装置による前記基板の搬送方向に対して、前記第２の浮上搬送装置の前記基板の搬送方向が、９０度ずれた方向に設けられていることを特徴とする浮上搬送装置である。

本発明によれば、気体（気流）Ｇを噴出（噴射）させて、基板を浮上させて、第１の浮上搬送装置の第１の押圧搬送ユニットと、第１の受け搬送ユニットとの歯付きベルトの背面に設けた突起部（搬送桟）に挟んで協同で搬送し、歯付きベルトの歯のかみ合いで高精度の搬送が可能であり、且つ、歯付きベルトの背面の突起部（搬送桟）により基板前後で挟んで支持して搬送するので、ずれや振動を防止できるので高速の搬送が可能である。そして、浮上搬送装置における第２の搬送装置では、
前記第１の押圧搬送ユニットにより、浮上された基板の後方端面を押圧搬送されると共に、これと同期移動しながら、第３の受け搬送ユニットから第３′の受け搬送ユニットに、浮上する前記基板の前方端面を、順々に受け搬送しつつ、徐行してから、浮上する前記基板の前方端面が、第３′の受け搬送ユニットの受け搬送領域の終端部にて、一時停止させて、次に、第１の搬送装置の搬送方向に対して９０度ずれた方向に基板を搬送できる浮上搬送装置であるから、設置スペースの有効利用が可能である。

本発明の第１の実施の形態に係る、浮上搬送システム１の平面図である。 本発明の第１の実施の形態に係る、第２の搬送装置３と第２の搬送装置３０と、昇降搬送装置６０との連接状態を示す斜視図である。 本発明の第１の実施の形態に係る、昇降搬送装置６０と第２の搬送装置９０との連接状態を示す斜視図である。 本発明の第２の実施の形態に係る第１の搬送装置３の斜視図を示す。 本発明に係る昇降搬送装置６０の側面図である。 本発明に係る昇降搬送装置６０の縮んだ場合の状態図である。 本発明に係る昇降搬送装置６０の伸びた場合の状態図である。 基板Ｗが第３の搬送装置により検査装置内に搬送される斜視図である。

図１は、本発明の第１の実施形態における浮上搬送装置１の平面図である。この浮上搬送装置１は、第１の搬送装置３と、第２の搬送装置３０と、昇降搬送装置６０と、第３の搬送装置９０とから成る。そして、第１の搬送装置３は、複数の第１の浮上ユニット４ａ、４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ（添え字のａ〜ｅに掛けて、全長が段々長くなる）と、第１の押圧搬送ユニット７ａと、第１の受け搬送ユニット７ｂとを設けている。そして、第２の搬送装置３０は、複数の第２の浮上ユニット３４ａ、３４ｂ、３４ｃ，３４ｄ，３４ｅ，３４ｆ、３４ｇ、３４ｈ（添え字のａ〜ｈに掛けて、全長が段々長くなる）と、第２の押圧搬送ユニット３７ａと、第２の受け搬送ユニット３７ｂと、第３の受け搬送ユニット４５ｂと第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′とを設けている。昇降搬送装置６０は、昇降ユニット８２と、複数の第３の浮上ユニット６４ａ、６４ｂ，６４ｃ、６４ｄ（添え字のａ〜ｄの順に、全長が段々長くなる。尚、複数でなくとも基板を浮上させるに足る気体噴出流があれば一つでもよい。）と、第４の受け搬送ユニット６７ｂと、第４の押圧搬送ユニット６７ａと、第５の押圧搬送ユニット７５ａと、第５の受け搬送ユニット７５ｂと、を設けている。第３の搬送装置９０は、第４の浮上ユニット９４ａ、９４ｂ〜９４ｅ（添え字ａ〜ｅの順に、全長が段々長くなる。）と、第６の押圧搬送ユニット９７ａと、第６の受け搬送ユニット９７ｂとを設けている。

上述の本発明の第１の実施の形態に係る図１、図２に示す第１の搬送装置３の構成と、本発明の第２の実施の形態である図４に示す第１の搬送装置３との構成は、同様な構成である。そこで、図１、図２、図４において同一の機能を果たす部分は同一名称、同一符号にて示す。図１、図２と、図４との第１の搬送装置３の具体的な相違は、第１の受け搬送ユニット７ｂにおいて第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃ，１２ｃの長さが異なる（図４の方が長い）。それに伴い、各々中間軸１０ｃにおけるアイドルプーリ１１ｃの数が異なる（図１、図２では２個ずつであり、図４では４個ずつである。）。そこで、第１の実施の形態における第１の搬送装置３と、第２の実施の形態における第１の搬送装置３とを併せて説明する。

