JPH1010153A - プローブユニットの保管庫およびそれを用いる検査システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 保管庫内におけるプローブユニットの取扱を
容易にすることにある。 【解決手段】 プローブユニットの保管庫は、液晶表示
パネル検査用のブローブユニットをそれぞれ傾斜した状
態に保管する複数の保管部と、ブローブユニットを前記
傾斜した状態でブローブユニットの傾斜方向と直交する
水平方向へ移動可能に受けるべく各保管部に配置された
ガイドとを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
良否の検査に用いるプローブユニットの保管庫およびそ
れを用いる検査システムする装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの良否を検査する装置に
おいては、一般に、作業者が、検査すべき液晶表示パネ
ルに応じたプローブユニットを複数のプローブユニット
の中から選択し、選択したプローブユニットを検査装置
に装着する。各プローブユニットは、保管庫の引き出し
内に水平の状態に収納されている。プローブユニットの
交換時、検査装置に装着されているプローブユニットが
人手により取り外されて保管庫の所定の引き出しに収納
され、保管庫の他の引き出しに収納されているプローブ
ユニットが人手により取り出されて検査装置に装着され
る。

【０００３】しかし、従来の保管庫および検査システム
では、各プローブユニットを保管庫の引き出し内に水平
の状態に収納しているにすぎないから、プローブの交換
時、作業者がプローブユニットを保管庫の所定の引き出
しから持ち上げ、保管庫の所定の引き出しに収納する作
業をしなければならず、保管庫に対するプローブユニッ
トの取り出し作業および収納作業が面倒である。

【０００４】特に、最近では、液晶表示パネル自体が大
型化し、それにより大型の液晶表示パネルの検査に用い
るプローブユニットも大型化して相当な重量を有するか
ら、１人の作業者が大型のプローブユニットを持ち上げ
て運搬することは極めて困難である。また、そのような
大型のプローブユニットを検査装置に装着しまたは検査
装置から取り外す作業を１人の作業者だけで行うことは
極めて困難である。

【０００５】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、保管庫内に
おけるプローブユニットの取扱を容易にすることにあ
る。

【０００６】本発明の他の目的は、プローブユニットの
交換作業を容易にすることにある。

【０００７】

【解決手段、作用、効果】本発明に係るプローブユニッ
トの保管庫は、液晶表示パネル検査用のブローブユニッ
トをそれぞれ傾斜した状態に保管する複数の保管部と、
ブローブユニットを前記傾斜した状態でブローブユニッ
トの傾斜方向と直交する水平方向へ移動可能に受けるべ
く各保管部に配置されたガイドとを含む。

【０００８】本発明の保管庫によれば、ブローブユニッ
トを傾斜させた状態で水平方向へ移動可能に受けるガイ
ドを各保管部に配置したから、プローブユニットを保管
部内で傾斜させた状態でガイドに沿って移動させること
ができ、保管庫内におけるプローブユニットの取扱が容
易になる。

【０００９】退避位置を検査位置から検査ステージに配
置された液晶表示パネルと平行の水平方向へ離れた位置
とし、支持手段にプローブユニットを第１および退避位
置に選択的に移動可能に受けるガイドを備えることがで
きる。このようにすれば、プローブユニットの移動が安
定する。

【００１０】前記保管部は複数の車輪を備える筐体に形
成することができる。これの代わりに、さらに、複数の
車輪を備える架台と、該架台に少なくとも一方向へ移動
可能に配置された筐体であって前記保管部を有する筐体
とを含むことができる。

