KR100993220B1 - 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 간단한 구성으로 다양한 사이즈의 카세트를 상시 일정한 위치에 정렬할 수 있을 뿐만 아니라, 노광 작업 과정에서 카세트의 흔들림 및 움직임이 최소화되도록 한 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치에 관한 것으로, 프레임의 내측에 상하 다단으로 글래스가 적재되는 카세트가 구비되고, 상기 카세트에 적재된 글래스를 노광부로 이송하는 이송로봇이 구비된 노광장비에 있어서, 상기 카세트의 미세 위치 조정이 이루어지도록 상기 카세트의 하면에 함몰된 위치정렬홈이 형성되고, 상기 카세트의 하부측에서 상,하 방향으로 승강되면서 상기 위치정렬홈에 삽입되어 카세트의 위치가 이동되도록 하는 위치정렬블럭이 구비된다.

이에 따라, 카세트의 크기에 관계없이 상시 일정하고 정밀하며 안정적인 위치 정렬이 가능해져 이송로봇에 의해 글래스를 이송할 때 글래스의 위치 정밀도가 더욱 향상되는 효과를 가지게 된다.

노광, 글래스, 카세트, 위치정렬

Description

노광장비용 카세트의 위치 정렬장치{The apparatus for aligning of the cassette for the exposure equipment}

본 발명은 LCD, PDP 등의 각종 평판형 디스플레이 장치의 글라스의 표면에 미세 패턴이 그려지도록 하는 노광장치에 관한 것으로서, 특히 다수의 글래스가 적재된 카세트의 정밀한 위치 정렬이 가능하도록 한 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치에 관한 것이다.

일반적으로 노광장비는 반도체나 TFT LCD 등 회로 공정이 필요한 제조라인에서 카메라의 원리를 이용하여 레티클 등의 포토마스크에 빛을 쪼여 반도체 웨이퍼나 TFT LCD 유리기판에 회로를 그려주는 장비를 말한다.

이들 중 특히 LCD의 유리기판에 회로를 그려주기 위한 노광장비는 작업 과정에서 다수의 글래스를 간편하고 정확하면서도 원활하게 이송시키기 위하여 다수의 글래스가 적재되는 카세트를 이용하고 있는데, 이러한 카세트는 통상적으로 일측면이 개방된 프레임의 내측에 상,하 다단으로 다수의 글래스가 적재되도록 하고, 통상의 로봇을 이용하여 카세트에 적재된 글래스를 노광장비의 인덱스부로 이송하여 노광작업에 의해 회로를 형성하거나, 노광 작업이 완료된 글래스를 다시 카세트로 회수하도록 하고 있다.

특히, 이러한 카세트는 디스플레이 장치의 제작 공정에 따라 이송 가능하게 형성되는데, 이에 따라 정밀한 작업이 요구되는 노광장비에서는 카세트의 위치를 미리 정밀하게 정렬하여 정확한 위치에 카세트가 배치되도록 한 후 로봇이 카세트를 인출할 수 있도록 함으로써, 노광작업의 불량률을 줄이고, 작업이 더욱 신속하고 원활하게 이루어지도록 하고 있다.

하지만, 상기와 같이 카세트를 노광장비의 인덱스부로 이송할 경우 통상의 로봇이나 대차에 의해 이송될 경우에는 그 배치 위치의 오차가 발생하는 경우가 자주 발생하는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해소하기 위하여, 도 4에서 보인 것과 같이 프레임(101)의 내측에 다수의 글래스(1)가 적재된 카세트(100)의 모서리를 직각 형태의 지그(200)를 이용하여 고정하는 장치가 제안되기도 하였다.

하지만, 상기와 같이 지그를 이용하여 카세트를 고정할 경우에는, 카세트의 전체적인 크기가 변경될 경우에는 지그의 배치 위치 또한 이동시켜야 함에 따라, 그에 따른 작동오차가 발생되는 경우도 있었고, 한 쌍의 지그가 대각선 방향으로 마주보도록 배치됨에 따라, 카세트가 전체적으로 측방으로 회전된 상태로 배치되는 경우도 있었으며, 이에 의해 노광 작업의 불량률이 상승되는 문제점이 있었다.

이에, 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 간단한 구성으로 다양한 사이즈의 카세트를 상시 일정한 위치에 정렬할 수 있을 뿐만 아니라, 노광 작업 과정에서 카세트의 흔들림 및 움직임이 최소화되도록 한 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 위치정렬블럭이 위치정렬홈에 원활히 삽입됨과 동시에 위치 정렬이 이루어지도록 함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 위치정렬블럭이 평면 상에서 이동되도록 함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 위치정렬블럭과 위치정렬홈의 접촉 면적이 줄어들도록 함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 프레임의 내측에 상하 다단으로 글래스가 적재되는 카세트가 구비되고, 상기 카세트에 적재된 글래스를 노광부로 이송하는 이송로봇이 구비된 노광장비에 있어서, 상기 카세트의 미세 위치 조정이 이루어지도록 상기 카세트의 하면에 함몰된 위치정렬홈이 형성되고, 상기 카세트의 하부측에서 상,하 방향으로 승강되면서 상기 위치정렬홈에 삽입되어 카세트의 위치가 이동되도록 하는 위치정렬블럭이 구비된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 위치정렬블럭의 외측면에 경사면이 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 위치정렬블럭을 평면상의 상,하,좌,우 방향으로 이동시키는 위치 조절수단이 더 구비된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 위치정렬블럭의 외측면에 위치정렬블럭의 내측 중심을 향해 함몰된 다수의 함몰부가 형성된 것을 특징으로 한다.