第１の搬送装置３の斜視図を示す図２、図４を参照すると、基台２５は、長部材と短部材とからなる上枠部２５ａと、同じく長部材と短部材とからなる下枠部２５ｂとが、複数の柱部材２５ｃ，２５ｃに支持されてなり、更に、その下枠部２５ｂの下面側に、複数の脚車（キャスター）２６と複数のストッパー２７が設けられている。この複数の脚車（キャスター）２６により第１の搬送装置３の移動が容易であり、複数のストッパー２７により第１の搬送装置３の固定ができ、工場等の必要な設置場所に据え付け可能である。

そして、基台２５の、対を成す上枠部２５ａの長部材上面部にて、対向して、且つ、平行に、第１の左側板２４ａと第１の右側板２４ｂとが設けてある（左右は第１の搬送装置３が図１に配置された状態にて表現している。ちなみに図２、図４では長手方向における前側と後側とになる。）。この第１の左側板２４ａと第１の右側板２４ｂの間に、複数の梁部材２３ａ，２３ｂ〜２３ｍ，（図４では、複数の梁部材２３ａ，２３ｂ〜２３ｅ）が、架け渡されており、しかも、これらの複数の梁部材２３ａ，２３ｂ，〜２３ｍは、図示してないネジ等で、上下方向の位置の微調整を可能に取り付けてある。

そして、前記梁部材２３ａ，２３ｂ〜２３ｍの上に、複数の第１の浮上ユニット４ａ、４ｂ〜４ｅが設けられ（添え字のａ〜ｅに向けて、全長が段々長くなる）、これ等複数の第１の浮上ユニット４ａ〜４ｅの間に平行して、各々対を成す第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ、１２ａと第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃ、１２ｃとを各々備えた第１の押圧搬送ユニット７ａと、第１の受け搬送ユニット７ｂとが、設けられている。

複数の第１の浮上ユニット４ａ〜４ｅにおいては、各々実際の長さは異なるが原理的には同じであり、コンプレッサーに接続した通気配管等を有する長尺部材から成る第１の浮上ユニット本体５ａの表面に複数の気体噴出孔（気流噴射孔）５ｂ、５ｂを有し、この複数の気体噴出孔（気流噴射孔）５ｂ、５ｂから気体（気流）Ｇを噴出（噴射）させて、基板Ｗを浮上させるために複数の第１の浮上ユニット４ａ〜４ｅの列が配設してある。これ等の複数の第１の浮上ユニット４ａ〜４ｅ等に相当する装置は、従来、種々の技術が開示されていて、これ等を使用可能とする。

そして、第１の押圧搬送ユニット７ａの第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ、１２ａの背面の所定箇所に、各々設けられた押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ、１２ｂにより基板Ｗの後方端面から押圧し、第１の受け搬送ユニット７ｂの第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃ、１２ｃの背面の所定箇所に、各々設けられた受け搬送突起部（受け搬送桟）１２ｄ，１２ｄにより、基板Ｗの前方端面を受けて当接する。即ち、基板Ｗを押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ、１２ｂと受け搬送突起部（受け搬送桟）１２ｄ，１２ｄとでずれないように、且つ、基板Ｗが変形しないような力で抑えながら所定の方向に、第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ、１２ａと第１の受け搬送歯付きベルト１２ｂ、１２ｂとにより搬送している。

第１の押圧搬送ユニット７ａは、背面の所定箇所に、各々設けられた押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ、１２ｂを有する第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ、１２ａが、基板Ｗの後方端面から押圧搬送する。図１、図４を参照して、この第１の押圧搬送ユニット７ａの構成を詳述すると、前記基台２５の、前記上枠部２５ａの長部材上面部に平行に、且つ、対向して、前記第１の左側板２４ａと前記第１の右側板２４ｂとの間において、複数の前記梁部材２３ａ，２３ｂ，〜２３ｍが架け渡され、そして、前端部の近傍（図２、図４では右方端部の近傍、図１では第２の搬送装置３０の近傍）において、回転自在に図示してない軸受けに両端部を支承され、且つ、間に、複数の前記第１の浮上ユニット４ａ〜４ｅと後述する第１の受け搬送ユニット７ｂとを挟んで、２個の第１の押圧搬送駆動歯付きプーリ９ａ，９ａを固着配置して架設された第１の押圧搬送駆動軸８ａと、これに対応する後端部の近傍（図２、図４では左方端部、図１では第２の搬送装置３０から離れた部位）において、回転自在に図示してない軸受けに両端部を支承され、且つ、間に、複数の前記第１の浮上ユニット４ａ〜４ｅと後述する第１の受け搬送ユニット７ｂとを挟んで、２個の第１の押圧搬送従動歯付きプーリ１１ａ，１１ａを固着配置して架設された第１の押圧搬送従動軸１０ａと、が前後に（図１では「前後に」であり、図２、図４では左右にである。）配設されている。ここの第１の押圧搬送駆動歯付きプーリ９ａ、９ａと第１の押圧搬送従動歯付きプーリ１１ａ、１１ａとの間に、各々第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａを巻回して架設してある。そして、この第１の押圧搬送駆動軸８ａの一端には第１の押圧搬送サーボモータ１３ａが連設してある。

