CN105270889A - 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置 - Google Patents

脆性材料基板的搬送方法及搬送装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种脆性材料基板的搬送方法及搬送装置，其课题在于在积层并保持基板的情况下，可以从基板保持部吸附并搬送仅一片基板。本发明的解决方法如下所述。在保持着基板(20)的基板保持部(15)的侧方，对应并邻接于基板的上升位置而配置喷嘴(23)。通过在搬送基板时从喷嘴(23)吹送经压缩的空气流，即便在重叠地搬送基板的情况下，也可以使下方的基板下落，而吸附并搬送仅上部的一片基板。

Description

脆性材料基板的搬送方法及搬送装置
技术领域
本发明涉及一种在搬送陶瓷基板、半导体基板等脆性材料基板时所使用的搬送方法及搬送装置。
背景技术
将脆性材料基板、例如陶瓷基板或氧化铝基板在制造步骤中在规定的框状部分积层多层，为了进行刻划等而逐片取出并搬送，为了进行刻划或裂断而使用在搬送轴的前端具有吸附垫的搬送装置。在专利文献1中公开了一种搬送机构，为了搬送脆性材料基而使支撑臂与基板接触并利用真空进行吸附，通过使支撑臂移动而搬送基板。
[背景技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2013-177309号公报
发明内容
[发明要解决的问题]
在进行刻划之前积层并保持多片脆性材料基板。在这种情况下如果使用吸附垫进行吸附，那么有因密接性而同时吸附两片脆性材料基板，并同时搬送两片脆性材料基板的情况。如果开始同时搬送两片脆性材料基板，那么有在搬送的中途下方的基板脱落或保持原状被搬送至刻划装置为止，而无法进行刻划的问题。
为了解决所述问题，考虑使用静电消除器从所积层的基板去除静电，但有即便使用静电消除器也无法充分地防止搬送两片基板的问题。
本发明是着眼于这种问题而完成的，其目的在于可以从积层并保持的基板确实地提起仅一片基板。
[解决问题的技术手段]
为了解决该问题，本发明的脆性材料基板的搬送方法是搬送脆性材料基板的搬送方法，利用吸附垫吸引所述脆性材料基板，通过使所述吸附垫上升而使所吸附的脆性材料基板上升，在使所述吸附垫上升时从邻接于脆性材料基板的位置自喷嘴集中地喷出空气，通过使所述吸附垫移动而搬送所述脆性材料基板。
为了解决该问题，本发明的脆性材料基板的搬送装置是搬送脆性材料基板的搬送装置，具备：线性滑块，设置于梁；搬送头，构成为沿着所述线性滑块移动自如；吸附垫，安装在所述搬送头的下表面且吸附所述脆性材料基板；抽风器，从所述搬送头的吸附垫抽吸空气；基板保持部，积层并保持所述脆性材料基板；喷嘴，邻接于所述基板保持部而安装，且朝向上升的所述脆性材料基板而设置；以及压缩泵，经由导管而连结在所述喷嘴，从所述喷嘴喷出空气。
[发明效果]
根据具有这种特征的本发明，从积层着脆性材料基板的基板保持部利用吸附垫吸附并搬送最上部的基板。而且，在将基板吸附并保持该状态垂直地提起时，即便两片基板密接，也会因从侧方自喷嘴吹送压缩空气，而可使基板的密接脱离，使下方的基板返回至基板保持部。因此，可获得能够确实地搬送仅一片基板的效果。
附图说明
图1是表示实现本发明的实施方式的搬送装置的整体构成的立体图。
图2是表示实现本发明的实施方式的搬送装置的整体构成的前视图。
图3是表示本实施方式中所使用的集尘机的一例的立体图。
图4(a)～(c)是表示利用本发明的实施方式的搬送头吸附并搬送基板的状态的图。
图5(a)～(c)是表示在利用本实施方式的搬送头吸附并搬送基板的情况下吸附着两片基板的状态的图。
具体实施方式
对作为本发明的实施方式的搬送装置进行说明。图1是表示实现本实施方式的搬送装置的整体构成的立体图，图2是表示实现本实施方式的搬送装置的整体构成的前视图。如这些图所示，在搬送装置10中利用未图示的支架水平地保持梁11，在该梁11上设置着线性滑块12。线性滑块12使刻划头13与搬送头14一体地沿着梁11自如地动作。在搬送装置10的基座上设置着如下部件：基板保持部15，积层并保持脆性材料基板(以下也简称为基板)；刻划台16，供刻划基板；及排出平台17，供排出已刻划的基板。搬送头14是从基板保持部15将基板吸引并搬送至图中右侧的刻划平台16及排出平台17。
这里，将脆性材料基板20设为例如厚度为0.6mm的陶瓷基板或氧化铝基板。在基座的基板保持部15，如图示般在四方竖立着保持板21，在保持板21之间堆积着多片大致正方形状的脆性材料基板20。该基板20被从基板保持部15逐片取出，搬送至邻接的刻划台16。
