WO2017068646A1 - 検査装置、検査方法および検査プログラム - Google Patents

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WO2017068646A1
WO2017068646A1 PCT/JP2015/079559 JP2015079559W WO2017068646A1 WO 2017068646 A1 WO2017068646 A1 WO 2017068646A1 JP 2015079559 W JP2015079559 W JP 2015079559W WO 2017068646 A1 WO2017068646 A1 WO 2017068646A1
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inspection
display panel
inspection table
flat surface
unit
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PCT/JP2015/079559
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Inventor
彰良 宮谷
Original Assignee
堺ディスプレイプロダクト株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements

Definitions

  • the present invention relates to an inspection apparatus, an inspection method, and an inspection program.
  • An inspection in which a display unit that displays an image is pressed while the display panel is placed on a flat inspection table is an inspection that can accurately detect an abnormality in the display panel.
  • An inspection table in which a contact surface with a display panel is roughened, and a groove provided on the contact surface communicates with an air pump (Patent Document 1).
  • the air sent from the air pump flows into the gap between the display panel and the inspection table through the groove, so that the display panel can be easily removed from the inspection table. Thereby, it is possible to prevent the display panel from being damaged during the removal work from the inspection table.
  • Patent Document 2 An inspection device in which lift-up pins and air holes are provided on an inspection table is disclosed (Patent Document 2).
  • Patent Document 2 By pushing up the display panel with the lift-up pin while supplying air from the air hole, the display panel can be easily removed from the inspection table. Thereby, it is possible to prevent the display panel from being damaged during the removal work from the inspection table.
  • An object of one aspect is to provide an inspection apparatus capable of preventing damage to a display panel in an inspection process.
  • An inspection apparatus includes a flat surface portion on which an inspection target article is placed, an inspection table having an air outlet disposed outside the flat surface portion, a transport portion having an adsorption portion facing the flat surface portion, and the transport portion. Is provided with a blower that blows air from the outlet in synchronism with the operation of separating the inspection target article adsorbed by the adsorption unit from the inspection table.
  • the inspection table radiates light from the flat portion.
  • the planar portion is rectangular, and the outlet is disposed outside one or more sides of the planar portion.
  • the inspection object article placed on the flat surface portion of the inspection table having the flat surface portion is adsorbed by the adsorbing portion provided in the transport portion having the adsorbing portion facing the flat surface portion,
  • the conveyance unit blows air from an outlet disposed outside the flat surface unit in synchronization with an operation of separating the inspection target article from the inspection table.
  • the inspection program according to the present invention adsorbs the inspection target article placed on the flat surface portion of the inspection table having the flat surface portion by the suction portion provided in the transport portion having the suction portion facing the flat surface portion.
  • the computer executes a process of outputting a signal indicating that the conveying unit blows air from an outlet disposed outside the flat surface unit in synchronization with an operation of separating the inspection target article from the inspection table.
  • an inspection apparatus capable of preventing the display panel from being damaged in the inspection process.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram showing the configuration of the inspection apparatus.
  • the inspection device 10 includes a control device 11, an inspection table 21, a blower 31, and a conveyance unit 41.
  • the control device 11 is a general-purpose personal computer, an information device such as a tablet, or a dedicated control device incorporated in the inspection device 10.
  • the control device 11 includes a CPU (Central Processing Unit) 12, a main storage device 13, an auxiliary storage device 14, an input unit 15, an output unit 16, and a bus.
  • the CPU 12 is an arithmetic control device that executes a program according to the present embodiment. As the CPU 12, one or a plurality of CPUs or a multi-core CPU is used.
  • the CPU 12 is connected to each hardware part constituting the input device 10 via a bus.
  • the main storage device 13 is a storage device such as SRAM (Static Random Access Memory), DRAM (Dynamic Random Access Memory), flash memory or the like.
  • the main storage device 13 temporarily stores information necessary during processing performed by the CPU 12 and a program being executed by the CPU 12.
  • the auxiliary storage device 14 is a storage device such as SRAM, flash memory, hard disk or magnetic tape.
  • the auxiliary storage device 14 stores a program to be executed by the CPU 12 and various information necessary for executing the program.
  • the input unit 15 is a mouse, keyboard, touch panel, pen tablet, microphone, foot switch, or the like.
  • the input unit 15 is used when the CPU 12 accepts a user operation.
  • the output unit 16 is a device such as a display, a projector, a printer, or a speaker.
  • Each of the input unit 15 and the output unit 16 may be a single unit or a plurality of units.
  • the inspection table 21 has a nozzle 24 and a protection plate 26.
  • the protection plate 26 is a plate-like member that covers the upper surface of the inspection table 21.
  • a smooth flat surface portion 23 is provided on the upper surface of the protection plate 26.
  • the flat part 23 is installed horizontally, and the inspection object can be stably arranged thereon.
  • a plurality of nozzles 24 are fixed to the left and right of the flat portion 23.
  • the nozzle 24 is an air nozzle in which the air outlet 29 (see FIG. 4) is directed to the edge of the flat portion 23, for example. Details of the structure of the inspection table 21 will be described later.
  • the display panel 51 placed on the flat part 23 is indicated by a two-dot chain line.
  • the display panel 51 is an example of an object to be inspected that is inspected by the inspection apparatus 10. Details of the display panel 51 will be described later.
  • the nozzle 24 is connected to the discharge port of the blower 31 through the tube 32.
  • the blower 31 is a compressor that, for example, sucks and compresses ambient air and discharges air adjusted to a predetermined pressure.
  • the blower 31 can also be a cylinder filled with compressed gas and a regulating valve connected to the cylinder.
  • the blower 31 is connected to the control device 11. As the cylinder, it is desirable to use a cylinder of dry air, for example.
  • the transport unit 41 has a suction unit 42 on the lower side.
  • the suction part 42 is, for example, a suction cup, and can perform suction and release thereof.
  • the transport unit 41 can move the suction unit 42 in the vertical direction and the front-rear and left-right directions. Specifically, the transport unit 41 can move the suction unit 42 to the position where the display panel 51 placed on the flat part 23 is sucked while facing the flat part 23. Further, the transport unit 41 can transport the display panel 51 sucked by the suction unit 42 to a predetermined place, release the suction of the suction unit 42, and place the display panel 51.
  • the transport unit 41 is connected to the control device 11.
  • a display panel control device (not shown) is installed. This is a device that sends a video signal to the display panel 51 to display a predetermined inspection video.
