KR20080018465A - 취성 재료 기판의 반송 장치 - Google Patents

취성 재료 기판의 반송 장치 Download PDF

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KR20080018465A
KR20080018465A KR1020060080626A KR20060080626A KR20080018465A KR 20080018465 A KR20080018465 A KR 20080018465A KR 1020060080626 A KR1020060080626 A KR 1020060080626A KR 20060080626 A KR20060080626 A KR 20060080626A KR 20080018465 A KR20080018465 A KR 20080018465A
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김종상
박성모
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

취성 재료 기판의 절단장치에 있어서 컨베이어용 벨트를 이용하여 기판을 이송하는 경우 벨트의 하부의 오염을 방지하는 취성 기판의 반송 장치에 관한 것으로, 소정의 크기를 갖는 취성 재료 기판을 반송하는 장치로서, 전처리 공정이 완료된 취성 재료 기판을 커팅하기 위해 취성 재료 기판을 이송하는 컨베이어 및 컨베이어를 구동시키는 모터부를 포함하고, 컨베이어는 무한 궤도로 주행하며 취성재료 기판을 이송하기 위한 벨트부, 벨트부를 지지하는 벨트 지지부 및 벨트부의 하부의 오염 물질을 흡입하는 흡입 수단을 구비한다.
상기와 같은 취성기판의 반송 장치를 이용하는 것에 의해, 벨트 하부의 오염 발생이 저하되어 벨트 구동시 오염물에 의한 반송 상태를 향상시킬 수 있다.
취성재료, 진공, 벨트, 컨베이어

Description

취성 재료 기판의 반송 장치{CONVEYOR APPRATUS OF BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE}
도 1은 종래의 컨베이어 벨트 장치의 사시도,
도 2는 종래의 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도,
도 4는 본 발명의 제2의 실시예에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도,
도 5는 본 발명의 제2의 실시예에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도
도 6은 본 발명의 제2의 실시예에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
200 : 컨베이어 210 : 벨트부
220 : 벨트 지지부 230 : 벨트 지지부용 커버
240 : 석션부 250 : 진공펌프
본 발명은 취성 재료 기판의 반송 장치에 관한 것으로, 특히 취성 재료 기판의 절단장치에 있어서 컨베이어용 벨트를 이용하여 기판을 이송하는 경우 벨트의 하부의 오염을 방지하는 취성 기판의 반송 장치에 관한 것이다.
정보통신 분야의 급속한 발전으로 말미암아, 원하는 정보를 표시해 주는 디스플레이 산업의 중요성이 날로 증가하고 있으며, 현재까지 정보 디스플레이 장치 중 CRT(Cathode Ray Tube)는 다양한 색을 표시할 수 있고, 화면의 밝기도 우수하다는 장점 때문에 지금까지 꾸준한 인기를 누려왔다.
하지만, 대형, 휴대용, 고해상도 디스플레이에 대한 욕구 때문에 무게와 부피가 큰 CRT 대신에 평판 디스플레이(flat panel display) 개발이 절실히 요구되고 있다.
이러한 평판 디스플레이는 컴퓨터 모니터에서 항공기 및 우주선 등에 사용되는 디스플레이에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하며, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), OLED(Organic Light Emitting Display), PDP(Plasma display panel), 유기EL(Electro luminescent) 등이 알려져 있다.
이 평판디스플레이는 일반적으로 대규모 집적회로 등의 반도체 칩과 같이 등의 반도체 칩(chip)과 같이 취성 기판 상에 다수 개를 매트릭스 모양으로 형성되어 기판을 각 소자 단위로 절단 분리하는 공정을 거쳐 제조된다.
글라스, 실리콘, 세라믹 등의 취성기판의 절단분리에 사용되는 방법으로서는, 기판을 고속으로 회전하는 50~200㎛ 정도 두께의 다이아몬드 블레이드(blade) 에 의하여 절삭하고 기판에 절단용 홈을 형성하는 다이싱(dicing)과, 0.6~2㎜정도의 두께를 갖는 다이아몬드로 만든 스크라이빙 휠(scribing wheel)에 의하여 기판의 표면에 절단 홈을 형성하여 기판의 두께 방향으로 크랙을 발생시키는 스크라이빙의 2가지 방법이 대표적이다.