【００１１】本発明に係る液晶表示パネルの検査システ
ムは、液晶表示パネルを傾斜した状態に配置する検査ス
テージを備える検査装置と、検査用のブローブユニット
をそれぞれ保管する複数の保管部を備える保管庫であっ
て検査ステージに配置された液晶表示パネルと平行の水
平の第１の方向における検査装置の側部に分離可能に連
結される保管庫とを含む。検査装置は、さらに、ブロー
ブユニットを検査ステージにおける液晶表示パネルの傾
斜状態に対応して傾斜させた状態で、検査ステージに対
応しかつ検査のための検査位置と、保管庫に対してプロ
ーブユニットの受渡しをすべく検査位置から側部の側へ
離れた受渡し位置とに選択的に移動可能に受ける第１の
ガイドを備える。保管庫は、さらに、プローブユニット
を第１のガイドにおけるブローブユニットの傾斜状態に
対応して傾斜させた状態で移動可能に受けるとともにそ
の状態で第１のガイドに対してブローブユニットの受渡
しをすべく第１のガイドと平行伸びる第２のガイドを各
保管部に備える。

【００１２】本発明の検査システムによれば、ブローブ
ユニットを傾斜した状態で水平方向へ移動可能に受ける
第１および第２のガイドをそれぞれ検査装置および保管
庫に配置し、ブローブユニットを傾斜させた状態で移動
させることにより、検査装置と保管庫との間で受け渡す
ようにしたから、プローブユニットの交換作業が容易に
なる。

【００１３】検査装置および保管庫の一方は他方に向け
て突出する１以上の突起を有し、検査装置および保管庫
の他方はプローブユニットの受渡し時に検査装置および
保管庫の相対的な位置を決めるべく突起を受け入れる１
以上の凹所を有することができる。特に、保管庫は複数
の突起または凹所を有し、各ピンまたは凹所は、突起が
凹所に受け入れられたとき、第１および第２のガイドの
端部が整合する位置に配置することができる。これによ
り、ピンを所定の凹所に嵌合させることにより、第１お
よび第２のガイドの端部が整合し、検査装置と保管庫と
の相対的な位置決めが行われる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１〜図６を参照するに、検査シ
ステム１０は、四角形の液晶表示体すなわち液晶表示パ
ネルの検査に用いる検査装置１２と、複数のプローブユ
ニット１４と、該プローブユニットを保管する保管庫１
６とを含む。図１においては、保管庫１６を図６におけ
る１−１線に沿って得た断面図として示す。

【００１５】液晶表示パネルは、四角形の隣り合う複数
の辺に対応する各端縁部に複数の電極を有するパネルで
ある。以下、液晶表示パネルおよび検査装置のいずれに
おいても、液晶表示パネルの長い端縁の方向（左右方
向）をＸ方向といい、液晶表示パネルの短い端縁の方向
をＹ方向といい、液晶表示パネルの表示面と直角の方向
をＺ方向という。

【００１６】検査装置１２は、フレームすなわち筐体２
０を含む。筐体２０は、アングル材のような複数の鋼材
と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられた複数
の板材により箱の形に形成されており、またキャスタの
ような複数の車輪２２により床上を移動可能に形成され
ている。筐体２０の前面上部は、傾斜した平板すなわち
ベースプレート２４により傾斜部とされている。

【００１７】ベースプレート２４は、液晶表示パネルの
受渡しに用いる四角形の開口２６をＸ方向における一方
側（図示の例では右方側）に有するとともに、開口２６
からＸ方向における他方側（図示の例では左方側）へ伸
びる帯状の開口２８をＸ方向における他方側（図示の例
では左方側）に有する。

【００１８】ベースプレート２４には、一対のガイド３
０が複数のねじ部材によりベースプレート２４の表側に
取り付けられている。両ガイド３０は、図示の例ではガ
イドレールであり、またプローブユニット１４をＸ方向
へ移動可能に受けるように開口２６，２８を間にしてＸ
方向へ平行に伸びている。両ガイド３０は、ガイドロッ
ド、ガイド溝等であってもよい。