  • the display panel control device is a device used in combination with the inspection device 10 of the present embodiment.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram showing the configuration of the display panel 51.
  • 2A is a front view of the display panel 51
  • FIG. 2B is a side view of the display panel 51.
  • the display panel 51 is a rectangular liquid crystal display panel.
  • the display panel 51 has a plate-like portion 53 and a wiring board 55.
  • the plate-like part 53 is rectangular and has a rectangular display part 54 in the center.
  • the display unit 54 is a part that displays an image. The structure of the plate-like part 53 will be described later.
  • the wiring board 55 is attached to the edges of two adjacent sides of the plate-like portion 53.
  • the wiring board 55 is a flexible printed board in which, for example, a resin film and a copper foil circuit pattern are laminated.
  • a driver 56 is provided on the wiring board 55.
  • a terminal portion (not shown) used for connection to an external circuit is provided. The terminal portion is used for input / output of a signal for inspection when inspecting the display panel 51 and connection of a circuit when the display panel 51 is assembled to a final product.
  • the wiring board 55 transmits a signal input from a circuit board (not shown) through a terminal unit to the driver 56 and transmits a driving signal and a video signal processed and output by the driver 56 to the plate-like unit 53.
  • It is a circuit component.
  • a high-definition display panel 51 such as 4K or 8K may be provided with a wiring board 55 on three or four sides of the plate-like portion 53.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram showing a cross-sectional structure of the display panel 51.
  • FIG. 3 shows an outline of a cross-sectional structure in which the edge of the display panel 51 is cut in the thickness direction. The structure of the plate-like portion 53 will be described with reference to FIG.
  • the plate portion 53 includes a TFT (Thin Film Transistor) substrate 62, a filter substrate 63, a sealing member 64, a spacer 65, and a liquid crystal 66.
  • TFT Thin Film Transistor
  • the TFT substrate 62 is a glass substrate provided with display pixel electrodes on the upper surface.
  • the electrode provided on the TFT substrate 62 is connected to the wiring substrate 55 via the connection member 67.
  • Connection member 67 is, for example, an anisotropic conductive film.
  • the filter substrate 63 is a glass substrate having red, blue, and green color filters and columnar spacers 65 on the lower surface. The edge of the filter substrate 63 is bonded to the TFT substrate 62 via the sealing member 64.
  • the filter substrate 63 and the TFT substrate 62 are held at a constant interval by a spacer 65. A space surrounded by the TFT substrate 62, the filter substrate 63 and the sealing member 64 is filled with liquid crystal 66.
  • the display panel 51 transmits or blocks backlight light irradiated from the lower side by the liquid crystal 66 of each pixel based on a video signal supplied via the wiring board 55. Thereby, an image is displayed on the display unit 54 on the upper surface of the display panel 51.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing the configuration of the inspection table 21.
  • 4A is a front view of the inspection table 21, and
  • FIG. 4B is a partial cross-sectional side view of the inspection table 21.
  • the display panel 51 which is a test object is shown with a dashed-two dotted line.
  • the inspection table 21 includes an illumination unit 22 and a diffusion plate 25 in addition to the protective plate 26 and the nozzle 24 described above.
  • the illumination unit 22 is a rectangular box that is open at the top and has a plurality of white LEDs arranged at the bottom.
  • the diffusion plate 25 is a resin plate that covers the opening of the illumination unit 22.
  • the material of the diffusion plate 25 is, for example, polystyrene or polycarbonate.
  • the diffuser plate 25 diffuses the light of the white LED incident from the lower surface and emits light having a uniform luminance upward.
  • the protective plate 26 is a transparent plate that covers and protects the upper surface of the diffusion plate 25.
  • the material of the protection plate 26 is, for example, glass or acrylic.
  • L-shaped notches 27 are provided on the left and right edges of the protective plate 26.
  • the nozzle 24 is fixed to the notch 27.
  • the nozzle 24 is an air nozzle having an inlet on the right or left side of the inspection table 21 and an air outlet 29 on the upper side of the inspection table 21.
  • a tube 32 is attached to the inlet of the nozzle 24. The gas flowing into the nozzle 24 from the tube 32 through the inlet is blown out from the outlet 29. It is desirable that the gas blown out from the blowout port 29 is directed toward the edge of the flat portion 23. Further, the gas blown out from the air outlet 29 may be directed vertically upward with respect to the flat portion 23.
  • the flat portion 23 is provided on the upper surface of the protective plate 26.
  • a display panel 51 placed on the flat surface 23 for performing an inspection using the inspection apparatus 10 is indicated by a two-dot chain line.
  • the outer peripheral portion of the display panel 51 floats without being placed on the flat portion 23, but the display portion 54 is placed on the flat portion 23.
  • FIG. 5 is an explanatory diagram showing the operation of the inspection apparatus 10.
  • FIG. 5A shows the inspection table 21 before the inspection is started.
  • FIG. 5B is a diagram in which the display panel 51 that is an inspection target article is placed at a predetermined position on the flat surface 23. In FIG. 5 and subsequent figures, the illustration of the tube 32 is omitted. The lower surface of the display panel 51 and the flat portion 23 are in close contact with each other due to the weight of the display panel 51.
  • the wiring board 55 is connected to a display panel control device (not shown).
  • the CPU 12 controls the transport unit 41 to suck the display panel 51 to the suction unit 42.
  • the CPU 12 controls the transport unit 41 to transport the display panel 51 onto the inspection table 21. After the lower surface of the display panel 51 comes into contact with the flat portion 23, the CPU 12 controls the suction portion 42 to remove the display panel 51 from the suction portion 42.
  • FIG. 5C shows a state in which the display panel 51 is inspected using the inspection apparatus 10.
  • the inspection process shown in FIG. 5C is controlled by a device different from the control device 11.
  • the contents of the inspection will be described.
  • the display unit 54 is pressed by the rubber roller 45.
  • the display panel 51 has a structure in which the liquid crystal 66 is sealed between the TFT substrate 62 and the filter substrate 63.
  • the filter substrate 63 is bent by the pressing of the roller 45 and the distance from the TFT substrate 62 is reduced. If pressing is performed by the roller 45 in a state in which a test image is displayed on the display unit 54, a defect of the display panel 51 is likely to be manifested.
  • the quality of the display panel 51 can be inspected by checking the state of the display unit 54 being pressed visually or photographed with a camera. After the inspection is completed, the wiring board 55 is removed from a display panel control device (not shown).
  • FIG. 5D shows a state in which the display panel 51 that has been inspected is sucked by the suction portion 42.