즉, 액정표시장치의 경우, 모 기판(mother board)이라 불리는 대형 취성재료 기판 기판에 적어도 2개 이상의 LCD 단위 셀이 동시에 형성되며, 한 장의 모 기판에 적어도 2개 이상의 LCD 단위 셀의 제작이 완료된 후, LCD 단위 셀은 개별화 공정에 의하여 모 기판(3)으로부터 개별화시킨다.
이러한 개별화 공정에서는 액정표시장치에 사용되는 모 기판의 경우 취성 재료 기판 특성상 높은 취성(Brittleness)을 갖으며, 절단 과정에서 에지에 형성된 미세 크랙이 응력이 취약한 곳을 따라 급속히 전파되어 원하지 않는 부분이 절단되고, 절단된 절단면에서 많은 파티클(particle)이 발생한다.
즉, 개별화 공정은 모 기판에 소정 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하고, 기판에 물리적인 충격을 가하여 스크라이브 라인에 집중되어 있는 고유 응력에 의하여 취성 재료 기판의 절단선을 기준으로 모 기판으로부터 LCD 단위 셀이 분리되도록 한다.
상술한 바와 같은 종래의 컨베이어 벨트를 구비한 기판의 절단 장치를 도 1에 따라 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 컨베이어 벨트를 구비한 기판의 절단 장치는 일정한 간격을 갖고 배치되어 절단하고자 하는 모 기판(60)을 탑재하여 이동시키는 제 1, 제 2 벨트 컨베이어(70,80), 제 1, 제 2 벨트 컨베이어(70,80)의 일측단에 구성되어 제 1, 제 2 벨트 컨베이어(70,80)를 구동하는 서버 모터(servo motor)(90), 제 1, 제 2 벨트 컨베이어(70,80) 사이에 구성되어 기판(60)의 절단 예정선을 따라 스크라이빙을 행하는 스크라이브 수단(100)을 포함하여 구성되어 있다.
여기서, 제 1, 제 2 벨트 컨베이어(70,80)의 내부에는 일정한 간격을 갖고 Y축 방향으로 배열되는 다수의 컨베이어 서포트 빔과 각 컨베이어 서포트 빔(71,81)을 지지하도록 X축 방향으로 배열되는 다수의 빔 서포트 바 프레임(72,82)이 구성되어 있다.
또한, 스크라이브 수단(100)은 스크라이브 헤드(101), 스크라이브 헤드(101)가 장착되는 가이드 바, 가이드 바의 양측을 지지하는 지지 바, 지지 바가 이동할 수 있도록 서로 평행하게 배치되는 가이드 레일로 이루어져 있다.
상기와 같이 구성된 종래 기술에 의한 기판의 절단장치에서, 제 1 벨트 컨베이어(70)에 탑재된 기판(60)은 서버 모터(90)에 의해 제 1 벨트 컨베이어(70)가 구동되면서 일 방향으로 이동하게 된다.
이어, 이동된 기판(60)의 절단 예정선이 제 1 벨트 컨베이어(70)와 제 2 벨트 컨베이어(80) 사이에 위치(기판(60)의 일측단이 제 1 벨트 컨베이어(70)에 탑재되고 타 측단이 제 2 벨트 컨베이어(80)에 탑재된 상태)하게 되면, 스크라이브 헤드(101)가 동작하여 기판(60)의 이동 방향과 수직한 방향으로 이동하면서 기판(60)의 절단 예정선에 스크라이빙 공정을 실시한다.
그리고 스크라이빙 공정이 완료된 기판(60)이 제 1 벨트 컨베이어(70)에서 제 2 벨트 컨베이어(80)로 완전히 재치되면 일정 시간 후에 다시 새로운 기판을 탑재하여 스크라이빙 공정을 수행하게 된다.
상기와 같은 기판의 절단장치에서 사용되는 컨베이어 기구에 대해 도 2에 따라 설명한다.