【００１９】筐体２０内のうち、開口２６に対応する部
位は、液晶表示パネルの検査をする検査ステージ３２が
配置された検査ステーションとされている。図５に示す
ように、検査ステージ３２は、液晶表示パネルを傾斜し
た状態に受けるワークテーブル３４と、該ワークテーブ
ルを、液晶表示パネルと直交するＺ軸線の周りに角度的
に回転させるとともに、液晶表示パネルの面内の直交す
る２方向（Ｙ，Ｘ方向）およびＺ軸線の方向へ３次元的
に移動させるアライメントステージすなわちテーブル移
動機構を形成する４つのステージ３６，３８，４０，４
２を含む。

【００２０】ステージ３６，３８，４０および４２は、
それぞれ、Ｚ軸線の周りに角度的に回転させるθステー
ジ、ワークテーブル３４をＺ軸線の方向へ移動させるＺ
ステージ、ワークテーブル３４をＹ軸線の方向へ移動さ
れるＹステージ、および、ワークテーブル３４をＸ軸の
方向へ移動させるＸステージである。ワークテーブル３
４、θステージ３６、Ｚステージ３８およびＹステージ
４０は、それぞれ、ステージ３６，３８，４０および４
２に支持されている。

【００２１】検査ステージ３２は、長方形の基板４４の
一方の面にＸステージ４２において組み付けられてい
る。基板４４は、筐体２０内をＸ方向へ伸びかつワーク
テーブル３４が開口２６の側となるように、傾斜部を形
成するベースプレート２４に複数のポール４６により組
み付けられている。

【００２２】ワークテーブル３４は、液晶表示パネルを
傾斜した状態に受けかつ支持するように、ベースプレー
ト２４の側に開口する直方体状の箱の形をしており、ま
たその開口を形成する４つの端縁のうち、液晶表示パネ
ルの電極が形成された端縁部に対応する各端縁に溝４８
を有する。各溝４８は、液晶表示パネルの対応する端縁
部の裏面を真空吸着する真空チャックとして作用するよ
うにバキュームポンプのような図示しない真空源に連通
される。

【００２３】ワークテーブル３４内には、図示しないバ
ックライトユニットが液晶表示パネルを背面から照明す
るように収容されている。ワークテーブル３４には、液
晶表示パネルの粗い位置決めをするための一対の細長い
板状のストッパ５０が配置されている。ストッパ５０
は、それぞれ、溝４８が形成された隣り合う２つの端縁
の外側面に、一部がベースプレート２４の側に僅かに突
出した状態に複数のねじ部材により取り付けられてお
り、ワークテーブル３４ひいてはプローブユニット１４
に対する液晶表示パネルの粗い位置合せのために用いら
れる。

【００２４】プローブユニット１４は、長方形の板の形
をしたプローブベース５２と、１以上のねじ部材により
プローブベース５２に組み付けられたＬ字状の複数のプ
ローブブロック５４と、テレビカメラのような一対のア
ライメントカメラ５６と、複数の配線を有するフラット
ケーブル５８とを備える。

【００２５】プローブベース５２は、検査すべき液晶表
示パネルと相似形の長方形の開口６０を中央に有すると
ともに、ガイド３０をＸ方向へ相対的に移動可能に受け
入れる一対の溝６２を裏面に有する。このため、プロー
ブユニット１４は、検査ステージ３２に対応しかつ液晶
表示パネルの検査のために配置される検査位置と、プロ
ーブユニット１４が検査ステージ３２への液晶表示パネ
ルの配置作業を妨げない退避位置（待機位置）と、検査
装置１２と保管庫１６との間でプローブユニット１４の
受渡しをする受渡し位置とに選択的に移動可能である。
図示の例では、退避位置と受渡し位置とは同じ位置であ
るが、異なる位置であってもよい。

【００２６】各プローブブロック５４は、一端部が開口
６０を介してプローブベース５２の裏側に達するように
プローブベース５２の表側に組み付けられている。各プ
ローブブロック５４は、複数のプローブを一端部に有す
る。各プローブは、フラットケーブル５８の配線に接続
されている。

