JPH0611839A - プリント配線板用露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 プリント配線板の製造装置である露光装置に
関し、作業性を向上し、さらに寸法精度を良くした露光
装置を提供する。 【構成】 プリアライメントステーション１０２、供給
ステーション１０３、待機ステーション１０４、カメラ
１３３とＸＹシータテーブル１３４を持つアライメント
ステーション１０５、露光用光源１３５を持つ露光ステ
ーション１０６、分離ステーション１０７、取出しステ
ーション１０８、マスク待機ステーション１１０，１１
１からなる各ステーションを設けると共に、ステージ１
１８とマスク１２３を固定するマスクステージ１２８を
複数個持つ構成とすることより、ステージ１１８への供
給動作ならびに取出し動作、アライメントとマスク１２
３の密着動作、露光動作、剥離動作を各々独立したステ
ーションで同時に並行して行うことができるようにな
り、ピッチタイムを短縮し、かつ寸法精度のよい露光を
行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板の製造装
置として使用されるプリント配線板用露光装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、プリント配線板用露光装置として
は自動のものが数多く開発されている（例えば特開昭６
２−１８８７７３号公報や特開昭６２−１５６６６０号
公報に開示されたものなど）。

【０００３】以下に従来のプリント配線板用露光装置に
ついて図面を用いて説明する。図６は従来のプリント配
線板用露光装置の全体の構成を示す斜視図であり、図６
において、１は供給コンベア、２はプリアライメントス
テーション、３は供給ステーション、４は露光ステーシ
ョン、５は取出しコンベア、６ａ，６ｂ，６ｃは全てプ
リント配線板である。

【０００４】上記プリアライメントステーション２は左
右ストッパー７ａ，７ｂと前ストッパー８と後ストッパ
ー９から構成されている。１０は供給ローダ、１１は供
給用真空チャックである。１２は第１のステージ、１３
は第１のパッキン、１４は第２のステージ、１５は第２
のパッキンである。１６はマスクステージ、１７はマス
ク、１８は露光用光源、１９はカバーである。２０ａ，
２０ｂはカメラ、２１はＸＹシータテーブル、２２は取
出しローダ、２３は取出し用真空チャックである。

【０００５】以上のように構成された従来のプリント配
線板用露光装置について、以下その動作について説明す
る。まず、供給コンベア１によりプリント配線板６ａが
プリアライメントステーション２まで送られる。上記プ
リント配線板６ａが通過する時に後ストッパー９は下で
待機しており、通過後上に突き出し、前ストッパー８と
同期してプリント配線板６ａを前後方向の中央に寄せ
る。また、左右ストッパー７ａ，７ｂも同期して左右方
向の中央にプリント配線板６ａを寄せてプリアライメン
トを終了する。

【０００６】次にプリアライメントされたプリント配線
板６ａを供給用真空チャック１１により吸引し供給ロー
ダ１０で供給ステーション３の第１のステージ１２の上
に供給する。一方、露光ステーション４で露光が終了し
たプリント配線板６ｃは第２のステージ１４の上から取
出し用真空チャック２３に吸引され、取出しローダ２２
で取出しコンベア５の上に取出される。

【０００７】次にプリント配線板６ｂを乗せた第１のス
テージ１２が第２のステージ１４と入れ替わり露光ステ
ーション４に移動する。露光ステーション４では、マス
クステージ１６に固定されたマスク１７のアライメント
用マークと、第１のステージ１２上のプリント配線板６
ｂにあるアライメント用マークをカメラ２０ａ，２０ｂ
でとらえる。