도 2는 종래의 컨베이어에 사용되는 벨트 반송 기구를 도시한 단면도로서, 도 2(a)는 벨트 기구부의 단면도이고, 도 2(b)는 벨트 기구부의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 2에서, (10)은 고무 등으로 이루어진 벨트이고, (11)은 벨트(10)을 지지하기 위한 벨트 지지부이고, (12)는 벨트 지지부를 보호하기 위한 벨트 지지부용 커버이며, (13)은 벨트(10)을 일정 방향으로 회전시키기 위한 한 쌍의 롤러이다.
도 2에 도시된 바와 같은 벨트 기구부는 도 1에 도시한 서버 모터 등의 구동 수단에 의해 롤러(13)가 회전하고, 이 롤러(13)의 회전에 따라 롤러(13)에 끼워 맞추어진 벨트(10)는 도 2(b)에서 화살표로 표시한 바와 같은 방향으로 회전하여, 벨트(10)상에 탑재된 취성 기판을 이송하게 된다.
그러나, 이러한 컨베이어 장치에 있어서는 장기간 벨트 사용시 벨트(10)와 벨트 지지부(11) 및 벨트 지지부용 커버(12)와의 마찰 및 벨트구동부에 의해 벨트 하부에서 오염이 발생하고, 벨트 구동시 발생하는 오염물에 의해 반송 정도가 저하한다는 문제점이 있었다.
또, 취성 재료 기판의 청정도를 유지하기 위해 벨트구동부에 대응하는 여러 장소에 청소용 기구를 마련해야하므로, 장치의 구조가 복잡하게 될 뿐만 아니라 그 운영 비용이 증가하게 된다는 문제점이 있었다.
또, 상기와 같은 오염에 의해 벨트 기구부의 수명이 감소되고 이를 해결하기위해 벨트를 자주 교체해야 하므로, 작업 효율성이 저하된다는 문제점도 있었다.
또한 상기와 같은 벨트하부의 오염물로 인해 기판 스크라이빙시 기판 평탄도의 문제가 발생하여 스크라이빙이 정확하게 이루어지지 않는다는 문제도 있었다.
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 취성 재료 기판을 이송하는 컨베이어 벨트부의 하부에서 발생하는 오염을 제거하여 반송 장치의 유지 관리를 향상시킬 수 있는 취성 재료 기판의 반송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 취성 재료 기판을 탑재하는 벨트의 구동시 오염물에 의한 반송 상태를 향상시켜 벨트부의 수명을 연장할 수 있는 취성 재료 기판의 반송 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치는 소정의 크기를 갖는 취성 재료 기판을 반송하는 장치로서, 전처리 공정이 완료된 상기 취성 재료 기판을 커팅하기 위해 상기 취성 재료 기판을 이송하는 컨베이어 및 상기 컨베이어를 구동시키는 모터부를 포함하고, 상기 컨베이어는 무한 궤도로 주행하며 상기 취성재료 기판을 이송하기 위한 벨트부, 상기 벨트부를 지지하는 벨트 지지부 및 상기 벨트부의 하부의 오염 물질을 흡입하는 흡입 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 컨베이어는 상기 벨트부와 상기 벨트 지지부 사이에 마련되어 상기 벨트 지지부를 덮는 벨트 지지부용 커버를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 흡입 수단은 상기 벨트부의 하부의 오염 물질을 흡입하는 석션부, 상기 석션부의 오염물질 흡입을 실행시키는 진공펌프, 상기 석션부와 상기 진공펌프를 연결하는 흡입 배관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 석션부는 상기 벨트부와 상기 벨트 지지부 사이에 마련된 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 벨트부가 끼워 맞추어진 제1의 롤러와 제2의 롤러를 구비하고, 상기 석션부는 상기 제1의 롤러와 상기 벨트부의 마찰에 의해 발생하는 파티클 및 상기 벨트부와 상기 벨트 지지부용 커버에 의해 발생하는 파티클을 제거하기 위해 상기 제1의 롤러에 의해 회전한 벨트부의 하부 및 상기 제2의 롤러로 진입하기 전의 위치인 상기 벨트부의 하부에 각각 마련되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 각각의 석션 부는 상기 벨트부의 벨트 폭과 동일한 폭을 갖도록 형성된 