【００２７】各アライメントカメラ５６は、プローブユ
ニット１４が検査位置に移動されたとき、検査ステージ
３２の液晶表示パネルの位置合せマークを開口６０を介
して撮影するように、プローブベース５２に組み付けら
れている。アライメントカメラ５６の出力信号は、プロ
ーブユニット１４に対する液晶表示パネルの精密な位置
合せのために用いられる。

【００２８】フラットケーブル５８は、プローブベース
５２から開口２８を経て筐体２０内へ伸び、Ｘ方向への
プローブユニット１４の移動にともなって開口２８内を
移動する。開口２８は、筐体２０に対するフラットケー
ブル５８の移動を容易にする。

【００２９】検査装置１２は、また、プローブユニット
１４を傾斜した状態でガイド３０に沿ってＸ方向へ移動
させるユニット移動機構６４を含む、ユニット移動機構
６４は、筐体２０の上部に支持されており、また検査装
置１２に配置されたプローブユニット１４の上部に複数
のねじ部材６６により可動部６８を分離可能に連結され
る。ユニット移動機構６４は、検査装置１２におけるプ
ローブユニット１４の位置を感知する図示しない１以上
のセンサの出力信号を用いる図示しない制御装置により
制御されて、プローブユニット１４を、退避位置、受渡
し位置または検査位置へ移動させる。

【００３０】ユニット移動機構６４の可動部６８を移動
させる手段として、リニアモータ、シリンダ機構、回転
源と１以上の歯車とを用いた機構、回転源とピニオンと
ラックとを用いた機構、回転源とボールねじとを用いた
機構等、適宜な機構を用いることができる。

【００３１】保管庫１６は、フレームすなわち筐体７０
と、該筐体に受け入れられた複数の引き出し７２とを含
む。筐体７０は、アングル材のような複数の鋼材と、該
鋼材に複数のねじ部材により取り付けられた複数の板材
により形成されており、またキャスタのような複数の車
輪７４により床上を移動可能に形成されている。

【００３２】筐体７０は、それぞれがブローブユニット
１４を傾斜した状態に保管する複数の保管部７６を引き
出し７２の上方に有する。各保管部７６には、一対のガ
イド７８がブローブユニット１４を傾斜した状態でＸ方
向へ移動可能に受けるように配置されている。各保管部
７６の両ガイド７８は、検査装置１２の両ガイド３０に
対応されている。保管部７６に収納されたブローブユニ
ット１４は、図示しないストッパにより、移動不能に維
持される。

【００３３】各ガイド７８は、筐体７０に形成された傾
斜部に取り付けられている。筐体７０の傾斜部の傾斜角
度は筐体２０の傾斜部すなわちベースプレート２４のそ
れと同じであり、また保管庫１６のガイド７８の位置は
検査装置１２のガイド３０のそれと同じである。それゆ
えに、両ガイド７８は、検査装置１２の両ガイド３０と
同様に、ブローブユニット１４の溝６２に相対的移動可
能に受け入れられるようにＹ方向に間隔をおいてＸ方向
へ伸びる。

【００３４】各保管部７６の両ガイド７８は、保管庫１
６が検査装置１２の左端に図１に示すように配置された
とき、両ガイド７８の位置が対応する両ガイド３０の位
置と整合するように筐体７０に取り付けられている。こ
のため、各ブローブユニット１４は、両ガイド３０に支
持されたときと同じ傾斜状態に両ガイド７８に取り付け
られている。

【００３５】保管庫１６は、検査装置１２の側部に設け
られた突起８０を受け入れる複数の凹所８２を有する。
各凹所８２は、保管部７６に対応されている。保管庫１
６が検査装置１２の左端に図１に示すように配置された
とき、突起８０はいずれかの凹所８２に受け入れられ、
その凹所８２に対応する保管部７６のガイド７８は検査
装置１２のガイド３０と整合する。これにより、その保
管部７６に保管されているプローブユニット１４を検査
装置に移動させることができるし、検査装置１２に移さ
れているプローブユニット１４をその保管部７６に移動
させることができる。