  • the CPU 12 controls the transport unit 41 to move the suction unit 42 onto the display panel 51 and sucks it to the suction unit 42.
  • FIG. 5E shows a state where the display panel 51 is lifted from the inspection table 21.
  • the lifting process will be described.
  • the display panel 51 may be damaged when the suction portion 42 is simply raised.
  • CPU12 raises adsorption part 42, and blows off air with predetermined pressure from blower outlet 29 synchronizing with this. The blown air enters between the display panel 51 and the flat part 23 and makes it easy to leave between the two.
  • the display panel 51 can be lifted from the flat surface portion 23 without being damaged.
  • the CPU 12 conveys the display panel 51 to the next step by lifting the display panel 51 controlled by controlling the conveyance unit 41.
  • FIG. 6 is a flowchart showing a processing flow of the inspection apparatus 10. The flow of processing performed by the CPU 12 of the inspection apparatus 10 will be described with reference to FIG.
  • the CPU 12 conveys the display panel 51 that has been processed in the previous process and places it at a predetermined location on the inspection table 21 (step S501).
  • the CPU 12 determines whether or not the inspection described with reference to FIG. 5C has been completed (step S502). If it is determined that the inspection has not ended (NO in step S502), the CPU 12 returns to step S502. If it is determined that the inspection is completed (YES in step S502), the CPU 12 controls the transport unit 41 to suck the display panel 51 on the suction unit 42 (step S503).
  • step S504 determines whether the display panel 51 is lifted. The determination is made, for example, based on whether an input from a foot switch arranged near the examination table 21 is accepted. The foot switch is an example of the input unit 15. If it is determined not to lift (NO in step S504), the CPU 12 returns to step S504. If it is determined to lift (YES in step S504), the CPU 12 controls both the transport unit 41 and the blower 31 to raise the suction unit 42 and, at the same time, blows at a predetermined pressure from the outlet 29. (Step S505). At this time, when the force applied to the suction portion 42 exceeds a predetermined value, it is desirable to perform feedback control such as increasing the air flow rate.
  • CPU12 controls the conveyance part 41, conveys the display panel 51 to a predetermined place, and removes the display panel 51 from the adsorption
  • the display panel 51 which is an inspection object
  • the display panel 51 and the inspection table 21 are easily separated from each other by the action of the air blown from the air outlet 29. Damage to the panel 51 can be prevented.
  • the lower side of the display portion 54 is in contact with the smooth flat surface portion 23, so that the TFT substrate 62 does not bend when the display portion 54 is pressed by the roller 45. . Therefore, damage to the display panel 51 in the inspection process can be prevented. Furthermore, since the flat surface portion 23 is smooth, luminance unevenness such as a shadow does not occur in the backlight light emitted from the illumination portion 22. Therefore, it is easy to test.
  • the notch 27 and the air outlet 29 may be provided along the two long sides of the protection plate 26.
  • the notch 27 and the air outlet 29 may be provided along two adjacent sides of the protection plate 26.
  • the notch 27 and the air outlet 29 may be provided along only one side of the protection plate 26.
  • the notch 27 and the air outlet 29 may be provided along three sides or four sides of the protection plate 26.
  • the flat portion 23 When used for inspection of a curved display panel 51 such as a cylindrical surface, it is desirable that the flat portion 23 be a curved surface such as a cylindrical surface corresponding to the shape of the display panel 51. When used for the inspection of the display panel 51 having a shape other than a rectangle, such as a polygon, a circle, and an ellipse, it is desirable that the flat portion 23 has a shape corresponding to the shape of the display panel 51 to be inspected.
  • the conveyance unit 41 may be provided with one adsorption unit 42 having a large adsorption surface.
  • the transport unit 41 may be provided with a plurality of suction units 42.
  • the nozzle 24 may be fixed to the side surface of the illumination unit 22 with the air outlet 29 facing upward.
  • the protection plate 26 does not have to be provided with the notch 27.
  • the tube 32 may be fixed to the side surface of the illumination unit 22 or the side surface of the protective plate 26 with the opening end facing upward without using the nozzle 24.
  • the open end of the tube 32 functions as the air outlet 29.
  • the tube 32 having one end sealed and having a hole on the side surface may be fixed to the side surface or the cutout portion 27 of the protection plate 26 with the hole facing upward.
  • the hole provided in the side surface of the tube 32 functions as the air outlet 29.
  • the inspection apparatus 10 may be used for inspection of a self-luminous display panel 51 such as an organic EL display panel or a plasma display panel. Further, it may be used for inspection of reflective electronic paper.
  • the inspection table 21 used in these applications may not include the illumination unit 22 and the diffusion plate 25. Further, an opaque material such as metal may be used for the protective plate 26.
  • the inspection device 10 may not have the control device 11 and may synchronize the ascending of the suction portion 42 and the blowing of air from the air outlet 29 by a mechanism such as a link and a cam or hydraulic pressure.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a configuration of the inspection table 21 according to the second embodiment.
  • FIG. 7A is a front view of the inspection table 21, and
  • FIG. 7B is a side view of the inspection table 21.
  • the inspection apparatus 10 according to the second embodiment will be described with reference to FIG. Note that description of portions common to the first embodiment is omitted.
  • the protective plate 26 has an L-shaped cutout 27 along the four sides.
  • the nozzles 24 are provided along the four sides of the protection plate 26. It is desirable that the gas blown out from the air outlet 29 of the nozzle 24 is directed toward the edge of the flat portion 23. Further, the gas blown out from the air outlet 29 may be directed vertically upward with respect to the flat portion 23.
  • the two are easily separated from each other, so that the display panel 51 can be prevented from being damaged. .
  • FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating the configuration of the inspection table 21 according to the third embodiment.
  • FIG. 8A is a front view of the inspection table 21, and
  • FIG. 8B is a side view of the inspection table 21.
  • the inspection apparatus 10 according to the third embodiment will be described with reference to FIG. Note that description of portions common to the first embodiment is omitted.
  • the protective plate 26 includes a notch 27 having an L shape when viewed from the front side along the right side and the left side, and a U shape when viewed from the top.
  • the nozzles 24 are provided in the respective cutout portions 27. It is desirable that the gas blown out from the air outlet 29 of the nozzle 24 is directed toward the edge of the flat portion 23. Further, the gas blown out from the air outlet 29 may be directed vertically upward with respect to the flat portion 23.