이에, 본 발명은 위치정렬홈과 위치정렬블럭의 간단한 구성으로 다양한 사이즈의 카세트를 상시 일정한 위치에 정렬할 수 있을 뿐만 아니라, 노광 작업 과정에서 카세트의 흔들림 및 움직임이 최소화되도록 한 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치를 제공함으로서, 카세트의 크기에 관계없이 상시 일정하고 정밀하며 안정적인 위치 정렬이 가능해져 이송로봇에 의해 글래스를 이송할 때 글래스의 위치 정밀도가 더욱 향상되는 효과를 가지게 된다.

또한, 본 발명은 경사면을 형성하여 위치정렬블럭이 위치정렬홈에 원활히 삽입됨과 동시에 위치 정렬이 이루어지도록 함으로서, 카세트의 미세 위치 이동이 더욱 원활하게 이루어지는 효과를 가지게 된다.

또한, 본 발명은 위치조절수단을 구비하여 위치정렬블럭이 평면 상에서 이동되도록 함으로서, 위치정렬블럭 자체의 위치정렬이 가능해 질 뿐만 아니라, 위치 정렬을 위한 카세트의 이동 거리가 더욱 증대되는 효과를 가지게 된다.

또한, 본 발명은 함몰부를 형성하여 위치정렬블럭과 위치정렬홈의 접촉 면적이 줄어들도록 함으로서, 위치정렬블럭이 위치정렬홈의 내측에 삽입될 때 마찰에 의한 저항력이 최소화되어 위치 정렬 작업이 더욱 신속하고 원활하게 이루어지는 효과를 가지게 된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 사시도이고, 도 2는 도 1의 사용상태를 보인 평면도이며, 도 3은 도 2의 A-A선 단면도로서, 도시된 것과 같이 노광 작업을 위한 다수의 글래스(1)를 상,하 다단으로 적재하여 이송하고, 노광장비의 정반으로 글래스(1)가 공급되며 노광 작업이 완료된 글래스(1)가 반출되도록 한 카세트(10)에 관한 것으로서, 특히 카세트(10)의 하면에 함몰 형성된 위치정렬홈(13)을 형성하고, 카세트(10)가 적재되는 노광장비의 인덱스부에 상,하로 승강 작동되면서 상기 위치정렬홈(13)에 삽입되어 카세트(10)가 정확한 작업 위치에 정렬되도록 하는 위치정렬블럭(30)을 구비하여 글래스이송로봇(20)이 글래스(1)를 카세트(10)에서 인출하거나 카세트(10)로 글래스(1)를 수납할 때의 작업 위치가 정확하게 설정되도록 한 것이다.

상기 카세트(10)는 프레임(11)의 내측에 글래스(1)의 하면을 지지하는 다수의 지지대(12)를 구비하여 디스플레이 장치에 이용되는 글래스(1)가 제조 과정에서 한꺼번에 다수개가 간편하게 이동되도록 한 것으로서, 전면이 개방되도록 하여 글래스(1)의 수납 및 인출이 원활하게 이루어지도록 하고, 프레임(11)이 전체적으로 대차 등에 적재되어 이동되면서 노광장비의 인덱스부에 고정되도록 한다.

상기 글래스이송로봇(20)은 X,Y,Z축 방향 및 회전 방향으로 이동되는 액츄에이터(21)의 상단에 글래스(1)를 지지하는 그리퍼(22)를 형성하여 상기 그리퍼(22) 가 카세트(10)와 노광장비의 정반 사이를 왕복 이동하면서 상기 카세트(10)에 적재된 글래스(1)를 순차적으로 인출하여 노광장비의 정반으로 이송하여 노광 작업이 이루어지도록 하고, 노광이 완료된 글래스(1)를 다시 카세트(10)에 적재하도록 한다.

또한, 상기 카세트(10)의 저면에는 상부측으로 함몰 형성된 위치정렬홈(13)을 형성하고, 상기 인덱스부에는 상기 위치정렬홈(13)과 대응되는 형상으로 헝성되어 외측면이 위치정렬홈(13)의 내측면에 맞닿으면서 그 내부로 삽입되는 위치정렬블럭(30)을 구비하여 위치정렬블럭(30)이 상,하로 승강되면서 위치정렬홈(13)에 삽입되어 카세트(10)가 일정한 위치에 정렬이 이루어지면서 작업 과정에서 견고한 고정이 이루어지도록 한다.