次に、第１の押圧搬送ユニット７ａと協同して、ベルト背面の所定箇所に、各々設けられた第１の受け搬送突起部（受け搬送桟）１２ｄ，１２ｄを有する第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃ，１２ｃが、基板Ｗの前方端面を受けて当接搬送する第１の受け搬送ユニット７ｂの構成を述べる。前記基台２５の、前記上枠部２５ａの長部材上面部に平行に、且つ、対向して、前記第１の左側板２４ａと前記第１の右側板２４ｂとの間において、複数の前記梁部材２３ａ，２３ｂ，〜２３ｍが架け渡され、そして、前端部の近傍（図２、図４では右方端部近傍、図１では第２の搬送装置３０の近傍で、むしろ、第１の搬送装置３の先端の一部が、第２の搬送装置３０の搬送領域に入り込んだ状態である。）において、回転自在に図示してない軸受けに両端部を支承され、且つ、間に第１の浮上ユニット４ｅを挟んで、２個の第１の受け搬送駆動歯付きプーリ９ｂ，９ｂと、これに隣接した駆動歯付きプーリ１３ｄが固着連接されている第１の受け搬送駆動軸８ｂが設けられている。そして、この第１の受け搬送駆動軸８ｂの下方に図示されないブラケット等に取り付けられて、且つ、モータ軸にモータ歯付きプーリ１３ｃを有する第１の受け搬送サーボモータ１３ｂが配設され、前記駆動歯付きプーリ１３ｄと前記モータ歯付きプーリ１３ｃとの間にモータ歯付きベルト１３ｅが巻回架設してある。これにより第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃの張り側が基板Ｗを受け搬送する側となり、第１の受け搬送サーボモータ１３ｂの回転力を精度良く伝達できる。（図４では第１の受け搬送サーボモータ１３ｂが直結であり、モータ歯付きプーリ１３ｃと、駆動歯付きプーリ１３ｄと、モータ歯付きベルト１３ｅとは不要である。）

そして、２個の第１の受け搬送駆動歯付きプーリ９ｂ，９ｂと、これに隣接して駆動歯付きプーリ１３ｄが固着連接されている第１の受け搬送駆動軸８ｂに対応して、中央部近傍（図１、図２ではやや中央部より前記第１の押圧搬送従動軸１０ａ寄りの部位、図１ではやや第２の搬送装置３０寄りの部位でもある。）に架設され、そして、回転自在に図示してない軸受けに両端部を支承され、且つ、間に第１の浮上ユニット４ｅを挟んで、２個の第１の受け搬送従動歯付きプーリ１１ｂ，１１ｂを固着配置してある第１の受け搬送従動軸１０ｂが、架設されている。この第１の受け搬送駆動歯付きプーリ９ｂ、９ｂと第１の受け搬送従動歯付きプーリ１１ｂ、１１ｂとの間に、各々第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃ，１２ｃを巻回して架設してある。

ここで一部重複して述べるが、図１と図２では、判りやすいように第１の押圧搬送サーボモータ１３ａが表面に図示され、図４では、第１の押圧搬送サーボモータ１３ａと、第１の受け搬送サーボモータ１３ｂとが表面に図示されているが、図１と図２では、第１の受け搬送サーボモータ１３ｂは、第２の搬送装置３０と干渉防止のために表面に現れない（図示されない）下側において、モータ軸にモータ歯付きプーリ１３ｃを有する状態で、第１の受け搬送サーボモータ１３ｂが、図示せぬ取り付けブラケット等により設けられ、且つ、ベルト張力の調整可能な構成も工夫できる。しかも確実に基板Ｗを搬送するためには、搬送動作時にベルトの張り側が上面になるようにする必要もある。更に、図１、図２においては、第１の搬送装置３の先端の一部が、第２の搬送装置３０の搬送領域に入り込んだ状態にて、確実な基板Ｗの受け渡しを図っている。