  • the display panel 51 it is possible to place the display panel 51 on the flat portion 23 up to the edge except for the portion where the nozzle 24 is provided. Therefore, for example, it is possible to prevent the display panel 51 from being damaged when an inspection worker or an inspection device comes into contact with the wiring board 55.
  • FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating a configuration of the inspection apparatus 10 according to the fourth embodiment. The configuration of this embodiment will be described with reference to FIG. Note that description of portions common to the first embodiment is omitted.
  • the inspection device 10 includes a control device 11, an inspection table 21, a blower 31, and a conveyance unit 41.
  • the control device 11 is an information device such as a general-purpose personal computer or a tablet.
  • the control device 11 includes a CPU 12, a main storage device 13, an auxiliary storage device 14, an input unit 15, an output unit 16, a reading unit 17, and a bus.
  • the reading unit 17 is a device that reads the portable recording medium 72, and specifically includes an optical disk drive, a micro SD (Secure Digital) card slot, and the like.
  • the program 71 is recorded on a portable recording medium 72.
  • the CPU 12 reads the program 71 via the reading unit 17 and stores it in the auxiliary storage device 14.
  • the CPU 12 may read the program 71 stored in the semiconductor memory 73 such as a flash memory mounted in the control device 11. Further, the CPU 12 may download the program 71 from another server computer (not shown) connected via a network interface (not shown) and store it in the auxiliary storage device 14.
  • the program 71 is installed as a control program of the control device 11, loaded into the main storage device 13, and executed. Thereby, the inspection table 21, the blower 31, and the transport unit 41 controlled by the control device 11 and the control device 11 function as the inspection device 10 described above.
  • the inspection apparatus 10 opposes the flat surface portion 23 and the inspection table 21 having the flat surface portion 23 on which the inspection target article is placed and the air outlet 29 disposed outside the flat surface portion 23.
  • a transport unit 41 having a suction unit 42 and a blower 31 that blows air from the outlet 29 in synchronization with an operation in which the transport unit 41 separates the inspection target article sucked by the suction unit 42 from the inspection table 21.
  • an inspection apparatus 10 capable of preventing breakage when lifting the display panel 51 as the inspection target article from the inspection table 21 during the inspection process.
  • the inspection table 21 emits light from the flat surface portion 23.
  • the article to be inspected is a transmissive liquid crystal display panel
  • an inspection apparatus 10 capable of performing inspection while displaying an image on the display unit 54.
  • the flat portion 23 is rectangular, and the outlet 29 is disposed outside one or more sides of the flat portion 23.
  • an inspection apparatus 10 capable of preventing breakage when lifting the rectangular display panel 51 that is the inspection target article from the inspection table 21 during the inspection process.