【００３６】通常、１つのプローブユニット１４が検査
装置に装着されている。保管庫１６は、検査装置１２に
連結されていてもよいし、検査装置１２に連結されてい
なくてもよい。しかし、複数の検査装置１２が設置され
た検査設備の場合、保管庫１６を用いて１つの検査装置
１２でプローブユニット１４の交換をしている間、他の
検査装置１２で検査を実行するように、１つの保管庫１
６を複数の検査装置１２で共通に利用することが好まし
い。

【００３７】検査装置１２に装着されたプローブユニッ
ト１４は、ねじ部材６６によりユニット移動機構６４の
可動部６８に分離可能に連結されている。保管庫１６の
各保管部７６の両側面は、保管部７６へのプローブユニ
ット１４の出し入れを容易にするように、開放されてい
る。しかし、各保管部７６の両側面または一方の側面を
蓋により開放可能に閉鎖してもよい。

【００３８】検査時、先ず、検査ステージ３２が開口２
６を介して露出するように、検査装置１２に装着された
プローブユニット１４が図３に示す退避位置にユニット
移動機構６４により移動される。これにより、そのプロ
ーブユニット１４は、検査ステージ３２に対する液晶表
示パネルの配置および除去を妨げない。

【００３９】次いで、検査すべき液晶表示パネルが検査
ステージ３２に人手または機械により配置される。この
とき、液晶表示パネルは、隣り合う２つの縁部がストッ
パ５０に当接するように、ワークテーブル３４に配置さ
れる。これにより、液晶表示パネルは、ワークテーブル
３４に対して位置決められる。この位置決めは、液晶表
示パネルに形成されている各位置合せマークがアライメ
ントカメラ５６の視野に入るように位置決める一種の粗
い位置合せである。

【００４０】次いで、プローブユニット１４がユニット
移動機構６４により図４に示す検査位置に移動される。
これにより、プローブユニット１４は、検査ステージ３
２の斜め上方に移動され、検査ステージ３２にセットさ
れた液晶表示パネルを開口６０および２６を介してアラ
イメントカメラ５６により撮影可能になる。プローブユ
ニット１４が検査位置を越えてさらに右方へ移動するこ
とを阻止する１以上のストッパまたはプローブユニット
１４を検査位置に位置決める１以上のストッパを、筐体
２０、ベースプレート２４またはガイド３０に配置して
もよい。

【００４１】次いで、プローブユニット１４に対する液
晶表示パネルの位置合せが行われる。この位置合せは、
液晶表示パネルをアライメントカメラ５６で撮影し、そ
の液晶表示パネルの各位置合せマークがアライメントカ
メラ５６の視野内の所定の位置になるように、ワークテ
ーブル３４をθ，ＹおよびＸのステージ３６，４０およ
び４２により変位させることにより行われる。これによ
り、液晶表示パネルは、位置合せマークがプローブユニ
ット１４に対し所定の位置関係となるように、位置決め
られる。

【００４２】次いで、ワークテーブル３４がＺステージ
３８によりプローブユニット１４の側へ移動される。こ
れにより、液晶表示パネルの端子がプローブユニット１
４のプローブに押圧され、液晶表示パネルへの通電が可
能になる。

【００４３】次いで、液晶表示パネルの検査が実行され
る。この検査は、たとえば、プローブユニット１４を介
して液晶表示パネルに通電することにより液晶表示パネ
ルを所定のパターンに点灯させ、作業者が点灯パターン
を目視することにより、または点灯パターンを他のテレ
ビカメラで撮影し、その画像信号を電気的に処理するこ
とにより、行われる。

【００４４】次いで、ワークテーブル３４がＺステージ
３８により斜め下方へ下げられる。これにより、検査ス
テージ３２上の液晶表示パネルがプローブユニット１４
から離される。