図１を参照して、浮上搬送装置１における第１の搬送装置３の動作は、図示しない前工程の基板検査装置から第１の搬送装置３上のスタート位置Ｗ１に、搬送されて来る基板Ｗの搬送速度に同期して、予め、第１の押圧搬送駆動軸８ａの一端に連設してある第１の押圧搬送サーボモータ１３ａの回転力を、第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａにより伝動回転される第１の押圧搬送駆動歯付きプーリ９ａ，９ａに巻回し駆動される前記各々第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａの背面の押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ，１２ｂにて、基板Ｗの後方端面と同期移動しながら衝撃を与えること無く当接し基板の搬送を開始する。第１の受け搬送駆動軸８ｂの一端に配設された駆動歯付きプーリ１３ｄとモータ歯付きプーリ１３ｃに巻回架設されたモータ歯付きベルト１３ｅを介して、第１の受け搬送サーボモータ１３ｂにより、第１の受け搬送ユニット７ｂの第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃ、１２ｃの背面の所定箇所に、各々設けられた受け搬送突起部（受け搬送桟）１２ｄ，１２ｄにより、基板Ｗの前方端面を同期移動しながら衝撃を与えること無く受けて当接搬送する。そして、基板Ｗがスタート位置Ｗ１に来た直後に、プログラムされた所定のタイミングにより、押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ，１２ｂと受け搬送突起部（受け搬送桟）１２ｄ，１２ｄとにより基板Ｗが湾曲するような力でなく変形しないような力により挟んで搬送する。

更に、浮上搬送装置１において、第１の搬送装置３から第２の搬送装置３０に基板Ｗが搬送される。その場合、搬送される基板Ｗの先端が第１の搬送装置３の搬送領域の終端部に近づく所定のタイミングにて、第１の受け搬送サーボモータ１３ｂの回転力が伝動され、第１の受け搬送従動歯付きプーリ１１ｂに巻回している第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃの背面の受け搬送突起部（受け搬送桟）１２ｄ，１２ｄが、基板Ｗの板厚よりも下方に回り込んで、搬送される基板Ｗと干渉しないような状態となる。そして、第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａの背面の押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ、１２ｂに基板Ｗの後端部の側面を押圧させて基板Ｗの先端から、第２の搬送装置３０の搬送領域に搬送される。

前記第１の左側板２４ａと前記第１の右側板２４ｂとの間において、２個の第１の押圧搬送駆動歯付きプーリ９ａ，９ａを固着配置した第１の押圧搬送駆動軸８ａと、２個の第１の押圧搬送従動歯付きプーリ１１ａ，１１ａを固着配置した第１の押圧搬送従動軸１０ａとが、前後端部の近傍に、回転自在に図示してない軸受けに両端部を支承され架設されていて、更に、ここの第１の押圧搬送駆動歯付きプーリ９ａ、９ａと第１の押圧搬送従動歯付きプーリ１１ａ、１１ａとの間に、各々第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａを巻回して架設してあることは前述した。そして、図１、図２を参照すると、前記第１の左側板２４ａと前記第１の右側板２４ｂとの中間部にて、第１の押圧搬送駆動軸８ａと、第１の押圧搬送従動軸１０ａとに平行で、且つ、回転自在に図示してない軸受けに両端部を支承され、各々２個の歯付きアイドルプーリ１１ｃ、１１ｃ、を備えた、２本の第１の中間軸１０ｃ、１０ｃが、架設されている。そして、各々２個の歯付きアイドルプーリ１１ｃ、１１ｃ、により、第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａの垂れ下がり防止のために下方から支えている。尚、図４では、中間軸１０ｃには各々４個の歯付きアイドルプーリ１１ｃ、１１ｃ、１１ｃ、１１ｃを備えており、各々第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａのみならず、第１の受け搬送歯付きベルト１２ｃ，１２ｃの垂れ下がり防止のために下方から支えている。

次に、図１、図２を参照して、第２の搬送装置３０は、前記第１の搬送装置３の搬送方向に対して、直角方向に基板Ｗを搬送可能なように、配置されている。そして、第２の搬送装置３０は、複数の第２の浮上ユニット３４ａ、３４ｂ〜３４ｈと、第２の押圧搬送ユニット３７ａと、第２の受け搬送ユニット３７ｂと、第３の受け搬送ユニット４５ｂと、第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′等を設けている。

第２の搬送装置３０の構成は、前記第１の搬送装置３と同様に、基台５５の上方部に高さ方向微調整可能に取り付けられた、梁部材５３ａ，５３ｂ，〜５３ｍが設けられ、これらの梁部材５３ａ，５３ｂ，〜５３ｍの上に、複数の第２の浮上ユニット３４ａ、３４ｂ〜３４ｈ（図１を参照して、５箇所の第２の浮上ユニット３４ａと、１箇所の第２の浮上ユニット３４ｆは前記第１の搬送装置３の搬送方向と同一であり、他の第２の浮上ユニットは前記第１の搬送装置３の搬送方向と直角を成す方向である。添え字ａ〜ｈに向けて長さが長くなる。）が設けられ、この第２の浮上ユニット３４ａ、３４ｂ〜３４ｈの間に、各々対を成す第２の押圧搬送歯付きベルト４２ａ、４２ａと第２の受け搬送歯付きベルト４２ｃ、４２ｃとを各々備えた第２の押圧搬送ユニット３７ａと、第２の受け搬送ユニット３７ｂと、第３の受け搬送ユニット４５ｂと、第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′とが、設けられている。（図１を参照して、第３の受け搬送ユニット４５ｂと、第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′とが、前記第１の搬送装置３の搬送方向と同一であり、他の第２の押圧搬送ユニット３７ａと第２の受け搬送ユニット３７ｂは前記第１の搬送装置３の搬送方向と直角を成す方向である。）