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 제1의 롤러와 제2의 롤러가 회전하면, 상기 흡입 수단이 작동되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 제1의 롤러와 제2의 롤러가 회전시, 상기 흡입 수단은 일정 시간 간격으로 작동되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 흡입 수단 내에 마련된 브러시를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 브러시는 상기 제1의 롤러 측의 석션부에서 상기 벨트 지지부용 커버측에 마련된 제1의 브러시와 상기 제2의 롤러 측의 석션부에서 상기 벨트 지지부측에 마련된 제2의 브러시를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 벨트부가 끼워 맞추어진 제1의 롤러와 제2의 롤러를 구비하고, 상기 석션부는 상기 제2의 롤러 측에서 발생되는 오염물질을 제거하기 위해 상기 제2의 롤러를 경유한 벨트의 상부에 마련되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치에 있어서, 상기 벨트부가 끼워 맞추어진 제1의 롤러와 제2의 롤러를 구비하고, 상기 석션부는 상기 제1의 롤러에 의해 회전한 벨트부의 하부 및 상기 제2의 롤러를 경유한 벨트의 상부에 각각 마련되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.
이하, 본 발명의 구성을 도면에 따라서 설명한다.
또한, 본 발명의 설명에 있어서는 동일 부분은 동일 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략한다.
< 실시예 1 >
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도로서, 도 3(a)은 벨트 기구부의 단면도이고, 도 3(b)는 벨트 기구부의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치는 소정의 크기를 갖는 취성 재료 기판을 반송하도록, 전처리 공정이 완료된 취성 재료 기판을 커팅하기 위해 취성 재료 기판을 이송하는 컨베이어(200) 및 컨베이어(200)를 구동시키는 모터부(도시 생략)를 구비한다.
이 컨베이어(200)는 도 3에 도시된 바와 같이, 무한 궤도로 주행하며 취성 재료 기판을 이송하기 위한 벨트부(210), 벨트부(210)를 지지하는 벨트 지지부(220), 벨트부(210)와 벨트 지지부(220) 사이에 마련되어 벨트 지지부(220)를 덮는 벨트 지지부용 커버(230) 및 벨트부(210)의 하부의 오염 물질을 흡입하는 흡입 수단을 구비한다.
또, 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치는 도 3(b)에 도시된 바와 같이 예를 들어, 스크라이브 공정 등을 실행하기 위해 글라스 기판을 이송시키기 위해 벨트부(210)가 끼워 맞추어진 제1의 롤러(13)와 제2의 롤러(14)를 구비하고, 이 제1의 롤러(13)과 제2의 롤러(14)는 상호 간에 이격이 되며, 글라스 기판이 수평으로 이송되는 경우 수평으로 배열되며, 회전 가능하게 지지대 설치된다. 또, 벨트부(210)는 취성 재료 기판의 폭의 크기에 따라 다수 개의 벨트로 이루어진 구성 또는 하나의 벨트로 이루어진 구성이어도 좋다.
또한 모터부는 통상의 반송 장치와 마찬가지로 제1의 롤러(13) 또는 제2의 롤러(14)에 회전력을 제공하기 위해 모터, 이 모터의 회전 축에 축 결합된 구동 풀리, 제1의 롤러(13) 또는 제2의 롤러(14) 중 적어도 하나의 롤러에 축 결합된 종동 풀리, 구동 풀리에서 종동 풀리로 회전력을 전달하는 동력전달 벨트를 구비한다.
다음에 본 발명의 주요 특징인 흡입 수단의 구성에 대해 설명한다.
본 발명에 따른 흡입 수단은 도 3에 도시된 바와 같이, 벨트부(210)의 하부의 오염 물질을 흡입하는 석션(suction)부(240), 석션부(240)의 오염물질 흡입을 실행시키는 진공펌프 진공펌프(250), 석션부(240)와 진공펌프(250)를 연결하는 흡입 배관(260)으로 이루어진다.