【０００８】次にマスク１７に対するプリント配線板６
ｂのずれ量を数値に変換し、ＸＹシータテーブル２１で
第２のステージ１４ごとプリント配線板６ｂのずれ量を
補正するよう移動する。移動後マスク１７とプリント配
線板６ｂを密着させるために、マスクステージ１６と第
１のステージ１２を密着させ第１のパッキン１３内を真
空に引く。その後、カバー１９により外部に露光用の光
が漏れないようにした状態で露光用光源１８に通電し露
光を行うというものであった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、露光ステーション４でアライメントおよび
マスク１７の密着作業を行っているので、例えば露光時
間を短縮してもピッチタイムは露光時間にアライメント
時間とマスク密着時間とステージ入れ替え時間が加算さ
れたもので制限を受けるために生産性が悪いという課題
と、マスクが１枚のみであるので露光時間を短縮するた
めに露光用光源１８の光量をアップするとマスク１７が
熱変形を起こし寸法精度が悪くなるという課題を有して
いた。

【００１０】本発明は上記課題を解決するもので、ピッ
チタイムを短縮して生産性を向上し、マスクの熱変形が
少なくなり寸法精度の優れた露光を可能とするプリント
配線板用露光装置を提供することを目的とするものであ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明のプリント配線板用露光装置は、供給部より送
られたプリント配線板にマスクを保持したマスクステー
ジを搭載して仮組立てを行う供給ステーションと、この
仮組立てされた仮組立品を次工程の前で一時的に待機さ
せるための待機ステーションと、この待機ステーション
から送られた仮組立品の位置決めと組立てを行うアライ
メントステーションと、このアライメントステーション
で組立てられた組立品に露光を行う露光ステーション
と、露光後の組立品のステージとマスクステージを剥離
する分離ステーションと、露光後のプリント配線板を取
出し部へ搬送する取出しステーションからなる構成とし
たものである。

【００１２】

【作用】この構成によって、プリント配線板のステージ
への供給動作、ステージからの取出し動作、アライメン
トとマスクの密着動作、露光動作、マスク剥離動作をそ
れぞれ独立したステーションで同時に並行して行うこと
が可能となり、ピッチタイムを短縮して生産性を向上す
ることができる。さらにマスクを２枚以上持つ構成とす
ることにより、１枚あたりのマスクに与えられる露光の
熱量が下がるためマスクの熱変形が少なくなり、寸法精
度の向上を図ることができる。

【００１３】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明の一実施例について図面を参
照しながら説明する。図１は本発明のプリント配線板用
露光装置の全体の構成を示す斜視図であり、図１におい
て１０１は供給コンベア、１０２はプリアライメントス
テーション、１０３は供給ステーション、１０４は待機
ステーション、１０５はアライメントステーション、１
０６は露光ステーション、１０７は分離ステーション、
１０８は取出しステーション、１０９は取出しコンベ
ア、１１０は第１のマスク待機ステーション、１１１は
第２のマスク待機ステーション、１１２ａ，１１２ｂ，
１１２ｃ，１１２ｄ，１１２ｅ，１１２ｆは全てプリン
ト配線板である。

【００１４】上記プリアライメントステーション１０２
は左右ストッパー１１３ａ，１１３ｂと前ストッパー１
１４と後ストッパー１１５から構成されている。１１６
は供給ローダ、１１７は供給用真空チャックである。１
１８は第１のステージ、１１９は第２のステージ、１２
０は第３のステージ、１２１は第４のステージ、１２２
は第５のステージである。

【００１５】１２３は第１のマスク、１２４は第２のマ
スク、１２５は第３のマスク、１２６は第４のマスク、
１２７は第５のマスクであり、それぞれ第１のマスクス
テージ１２８、第２のマスクステージ１２９、第３のマ
スクステージ１３０、第４のマスクステージ１３１、第
５のマスクステージ１３２に固定されている。１３３
ａ，１３３ｂはカメラ、１３４はＸＹシータテーブル
で、１３５は露光用光源、１３６はカバー、１３７は取
出しローダ、１３８は取出し用真空チャックである。