第２の浮上ユニット３４ａ、３４ｂ〜３４ｈは、長尺部材から成る第２の浮上ユニット本体３５ａの表面に複数の気体噴出孔（気流噴射孔）３５ｂ、３５ｂを有し、この複数の気体噴出孔（気流噴射孔）３５ｂ、３５ｂから気体（気流）Ｇを噴出（噴射）させて、基板Ｗを浮上させるに足る気体（気流）Ｇの噴出（噴射）であればよい。

更に図１を参照して、第２の搬送装置３０には、第２の受け搬送ユニット３７ｂの他に、第３の受け搬送ユニット４５ｂと、第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′とが、設けられていることは前記した。そして、第３の受け搬送ユニット４５ｂと、第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′とは、前記第１の受け搬送ユニット７ｂとの受け搬送方向の延長方向と同一方向に、基板Ｗの前方端面を同期移動しながら衝撃を与えること無く受けて当接して、基板の搬送速度を徐行させ、Ｗ２の位置に一次停止させる動作をする。

第３の受け搬送ユニット４５ｂと、第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′の構成は、背面の所定箇所に、各々設けられた受け搬送突起部（受け搬送桟）５０ｄ，５０ｄ及び５０ｄ′，５０ｄ′を有する第３の受け搬送歯付きベルト５０ｃ，５０ｃ及び５０ｃ′，５０ｃ′が、基板Ｗの前方端面を受けて当接する。図１を参照して、この第３の受け搬送ユニット４５ｂ及び第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′は、前記基台５５の、上枠部５５ａの短部材に平行に一対のブラケット５２，５２において、前記第１の搬送装置３に離れた位置方向に回転自在に軸受けに承支された第３の受け搬送駆動軸４６ｂ及び４６ｂ′が架設されている。そして、この第３の受け搬送駆動軸４６ｂの中央部において、第３の受け搬送駆動歯付きプーリ４７ｂ，４７ｂと、これに隣接した駆動歯付きプーリ５１ｄが固着連接されている。同様に第３′の受け搬送駆動軸４６ｂ′の中央部において、第３′の受け駆動歯付きプーリ４７ｂ′，４７ｂ′と、これに隣接した駆動歯付きプーリ５１ｄ′とが各々固着連接されている。そして、前記第３の受け搬送駆動軸４６ｂの下方に図示されないブラケット等に取り付けられて、且つ、モータ軸にモータ歯付きプーリ５１ｃを有する第３の受け搬送サーボモータ５１ｂが配設され、前記駆動歯付きプーリ５１ｄとモータ歯付きプーリ５１ｃとの間にモータ歯付きベルト５１ｅが巻回架設してある。これにより第３の受け搬送歯付きベルト５０ｃの張り側が基板Ｗを受け搬送する側となり、第３の受け搬送サーボモータ５１ｂの回転力を精度良く伝達できる。同様に、前記第３′の受け搬送駆動軸４６ｂ′の下方に図示されないブラケット等に取り付けられて、且つ、モータ軸にモータ歯付きプーリ５１ｃ′を有する第３′の受け搬送サーボモータ５１ｂ′が配設され、前記駆動歯付きプーリ５１ｄ′とモータ歯付きプーリ５１ｃ′との間にモータ歯付きベルト５１ｅ′が巻回架設してある。これにより第３′の受け搬送歯付きベルト５０ｃ′の張り側が基板Ｗを受け搬送する側となり、第３′の受け搬送サーボモータ５１ｂ′の回転力を精度良く伝達できる。