【００４５】次いで、プローブユニット１４がユニット
移動機構６４により退避位置へ移動され、液晶表示パネ
ルが検査ステージ３２から除去される。その後は上記工
程が繰り返される。

【００４６】プローブユニット１４の交換時、先ず、突
起８０を所定の凹所８２に嵌合させることにより、プロ
ーブユニット１４を収納していない空の保管部７６のガ
イド７８が検査装置１２のガイド３０と整合するよう
に、保管庫１６が検査装置１２に連結され、検査装置１
２側のプローブユニット１４が空の保管部７６に人手ま
たは機械により移動される。この作業は、検査装置１２
側のプローブユニット１４が検査装置１２からその側方
へ突出しない位置に維持された状態で行われ、また検査
装置１２側のプローブユニット１４を保管庫１６に収納
するだけの場合にも行われる。

【００４７】次いで、次のプローブユニットを収納して
いる保管部７６のガイド７８が検査装置１２のガイド３
０と整合するように、保管庫１６が検査装置１２に連結
し直され、その保管部７６内のプローブユニット１４が
検査装置１２側に人手または機械により移動される。こ
の作業は、保管庫１６側のプローブユニット１４を検査
装置１２にセットするだけの場合にも行われる。

【００４８】プローブユニット１４を検査位置から待機
位置または受渡し位置におよびその逆に移動させると
き、プローブユニット１４をガイド３０に沿って移動さ
せればよいから、プローブユニットの移動が安定する。
同様に、検査装置１２と保管庫１６との間でプローブユ
ニット１４の受渡しをするとき、プローブユニット１４
をガイド３０，７６に沿って移動させればよいから、プ
ローブユニットの移動が安定するのみならず、プローブ
ユニット１４の受渡しが容易になる。

【００４９】プローブユニット１４を検査装置１２の側
から保管庫１６の側へおよびその逆に移動させるとき、
突起８０が所定の凹所８２に嵌合される。このため、検
査装置１２に対する保管庫１６の位置決めが容易であ
る。また、移し換え時、プローブユニット１４をガイド
３０，７８に沿って移動させるだけでよいから、プロー
ブユニット１４の移し換えを人手により行うとしても、
その移し換え作業が容易になる。

【００５０】検査システム１０によれば、プローブユニ
ット１４を検査位置と退避位置とに移動させるようにし
たから、検査ステージ３２による液晶表示パネルの移動
範囲を狭い範囲に制限することができ、その結果プロー
ブユニット１４が検査ステージ３２に対する液晶表示パ
ネルの配置および除去の妨げにならないこととあいまっ
て、検査ステージ３２による液晶表示パネルの移動範囲
を狭くすることができるにもかかわらず、従来装置のよ
うにアームを用いて検査ステージ３２に対する液晶表示
パネルの移し換えをする必要がない。また、プローブユ
ニットをユニット移動機構６４によりガイドに沿って移
動させるから、プローブユニット１４の移動が自動化さ
れ、検査効率が向上する。しかし、プローブユニット１
４を手動で移動させてもよい。

【００５１】図７〜図１０を参照するに、検査システム
１００で用いる保管庫１０２は、架台１０４と、該架台
に移動可能に載置された筐体１０６と、該筐体を架台１
０４に対して移動させる駆動機構１０８とを備える。し
かし、検査システム１００で用いる検査装置１２は、突
起８０の位置が異なる点を除いて、検査システム１０で
用いる装置と同じである。

【００５２】架台１０４は、キャスタのような複数の車
輪１１０により床上を移動可能に形成されており、また
筐体１０６のための一対のガイドレール１１２を上面に
有するとともに、検査装置１２に突起８０を受け入れる
一対の凹所８２を側部に有する。ガイドレール１１２
は、架台１０４の上面の左右方向に間隔をおいた位置を
前後方向へ平行に伸びる。