【００１６】図２は同実施例におけるステージとマスク
ステージ部の構成を詳細に示す断面図であり、第１のス
テージ１１８にはプリント配線板１１２ｂをこの第１の
ステージ１１８に吸着すると共にプリント配線板１１２
ｂと第１のマスクステージ１２８に固定された第１のマ
スク１２３を密着させるために真空を引く真空穴１３９
が多数個設けられている。また１４０は上記密着時に空
気が漏れないようにするためのパッキン、１４１はスト
ップバルブであり通常閉じており、真空引き時およびプ
リント配線板１１２ｂを第１のマスク１２３から剥離す
る場合にのみ気圧をかけるために開放するものである。

【００１７】また、第１のマスクステージ１２８には上
方から露光光が第１のマスク１２３を通過してプリント
配線板１１２ｂに当たるように、あるいはカメラ１３３
ａ，１３３ｂにより第１のマスク１２３およびプリント
配線板１１２ｂ上のアライメント用マーク（図示せず）
を見ることができるように解放穴１４２が設けられてい
る。

【００１８】以上のように構成された本実施例のプリン
ト配線板用露光装置について、以下その動作について説
明する。まず、供給コンベア１０１によりプリント配線
板１１２ａがプリアライメントステーション１０２まで
送られる。上記プリント配線板１１２ａが通過する時に
後ストッパー１１５は下で待機しており、通過後上に突
き出し、前ストッパー１１４と同期してプリント配線板
１１２ａを前後方向の中央に寄せる。また、左右ストッ
パー１１３ａ，１１３ｂも同期して左右方向の中央にプ
リント配線板１１２ａを寄せてプリアライメントを終了
する。

【００１９】次にプリアライメントされたプリント配線
板１１２ａを供給用真空チャック１１７により吸引し供
給ローダ１１６で供給ステーション１０３の第１のステ
ージ１１８の上に供給する。その後第２のマスク待機ス
テーション１１１で待機していた第１のマスクステージ
１２８を供給ステーション１０３に移動させ第１のステ
ージ１１８と仮に組合わせて後、待機ステーション１０
４に移動する。

【００２０】一方、待機ステーション１０４にあった第
２のステージ１１９と第２のマスクステージ１２９はア
ライメントステーション１０５に移動後、第２のマスク
ステージ１２９に固定された第２のマスク１２４のアラ
イメント用マーク（図示せず）と第２のステージ１１９
上のプリント配線板１１２ｃのアライメント用マーク
（図示せず）をカメラ１３３ａ，１３３ｂでとらえる。
次に第２のマスク１２４に対するプリント配線板１１２
ｃのずれ量を数値に変換し、ＸＹシータテーブル１３４
で第２のステージ１１９ごとプリント配線板１１２ｃの
ずれ量を補正するよう移動する。移動後第２のマスク１
２４とプリント配線板１１２ｃを密着させるために、第
２のマスクステージ１２９と第２のステージ１１９を密
着させパッキン１４０内を真空に引いて密着する。

【００２１】また、アライメントステーション１０５に
あった第３のステージ１２０と第３のマスクステージ１
３０は、すでにアライメントされた状態で真空により密
着されているので露光ステーション１０６に移動後すぐ
に露光用光源１３５に通電し露光を行う。そのときカバ
ー１３６により外部に露光用の光が漏れないようにして
ある。

【００２２】一方、露光が終了した第４のステージ１２
１と第４のマスクステージ１３１は分離ステーション１
０７に移動し、ストップバルブ１４１を解放して真空穴
１３９より空気を送り込み、第４のステージ１２１と第
４のマスクステージ１３１を剥離する。剥離後第４のス
テージ１２１と第４のマスクステージ１３１は仮に組み
合わせたまま同時に取出しステーション１０８に移動
し、さらに第４のマスクステージ１３１のみが第４のマ
スク１２６を保持したまま第１のマスク待機ステーショ
ン１１０に移動する。

【００２３】取出しステーション１０８ではプリント配
線板１２１ｆが第５のステージ１２２の上に置かれた状
態であるので取出し用真空チャック１３８で吸引し、取
出しローダ１３７で取出しコンベア１０９に取出す。取
出し後、第５のステージ１２２は供給ステーション１０
３まで移動し、第１のマスク待機ステーション１１０の
第５のマスクステージ１３２は第２のマスク待機ステー
ション１１１に移動する。