이때, 상기 위치정렬홈(13)과 맞닿는 위치정렬블럭(30)의 외측면에는 경사면(31)을 형성하여 위치정렬블럭(30)이 위치정렬홈(13)에 삽입될 때, 경사면(31)을 따라 이동하면서 카세트(10)가 전체적으로 서서히 이동하여 최종적으로 위치정렬홈(13)과 위치정렬블럭(30)이 완전히 결합될 때 카세트(10)가 최종적으로 정확한 위치로 이동되도록 하는 것이 바람직하다.

더불어, 상기 위치정렬블럭(30)에는 평면상의 상,하,좌,우 방향으로 이동되도록 하는 통상의 유압실린더나 LM가이드 등으로 구성된 위치조절수단(32)을 구비하여 위치정렬블럭(30)의 배치 위치 또한 간편하게 조절되도록 함으로써, 카세트(10)의 정확한 위치 정렬을 위한 이동 거리가 극대화되도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 위치정렬블럭(30)의 외측면에는 그 내측 중심을 향해 함몰된 다수의 함몰부(33)를 형성하여 위치정렬블럭(30)이 위치정렬홈(13)에 삽입될 때 접촉면적이 최소화되도록 함으로써, 위치정렬홈(13)과 위치정렬블럭(30)의 과도한 마찰에 의한 마모와 손상을 방지함과 아울러, 마찰에 의한 진동으로 인해 카세트(10)의 배치 위치에 오차가 발생되는 것이 방지되도록 하는 것도 무방하다.

이에 따라, 통상의 글래스이송로봇(20)이나 대차를 이용하여 다수의 글래스(1)가 적재된 카세트(10)를 노광장비의 인덱스부로 이동시킨 후, 상술한 위치정렬블럭(30)을 상승시켜 카세트(10)의 저면에 형성된 위치정렬홈(13)에 삽입되도록 함으로써, 카세트(10)의 위치를 미세하게 이동시켜 카세트(10)가 노광 작업을 위한 정확한 위치에 배치되도록 할 수 있게 될 뿐만 아니라, 위치정렬블럭(30)과 위치정렬홈(13)의 결합에 의해 카세트(10)의 움직임을 방지할 수 있게 되어 글래스(1)의 이동이 더욱 정확하고 정밀하게 이루어지게 되는 것이다.

또한, 카세트(10)에 적재된 글래스(1)의 노광 작업이 모두 완료되어 카세트(10)를 노광장비에서 다시 분리할 경우에는 상술한 위치정렬블럭(30)을 다시 하강시켜 위치정렬블럭(30)이 위치정렬홈(13)에서 빠져나오도록 함으로써, 카세트(10)의 고정상태가 해제되어 카세트(10)의 이동이 가능해지게 되는 것이다.

뿐만 아니라, 카세트(10)의 크기가 변경될 경우에도 카세트(10)의 저면에 상술한 위치정렬블럭(30)과 대응되도록 상시 일정한 크기와 형상의 위치정렬홈(13)을 형성함으로써, 하나의 노광장비에 다양한 크기의 카세트(10)를 간편하면서도 정확하게 정렬하여 배치시킬 수 있게 되는 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 사시도.

도 2는 도 1의 사용상태를 보인 평면도.

도 3은 도 2의 A-A선 단면도.

도 4는 종래 노광장비용 카세트의 일 예를 보인 평면도.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 글래스

10 : 카세트

11 : 프레임 12 : 지지대

13 : 위치정렬홈

20 : 글래스이송로봇

21 : 액츄에이터 22 : 그리퍼

30 : 위치정렬블럭

31 : 경사면 32 : 위치조절수단

33 : 함몰부

Claims (4)

1. 프레임(11)의 내측에 상하 다단으로 글래스(1)가 적재되는 카세트(10)가 구비되고, 상기 카세트(10)에 적재된 글래스(1)를 노광부로 이송하는 글래스이송로봇(20)이 구비된 노광장비에 있어서,

   상기 카세트(10)의 미세 위치 조정이 이루어지도록 상기 카세트(10)의 하면에 함몰된 위치정렬홈(13)이 형성되고, 상기 카세트(10)의 하부측에서 상,하 방향으로 승강되면서 상기 위치정렬홈(13)에 삽입되어 카세트(10)의 위치가 이동되도록 하는 위치정렬블럭(30)이 구비된 것을 특징으로 하는 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 위치정렬블럭(30)의 외측면에 경사면(31)이 형성된 것을 특징으로 하는 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 위치정렬블럭(30)을 평면상의 상,하,좌,우 방향으로 이동시키는 위치조절수단(32)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치.
4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 위치정렬블럭(30)의 외측면에 위치정렬블럭(30)의 내측 중심을 향해 함몰된 다수의 함몰부(33)가 형성된 것을 특징으로 하는 노광장비용 카세트의 위치 정렬장치.

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