  • an article to be inspected placed on the flat surface portion 23 of the inspection table 21 having the flat surface portion 23 is provided on the transport portion 41 having the suction portion 42 facing the flat surface portion 23.
  • the conveying part 41 Adsorbed by the adsorbing part 42, the conveying part 41 blows air from an outlet 29 arranged outside the flat part 23 in synchronization with the operation of separating the inspection object from the inspection table 21.
  • the inspection program 71 is provided in the transport unit 41 having the suction portion 42 facing the flat surface portion 23, the inspection object article placed on the flat surface portion 23 of the inspection table 21 having the flat surface portion 23.
  • a signal to the effect that the suction unit 42 adsorbs is output, and air is blown from the air outlet 29 disposed outside the flat part 23 in synchronism with the movement of the conveying unit 41 to move the article to be inspected from the inspection table 21.
  • Inspection device 10 Inspection device 12 CPU DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 Main memory device 14 Auxiliary memory device 15 Input part 16 Output part 17 Reading part 21 Inspection stand 22 Illumination part 23 Plane part 24 Nozzle 25 Diffusion plate 26 Protection plate 27 Notch part 29 Outlet 31 Blower 32 Tube 41 Conveying part 42 Adsorption part 45 roller 51 display panel 53 plate-like part 54 display part 55 wiring board 56 driver 62 TFT substrate 63 filter board 64 sealing member 65 spacer 66 liquid crystal 67 connecting member 71 program 72 portable recording medium 73 semiconductor memory

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Abstract

検査工程で、検査対象物品である表示パネル（５１）を検査台から持ち上げる際の破損を防止することが可能な検査装置を提供する。　検査装置（１０）は、検査対象物品を載せる平面部（２３）および前記平面部の外側に配置された吹出口を有する検査台（２１）と、前記平面部に対向する吸着部（４２）を有する搬送部（４１）と、前記搬送部が前記吸着部により吸着された検査対象物品を前記検査台から離す動作と同期して、前記吹出口から送風する送風機（３１）とを備える。

Description

検査装置、検査方法および検査プログラム
　本発明は、検査装置、検査方法および検査プログラムに関する。
　液晶表示パネル等の表示パネルの製造工程の最終段階では、様々な検査を行う。表示パネルを平らな検査台に載せた状態で、映像を表示する表示部を押圧する検査は、表示パネルの異常を精度良く発見することができる検査である。
　表示パネルとの接触面を粗面にすると共に、接触面に設けた溝と空気ポンプとを連通させた検査台が開示されている（特許文献１）。空気ポンプから送り出した空気が溝を介して表示パネルと検査台との間の隙間に流れ込むことにより、検査台から表示パネルを容易に取り外すことができる。これにより、検査台からの取り外し作業時に表示パネルが破損することを防止できる。
　検査台にリフトアップピンおよび空気孔を設けた検査装置が開示されている（特許文献２）。空気孔から空気を供給しながらリフトアップピンにより表示パネルを押し上げることにより、検査台から表示パネルを容易に取り外すことができる。これにより、検査台からの取り外し作業時に表示パネルが破損することを防止できる。
特開２００３－５３８７６号公報 特開２００５－６６４９０号公報
　特許文献１および特許文献２に開示された検査台では、表示パネルを載せる面に溝、空気孔またはリフトピンによる凹凸が存在している。そのため、表示部を押圧する検査を行う場合には、これらの凹凸の近傍で表示パネルを破損するおそれがある。
　一つの側面では、検査工程での表示パネルの破損を防止することが可能な検査装置を提供することを目的とする。
　本発明にかかる検査装置は、検査対象物品を載せる平面部および前記平面部の外側に配置された吹出口を有する検査台と、前記平面部に対向する吸着部を有する搬送部と、前記搬送部が前記吸着部により吸着された検査対象物品を前記検査台から離す動作と同期して、前記吹出口から送風する送風機とを備える。
　本発明にかかる検査装置は、前記検査台は、前記平面部から光を放射する。
　本発明にかかる検査装置は、前記平面部は矩形であり、前記吹出口は前記平面部の一以上の辺の外側に配置されている。
　本発明にかかる検査方法は、平面部を有する検査台の該平面部に載せられた検査対象物品を、該平面部に対向する吸着部を有する搬送部に設けられた該吸着部により吸着し、前記搬送部が前記検査対象物品を前記検査台から離す動作と同期して前記平面部の外側に配置された吹出口から送風する。
　本発明にかかる検査プログラムは、平面部を有する検査台の該平面部に載せられた検査対象物品を、該平面部に対向する吸着部を有する搬送部に設けられた該吸着部により吸着する旨の信号を出力し、前記搬送部が前記検査対象物品を前記検査台から離す動作と同期して前記平面部の外側に配置された吹出口から送風する旨の信号を出力する処理をコンピュータに実行させる。
　一つの側面では、検査工程での表示パネルの破損を防止することが可能な検査装置を提供することができる。
検査装置の構成を示す説明図である。 表示パネルの構成を示す説明図である。 表示パネルの断面の構造を示す説明図である。 検査台の構成を示す説明図である。 検査装置の動作を示す説明図である。 検査装置の処理の流れを示すフローチャートである。 実施の形態２の検査台の構成を示す説明図である。 実施の形態３の検査台の構成を示す説明図である。 実施の形態４の検査装置の構成を示す説明図である。
［実施の形態１］
　図１は、検査装置の構成を示す説明図である。検査装置１０は、制御装置１１、検査台２１、送風機３１および搬送部４１を有する。