【００２４】以上の動作で５枚のステージとマスクステ
ージが１枚ずつずれたことになり、ステージへの供給動
作、ステージからの取出し動作、アライメントとマスク
の密着動作、露光動作、マスク剥離動作を別のステーシ
ョンで同時に行ったことになる。

【００２５】なお、アライメントステーション１０５で
アライメント動作とマスク密着動作を行っているが、こ
の２つの動作がピッチタイムの制限となるときはアライ
メントステーション１０５の次にマスク密着ステーショ
ンを設け、アライメント動作とマスク密着動作を分離し
ても良い。ただし、ステーションの増加に見合っただけ
のマスクとマスクステージとステージのセットを追加す
る必要がある。

【００２６】また、本実施例において露光ステーション
１０６は１ステーションのみであったが、露光時間が長
い場合は露光ステーションを２ステーション以上設けて
も良い。ただし、この場合もステーション増加に見合っ
ただけのマスクとマスクステージとステージのセットを
追加する必要がある。

【００２７】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について図面を参照しながら説明する。図３は同実施例
のプリント配線板用露光装置の全体の構成を示す斜視図
であり、図３において２０１は供給コンベア、２０２は
プリアライメントステーション、２０３は供給ステーシ
ョン、２０４は待機ステーション、２０５はアライメン
トステーション、２０６は露光ステーション、２０７は
マスク分離ステーション、２０８は取出しステーショ
ン、２０９は取出しコンベア、２１０は第１のマスク待
機ステーション、２１１は第２のマスク待機ステーショ
ン、２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２
ｅ，２１２ｆは全てプリント配線板であり、その表面に
はレジストが塗布されている。

【００２８】上記プリアライメントステーション２０２
は左右ストッパー２１３ａ，２１３ｂと前ストッパー２
１４と後ストッパー２１５から構成されている。２１６
は供給ローダ、２１７は供給用真空チャックである。２
１８は第１のステージ、２１９は第２のステージ、２２
０は第３のステージ、２２１は第４のステージ、２２２
は第５のステージである。２２３は第１のマスク、２２
４は第２のマスク、２２５は第３のマスク、２２６は第
４のマスク、２２７は第５のマスクであり、それぞれ第
１のマスクステージ２２８、第２のマスクステージ２２
９、第３のマスクステージ２３０、第４のマスクステー
ジ２３１、第５のマスクステージ２３２に固定されてい
る。２３３ａ，２３３ｂはカメラ、２３４はＸＹシータ
テーブルで、２３５は露光ステーションのカバー、２３
６は取出しローダ、２３７は取出し用真空チャックであ
る。

【００２９】図４は同実施例における露光ステーション
の詳細を示す断面図であり、２１２ａはプリント配線板
であり、その表面にはレジスト２３８が塗布されてお
り、ステージ２１８の上に載置される。２２３はマスク
であり、石英ガラスによりできておりその表面にはクロ
ム蒸着パターン２３９が形成されている。２２８はマス
クステージであり、プリント配線板２１２ａとマスク２
２３の間に一定の間隔を持つようにスペーサ２４０を介
してステージ２１８と組み合わされる。また、マスクス
テージ２２８には、上方からのエキシマレーザ光がマス
ク２２３を透過してプリント配線板２１２ａに当たるよ
うに、あるいはカメラ２３３ａ，２３３ｂによりマスク
２３３およびプリント配線板２１２ａ上のアライメント
用マーク（図示せず）を見ることができるように解放穴
２４１が開いている。２４２はエキシマレーザ光源であ
り、２４３はミラーで２４４はレンズ群である。

