JP2011084353A - 基材搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】積層された基材を吸着パッドで一枚ずつ引き上げる際、基材と共に積層されているシート材が、表面粘着力や静電気等の影響によって基材に付着し、分離できずに一緒に持ち上がることがある。
【解決手段】基材10に付着したシート材11を分離して搬送する基材搬送方法であって、基材10を引き上げる工程と、引き上げた基材10に付着して当該基材10の周縁部に形成された切り欠け部から飛び出したシート材11に対して、所定の角度でエアーを吹き付ける工程と、を有する。
【選択図】図2
【解決手段】基材10に付着したシート材11を分離して搬送する基材搬送方法であって、基材10を引き上げる工程と、引き上げた基材10に付着して当該基材10の周縁部に形成された切り欠け部から飛び出したシート材11に対して、所定の角度でエアーを吹き付ける工程と、を有する。
【選択図】図2
Description
本発明は、基材に付着したシート材を分離して搬送する基材搬送方法に関する。
積層された基材を吸着パッドで一枚ずつ引き上げる際、基材と共に積層されているシート材が、表面粘着力や静電気等の影響によって基材に付着し、分離できずに一緒に持ち上がることがある。このため、従来、積層された基材を確実に1枚ずつ取り出すために、例えば、特許文献1では、遥動運動によって基材を湾曲させた状態でエアーノズルから圧縮空気を吹き付け、1枚の基材に分離している。また、特許文献2では、基材の端縁が斜め下を向くように押圧変形させ、この変形によって生じた空間に送風機構から圧縮空気を送風して1枚の基材に分離している。
しかしながら、特許文献1及び特許文献2のいずれの場合も、取り出す基材を変形させてからエアーを吹き付けることを基本としており、変形させることができない基材については適用が困難である。また、基材を変形させないでエアーを吹き付けて分離させる場合、エアー吹付力が弱過ぎると基材から分離が出来ず、逆に強過ぎると吸着している基材も一緒に外してしまうことから、エアー吹付力の調整が難しくエアー分離について確実性が得られない。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る基材搬送方法は、基材に付着したシート材を分離して搬送する基材搬送方法であって、前記基材を引き上げる工程と、前記引き上げた基材に付着して当該基材の周縁部に形成された切り欠け部から飛び出した前記シート材に対して、所定の角度でエアーを吹き付ける工程と、を有することを特徴とする。
この基材搬送方法によれば、搬送のために引き上げた基材にシート材が付着したとき、基材の周縁部に形成された切り欠け部から飛び出したシート材に対して、所定の角度でエアーを吹き付ける工程を有する。ここで、切り欠け部から飛び出したシート材に対してエアーを吹き付けることにより、引き上げた基材を変形させることなく、容易なエアー吹付力の調整により効率的に且つ確実にシート材を分離させることができる。
[適用例2]上記適用例に係る基材搬送方法は、前記シート材に対してエアーを吹き付ける工程において、前記シート材に対してエアーを吹き付けることにより、前記基材と当該基材に付着したシート材との間に空気層を生じさせることを特徴とする。
この基材搬送方法によれば、シート材に対してエアーを吹き付けて基材とシート材との間に空気層を生じさせることにより、シート材を基材からスムーズに分離させることができる。
[適用例3]上記適用例に係る基材搬送方法は、前記所定の角度が前記基材の表面に対して5°〜85°の範囲であることを特徴とする。
この基材搬送方法によれば、基材の表面に対して5°〜85°の範囲の角度でシート材にエアーを吹き付けることにより、基材とシート材との間に空気層を生じさせることができる。
[適用例4]上記適用例に係る基材搬送方法は、前記基材を引き上げる工程において、前記切り欠け部から飛び出した前記シート材を、前記基材が収納されるケースに設けられている分離部材に当接させて変形させることを特徴とする。
この基材搬送方法によれば、基材を引き上げるときに、切り欠け部から飛び出したシート材を分離部材に当接させることにより、シート材に当接及び変形に伴う応力等を作用させて、少なくともシート材の一部を基材から分離させることができる。この後、シート材にエアーを吹き付けてシート材を完全に分離させることができる。
(第1実施形態)
以下、第1実施形態に係る基材搬送方法について、図面を参照して説明する。
以下、第1実施形態に係る基材搬送方法について、図面を参照して説明する。
図1は、第1実施形態に係る基材搬送方法における基材搬送装置1及びキャリアケース20の例を示す概略図である。同図では、キャリアケース20に積層された基材10を引き上げる工程を示している。
キャリアケース20には、基材10と、当該基材10を保護するためのシート材11とが収納されている。例えば、基材10は半導体ウエハー等であり、シート材11は薄く柔らかい樹脂等により構成されている。
キャリアケース20には、基材10と、当該基材10を保護するためのシート材11とが収納されている。例えば、基材10は半導体ウエハー等であり、シート材11は薄く柔らかい樹脂等により構成されている。