接着，对搬送头14进行详细说明。在搬送头14，设置着利用滑块31而进行升降的平板32，与该平板32垂直地安装着搬送轴33。在搬送轴33的下端安装着吸附垫34。搬送轴33为中空的部件，且安装着图3所示的导管35，在导管35的前端连结着集尘机的抽风器36。此外，这里虽使用集尘机，但也可以单独使用抽风器36。通过驱动集尘机的抽风器36，可以经由所连结的导管35从吸附垫34吸引空气，而将基板吸附。
且说，在本实施方式中，在保持板21的侧方的邻接的位置设置着竖立的喷嘴基座22，在该前端，喷嘴23朝向基板的侧面水平地突出。在喷嘴23，经由导管24而连接着压缩泵25。也可以与集尘机的抽风器36共有该压缩泵25。喷嘴23是在通过利用吸附垫34将基板20提起时，从侧方对基板20吹送经压缩的空气流，而使两片重叠的情况下的基板分离。这里，将喷嘴23的垂直方向的位置设为在保持着最大装载数的基板时使所吸附的基板略微上升的位置。另外，前端的开口部的口径例如设为0.6mmφ。另外，喷嘴23的前端与所积层的基板充分接近，例如将该距离d设为6mm以下。这里，将从压缩空气的喷嘴23喷出的流量设为例如每分钟十升，对上升中的基板吹送较强的集中的压缩空气。
接着，使用图4、图5对本实施方式的搬送装置的动作进行说明。在图4、图5中省略表示基板保持部15的保持板21。在从积层着基板20的基板保持部15搬送至刻划台16的情况下，首先，利用线性滑块12使搬送头14移动至图1的左侧，使搬送头14在基板20的正上方停止。接着，如图4(a)、图5(a)所示，以吸附垫34与基板20的大致中央接触的方式使平板32下降。此时，通过驱动集尘机的抽风器36而使空气从吸附垫34流入，由此吸附基板20。然后，通过提拉搬送头14，可如图4(b)所示般直接提拉一片已积层的基板20。然后，使线性滑块12如图4(c)所示般朝右方向移动，当到达刻划台16的正上方时，使平板32下降而将所保持的基板20载置在刻划台16上。然后，通过使抽风器36停止，可将基板20保持在刻划台16上。之后，利用刻划头13对基板20进行刻划，当刻划完成时，以相同的方式将基板20从刻划台16搬送至基板排出平台17。
且说，在从基板保持部15吸附已积层的基板中的最上部的基板时，例如设为基板如图5(b)所示般以最上部的基板与其下方的基板不分离而重叠有两片的状态被吸附。在该情况下从喷嘴23的前端喷出压缩空气，因此在通过喷嘴23的位置时利用集中地吹送的空气而使得紧贴的基板分离。因此，可如图5(c)所示使下方的基板下落，再次返回至基板保持部15。之后，可仅吸附上方的基板20并搬送至刻划台16。
此外，在本实施方式中，仅在基板保持部15的一端设置喷嘴基座22，但也可以在基板保持部15的周围的多个部位设置喷嘴基座22，从各个喷嘴同时吹送压缩空气。另外，在本实施方式中，将喷嘴自身的垂直方向的位置设为在保持着最大装载数的基板时使所吸附的基板略微上升的位置，但也可以根据所装载的基板的片数而使上下方向位置的位置变化。
另外，在本实施方式中，利用喷嘴23连续地喷出压缩空气，但也可以如图5(b)所示，仅在上升的基板到达喷嘴的前端位置的前后的固定期间吹送压缩空气。
[工业上的可利用性]
本发明可将脆性材料基板不重叠地仅吸附一片并搬送至所需的位置，且可有效地应用于基板制造时的搬送装置。
[符号的说明]
10搬送装置
11梁
12线性滑块
13刻划头
14搬送头
15基板保持部
16刻划台
17排出平台
20基板
21保持板
22喷嘴基座
23喷嘴
24导管
25压缩泵
31滑块
32平板
33搬送轴
34吸附垫
35导管
36抽风器。

Claims (2)

1.一种脆性材料基板的搬送方法，其是搬送脆性材料基板的搬送方法，
利用吸附垫吸引所述脆性材料基板，
通过使所述吸附垫上升而使所吸附的脆性材料基板上升，
在使所述吸附垫上升时从邻接于脆性材料基板的位置自喷嘴集中地喷出空气，
通过使所述吸附垫移动而搬送所述脆性材料基板。
2.一种脆性材料基板的搬送装置，其是搬送脆性材料基板的搬送装置，具备：
线性滑块，设置于梁；
搬送头，构成为沿着所述线性滑块移动自如；
吸附垫，安装在所述搬送头的下表面且吸附所述脆性材料基板；
抽风器，从所述搬送头的吸附垫抽吸空气；
基板保持部，积层并保持所述脆性材料基板；
喷嘴，邻接于所述基板保持部而安装，且朝向上升的所述脆性材料基板而设置；以及
压缩泵，经由导管而连结在所述喷嘴，从所述喷嘴喷出空气。
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Application publication date: 20160127

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