【００３０】以上のように構成された本実施例のプリン
ト配線板用露光装置について、以下その動作について説
明する。まず、供給コンベア２０１によりプリント配線
板２１２ａがプリアライメントステーション２０２まで
送られる。上記プリント配線板２１２ａが通過する時に
後ストッパー２１５は下で待機しており、通過後上に突
き出し、前ストッパー２１４と同期してプリント配線板
２１２ａを前後方向の中央に寄せる。また、左右ストッ
パー２１３ａ，２１３ｂも同期して左右方向の中央にプ
リント配線板２１２ａを寄せプリアライメントを終了す
る。

【００３１】次にプリアライメントされたプリント配線
板２１２ａを供給用真空チャック２１７により吸引し、
供給ローダ２１６で供給ステーション２０３の第１のス
テージ２１８の上に供給する。その後第２のマスク待機
ステーション２１１で待機していた第１のマスクステー
ジ２２８を供給ステーション２０３に移動させ第１のス
テージ２１８と仮に組合わせて後待機ステーション２０
４に移動する。

【００３２】一方、待機ステーション２０４にあった第
２のステージ２１９と第２のマスクステージ２２９はア
ライメントステーション２０５に移動後、第２のマスク
ステージ２２９に固定された第２のマスク２２４のアラ
イメント用マーク（図示せず）と第２のステージ２１９
上のプリント配線板２１２ｃのアライメント用マーク
（図示せず）をカメラ２３３ａ，２３３ｂでとらえる。
次に第２のマスク２２４に対するプリント配線板２１２
ｃのずれ量を数値に変換し、ＸＹシータテーブル２３４
で第２のステージ２１９ごとプリント配線板２１２ｃの
ずれ量を補正するよう移動する。移動後第２のマスク２
２４とプリント配線板２１２ｃの間に一定の間隔を置く
ようにスペーサ２４０を介して第２のステージ２１９と
第２のマスクステージ２２９が固定される。

【００３３】また、アライメントステーション２０５に
あった第３のステージ２２０と第３のマスクステージ２
３０はすでにアライメントされた状態であるので、露光
ステーション２０６に移動後エキシマレーザ光源２３５
よりエキシマレーザ光（ＸｅＣｌ、３０８ｎｍ）を数パ
ルス発振する。エキシマレーザ光はミラー２４３で反射
されて方向転換し、レンズ群２４４で拡大と均一化さ
れ、マスク２２３の表面のクロム蒸着パターン２３９の
無いところのみを透過してプリント配線板２１２ｄ上の
レジスト２３８に到達し露光を行う。そのときカバー２
３５により外部に露光用のエキシマレーザ光が漏れない
ようにしてある。

【００３４】一方、露光が終了した第４のステージ２２
１と第４のマスクステージ２３１はマスクの分離ステー
ション２０７に移動し、第４のステージ２２１と第４の
マスクステージ２３１は分離される。分離後第４のステ
ージ２２１と第４のマスクステージ２３１は仮に組み合
わせたまま同時に取出しステーション２０８に移動し、
さらに第４のマスクステージ２３１のみが第１のマスク
待機ステーション２１０に移動する。

【００３５】取出しステーション２０８ではプリント配
線板２１２ｆが第５のステージ２２２の上に置かれた状
態であるので取出し用真空チャック２３７で吸引し、取
出しローダ２３６で取出しコンベア２０９に取り出す。
取出し後、第５のステージ２２２は供給ステーション２
０３まで移動し、第１のマスク待機ステーション２１０
の第５のマスクステージ２３２は第２のマスク待機ステ
ーション２１１に移動する。

【００３６】以上の動作で５枚のステージとマスクステ
ージが１ステーションずつ移動したことになり、ステー
ジへの供給動作、ステージからの取出し動作、アライメ
ント動作、露光動作、マスクとの固定分離動作を別ステ
ーションで同時に行ったことになるばかりでなく、この
構成によってマスク２２３とプリント配線板２１２ｆを
非接触で露光できるためマスク２２３への異物の付着が
少なくなり、かつマスク２２３とプリント配線板２１２
ｆを密着させるための真空引きの機構や動作が不要にな
るものである。