이 제1의 실시예에 있어서 석션부(240)는 취성 기판의 이송시 제1의 롤러(13)와 벨트부(210)의 마찰에 의해 발생하는 파티클 및 벨트부(210)와 벨트 지지부용 커버(230)에 의해 발생하는 파티클을 제거하기 위해 제1의 롤러(13)에 의해 회전한 벨트부(210)의 하부 및 제2의 롤러(14)로 진입하기 전의 위치인 벨트부(210)의 하부에 각각 마련된다. 또, 각각의 석션부(240)는 벨트 지지부(220)와 벨트 지지부용 커버(230) 사이에서 벨트부(210)의 하부에 부착된 파티클을 완전하게 제거하기 위해 벨트부(210)의 벨트 폭과 동일한 폭을 갖도록 형성된다.
또한, 벨트부(210)와 벨트 지지부(220)의 사이에는 벨트부(210)의 하부에 부착된 파티클이 석션부(240)에서 흡입되고, 석션부(240)에서의 흡입력에 의해 벨트부(210)의 진행이 방해받지않도록 미세한 공간이 유지된다.
진공펌프(250)와 석션부(240)를 연결하는 흡입 배관(260)은 통상의 배관을 사용하여도 좋다.
다음에 도 3에 도시된 바와 같은 취성 재료 기판의 반송장치의 동작에 대해 설명한다.
취성 재료 기판을 절단 또는 이송하기 위해 벨트부(210)를 구비한 컨베이어(200) 상에 기판을 올려놓는다.
컨베이어(200) 상에 올려진 기판을 이송하기 위해 모터부가 작동하고 풀리를 통해 전달된 힘으로 제1의 롤러(13)와 제2의 롤러(14)가 회전하여 취성 재료 기판을 원하는 위치까지 이송한다.
다음에 제1의 롤러(13)와 제2의 롤러(14)가 회전하면, 진공펌프(250)가 작동하고, 제1의 롤러(13)와 벨트부(210)의 마찰에 의해 발생하는 파티클 및 벨트부(210)와 벨트 지지부용 커버(230)에 의해 발생하는 파티클을 제거하기 위해 석션부(240)에서 벨트부(210)의 하부에 부착된 파티클을 흡입한다.
흡입된 파티클은 통상의 흡입 장치와 같이 파티클 수집 수단에 의해 수집되어 처리된다.
벨트부(210)의 하부에서 파티클이 완전하게 제거된 벨트는 계속 회전하여 연속되는 취성 재료 기판의 이송 작업을 실행하게 된다.
이 제1의 실시예에 있어서는 각각의 석션부(240)에서의 흡입력을 유지하기 위해 각각의 석션부(240)에 대응하는 진공펌프(250) 및 흡입 배관(260)을 마련한 구조로 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 진공펌프(250)의 진공 능력 또는 벨트부(210)의 하부에 부착된 파티클의 부착 상태에 따라 하나의 진공펌프(250)를 사용하여 각각의 석션부(240)에 연결하여 사용할 수도 있다.
또, 이 제1의 실시예에 있어서는 석션부(240)를 벨트부(210)의 하부의 2곳에 마련된 구조를 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 제1의 롤러(13)와 벨트부(210)의 마찰에 의해 발생하는 파티클 만을 흡입하도록 1곳에만 마련하여도 좋다.
또한 이 제1의 실시예에 있어서는 제1의 롤러(13)와 제2의 롤러(14)가 회전할 때, 진공펌프(250)가 작동하는 구조를 설명하였지만, 제1의 롤러(13)와 제2의 롤러(14)의 회전 시, 일정 시간 간격으로 진공펌프(250)가 작동하는 구조로 하여도 좋다.
< 실시예 2 >
다음에 본 발명에 따른 제2의 실시예를 도 4에 따라 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2의 실시예에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도이다.
이 제2의 실시예의 구성은 흡입 수단 내에 브러시를 마련한 것 이외의 구조는 제1의 실시예의 구조와 동일하므로 그 반복 설명은 생략한다.