これらの軸（第３の受け搬送駆動軸４６ｂ及び第３′の受け搬送駆動軸４６ｂ′）に対応して、前記一対のブラケット５２，５２において、前記第１の搬送装置３に近い位置方向にて、回転自在に軸受けに承支され、且つ、第３の受け搬送従動歯付きプーリ４９ｂ、４９ｂ及び第３′の受け搬送従動歯付きプーリ４９ｂ′、４９ｂ′を、各々有する第３の受け搬送従動軸４８ｂ及び第３′の受け搬送従動軸４８ｂ′が架設されている。そして、第３の受け搬送駆動歯付きプーリ４７ｂ，４７ｂと、第３の受け搬送従動歯付きプーリ４９ｂ、４９ｂとの間に各々第３の受け搬送歯付きベルト５０ｃ，５０ｃとが、また、第３′の受け搬送駆動歯付きプーリ４７ｂ′，４７ｂ′と、第３′の受け搬送従動歯付きプーリ４９ｂ′、４９ｂ′との間に、各々第３′の受け搬送歯付きベルト５０ｃ′、５０ｃ′が各々巻回され架設されている。
そして、前記第２の浮上ユニット３４ｆ及び第２の浮上３４ａを挟んで、前記第３の受け搬送従動軸４８ｂ及び第３′の受け搬送従動軸４８ｂ′に設けられている第３の受け搬送従動歯付きプーリ４９ｂ、４９ｂ及び第３′の受け搬送従動歯付きプーリ４９ｂ′、４９ｂ′と、前記第３の受け搬送駆動軸４６ｂ及び前記第３′の受け搬送駆動軸４６ｂ′に設けられている前記第３の受け搬送駆動歯付きプーリ４７ｂ，４７ｂ及び第３′の受け搬送駆動歯付きプーリ４７ｂ′，４７ｂ′との間に各々第３の受け搬送歯付きベルト５０ｃ、５０ｃ及び各々第３′の受け搬送歯付きベルト５０ｃ′、５０ｃ′を巻回架設していることは前記した通りであり、そして、前記第３の受け搬送サーボモータ５１ｂ及び第３′の受け搬送サーボモータ５１ｂ′（図示してない）の回転力を伝動する。

図１を参照して、浮上搬送装置１を構成する第２の搬送装置３０における、第３の受け搬送ユニット４５ｂ及び第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′の動作は、第１の搬送装置３から第２の搬送装置３０に基板Ｗが搬送される場合、前記したように第３の受け搬送ユニット４５ｂ及び第３′の受け搬送ユニット４５ｂ′は、前記第１の押圧搬送ユニット７ａと、前記第１の受け搬送ユニット７ｂとの搬送方向の延長方向と同一方向に、基板Ｗの前方端面を同期移動しながら衝撃を与えること無く受けて当接搬送して、基板の搬送を徐行してから一次停止させる動作をする。即ち、第１の押圧搬送サーボモータ１３ａに駆動される第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａの背面の押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ、１２ｂに基板Ｗの後端部の側面を押圧させて基板Ｗの先端から、第２の搬送装置３０の搬送領域において第２の浮上ユニット３４ａ、３４ｆに浮上されながら搬送される。そして第３の受け搬送サーボモータ５１ｂ及び第３′の受け搬送サーボモータ５１ｂ′の回転力を伝動する（伝動の順は、モータ歯付きプーリ５１ｃ→モータ歯付きベルト５１ｅ→駆動歯付きプーリ５１ｄ）、各々第３の受け搬送歯付きベルト５０ｃ，５０ｃ及び（伝動の順は、モータ歯付きプーリ５１ｃ′→モータ歯付きベルト５１ｅ′→駆動歯付きプーリ５１ｄ′）、各々第３′の受け搬送歯付きベルト５０ｃ′，５０ｃ′の背面の所定箇所に、各々設けられた受け搬送突起部（受け搬送桟）５０ｄ，５０ｄ及び受け搬送突起部（受け搬送桟）５０ｄ′，５０ｄ′の移動速度を、第１の押圧搬送サーボモータ１３ａに駆動される第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａの背面の押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ、１２ｂに基板Ｗの後端部の側面を押圧させて搬送速度に同期移動させながら、搬送される基板Ｗの前方端面に衝撃を与えること無く受けて当接搬送する。そしてまず初めに、第１の押圧搬送サーボモータ１３ａに駆動される第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａの背面の押圧搬送突起部（押圧搬送桟）１２ｂ、１２ｂと、第３の受け搬送サーボモータ５１ｂの回転力を伝動する各々第３の受け搬送歯付きベルト５０ｃ，５０ｃの背面の所定箇所に、各々設けられた受け搬送突起部（押圧搬送桟）５０ｄ，５０ｄとの協同で徐行させ、次に、第１の押圧搬送サーボモータ１３ａに駆動される第１の押圧搬送歯付きベルト１２ａ，１２ａの背面の押圧突起部（押圧搬送桟）１２ｂ、１２ｂと、第３′の受け搬送サーボモータ５１ｂ′の回転力を伝動する各々第３′の受け搬送歯付きベルト５０ｃ′，５０ｃ′の背面の所定箇所に、各々設けられた受け搬送突起部（受け搬送桟）５０ｄ′，５０ｄ′との協同で、基板Ｗの前後を挟持しながらＷ２の位置に基板Ｗを一時停止させる。この場合、基板Ｗが変形しないようなタイミングで動作させるようにする。

