JP2003312841A - 基板の搬出装置 - Google Patents
基板の搬出装置Info
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- JP2003312841A JP2003312841A JP2002118649A JP2002118649A JP2003312841A JP 2003312841 A JP2003312841 A JP 2003312841A JP 2002118649 A JP2002118649 A JP 2002118649A JP 2002118649 A JP2002118649 A JP 2002118649A JP 2003312841 A JP2003312841 A JP 2003312841A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラスディスク基板等の複数枚積み重ねると相
互に密着しやすい基板を一枚ずつ確実に分離して搬出で
きる基板の搬出装置及びその搬出方法の提供を目的とす
る。 【解決手段】基板の搬出装置に、基板の吸着手段と、こ
の吸着手段に吸着される基板の側部より間欠エアー吹出
し手段とを備えた。
互に密着しやすい基板を一枚ずつ確実に分離して搬出で
きる基板の搬出装置及びその搬出方法の提供を目的とす
る。 【解決手段】基板の搬出装置に、基板の吸着手段と、こ
の吸着手段に吸着される基板の側部より間欠エアー吹出
し手段とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク基板やガ
ラス基板等の複数枚重ねた際に、相互に密着しやすい板
材の搬出装置及びその搬出方法に関する。
ラス基板等の複数枚重ねた際に、相互に密着しやすい板
材の搬出装置及びその搬出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラスディスク基板等の薄い板材をメカ
ニカル的にハンドリングするのは困難な場合が多いの
で、ゴム等の弾性材で成形されたラッパ状の吸着パッド
を基板の表面に押圧し、内部を真空ポンプ等にて吸引
し、その吸着力にてハンドリングし、所定の位置に搬送
した後に吸引解除する真空吸着搬出、搬送方法が広く採
用されている。
ニカル的にハンドリングするのは困難な場合が多いの
で、ゴム等の弾性材で成形されたラッパ状の吸着パッド
を基板の表面に押圧し、内部を真空ポンプ等にて吸引
し、その吸着力にてハンドリングし、所定の位置に搬送
した後に吸引解除する真空吸着搬出、搬送方法が広く採
用されている。
【０００３】上記の場合に、例えば図４に示すようにガ
ラスディスク基板１等のワークは、基板ラック５に複数
枚重ねて載置されていて、その上部から吸着パッド３を
下降させ、最上部の基板１ａの表面を吸着し、上昇搬出
させる方法が広く採用されている。
ラスディスク基板１等のワークは、基板ラック５に複数
枚重ねて載置されていて、その上部から吸着パッド３を
下降させ、最上部の基板１ａの表面を吸着し、上昇搬出
させる方法が広く採用されている。
【０００４】しかし、ガラスディスク基板の加工工程に
おいては、方形の基板よりドーナッツ円盤状のディスク
基板に湿式で切り出し加工したり、面取り等の研削加工
等が実施される際に、基板の表面が水等で濡れた状態に
なり、そのままラックに積み重ねられると基板同志がく
っついた状態になる。このような状態で最上部の基板を
吸着手段にて吸着し、搬出しようとしても図４に示すよ
うに、最上部の基板１ａに下側の基板１ｂがくっついて
上昇する場合があった。そこで、基板の側部にエアーノ
ズル２を設けて、エアーを吹き付けてみた。ところが、
それでも基板１ａと１ｂが二枚重なった状態のまま、エ
アーにて浮遊するように振動しているだけで、最上部の
基板１ａのみをその下側の基板から確実に分離して搬出
することが出来なかった。
おいては、方形の基板よりドーナッツ円盤状のディスク
基板に湿式で切り出し加工したり、面取り等の研削加工
等が実施される際に、基板の表面が水等で濡れた状態に
なり、そのままラックに積み重ねられると基板同志がく
っついた状態になる。このような状態で最上部の基板を
吸着手段にて吸着し、搬出しようとしても図４に示すよ
うに、最上部の基板１ａに下側の基板１ｂがくっついて
上昇する場合があった。そこで、基板の側部にエアーノ
ズル２を設けて、エアーを吹き付けてみた。ところが、
それでも基板１ａと１ｂが二枚重なった状態のまま、エ
アーにて浮遊するように振動しているだけで、最上部の
基板１ａのみをその下側の基板から確実に分離して搬出
することが出来なかった。
【０００５】このように、基板が二枚以上重なった状態
にて搬出されると、次工程にて加工ラインが停止し、自
動運転が途中にて停止してしまう問題があった。特に、
ラインに管理者がいない無人状態にて装置を稼動させて
いる状態では、その間、ラインが停止したままになり、
生産性を著しく低下させる原因の１つになっていた。
にて搬出されると、次工程にて加工ラインが停止し、自