基材搬送装置1は、キャリアケース20に収納された基材10を1枚1枚取り出して搬送する装置である。基材搬送装置1は、4つの吸着パッド40及び各吸着パッド40を支持して通気用の配管を兼ねる支持部材50と、1つのエアーノズル60及びエアーノズル60を支持して通気用の配管を兼ねる支持部材70と、各支持部材50及び支持部材70に接続される図示しないポンプ機構等により構成されている。また、基材搬送装置1は、昇降及び水平移動が可能な図示しない移動アームに取り付けられている。
キャリアケース20から基材10を取り出す際には、移動アームによって基材搬送装置1が垂直方向に下降する。そして、各吸着パッド40が、キャリアケース20に収納されている最上面の基材10の表面に接触し、ポンプ機構を用いてエアーを吸引することで、各吸着パッド40が基材10を吸着した状態になる。そして、この状態で、移動アームによって基材搬送装置1が垂直方向(図中の上矢印方向)に上昇し、各吸着パッド40によって分散保持された基材10も共に上昇して引き上げられる。
図2は、キャリアケース20から基材10を引き上げた例を示す図である。同図に示すように、キャリアケース20には、基材10とシート材11とが交互に積層された状態で収納されている。また、同図では、引き上げられた基材10の下にシート材11が付着し、基材10だけでなくシート材11も一緒に引き上げられている。このように基材10にシート材11が付着する要因として、例えば、シート材11の表面粘着力によるもの、静電気によるもの、更には基材10とシート材11間の真空発生に伴う吸着効果によるもの等が考えられる。
図3は、キャリアケース20に収納されている基材10を基材10の引き上げ方向(図2の上矢印方向)から見た図である。同図に示すように、基材10の周縁部には切り欠け部10aが形成されている。このため、基材10の下に位置するシート材11の一部が基材10の切り欠け部10aから飛び出している(図中の領域11aの部分)。
図2に戻って、基材10だけでなくシート材11も一緒に引き上げられたとき、基材10から飛び出しているシート材11の領域11aの部分に対して、ポンプ機構を用いてエアーノズル60から所定の角度でエアーを吹き付ける。このエアーの吹き付けにより、シート材11を基材10から分離することができる。
図4は、基材10からシート材11を分離する例を示す図である。同図に示すように、エアーノズル60からシート材11の領域11aの部分にエアーを吹き付けると、基材10とシート材11との接触面に空気層を生じ、シート材11の領域11a側の端部から内側へと分離が進んでいく。そして、シート材11がある程度分離すると、今度は分離したシート材11の自重によってシート材11が完全に分離し、元のキャリアケース20内に落下することになる。
図4は、基材10からシート材11を分離する例を示す図である。同図に示すように、エアーノズル60からシート材11の領域11aの部分にエアーを吹き付けると、基材10とシート材11との接触面に空気層を生じ、シート材11の領域11a側の端部から内側へと分離が進んでいく。そして、シート材11がある程度分離すると、今度は分離したシート材11の自重によってシート材11が完全に分離し、元のキャリアケース20内に落下することになる。
なお、エアーノズル60からエアーを吹き付ける角度は、基材10とシート材11との接触面に空気層を生じさせて、且つシート材11に対して基材10から離反する方向に荷重を加えることのできる角度、例えば、基材10の表面に対して5°〜85°が好ましい。また、ポンプ機構によるエアー吹付力は、シート材11の重量及び材質等によって調整する。
上記した第1実施形態に係る基材搬送方法では、キャリアケース20から引き上げた基材10にシート材11が付着した場合、基材10の周縁部の切り欠け部10aから飛び出しているシート材11の領域11aの部分にエアーを吹き付ける。このようにエアーを吹き付けることにより、基材10とシート材11との接触面に空気層を生じさせ、且つシート材11に対して基材10から離反する方向に荷重を加えることができる。この結果、基材10を変形させなくても、シート材11を基材10から確実に分離させることができる。
また、シート材11の領域11aの部分にエアーを吹き付けることから、エアーが基材10の表面に対して直接荷重を加えてしまうのを抑えることができる。これにより、誤って基材10に対して強過ぎるエアーの荷重を加えてしまい、基材10が吸着パッド40から外れてキャリアケース20内に落下し破損する事故を防止することができる。更に、ポンプ機構によるエアー吹付力の調整も容易になる。
また、エアーを利用した分離方式であるため機械化が容易であり、基材10からシート材11を完全分離させた後に、続けて基材10もしくはシート材11の引き上げ作業に移行することができる。
(第2実施形態)
次に、第2実施形態に係る基材搬送方法について、図面を参照して説明する。
次に、第2実施形態に係る基材搬送方法について、図面を参照して説明する。