【００５３】筐体１０６は、引き出し７２およびそれら
の収納部、車輪７４、ならびに、凹所８２を備えていな
い代わりに、ガイドレール１１２に移動可能に嵌合され
る溝を有するガイド１１４を備えることを除いて、前記
した保管庫１６の筐体７０と同じである。

【００５４】駆動機構１０８は、架台１０４に収容され
た制御装置１１６により制御される。駆動機構１０８と
して、リニアモータ、シリンダ機構、回転源と１以上の
歯車とを用いた機構、回転源とピニオンとラックとを用
いた機構、回転源とボールねじとを用いた機構等、適宜
な機構を用いることができる。

【００５５】プローブユニット１４の交換時、先ず、保
管庫１００が突起８０を凹所８２に受け入れた状態に検
査装置１２に連結され、空の保管部７６のガイド７８が
検査装置１２のガイド３０と整合するように、筐体１０
６が駆動機構１０８により架台１０４に対して移動さ
れ、その後検査装置１２の側のプローブユニット１４が
空の保管部７６に手動によりまたは機械的に移動され
る。

【００５６】次いで、所定のプローブユニット１４を収
納している保管部７６のガイド７８が検査装置１２のガ
イド３０と整合するように、筐体１０６が駆動機構１０
８により架台１０４に対して移動され、その後その保管
部７６内のプローブユニット１４が検査装置１２の側に
手動によりまたは機械的に移動される。

【００５７】架台１０４に対する筐体１０６の位置は、
手動により調整してもよいし、１以上のセンサを用いて
電気的に制御してもよい。

【００５８】図１１および図１２を参照するに、検査装
置１２０は、プローブユニット１４をベースプレート２
４の内側（裏側）に配置している点で検査装置１２と相
違する。プローブユニット１４は、筐体２０の上板の下
側に配置されたユニット移動機構６４により支持されて
いるとともに、ベースプレート２４の内側（裏側）に配
置された一対のガイド１２２とにより支持されている。

【００５９】検査装置１２０において、プローブユニッ
ト１４は、図１１に実線で示す検査位置と、図１１に２
点鎖線で示す退避位置（受渡し位置）とに選択的に移動
される。退避位置において、プローブユニット１４の一
部は、筐体２０から突出する。このため、筐体２０は、
プローブユニット１４の一部が突出することを許すとと
もに、プローブユニット１４を受渡しのために出し入れ
する開口を左側部に有する。

【００６０】なお、フラットケーブル５８が一般に筐体
２０に配置された電気回路にコネクタにより分離可能に
接続されていることから、プローブユニット１４の交換
時には、フラットケーブルを電気回路から分離する作業
と、フラットケーブルを電気回路に接続する作業とが行
われる。しかし、フラットケーブルがプローブユニット
に分離可能に接続されている場合には、プローグユニッ
トのフラットケーブルを、交換時に交換すべきプローグ
ユニットに対し分離する作業と接続する作業とを行って
もよい。

【００６１】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、長方形の隅角部に弧状または直線状
に切除した液晶表示パネルの保管庫および検査システム
にも適用することができるし、四角形の液晶表示パネル
のみならず、六角形、八角形等の他の多角形の液晶表示
パネルの保管庫および検査システムにも適用することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査システムの一実施例を示す正面図
であってプローブユニットを検査装置から外しかつ保管
庫の保管部を断面した図である。