　制御装置１１は、汎用のパソコン、タブレット等の情報機器、または検査装置１０に組み込まれた専用の制御装置である。制御装置１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１２、主記憶装置１３、補助記憶装置１４、入力部１５、出力部１６およびバスを備える。ＣＰＵ１２は、本実施の形態に係るプログラムを実行する演算制御装置である。ＣＰＵ１２には、一または複数のＣＰＵまたはマルチコアＣＰＵ等が使用される。ＣＰＵ１２は、バスを介して入力装置１０を構成するハードウェア各部と接続されている。
　主記憶装置１３は、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、フラッシュメモリ等の記憶装置である。主記憶装置１３には、ＣＰＵ１２が行う処理の途中で必要な情報およびＣＰＵ１２で実行中のプログラムが一時的に保存される。
　補助記憶装置１４は、ＳＲＡＭ、フラッシュメモリ、ハードディスクまたは磁気テープ等の記憶装置である。補助記憶装置１４には、ＣＰＵ１２に実行させるプログラムおよびプログラムの実行に必要な各種情報が保存される。
　入力部１５は、マウス、キーボード、タッチパネル、ペンタブレット、マイクまたはフットスイッチ等である。入力部１５は、ユーザによる操作をＣＰＵ１２が受け付ける際に使用する。
　出力部１６は、ディスプレイ、プロジェクタ、プリンタ、スピーカ等の機器である。入力部１５および出力部１６は、それぞれ一台のみでも良いし、複数でも良い。
　検査台２１は、ノズル２４および保護板２６を有する。保護板２６は、検査台２１の上面を覆う板状の部材である。保護板２６の上面に、平滑な平面部２３が設けられている。平面部２３は水平に設置されており、その上に検査対象物品を安定して配置することができる。平面部２３の左右に複数のノズル２４が固定されている。ノズル２４は、たとえば吹出口２９（図４参照）を平面部２３の縁に向けたエアノズルである。検査台２１の構造の詳細は後述する。
　平面部２３の上に載せられた表示パネル５１を二点鎖線で示す。表示パネル５１は、検査装置１０が検査を行う被検査対象物の一例である。表示パネル５１の詳細については後述する。
　ノズル２４は、チューブ３２を介して送風機３１の吐出口に接続されている。送風機３１は、たとえば周囲の空気を吸い込んで圧縮し、所定の圧力に調整した空気を吐出する圧縮機である。また、送風機３１には、圧縮気体を詰めたボンベおよびボンベに接続された調整弁を使用することもできる。送風機３１は、制御装置１１に接続されている。ボンベは、たとえば乾燥空気のボンベを使用することが望ましい。
　搬送部４１は、下側に吸着部４２を有する。吸着部４２はたとえば吸盤であり、吸着とその解除とを行うことができる。搬送部４１は、吸着部４２を上下方向および前後左右方向に移動させることができる。具体的には、搬送部４１は吸着部４２を平面部２３に対向して平面部２３の上に載せられた表示パネル５１を吸着する位置に移動することができる。また、搬送部４１は、吸着部４２に吸着した表示パネル５１を所定の場所まで搬送し、吸着部４２の吸着を解除して表示パネル５１を置くことができる。搬送部４１は、制御装置１１に接続されている。
　検査台２１の近傍には、図示しない表示パネル制御装置が設置されている。表示パネル５１に映像信号を送り、所定の検査用の映像を表示させる装置である。表示パネル制御装置は、本実施の形態の検査装置１０と組み合わせて使用される装置である。
　図２は、表示パネル５１の構成を示す説明図である。図２Ａは、表示パネル５１の正面図、図２Ｂは表示パネル５１の側面図を示す。なお、本実施の形態では、表示パネル５１は矩形の液晶表示パネルである場合を例にして説明する。
　表示パネル５１は、板状部５３および配線基板５５を有する。板状部５３は矩形であり、中央に矩形の表示部５４を有する。表示部５４は、映像を表示する部分である。板状部５３の構造については後述する。
　配線基板５５は、板状部５３の隣接する二辺の縁に取り付けられている。配線基板５５は、たとえば樹脂フィルムと銅箔の回路パターンを積層したフレキシブルプリント基板である。配線基板５５にはドライバ５６が設けられている。配線基板５５のドライバ５６の近傍には、外部の回路との接続に使用する図示しない端子部が設けられている。端子部は、表示パネル５１を検査する際の検査用の信号の入出力および表示パネル５１を最終製品に組み付ける際の回路の接続に使用される。
　配線基板５５は、図示しない回路基板等から端子部を介して入力された信号をドライバ５６に伝達すると共に、ドライバ５６が処理して出力した駆動用信号および映像信号を、板状部５３に伝達する回路部品である。なお、たとえば４Ｋ、８Ｋなどの高精細の表示パネル５１には、板状部５３の三辺または四辺に配線基板５５が設けられる場合がある。
　図３は、表示パネル５１の断面の構造を示す説明図である。図３は、表示パネル５１の縁を厚さ方向に切断した断面の構造の概要を示す。図３を使用して、板状部５３の構造について説明する。
　板状部５３は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）基板６２、フィルタ基板６３、封止部材６４、スペーサ６５および液晶６６を有する。
　ＴＦＴ基板６２は、上面に表示画素の電極が設けられたガラス基板である。ＴＦＴ基板６２に設けられた電極は、接続部材６７を介して配線基板５５に接続されている。接続部材６７は、たとえば異方性導電フィルムである。フィルタ基板６３は、下面に赤、青、緑のカラーフィルタおよび柱状のスペーサ６５を有するガラス基板である。フィルタ基板６３の縁は、封止部材６４を介してＴＦＴ基板６２に接合されている。フィルタ基板６３とＴＦＴ基板６２とは、スペーサ６５により一定の間隔に保持されている。ＴＦＴ基板６２、フィルタ基板６３および封止部材６４により囲まれた空間に、液晶６６が充填されている。
　表示パネル５１は、配線基板５５を介して供給される映像信号に基づいて、各画素の液晶６６が下側から照射されるバックライト光を透過または遮蔽する。これにより、表示パネル５１の上側の面の表示部５４に映像が表示される。
　図４は、検査台２１の構成を示す説明図である。図４Ａは、検査台２１の正面図、図４Ｂは検査台２１の部分断面側面図を示す。図４には、二点鎖線により検査対象物である表示パネル５１を示す。検査台２１は、前述の保護板２６、ノズル２４に加えて照明部２２および拡散板２５を有する。
　照明部２２は、上側が開口し、底に複数の白色ＬＥＤが配置された矩形の箱である。拡散板２５は、照明部２２の開口部を覆う樹脂製の板である。拡散板２５の材質は、たとえばポリスチレンまたはポリカーボネートである。拡散板２５は、下面から入射した、白色ＬＥＤの光を拡散して、上側に均一な輝度の光を放射する。
　保護板２６は、拡散板２５の上面を覆って保護する透明な板である。保護板２６の材質は、たとえばガラスまたはアクリルである。保護板２６の左右の縁には、Ｌ字型の切欠部２７が設けられている。
　切欠部２７にノズル２４が固定されている。ノズル２４は、検査台２１の右側または左側に流入口を有し、検査台２１の上側に吹出口２９を有するエアノズルである。ノズル２４の流入口にチューブ３２が取り付けられている。チューブ３２から流入口を介してノズル２４に流入した気体は、吹出口２９から吹き出す。吹出口２９から吹き出される気体は、平面部２３の縁を向いていることが望ましい。また、吹出口２９から吹き出される気体は、平面部２３に対して垂直に上方を向いていても良い。
　前述の通り、保護板２６の上面に平面部２３が設けられている。検査装置１０を使用して検査を行うために平面部２３の上に載せられた表示パネル５１を二点鎖線で示す。表示パネル５１の外周部は平面部２３に載らずに浮いているが、表示部５４は平面部２３に載っている。
　図５は、検査装置１０の動作を示す説明図である。図５Ａは、検査を開始する前の検査台２１を示す。図５Ｂは、検査対象物品である表示パネル５１を平面部２３の上の所定の位置に載せた図である。図５以降ではチューブ３２の図示を省略する。表示パネル５１の自重により表示パネル５１の下面と平面部２３とが密着する。配線基板５５は、図示しない表示パネル制御装置に接続される。