動運転が途中にて停止してしまう問題があった。特に、
ラインに管理者がいない無人状態にて装置を稼動させて
いる状態では、その間、ラインが停止したままになり、
生産性を著しく低下させる原因の１つになっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ガラスディ
スク基板等の複数枚積み重ねると相互に密着しやすい基
板を一枚ずつ確実に分離して搬出できる基板の搬出装置
及びその搬出方法の提供を目的とする。
スク基板等の複数枚積み重ねると相互に密着しやすい基
板を一枚ずつ確実に分離して搬出できる基板の搬出装置
及びその搬出方法の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記技術的目
的を達成するために、基板の搬出装置に、基板の吸着手
段と、この吸着手段に吸着される基板の側部より間欠エ
アー吹出し手段とを備えた。
的を達成するために、基板の搬出装置に、基板の吸着手
段と、この吸着手段に吸着される基板の側部より間欠エ
アー吹出し手段とを備えた。
【０００８】ここで、間欠エアー吹出し手段とは、基板
の側部に向けてエアーを吹き付ける時間とエアー吹き付
けを停止する時間を交互に設定したエアーノズル等をい
う。また、基板を囲むように複数のエアー吹出し手段を
設けてもよい。
の側部に向けてエアーを吹き付ける時間とエアー吹き付
けを停止する時間を交互に設定したエアーノズル等をい
う。また、基板を囲むように複数のエアー吹出し手段を
設けてもよい。
【０００９】上記のような間欠エアー吹出し手段を備え
た搬出装置にて、基板を複数枚重ね載置した基板ラック
から最上部の基板の表面を吸着手段にて吸着して、当該
基板をその下の基板から分離して取り出す際に、基板の
側部から間欠エアーを吹き付けて最上部の基板のみを搬
出できるようにした点に本発明の技術的要旨がある。
た搬出装置にて、基板を複数枚重ね載置した基板ラック
から最上部の基板の表面を吸着手段にて吸着して、当該
基板をその下の基板から分離して取り出す際に、基板の
側部から間欠エアーを吹き付けて最上部の基板のみを搬
出できるようにした点に本発明の技術的要旨がある。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の望ましい実施の形態を以
下図面に基づいて説明する。図１は、基板の搬出方法を
模式的に示したもので、図２が本発明に係る搬出装置の
要部を示す側面図である。まず、図１に基づいて基板の
搬出方法について説明する。ドーナッツ円盤状のディス
ク基板１が複数枚基板ラック５に積み重ねられている。
上部から吸着パッド３が下降し、最上部の基板１ａの表
面を押圧吸引し、上昇する。上昇開始指令とほぼ同時
に、エアーノズル２から間欠エアーを吹き付ける。エア
ー圧及び間欠サイクルは、基板の大きさ、厚さ、搬出速
度等により調整されるが、例えば０．５ＭＰａにてエア
ー吹き出し時間０．３秒、エアー吹出し停止時間０．２
秒等の条件が選定される。これにより、２枚以上の基板
がくっついて上昇しようとする瞬間に、下側の基板が落
下して最上部の基板１ａのみが吸着搬出されるようにな
った。
下図面に基づいて説明する。図１は、基板の搬出方法を
模式的に示したもので、図２が本発明に係る搬出装置の
要部を示す側面図である。まず、図１に基づいて基板の
搬出方法について説明する。ドーナッツ円盤状のディス
ク基板１が複数枚基板ラック５に積み重ねられている。
上部から吸着パッド３が下降し、最上部の基板１ａの表
面を押圧吸引し、上昇する。上昇開始指令とほぼ同時
に、エアーノズル２から間欠エアーを吹き付ける。エア
ー圧及び間欠サイクルは、基板の大きさ、厚さ、搬出速
度等により調整されるが、例えば０．５ＭＰａにてエア
ー吹き出し時間０．３秒、エアー吹出し停止時間０．２
秒等の条件が選定される。これにより、２枚以上の基板
がくっついて上昇しようとする瞬間に、下側の基板が落
下して最上部の基板１ａのみが吸着搬出されるようにな
った。
【００１１】次に、本発明に係る搬出装置の構造の要部
について説明する。図２に示すように、例えばスライダ
型マグネット式ロッドレスシリンダ等の駆動装置６のス
ライダ８に取り付けたスプライン軸支持部材８１を介し
て上下方向にスプライン軸７が配設されている。スプラ
イン軸７の下端に支持プレート４が取り付けられ、この
支持プレート４にて、例えば２本のエアーノズル２及
び、３本の吸着パッド３が取り付け固定されている。ス
プライン軸の外周には、支持プレート４を下方にばね付
勢するように圧縮ばね７１が配設され、スプライン軸支
持部材８１の上方に位置して、スプライン軸にストッパ
ー７２が取り付けられている。従って、スライダ８が下
降して吸着パッド３がディスク基板に当接する際の衝撃
は、スプライン軸７が圧縮ばねに対抗して上昇退避する
ことで吸収される。
について説明する。図２に示すように、例えばスライダ
型マグネット式ロッドレスシリンダ等の駆動装置６のス
ライダ８に取り付けたスプライン軸支持部材８１を介し
て上下方向にスプライン軸７が配設されている。スプラ