【図２】図１の２−２線に沿って得た図である。

【図３】本発明で用いる検査装置の一実施例を示す正面
図であって検査装置に装着したプローブユニットを退避
位置（受渡し位置）へ移動させた状態の図である。

【図４】図３の検査装置の正面図であって検査装置に装
着したプローブユニットを検査位置へ移動させた状態の
図である。

【図５】図４の５−５線に沿って得たプローブユニット
近傍の断面図である。

【図６】図１の保管庫の一実施例を示す右側面図であ
る。

【図７】本発明の検査システムの他の実施例を示す正面
図であってプローブユニットを検査装置から外しかつ保
管庫の保管部を断面した図である。

【図８】図７の検査システムで用いる保管庫の一実施例
を示す右側面図である。

【図９】図７の検査システムの左側面図である。

【図１０】図７の検査システムの正面図であって検査装
置に装着したプローブユニットを待機位置（受渡し位
置）位置へ移動させた状態の図である。

【図１１】本発明の検査システムで用いる検査装置の他
の実施例を示す正面図であって検査装置に装着したプロ
ーブユニットを検査へ移動させた状態の図である。

【図１２】図１１の検査装置におけるプローブユニット
近傍の断面図である。

【符号の説明】

１０，１００ 検査システム １２，１２０ 検査装置 １４ プローブユニット １６，１０２ 保管庫 ２０ 検査装置の筐体 ３０ ガイド（第１のガイド） ３２ 検査ステージ ７０，１０６ 保管庫の筐体 ７４，１１０ 保管庫の車輪 ７６ 保管部 ７８ ガイド（第２のガイド） ８０ 突起 ８２ 凹所 １０４ 架台 １０８ 駆動機構 １１２ ガイドレール １１４ ガイド

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶表示パネル検査用のブローブユニッ
   トをそれぞれ傾斜した状態に保管する複数の保管部と、
   前記ブローブユニットを前記傾斜した状態で前記ブロー
   ブユニットの傾斜方向と直交する水平方向へ移動可能に
   受けるべく各保管部に配置されたガイドとを含む、プロ
   ーブユニットの保管庫。
2. 【請求項２】 前記保管部は、複数の車輪を備える筐体
   に形成されている、請求項１に記載の保管庫。
3. 【請求項３】 さらに、複数の車輪を備える架台と、該
   架台に少なくとも一方向へ移動可能に配置された筐体で
   あって前記保管部を有する筐体とを含む、請求項１に記
   載の保管庫。
4. 【請求項４】 液晶表示パネルを傾斜した状態に配置す
   る検査ステージを備える検査装置と、検査用のブローブ
   ユニットをそれぞれ保管する複数の保管部を備える保管
   庫であって前記検査ステージに配置された液晶表示パネ
   ルと平行の水平の第１の方向における前記検査装置の側
   部に分離可能に連結される保管庫とを含み、前記検査装
   置は、さらに、前記ブローブユニットを前記検査ステー
   ジにおける前記液晶表示パネルの傾斜状態に対応して傾
   斜させた状態で、前記検査ステージに対応しかつ検査の
   ための検査位置と、前記保管庫に対して前記プローブユ
   ニットの受渡しをすべく前記検査位置から前記側部の側
   へ離れた受渡し位置とに選択的に移動可能に受ける第１
   のガイドを備え、前記保管庫は、さらに、前記プローブ
   ユニットを前記第１のガイドにおけるブローブユニット
   の傾斜状態に対応して傾斜させた状態で移動可能に受け
   るとともにその状態で前記第１のガイドに対して前記ブ
   ローブユニットの受渡しをすべく前記第１のガイドと平
   行伸びる第２のガイドを各保管部に備える、液晶表示パ
   ネルの検査システム。
5. 【請求項５】 前記検査装置および前記保管庫の一方は
   他方に向けて突出する１以上の突起を有し、前記検査装
   置および前記保管庫の他方は前記プローブユニットの受
   渡し時に前記検査装置および前記保管庫の相対的な位置
   を決めるべく前記突起を受け入れる１以上の凹所を有す
   る、請求項４に記載のシステム。
6. 【請求項６】 前記保管庫は複数の突起または凹所を有
   し、各突起または凹所は、前記突起が前記凹所に受け入
   れられたとき、前記第１および第２のガイドの端部が整
   合する位置に配置されている、請求項５に記載のシステ
   ム。