제2의 실시예에 있어서는 벨트부(210)의 하부의 오염 물질을 더욱 완전하게 제거하기 위해 제1의 롤러(13)와 제2의 롤러(14) 측에 각각 형성된 석션부(240)내에 제1의 브러시(270)과 제2의 브러시(271)를 마련한 것에 특징이 있다.
즉 도 4에 도시된 바와 같이, 제1의 브러시(270)는 제1의 롤러(13) 측의 석션부(240)에서 벨트 지지부용 커버(230)측에 마련되고, 제2의 브러시(271)는 제2의 롤러(14) 측의 석션부(240)에서 벨트 지지부(220)측에 마련된다.
따라서, 제1의 롤러(13) 또는 제2의 롤러(14)에 회전력에 의해 회전하는 벨트의 회전 방향에 제1의 브러시(270)과 제2의 브러시(271)를 마련하는 것에 의해 벨트부(210)의 하부의 오염 물질을 더욱 완전하게 제거할 수 있게 된다.
< 실시예 3 >
다음에 본 발명에 따른 제3의 실시예를 도 5에 따라 설명한다.
도 5는 본 발명의 제3의 실시예에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도이다.
이 제3의 실시예의 구성은 흡입 수단을 제2의 롤러(14)를 경유한 위치에 흡입 수단을 마련한 것 이외의 구조는 종래의 구조와 동일하므로 그 반복 설명은 생략한다.
제3의 실시예에 있어서는 제2의 롤러(14) 측에서 발생되는 오염물질을 제거 하기 위해 석션부(240)를 도 5에 도시된 바와 같이, 제2의 롤러(14)를 경유한 벨트의 상부에 마련한 것에 특징이 있다.
이 실시예3에 의하면 도 2에 도시된 바와 같은 종래의 취성 재료 기판의 반송 장치에서 제2의 롤러(14)를 경유한 벨트의 상부에 마련한 구조이므로, 오염 물질의 제거를 위한 설치 비용을 경감할 수 있고, 제2의 롤러(14)와 벨트부(210)의 마찰에 의해 발생되는 오염 물질도 제거할 수 있다.
또한 이 제3의 실시예는 이 실시예에 한정되는 것은 아니며, 상술한 바와 같은 제1의 실시예의 구조 또는 제2의 실시예의 구조와 병합하여 상용할 수 있음은 물론이다.
< 실시예 4 >
다음에 본 발명에 따른 제4의 실시예를 도 6에 따라 설명한다.
도 6은 본 발명의 제4의 실시예에 따른 취성 재료 기판의 반송 장치의 단면도이다.
이 제4의 실시예의 구성은 흡입 수단 내에 제3의 브러시(272)을 마련한 것 이외의 구조는 제3의 실시예의 구조와 동일하므로 그 반복 설명은 생략한다.
제4의 실시예에 있어서는 제2의 롤러(14) 측에서 발생되는 오염물질을 더욱 완전하게 제거하기 위해 제2의 롤러(14)를 경유한 벨트의 상부에 마련된 석션부(240) 내에 제3의 브러시(272)를 마련한 것에 특징이 있다.
즉 도 6에 도시된 바와 같이, 제3의 브러시(272)가 제2의 롤러(14)를 경유한 벨트의 상부에 마련된 석션부(240) 내에 마련한 구조이므로, 오염 물질의 제거를 위한 설치 비용을 경감할 수 있고, 제2의 롤러(14)와 벨트부(210)의 마찰에 의해 발생되는 오염 물질을 더울 완전하게 제거할 수 있다.
또한 이 제4의 실시예도 이 실시예에 한정되는 것은 아니며, 상술한 바와 같은 제1의 실시예의 구조 또는 제2의 실시예의 구조와 병합하여 상용할 수 있음은 물론이다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
즉, 상기 실시예에 있어서는 벨트부와 벨트 지지부 사이에 흡입 수단이 마련된 구성에 대해 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 벨트에 압축된 공기를 분사하는 블로워(blower) 수단을 마련하여 벨트부의 하부의 오염 물질을 제거하도록 실현할 수 있음은 물론이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 취성재료 기판의 반송 장치에 의하면, 흡입 수단에 의해 벨트 하부의 오염 발생이 저하되어 벨트 구동시 오염물에 의한 반송 상태를 향상시킬 수 있다는 효과가 얻어진다.