【００３７】また、本実施例において露光ステーション
２０６は１ステーションのみであったが、露光時間が長
い場合には露光ステーション２０６を２ステーション以
上設けても良い。ただし、この場合にはステーションの
増加に見合っただけのマスクとマスクステージとステー
ジのセットを追加する必要がある。

【００３８】（実施例３）以下、本発明の第３の実施例
について図面を参照しながら説明する。図５は同実施例
におけるプリント配線板用露光装置の全体の構成を示す
斜視図である。図５において符号１０１から１４２まで
は上記本発明の第１の実施例で説明した図１の構成と同
じであり、図１の構成と異なるのは切替え用ストッカー
１４３、エレベータ１４４、マスク供給用ローダ１４
５、マスク取出し用ローダ１４６を付加したことであ
る。

【００３９】以上のように構成された本実施例のプリン
ト配線板用露光装置について、以下その動作について上
記実施例１と異なる点についてのみ説明する。まず、作
業者により品種切替えの合図が出されると供給ステーシ
ョン１０３において供給ローダ１１６は停止したままで
プリント配線板１１２ａは供給せず、第１のステージ１
１８と第２のマスク待機ステーション１１１で待機して
いた第１のマスクステージ１２８を供給ステーション１
０３に移動させて第１のステージ１１８と仮組合わせを
行って後、待機ステーション１０４に移動する。

【００４０】次に、マスク取出し用ローダ１４６により
上記第１のステージ１１８と第１のマスクステージ１２
８を同時に待機ステーション１０４から取り出して切替
え用ストッカー１４３の１番上の空きスペースに収納す
る。

【００４１】次に、エレベータ１４４を一段上に動作
し、あらかじめ切替え用ストッカー１４３の上から２番
目にセットしてあるステージ、マスク、マスクステージ
の組み合わせたものをマスク供給用ローダ１４５にて待
機ステーション１０４に供給する。これで、１セット分
のステージ、マスク、マスクステージが入れ替わったこ
とになり、上記動作をマスク枚数回分繰り返せば、プリ
ント配線板用露光装置に搭載されて使用中のマスクと切
替え用ストッカー１４３にセットされたマスクとを全て
入れ替えることができるようになる。

【００４２】以上のように本実施例によればあらかじめ
切替え用ストッカー１４３にセットされたマスクにより
生産する品種の切り替えを自動的に行うことができる。

【００４３】また、本実施例による切替え用ストッカー
１４３を上記第２の実施例に適用しても同様の効果が得
られることは言うまでもない。

【００４４】

【発明の効果】以上のように本発明によるプリント配線
板用露光装置は、ステージと、そのステージに組み合わ
されるマスクステージとそのマスクステージに固定され
るマスクとをそれぞれ複数枚持つ構成とすることによ
り、ステージへの供給動作、ステージからの取出し動
作、アライメントとマスク密着動作、露光動作、マスク
剥離動作をそれぞれ別ステーションで並行して同時に行
うことにより、作業のピッチタイムを短縮することがで
き、また切替え用ストッカーを付加することにより自動
で生産品種の切り替えを行って生産性を高めることがで
き、さらにマスクを複数枚持つことにより１枚あたりの
マスクに与えられる露光の熱量が下がるためにマスクの
熱変形が少なくなり、寸法精度の優れた露光を行うこと
が可能なプリント配線板用露光装置を実現できるもので
ある。

【００４５】また、エキシマレーザ光源より発せられる
エキシマレーザ光を拡大縮小成形するレンズを備えた露
光ステーションにより露光を行う構成とすることによ
り、マスクとプリント配線板を非接触で露光することが
できるため、マスクへの異物の付着が少なくなり、かつ
マスクとプリント配線板を密着させるための真空引きの
機構や動作を不要にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例によるプリント配線板用
露光装置の全体の構成を示す斜視図