次に、図１、図２を参照して、第２の搬送装置３０において、前記第１の搬送装置３の搬送方向に対して９０度ずれた方向に基板Ｗを搬送する。そして、第２の押圧搬送駆動軸３８ａ，３８ａの一端に各々連設してある第２の押圧搬送サーボモータ４３ａ，４３ａの回転力を伝動する第２の押圧搬送駆動歯付きプーリ３９ａ，３９ａに巻回し駆動される各々第２の押圧搬送ユニット３７ａの第２の押圧搬送歯付きベルト４２ａ，４２ａの背面の押圧搬送突起部（押圧搬送桟）４２ｂ，４２ｂと、第２の受け搬送駆動軸３８ｂ，３８ｂの一端に連設された第２の受け搬送サーボモータ４３ｂ（下側にあり、モータ歯付きプーリ４３ｃを備えモータ歯付きベルト４３ｅ，駆動歯付きプーリ４３ｄ等で第２の受け搬送駆動軸３８ｂを駆動する。）により、第２の受け搬送ユニット３７ｂの第２の受け搬送歯付きベルト４２ｃ、４２ｃの背面の所定箇所に、各々設けられた受け搬送突起部（受け搬送桟）４２ｄ，４２ｄにより、基板ＷにおけるＷ２（左）とＷ２（右）の各端面（図１参照）を各々挟持するように当接支持し、同期移動しながら衝撃を与えること無く左方に搬送する。

更に、浮上搬送装置１において、第２の搬送装置３０から昇降搬送装置６０に基板Ｗが搬送される。その場合、搬送される基板Ｗの左方端が昇降搬送装置６０の搬送領域に入って、第２の受け搬送ユニット３７ｂから、所定のタイミングにて、受け搬送サーボモータ４３ｂの回転力が伝動され、第２の受け搬送従動歯付きプーリ４１ｂに巻回している第２の受け搬送歯付きベルト４２ｃの背面の受け搬送突起部（受け搬送桟）４２ｄ，４２ｄが、基板Ｗの板厚よりも下方に回り込んで、搬送される基板Ｗと干渉しないような状態となる。そして、後述する第４の受け搬送ユニット６７ｂ（第４の受け搬送サーボモータ７３ａにて駆動）に引き継がれ、同期移動しながら衝撃を与えること無く左方に搬送される。基板Ｗの右端面が第２の押圧搬送ユニット３７ａから、第４の押圧搬送ユニット６７ａに引き継がれて基板Ｗの右端面部を押圧搬送しつつ、徐行し、基板ＷをＷ３の位置に一時停止させる。この基板Ｗが、Ｗ３の位置において、第４の押圧搬送歯付きベルト７２ａ、７２ａの背面の押圧搬送突起部（押圧搬送桟）７２ｂ，７２ｂにより基板Ｗの右端面部を当接支持され、第５の受け搬送ユニット７５ｂ（第５の受け搬送サーボモータ８１ａにて駆動）の第５の受け搬送歯付きベルト８０ｃ，８０ｃの背面の受け搬送突起部（受け搬送桟）８０ｄ，８０ｄにより基板Ｗの左端面部を当接支持されている。この状態から所定のタイミングにより昇降ユニット８２の動作により、基板Ｗを、所定の上方の位置に上昇させて、第５の押圧搬送ユニット７５ａにより第３の搬送装置９０に渡す動作をする。この第２の搬送装置３０から昇降搬送装置６０にかけても、且つ、第３の搬送装置９０においても、基板Ｗは所定の寸法範囲の浮上状態を保持されて、搬送される。

図１、図２、図５、図６、図７を参照して、昇降搬送装置６０の構成は、脚部材８９ａに支持されている搬送ベースプレート８８ａ上において、第３の浮上ユニット６４ａ、６４ｂ、６４ｃ、６４ｄや第４の押圧搬送ユニット６７ａや第４の受け搬送ユニット６７ｂ等を載置する第４の底板部８３ａを上下の所定位置に自在に昇降させ得る昇降ユニット８２と、前記第４の底板部８３ａの上面に、第３の浮上ユニット６４ａ、６４ｂ、６４ｃ、６４ｄと、前記第２の搬送装置３０から搬送されてくる基板Ｗの左方端部の搬送速度と同期して受け取り、徐々に速度を落としてから、且つ、停止させる第４の受け搬送ユニット６７ｂと、徐々に速度を落としてから停止する前記基板Ｗの動作に合わせて、基板Ｗの右方端部を押さえる第４の押圧搬送ユニット６７ａと、停止した基板の手前側端部を押圧する第５の押圧搬送ユニット７５ａと、第５の受け搬送ユニット７５ｂと、を設けて、前記昇降ユニット８２の下方位置にて基板Ｗを、第２の搬送装置３０から受け取り、前記昇降ユニット８２の上方位置にて基板Ｗを、第３の搬送装置９０に渡す動作をする。