또, 본 발명에 따른 취성재료 기판의 반송 장치에 의하면, 오염방지에 의한 벨트 수명이 향상되므로, 그 설치 및 유지비용이 저렴하게 된다는 효과도 얻어진다.
또한, 본 발명에 따른 취성재료 기판의 반송 장치에 의하면, 벨트하부의 오염물질을 제거하므로, 스크라이빙시 기판 평탄도의 문제를 해결하여 기판 스크라이빙 능력을 향상시킬 수 있다는 효과도 얻어진다.

Claims (16)

  1. 소정의 크기를 갖는 취성 재료 기판을 반송하는 장치로서,
    전처리 공정이 완료된 상기 취성 재료 기판을 커팅하기 위해 상기 취성 재료 기판을 이송하는 컨베이어 및
    상기 컨베이어를 구동시키는 모터부를 포함하고,
    상기 컨베이어는 무한 궤도로 주행하며 상기 취성재료 기판을 이송하기 위한 벨트부, 상기 벨트부를 지지하는 벨트 지지부 및 상기 벨트부의 하부의 오염 물질을 흡입하는 흡입 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 컨베이어는 상기 벨트부와 상기 벨트 지지부 사이에 마련되어 상기 벨트 지지부를 덮는 벨트 지지부용 커버를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 흡입 수단은 상기 벨트부의 하부의 오염 물질을 흡입하는 석션부, 상기 석션부의 오염물질 흡입을 실행시키는 진공펌프, 상기 석션부와 상기 진공펌프를 연결하는 흡입 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 석션부는 상기 벨트부와 상기 벨트 지지부 사이에 마련된 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 벨트부가 끼워 맞추어진 제1의 롤러와 제2의 롤러를 구비하고,
    상기 석션부는 상기 제1의 롤러와 상기 벨트부의 마찰에 의해 발생하는 파티클 및 상기 벨트부와 상기 벨트 지지부용 커버에 의해 발생하는 파티클을 제거하기 위해 상기 제1의 롤러에 의해 회전한 벨트부의 하부 및 상기 제2의 롤러로 진입하기 전의 위치인 상기 벨트부의 하부에 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 각각의 석션부는 상기 벨트부의 벨트 폭과 동일한 폭을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제1의 롤러와 제2의 롤러가 회전하면, 상기 흡입 수단이 작동되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 제1의 롤러와 제2의 롤러가 회전시, 상기 흡입 수단은 일정 시간 간격으로 작동되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  9. 제 5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 흡입 수단 내에 마련된 브러시를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 취성재료 기판의 반송 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 브러시는 상기 제1의 롤러 측의 석션부에서 상기 벨트 지지부용 커버측에 마련된 제1의 브러시와 상기 제2의 롤러 측의 석션부에서 상기 벨트 지지부측에 마련된 제2의 브러시를 포함하는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  11. 제 3항에 있어서,
    상기 벨트부가 끼워 맞추어진 제1의 롤러와 제2의 롤러를 구비하고,
    상기 석션부는 상기 제2의 롤러 측에서 발생되는 오염물질을 제거하기 위해 상기 제2의 롤러를 경유한 벨트의 상부에 마련되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  12. 제 3항에 있어서,
    상기 벨트부가 끼워 맞추어진 제1의 롤러와 제2의 롤러를 구비하고,
    상기 석션부는 상기 제1의 롤러에 의해 회전한 벨트부의 하부 및 상기 제2의 롤러를 경유한 벨트의 상부에 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  13. 제 11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 석션부 내에 마련된 브러시를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 석션부는 상기 벨트부의 벨트 폭과 동일한 폭을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 제1의 롤러와 제2의 롤러가 회전하면, 상기 흡입 수단이 작동되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 제1의 롤러와 제2의 롤러의 회전시, 상기 흡입 수단은 일정 시간 간격 으로 작동되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 반송 장치.
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