【図２】同実施例におけるステージとマスクステージの
詳細を示す断面図

【図３】本発明の第２の実施例によるプリント配線板用
露光装置の全体の構成を示す斜視図

【図４】同実施例における露光ステーションの詳細を示
す要部断面図

【図５】本発明の第３の実施例によるプリント配線板用
露光装置の全体の構成を示す斜視図

【図６】従来のプリント配線板用露光装置の全体の構成
を示す斜視図

【符号の説明】

１０１ 供給コンベア １０２ プリアライメントステーション １０３ 供給ステーション １０４ 待機ステーション １０５ アライメントステーション １０６ 露光ステーション １０７ 分離ステーション １０８ 取出しステーション １０９ 取出しコンベア １１０ 第１のマスク待機ステーション １１１ 第２のマスク待機ステーション １１２ａ プリント配線板 １１２ｂ プリント配線板 １１２ｃ プリント配線板 １１２ｄ プリント配線板 １１２ｅ プリント配線板 １１２ｆ プリント配線板 １１３ａ 左右ストッパー １１３ｂ 左右ストッパー １１４ 前ストッパー １１５ 後ストッパー １１６ 供給ローダ １１７ 供給用真空チャック １１８ 第１のステージ １１９ 第２のステージ １２０ 第３のステージ １２１ 第４のステージ １２２ 第５のステージ １２３ 第１のマスク １２４ 第２のマスク １２５ 第３のマスク １２６ 第４のマスク １２７ 第５のマスク １２８ 第１のマスクステージ １２９ 第２のマスクステージ １３０ 第３のマスクステージ １３１ 第４のマスクステージ １３２ 第５のマスクステージ １３３ａ カメラ １３３ｂ カメラ １３４ ＸＹシータテーブル １３５ 露光用光源 １３６ カバー １３７ 取出しローダ １３８ 取出し用真空チャック １３９ 真空穴 １４０ パッキン １４１ ストップバルブ １４２ 解放穴 １４３ 切替え用ストッカー １４４ エレベータ １４５ マスク供給用ローダ １４６ マスク取出し用ローダ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】供給部より送られたプリント配線板にマス
   クを保持したマスクステージを搭載して仮組立てを行う
   供給ステーションと、この仮組立てされた仮組立品を次
   工程の前で一時的に待機させるための待機ステーション
   と、この待機ステーションから送られた仮組立品の位置
   決めと組立てを行うアライメントステーションと、この
   アライメントステーションで組立てられた組立品に露光
   を行う露光ステーションと、露光後の組立品のステージ
   とマスクステージを剥離する分離ステーションと、露光
   後のプリント配線板を取出し部へ搬送する取出しステー
   ションからなるプリント配線板用露光装置。
2. 【請求項２】露光ステーションがエキシマレーザ光源と
   このエキシマレーザ光源から照射されるエキシマレーザ
   光を拡大縮小するレンズにより構成され、組立品が表面
   にレジストを塗布したプリント配線板を搭載するステー
   ジとエキシマレーザ光が透過する物質からなる板の表面
   にエキシマレーザ光を遮光する物質からなるパターンを
   形成してなるマスクを保持したマスクステージと上記プ
   リント配線板とマスクとの間に一定の間隔を設けるため
   にステージの周縁にはめ込まれたスペーサにより構成さ
   れたものである請求項１記載のプリント配線板用露光装
   置。
3. 【請求項３】露光ステーションが組立品を搭載した状態
   でＸＹ方向に移動可能なＸＹテーブルを備えたものであ
   る請求項２記載のプリント配線板用露光装置。
4. 【請求項４】マスクを保持したマスクステージをステー
   ジの上に搭載した準備品を複数組収納し、待機ステーシ
   ョンに送られたマスクとマスクステージとステージをこ
   の待機ステーションから取出して収納すると共に、あら
   かじめ収納された準備品を取出して上記待機ステーショ
   ンに搭載することにより異なる種類のマスクとマスクス
   テージとステージに切替えを行う切替え用ストッカーを
   設けた請求項１、請求項２、または請求項３記載のプリ
   ント配線板用露光装置。