図5は、第2実施形態に係る基材搬送方法において、キャリアケース21から基材10を引き上げた例を示す図である。ここでは、第1実施形態と同一の構成要素には、同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図5に示すキャリアケース21では、第1実施形態におけるキャリアケース20とは異なり、分離部材25がキャリアケース21の側壁上端部に配設されている。この分離部材25は、キャリアケース21の内側に突起部を形成した形状となっている。基材搬送装置1が垂直方向(図中の上矢印方向)に上昇し、基材10と共にシート材11も引き上げたときに、基材10から飛び出しているシート材11の領域11aの部分が、キャリアケース21に配設された分離部材25の突起部に当接する。
この当接により、シート材11の領域11aの部分に衝撃力及び変形応力が加わることになり、図5の引き上げられたシート材11に示すように、シート材11の領域11a側の端部から内側へと少しだけ分離する。そして、この状態のシート材11に対して、エアーノズル60からエアーを吹き付けると、シート材11が完全に分離して元のキャリアケース21内に落下することになる。
上記した第2実施形態に係る基材搬送方法では、キャリアケース20から基材10を引き上げ中に、基材10に付着したシート材11の領域11aの部分がキャリアケース21に配設された分離部材25の突起部に当接する。そして、この当接によるシート材11の分離により、その後、エアーノズル60からシート材11にエアーを吹き付けたとき、シート材11が基材10から分離し易くなり、更に確実にシート材11を分離させることができる。
なお、上記した実施形態では、移動アームによって基材搬送装置1を上昇させ、キャリアケース20,21の上方においてシート材11にエアーを吹き付けて分離させる例について説明した。しかし、シート材11にエアーを吹き付けて分離させる位置は、キャリアケース20,21の上方に限られない。
例えば、キャリアケース20,21内においてシート材11を分離させても良いし、キャリアケース20,21の上方から別の場所に移動した後に、シート材11を分離させても良い。なお、キャリアケース20,21内においてシート材11を分離させる場合、上記した第2実施形態における分離部材25の配設位置は、キャリアケース21の側壁上端部ではなく、シート材11を分離させる位置よりも下方のキャリアケース21内の位置となる。
例えば、キャリアケース20,21内においてシート材11を分離させても良いし、キャリアケース20,21の上方から別の場所に移動した後に、シート材11を分離させても良い。なお、キャリアケース20,21内においてシート材11を分離させる場合、上記した第2実施形態における分離部材25の配設位置は、キャリアケース21の側壁上端部ではなく、シート材11を分離させる位置よりも下方のキャリアケース21内の位置となる。
1…基材搬送装置、10…基材、10a…切り欠け部、11…シート材、11a…シート材の領域、20,21…キャリアケース、25…分離部材、40…吸着パッド、50,70…支持部材、60…エアーノズル。
Claims (4)
- 基材に付着したシート材を分離して搬送する基材搬送方法であって、
前記基材を引き上げる工程と、
前記引き上げた基材に付着して当該基材の周縁部に形成された切り欠け部から飛び出した前記シート材に対して、所定の角度でエアーを吹き付ける工程と、を有することを特徴とする基材搬送方法。 - 前記シート材に対してエアーを吹き付ける工程において、前記シート材に対してエアーを吹き付けることにより、前記基材と当該基材に付着したシート材との間に空気層を生じさせることを特徴とする請求項1に記載の基材搬送方法。
- 前記所定の角度は、前記基材の表面に対して5°〜85°の範囲であることを特徴とする請求項2に記載の基材搬送方法。
- 前記基材を引き上げる工程において、前記切り欠け部から飛び出した前記シート材を、前記基材が収納されるケースに設けられている分離部材に当接させて変形させることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基材搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009237013A JP2011084353A (ja) | 2009-10-14 | 2009-10-14 | 基材搬送方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2015082491A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 株式会社豊田自動織機 | 電極積層装置及び電極の取得方法 |
CN105270889A (zh) * | 2014-06-27 | 2016-01-27 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置 |
CN107673061A (zh) * | 2017-08-25 | 2018-02-09 | 利辛县宝隆橡塑密封件有限责任公司 | 一种橡塑密封圈用移动设备 |
-
2009
- 2009-10-14 JP JP2009237013A patent/JP2011084353A/ja not_active Withdrawn
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