イン軸７の下端に支持プレート４が取り付けられ、この
支持プレート４にて、例えば２本のエアーノズル２及
び、３本の吸着パッド３が取り付け固定されている。ス
プライン軸の外周には、支持プレート４を下方にばね付
勢するように圧縮ばね７１が配設され、スプライン軸支
持部材８１の上方に位置して、スプライン軸にストッパ
ー７２が取り付けられている。従って、スライダ８が下
降して吸着パッド３がディスク基板に当接する際の衝撃
は、スプライン軸７が圧縮ばねに対抗して上昇退避する
ことで吸収される。
【００１２】スプライン軸７は、中空形状になってい
て、上部のエアー配管口２４ａがエアー源に接続され、
エアーは、このエアー配管口２４ａからスプライン軸７
の中空部を経由して、下部のエアー配管口２４ｂがエア
ーチューブ等でエアーノズル２の配管口２４ｃと連結さ
れている。一方、吸着パッド３も配管口３１を介して図
示を省略したが、吸引手段にて接続制御されている。従
って、支持プレート４の上昇、下降時は、吸着パッド３
とエアーノズル２が同時に移動することになる。
て、上部のエアー配管口２４ａがエアー源に接続され、
エアーは、このエアー配管口２４ａからスプライン軸７
の中空部を経由して、下部のエアー配管口２４ｂがエア
ーチューブ等でエアーノズル２の配管口２４ｃと連結さ
れている。一方、吸着パッド３も配管口３１を介して図
示を省略したが、吸引手段にて接続制御されている。従
って、支持プレート４の上昇、下降時は、吸着パッド３
とエアーノズル２が同時に移動することになる。
【００１３】図３にエアーノズル２の構造例の詳細を示
す。内部に中空部を有し、外径にねじを切ったノズル本
体２２が支持プレート４に上下のナット２５ａ、２５ｂ
で締結し、任意に高さ調整可能になっている。ノズル本
体２２の下部に、ノズル部２１が連結され、ノズルの吹
出し口２１ａは上下方向の長孔の開口部形状になってい
る。ノズル本体の上部は、エルボ２３等を介して通常の
手段にてエアーチャーブ２４等にて配管されている。
す。内部に中空部を有し、外径にねじを切ったノズル本
体２２が支持プレート４に上下のナット２５ａ、２５ｂ
で締結し、任意に高さ調整可能になっている。ノズル本
体２２の下部に、ノズル部２１が連結され、ノズルの吹
出し口２１ａは上下方向の長孔の開口部形状になってい
る。ノズル本体の上部は、エルボ２３等を介して通常の
手段にてエアーチャーブ２４等にて配管されている。
【００１４】
【発明の効果】本発明においては、積み重ねた基板の最
上部の基板を吸着し、搬出する際に基板の側部からエア
ーを間欠的に吹き付けたので、エアーを連続的に吹き付
けた状態では二枚以上の基板が密着し、浮上する場合が
あったのに対して、エアーの吹き付けを途中にて停止
し、再度吹き付けることがワークに衝撃を与えると推定
され、確実に一枚ずつ分離して搬送できるようになる。
これにより、付随効果として加工ラインの全自動無人運
転が可能になった。
上部の基板を吸着し、搬出する際に基板の側部からエア
ーを間欠的に吹き付けたので、エアーを連続的に吹き付
けた状態では二枚以上の基板が密着し、浮上する場合が
あったのに対して、エアーの吹き付けを途中にて停止
し、再度吹き付けることがワークに衝撃を与えると推定
され、確実に一枚ずつ分離して搬送できるようになる。
これにより、付随効果として加工ラインの全自動無人運
転が可能になった。
【図１】本発明に係る搬出方法を示す模式図である。
【図２】本発明に係る搬出装置を側面から見た要部構成
図を示す。
図を示す。
【図３】エアーノズルの構造例を示す。
【図４】基板の搬出時に二枚の基板がくっついた状態の
例を示す。
例を示す。
１、１ａ、１ｂ 基板
２ エアーノズル
２１ ノズル部
２１ａ ノズルの吹出し口
２２ ノズル本体
２３ エルボ
２４ エアーチューブ
２４ａ、２４ｂ、２４ｃ 配管口
２５ａ、２５ｂ ナット
３ 吸着パッド
３１ 吸引用配管口
４ 支持プレート
５ 基板ラック
６ 駆動装置（ロッドレスシリンダ）
７ スプライン軸
８ スライダ
８１ スプライン軸支持部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｂ
Ｆターム(参考） 3C007 AS04 AS24 DS02 FS01 FT17
FU01 NS12 NS14
3F343 FA13 FB17 FC01 GA01 GB01
GC04 GD04 JB02 JD28
5D121 AA02 JJ02 JJ03 JJ09
5F031 CA01 CA05 DA01 FA02 FA07
FA11 FA30 GA24 GA35 GA49
Claims (2)
- 【請求項１】基板の吸着手段と、この吸着手段に吸着さ
れる基板の側部より間欠エアー吹出し手段とを備えたこ
とを特徴とする基板の搬出装置。 - 【請求項２】基板を複数枚重ね載置した基板ラックから
最上部の基板の表面を吸着手段にて吸着して、当該基板
をその下の基板から分離して取り出す際に、基板の側部
から間欠エアーを吹き付けて最上部の基板を搬出するこ