図５は、昇降搬送装置６０と、第３の搬送装置９０位置関係を示す右側面図である。図６は、昇降搬送装置６０の昇降ユニット８２が縮んだ状態図である。図７は、昇降搬送装置６０を構成する昇降ユニット８２が、上方に昇った状態図である。
各々両端部に所定の大きさの孔を有する第１のリンク左８４ａと第１のリンク右８４ｂとが長手方向の中央部にて第１の回転中心軸８４ｃにて回動自在に枢支された一段目の折りたたみリンクと、各々両端部に所定の大きさの孔を有する第２のリンク左８６ａと第２のリンク右８６ｂとが長手方向の中央部にて第２の回転中心軸８６ｃにて回動自在に枢支された二段階の折りたたみリンクとが、各々第１のリンク左８４ａの上端部の孔と第２のリンク右８６ｂの下端部の孔とが回転中心軸８６ｅにて回動自在に枢支され、第１のリンク右８４ｂの上端部孔と第２のリンク左８６ａの下端部の孔とが第２の回転中心軸８６ｄにて回動自在に枢支されて、二段階の折りたたみリンクを形成して成る昇降ユニット８２である。ここでは、２組の二段階の折りたたみリンクを用いて、搬送ベースプレート８８ａの対向する一端と各々の第１のリンク左８４ａの下方端とが回転中心軸８４ｄに回動自在に枢支され、各々の第１のリンク右８４ｂの下方端部が搬送ベースプレート８８ａの右方の案内溝８８ｂに摺動自在に枢軸８４ｅにて枢支されている。上方において、底板部８３ａの対向する一端と各々の第２のリンク右８６ｂの上方端とが回転中心軸８６ｆに回動自在に枢支され、各々の第２のリンク左８６ａの上方端部が底板部８３ａの右方の案内溝８３ｂに摺動自在に枢軸８６ｇに枢支され、各々の第１のリンク右８４ｂの中程を繋いだ軸８５ｃにボールねじ使用のリニアーアクチュエータ８５ａの中心部を枢支し、第２リンク８６ａの下端寄りの部位をブラケット８５ｆにて繋いで、リニアーアクチュエータ８５ａのアーム８５ｅを回動自在に枢支している。これにより、基板Ｗを昇降搬送装置６０上に載せて、スムースな動作を可能として別の階層まで搬送可能である。
図８は、第３の搬送装置９０により、基板Ｗを検査装置１２０内に搬送した斜視図である。第３の搬送装置９０は、基板Ｗを検査装置１２０に搬送し、次の検査工程を実行させる任務を果たす。前記第１の搬送装置３と同一の構成であるために説明を省略する。

本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、カラーフィルター等の部品を、浮上搬送する装置に適用可能である。

浮上搬送システム １
第１の搬送装置 ３
第１の浮上装置 ４
第２の搬送装置 ３０
第２の浮上ユニット ３４
昇降搬送装置 ６０
第３の浮上装置 ６４
昇降ユニット ８２
第３の搬送装置 ９０
第４の浮上装置 ９４。

Claims (1)

1. 気体を噴出させて、基板を浮上させる第１の浮上ユニットと、
   歯付きベルトを有し、この歯付きベルトの背面の押圧搬送突起部により、
   浮上された前記基板の後方端面を押圧し搬送する第１の押圧搬送ユニットと、
   この第１の押圧搬送ユニットと協同して、同期移動しながら、
   歯付きベルトを有し、この歯付きベルトの背面の受け搬送突起部により、
   浮上された前記基板の前方端面を受けて搬送する第１の受け搬送ユニットを備えた第１の浮上搬送装置により、浮上された前記基板を、次の、第２の浮上搬送装置に搬送し、
   この第２の浮上搬送装置は、
   気体を噴出させて、搬送されてくる前記基板を浮上させる第２の浮上ユニットと、
   前記第１の押圧搬送ユニットにより、後方端面を押圧搬送されると共に、
   浮上された前記基板の前方端面を、前記第１の受け搬送ユニットにより、
   受け搬送される方向と同一方向に受け搬送するように配置されていて、
   各々歯付きベルトを有し、この各々歯付きベルトの背面の受け搬送突起部により、
   同期移動しながら、浮上された前記基板の前方端面を、
   第３の受け搬送ユニットから第３′の受け搬送ユニットにより、順々に受け搬送しつつ、浮上された前記基板を徐行してから一時停止させる前記第３の受け搬送ユニットおよび第３′の受け搬送ユニットと、
   この一時停止され、浮上された前記基板の右方端面を、歯付きベルトを有し、この歯付きベルトの背面の押圧搬送突起部により押圧搬送する第２の押圧搬送ユニットと、
   この第２の押圧搬送ユニットに協同して、同期移動しながら、
   歯付きベルトを有し、この歯付きベルトの背面の受け搬送突起部により、
   浮上された前記基板の左方端面を受けて搬送する第２の受け搬送ユニットとを備えており、
   前記第１の浮上搬送装置による前記基板の搬送方向に対して、前記第２の浮上搬送装置の前記基板の搬送方向が、９０度ずれた方向に設けられていることを特徴とする浮上搬送装置。