　表示パネル５１を所定の位置に載せる方法について説明する。ＣＰＵ１２は、搬送部４１を制御して、表示パネル５１を吸着部４２に吸着する。ＣＰＵ１２は、搬送部４１を制御して、表示パネル５１を検査台２１の上に搬送する。表示パネル５１の下面が平面部２３に接触した後に、ＣＰＵ１２は吸着部４２を制御して吸着部４２から表示パネル５１を外す。
　図５Ｃは、検査装置１０を用いて表示パネル５１を検査している状態を示す。図５Ｃに示す検査の工程は、制御装置１１とは別の装置により制御されている。検査の内容について説明する。ゴム製のローラ４５により、表示部５４が押圧されている。図３を使用して説明したように、表示パネル５１は、ＴＦＴ基板６２とフィルタ基板６３との間に液晶６６が封止された構造である。ローラ４５の押圧によりフィルタ基板６３が撓んでＴＦＴ基板６２との間の距離が近づく。表示部５４に試験用の映像を表示した状態で、ローラ４５による押圧を行うと、表示パネル５１の不具合が顕在化しやすい。押圧中の表示部５４の状態を目視またはカメラで撮影して確認することにより、表示パネル５１の良否を検査することができる。検査が終了した後、配線基板５５は図示しない表示パネル制御装置から取り外される。
　図５Ｄは、検査が終了した表示パネル５１を吸着部４２により吸着した状態を示す。ＣＰＵ１２は、搬送部４１を制御して吸着部４２を表示パネル５１の上に移動させ、吸着部４２に吸着する。
　図５Ｅは、表示パネル５１を検査台２１から持ち上げた状態を示す。持ち上げる工程について説明する。前述のように表示パネル５１の下面と平面部２３とは密着しているので、単純に吸着部４２を上昇させる場合には表示パネル５１が破損するおそれがある。ＣＰＵ１２は、吸着部４２を上昇させると共に、これに同期して吹出口２９から所定の圧力で空気を吹き出す。吹き出された空気は、表示パネル５１と平面部２３との間に入り両者の間を離れやすくする。以上により、表示パネル５１を破損させずに平面部２３から持ち上げることができる。ＣＰＵ１２は、搬送部４１を制御して持ち上げた表示パネル５１を次の工程に表示パネル５１を搬送する。
　図６は、検査装置１０の処理の流れを示すフローチャートである。図６を使用して、検査装置１０のＣＰＵ１２が行う処理の流れを説明する。
　ＣＰＵ１２は、前の工程による処理が終了した表示パネル５１を搬送して、検査台２１の上の所定の場所に配置する（ステップＳ５０１）。ＣＰＵ１２は、図５Ｃを使用して説明した検査が終了したか否かを判定する（ステップＳ５０２）。検査が終了していないと判定した場合は（ステップＳ５０２でＮＯ）、ＣＰＵ１２はステップＳ５０２に戻る。検査が終了したと判定した場合は（ステップＳ５０２でＹＥＳ）、ＣＰＵ１２は搬送部４１を制御して吸着部４２に表示パネル５１を吸着する（ステップＳ５０３）。
　ＣＰＵ１２は、表示パネル５１を持ち上げるか否かを判定する（ステップＳ５０４）。判定は、たとえば検査台２１の近くに配置されたフットスイッチからの入力を受け付けているか否かにより行う。フットスイッチは、入力部１５の一例である。持ち上げないと判定した場合は（ステップＳ５０４でＮＯ）、ＣＰＵ１２はステップＳ５０４に戻る。持ち上げると判定した場合は（ステップＳ５０４でＹＥＳ）、ＣＰＵ１２は搬送部４１と送風機３１の双方を制御して、吸着部４２を上昇させると共に、これに同期して吹出口２９から所定の圧力で送風する（ステップＳ５０５）。この際、吸着部４２に加わる力が所定の値を超える場合には送風量を増やす等のフィードバック制御を行うことが望ましい。
　ＣＰＵ１２は、搬送部４１を制御して所定の場所に表示パネル５１を搬送し、吸着部４２から表示パネル５１を取り外す（ステップＳ５０６）。以上でＣＰＵ１２は処理を終了する。
　本実施の形態によると、検査対象物品である表示パネル５１を検査台２１から持ち上げる際に、吹出口２９から送風される空気の作用により、表示パネル５１と検査台２１とが離れやすくなり、表示パネル５１の破損を防ぐことができる。
　また、図５Ｃを使用して説明した工程において、表示部５４の下側は平滑な平面部２３に当接しているため、ローラ４５により表示部５４を押圧した際にＴＦＴ基板６２は撓まない。そのため、検査工程での表示パネル５１の破損を防ぐことができる。さらに、平面部２３が平滑であるため、照明部２２から照射したバックライト光に影等の輝度ムラが生じない。そのため、試験を行いやすい。
　切欠部２７および吹出口２９は、保護板２６の２本の長辺に沿って設けられていても良い。このようにすることにより、吹出口２９から送風される空気が作用する辺が長くなるので、表示パネル５１の破損をさらに防ぐことができる。
　切欠部２７および吹出口２９は、保護板２６の隣接する二辺に沿って設けられていても良い。図２に示すように二辺に配線基板５５が接続されている表示パネル５１を検査する場合には、配線基板５５が接続されている辺と切欠部２７および吹出口２９が設けられている辺とを同じ向きにして表示パネル５１を保護板２６の上に配置することが望ましい。配線基板５５が接続されている辺は、表示パネル５１の縁と表示部５４の縁との間隔が広いため、このようにすることにより切欠部２７が表示パネル５１の検査の妨げになりにくい。
　切欠部２７および吹出口２９は、保護板２６のいずれか一辺のみに沿って設けられていても良い。切欠部２７および吹出口２９は、保護板２６の三辺または四辺に沿って設けられていても良い。
　円筒面等の曲面型の表示パネル５１の検査に使用する場合には、平面部２３は表示パネル５１の形状に対応した円筒面等の曲面にすることが望ましい。矩形以外の多角形、円形、楕円形等の形状の表示パネル５１の検査に使用する場合には、平面部２３は検査対象の表示パネル５１の形状に対応する形状にすることが望ましい。
　搬送部４１には、大きい吸着面を有する吸着部４２が１個設けられていても良い。また搬送部４１には、複数の吸着部４２が設けられていても良い。
　ノズル２４は、吹出口２９を上に向けた状態で照明部２２の側面に固定されていても良い。この場合には、保護板２６に切欠部２７を設けなくても良い。
　ノズル２４を使用せず、チューブ３２が開口端を上に向けた状態で照明部２２の側面または保護板２６の側面に固定されていても良い。この場合には、チューブ３２の開口端が吹出口２９の機能を果たす。
　また、ノズル２４を使用せず、一端が封止され側面に孔を有するチューブ３２が、孔を上に向けた状態で保護板２６の側面または切欠部２７に固定されていても良い。この場合には、チューブ３２の側面に設けられた孔が吹出口２９の機能を果たす。
　検査装置１０は、有機ＥＬ表示パネル、プラズマ表示パネル等の自発光型の表示パネル５１の検査に使用しても良い。また、反射型の電子ペーパーの検査に使用しても良い。これらの用途で使用する検査台２１は、照明部２２および拡散板２５を備えなくても良い。また、保護板２６に金属等の不透明な材料を使用しても良い。
　検査装置１０は、制御装置１１を有さずに、リンクとカムまたは油圧などの機構により吸着部４２の上昇と吹出口２９からの空気の吹き出しとを同期させても良い。
［実施の形態２］
　本実施の形態は、吹出口２９を検査台２１の四辺に沿って設けた検査装置１０に関する。図７は、実施の形態２の検査台２１の構成を示す説明図である。図７Ａは、検査台２１の正面図、図７Ｂは検査台２１の側面図を示す。図７を使用して実施の形態２の検査装置１０について説明する。なお、実施の形態１と共通する部分については説明を省略する。
　保護板２６は、四辺に沿ってＬ字型の切欠部２７を有する。ノズル２４は、保護板２６の四辺に沿って設けられている。ノズル２４の吹出口２９から吹き出される気体は、平面部２３の縁を向いていることが望ましい。また、吹出口２９から吹き出される気体は、平面部２３に対して垂直に上方を向いていても良い。