とを特徴とする基板の搬出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002118649A JP2003312841A (ja) | 2002-04-22 | 2002-04-22 | 基板の搬出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002118649A JP2003312841A (ja) | 2002-04-22 | 2002-04-22 | 基板の搬出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003312841A true JP2003312841A (ja) | 2003-11-06 |
Family
ID=29535424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002118649A Pending JP2003312841A (ja) | 2002-04-22 | 2002-04-22 | 基板の搬出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003312841A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005310211A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Erumu:Kk | 全自動光ディスク修復装置 |
| KR100711158B1 (ko) | 2004-11-13 | 2007-04-24 | 유원테크 주식회사 | 액정표시장치 백라이트용 광학필름의 흡착이송 공급장치 |
| WO2007045951A2 (en) * | 2005-10-21 | 2007-04-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Conveying device for conveying single separator plates for fuel cells |
| JP2008024394A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nyuurii Kk | 枚葉紙分離装置、枚葉紙給紙装置、及びスキャナ装置 |
| JP2009046260A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Aida Eng Ltd | シート材の送り出し装置 |
| CN105270889A (zh) * | 2014-06-27 | 2016-01-27 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置 |
| CN105621088A (zh) * | 2014-10-28 | 2016-06-01 | 青岛富润玻璃有限公司 | 一种上片机侧工位玻璃黏连分离装置 |
| CN105689330A (zh) * | 2016-03-29 | 2016-06-22 | 上海华力微电子有限公司 | 一种改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置及方法 |
| WO2017068646A1 (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 検査装置、検査方法および検査プログラム |
| JP2018001583A (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-11 | 株式会社ワールドベンチャー | 自動連続画像彫刻装置 |
| DE102018121091A1 (de) | 2017-09-05 | 2019-03-07 | Fanuc Corporation | Werkstückaufnahmevorrichtung |
| CN110774306A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-02-11 | 王铁霞 | 一种机械手结构 |
| US10766078B2 (en) | 2017-09-05 | 2020-09-08 | Fanuc Corporation | Workpiece picking device |
| US10981413B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-04-20 | World Venture Corporation | Automatic continuous image engraving device |
-
2002
- 2002-04-22 JP JP2002118649A patent/JP2003312841A/ja active Pending
Cited By (18)
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