　本実施の形態によると、表示パネル５１と検査台２１との接触面積が広い大型の表示パネル５１の検査を行う場合でも両者の間が離れやすくなるので、表示パネル５１の破損を防ぐことができる。
［実施の形態３］
　本実施の形態は、切欠部２７を小さくした検査装置１０に関する。図８は、実施の形態３の検査台２１の構成を示す説明図である。図８Ａは、検査台２１の正面図、図８Ｂは検査台２１の側面図を示す。図８を使用して実施の形態３の検査装置１０について説明する。なお、実施の形態１と共通する部分については説明を省略する。
　保護板２６は、右辺および左辺に沿って前側から見るとＬ字型、上面から見るとＵ字型の切欠部２７を備える。ノズル２４は、それぞれの切欠部２７に設けられている。ノズル２４の吹出口２９から吹き出される気体は、平面部２３の縁を向いていることが望ましい。また、吹出口２９から吹き出される気体は、平面部２３に対して垂直に上方を向いていても良い。
　本実施の形態によると、ノズル２４を設けた部分を除き、表示パネル５１の縁まで平面部２３の上に載せることができる。そのため、たとえば配線基板５５に検査作業者または検査用の機器が接触した場合の表示パネル５１の破損を防ぐことができる。
［実施の形態４］
　実施の形態４は、汎用のコンピュータとプログラム７１とを組み合わせて動作させることにより、検査装置１０を実現する形態に関する。図９は、実施の形態４の検査装置１０の構成を示す説明図である。図９を使用して、本実施の形態の構成を説明する。なお、実施の形態１と共通する部分の説明は省略する。
　本実施の形態の検査装置１０は、制御装置１１、検査台２１、送風機３１、搬送部４１を有する。制御装置１１は、汎用のパソコン、タブレット等の情報機器である。制御装置１１は、ＣＰＵ１２、主記憶装置１３、補助記憶装置１４、入力部１５、出力部１６、読取部１７およびバスを備える。読取部１７は、可搬型記録媒体７２を読み取る装置であり、具体的には光学ディスクドライブ、マイクロＳＤ（Secure Digital）カードスロット等である。
　プログラム７１は、可搬型記録媒体７２に記録されている。ＣＰＵ１２は、読取部１７を介してプログラム７１を読み込み、補助記憶装置１４に保存する。またＣＰＵ１２は、制御装置１１内に実装されたフラッシュメモリ等の半導体メモリ７３に記憶されたプログラム７１を読出しても良い。さらに、ＣＰＵ１２は、図示しないネットワークインターフェースを介して接続される図示しない他のサーバコンピュータからプログラム７１をダウンロードして補助記憶装置１４に保存しても良い。
　プログラム７１は、制御装置１１の制御プログラムとしてインストールされ、主記憶装置１３にロードして実行される。これにより、制御装置１１および制御装置１１により制御される検査台２１、送風機３１、搬送部４１は上述した検査装置１０として機能する。
　各実施例で記載されている技術的特徴（構成要件）はお互いに組合せ可能であり、組み合わせすることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
　今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味では無く、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
　以上のように、本発明にかかる検査装置１０は、検査対象物品を載せる平面部２３および前記平面部２３の外側に配置された吹出口２９を有する検査台２１と、前記平面部２３に対向する吸着部４２を有する搬送部４１と、前記搬送部４１が前記吸着部４２により吸着された検査対象物品を前記検査台２１から離す動作と同期して、前記吹出口２９から送風する送風機３１とを備える。
　本発明にあっては、検査工程中で検査台２１から検査対象物品である表示パネル５１を持ち上げる際の破損を防止することが可能な検査装置１０を提供することができる。
　本発明にかかる検査装置１０は、前記検査台２１は、前記平面部２３から光を放射する。
　本発明にあっては、検査対象物品が透過型の液晶表示パネルである場合に、表示部５４に映像を表示させながら検査を行うことが可能な検査装置１０を提供することができる。
　本発明にかかる検査装置１０は、前記平面部２３は矩形であり、前記吹出口２９は前記平面部２３の一以上の辺の外側に配置されている。
　本発明にあっては、検査工程中で検査台２１から検査対象物品である矩形の表示パネル５１を持ち上げる際の破損を防止することが可能な検査装置１０を提供することができる。
　本発明にかかる検査方法は、平面部２３を有する検査台２１の該平面部２３に載せられた検査対象物品を、該平面部２３に対向する吸着部４２を有する搬送部４１に設けられた該吸着部４２により吸着し、前記搬送部４１が前記検査対象物品を前記検査台２１から離す動作と同期して前記平面部２３の外側に配置された吹出口２９から送風する。
　本発明にあっては、検査工程中で検査台２１から検査対象物品である表示パネル５１を持ち上げる際の破損を防止することが可能な検査方法を提供することができる。
　本発明にかかる検査プログラム７１は、平面部２３を有する検査台２１の該平面部２３に載せられた検査対象物品を、該平面部２３に対向する吸着部４２を有する搬送部４１に設けられた該吸着部４２により吸着する旨の信号を出力し、前記搬送部４１が前記検査対象物品を前記検査台２１から離す動作と同期して前記平面部２３の外側に配置された吹出口２９から送風する旨の信号を出力する処理をコンピュータに実行させる。
　本発明にあっては、検査工程中で検査台２１から検査対象物品である表示パネル５１を持ち上げる際の破損を防止することが可能な検査プログラムを提供することができる。
　１０　検査装置
　１２　ＣＰＵ
　１３　主記憶装置
　１４　補助記憶装置
　１５　入力部
　１６　出力部
　１７　読取部
　２１　検査台
　２２　照明部
　２３　平面部
　２４　ノズル
　２５　拡散板
　２６　保護板
　２７　切欠部
　２９　吹出口
　３１　送風機
　３２　チューブ
　４１　搬送部
　４２　吸着部
　４５　ローラ
　５１　表示パネル
　５３　板状部
　５４　表示部
　５５　配線基板
　５６　ドライバ
　６２　ＴＦＴ基板
　６３　フィルタ基板
　６４　封止部材
　６５　スペーサ
　６６　液晶
　６７　接続部材
　７１　プログラム
　７２　可搬型記録媒体
　７３　半導体メモリ

Claims (5)

  1. 　検査対象物品を載せる平面部および前記平面部の外側に配置された吹出口を有する検査台と、
    　前記平面部に対向する吸着部を有する搬送部と、
    　前記搬送部が前記吸着部により吸着された検査対象物品を前記検査台から離す動作と同期して、前記吹出口から送風する送風機と
    　を備える検査装置。
  2. 　前記検査台は、前記平面部から光を放射する
    　請求項１に記載の検査装置。
  3. 　前記平面部は矩形であり、
    　前記吹出口は前記平面部の一以上の辺の外側に配置されている請求項１または請求項２に記載の検査装置。
  4. 　平面部を有する検査台の該平面部に載せられた検査対象物品を、該平面部に対向する吸着部を有する搬送部に設けられた該吸着部により吸着し、
    　前記搬送部が前記検査対象物品を前記検査台から離す動作と同期して前記平面部の外側に配置された吹出口から送風する
    　検査方法。
  5. 　平面部を有する検査台の該平面部に載せられた検査対象物品を、該平面部に対向する吸着部を有する搬送部に設けられた該吸着部により吸着する旨の信号を出力し、
    　前記搬送部が前記検査対象物品を前記検査台から離す動作と同期して前記平面部の外側に配置された吹出口から送風する旨の信号を出力する
    　処理をコンピュータに実行させる検査プログラム。
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