JP2002086045A - 液状物塗布装置 - Google Patents
液状物塗布装置Info
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- JP2002086045A JP2002086045A JP2000284997A JP2000284997A JP2002086045A JP 2002086045 A JP2002086045 A JP 2002086045A JP 2000284997 A JP2000284997 A JP 2000284997A JP 2000284997 A JP2000284997 A JP 2000284997A JP 2002086045 A JP2002086045 A JP 2002086045A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被塗布材料である基板の表面に液状の塗布材
料を、少ない薄膜形成工程でもって、均一に塗布するこ
とが可能な液状物塗布装置を提供する。 【解決手段】 塗布ノズル１０１は、基板１０２の相対
的な進行方向でみて前後に結合された部品１及び部品２
と、それらの左右両端に固定された側板４及び側板５、
さらには上部に固定された天板３とで形成され、吐出口
１２側先端角度θが９０°を超える角度となっている。
これにより、吐出口１２を構成する壁面の平面精度が保
たれ、吐出口１２から液状物を均一に吐出することがで
きる。また、貯留部１０、整圧部１１及び吐出口１２は
部品１の両端まであり、左右両端に固定された側板４及
び側板５によって塗布液の流出を規制している。
料を、少ない薄膜形成工程でもって、均一に塗布するこ
とが可能な液状物塗布装置を提供する。 【解決手段】 塗布ノズル１０１は、基板１０２の相対
的な進行方向でみて前後に結合された部品１及び部品２
と、それらの左右両端に固定された側板４及び側板５、
さらには上部に固定された天板３とで形成され、吐出口
１２側先端角度θが９０°を超える角度となっている。
これにより、吐出口１２を構成する壁面の平面精度が保
たれ、吐出口１２から液状物を均一に吐出することがで
きる。また、貯留部１０、整圧部１１及び吐出口１２は
部品１の両端まであり、左右両端に固定された側板４及
び側板５によって塗布液の流出を規制している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶やＰＤＰ(pla
sma display panel)等のＦＰＤ（flat panel display）
用の基板及びマスクやウェハ等の半導体用基板、その
他、電子材料用基板（被塗布部材）の表面に、塗布材料
を吐出し、その塗布材料の薄膜を形成する塗布装置に関
する。
sma display panel)等のＦＰＤ（flat panel display）
用の基板及びマスクやウェハ等の半導体用基板、その
他、電子材料用基板（被塗布部材）の表面に、塗布材料
を吐出し、その塗布材料の薄膜を形成する塗布装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、フォトレジスト等の液状塗布
材料（液状物という）を基板表面に塗布する装置として
は、コート＆スピン等の装置が知られている。この装置
においては、塗布ノズルの先端に開口形成された線状の
吐出口から基板に対し帯状に液状物を吐出し、ノズルを
基板に対して相対移動させることで、基板外形のほぼ全
面に塗膜を形成する。そして、この基板を回転自在なテ
ーブルの上に乗せ換え、当該基板を回転させることによ
って、基板全面に液状物の均一な薄膜を形成するように
している。
材料（液状物という）を基板表面に塗布する装置として
は、コート＆スピン等の装置が知られている。この装置
においては、塗布ノズルの先端に開口形成された線状の
吐出口から基板に対し帯状に液状物を吐出し、ノズルを
基板に対して相対移動させることで、基板外形のほぼ全
面に塗膜を形成する。そして、この基板を回転自在なテ
ーブルの上に乗せ換え、当該基板を回転させることによ
って、基板全面に液状物の均一な薄膜を形成するように
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
装置においては、液状物を塗布する工程と、塗膜を均一
にする工程とを分けて行っている。その理由は、塗布ノ
ズルを用いた塗布だけでは均一な薄膜の形成ができない
からである。その原因は、吐出口は２つの部材を結合す
ることで形成されているが、この両部材の壁の平面精度
が悪いこと、両壁の間に吐出口用の隙間を形成するため
にシムを挟んでいるため、三部品の寸法誤差が累積さ
れ、吐出口の隙間寸法にバラツキが生じることから、液
状物の均一な吐出ができないからである。また、塗布ノ
ズル内部の形状が工夫されておらず、吐出圧力の分布が
悪いため、吐出口全体にわたり液状物が均一な圧力で吐
出できないからである。また、塗布ノズルを分解清掃し
た後、再組立を行った場合、組立基準が無いため、２つ
の部品がズレてしまい、液状物の吐出が適正に行われな
くなることも原因の一つである。
装置においては、液状物を塗布する工程と、塗膜を均一
にする工程とを分けて行っている。その理由は、塗布ノ
ズルを用いた塗布だけでは均一な薄膜の形成ができない
からである。その原因は、吐出口は２つの部材を結合す
ることで形成されているが、この両部材の壁の平面精度
が悪いこと、両壁の間に吐出口用の隙間を形成するため
にシムを挟んでいるため、三部品の寸法誤差が累積さ
れ、吐出口の隙間寸法にバラツキが生じることから、液
状物の均一な吐出ができないからである。また、塗布ノ
ズル内部の形状が工夫されておらず、吐出圧力の分布が
悪いため、吐出口全体にわたり液状物が均一な圧力で吐
出できないからである。また、塗布ノズルを分解清掃し
た後、再組立を行った場合、組立基準が無いため、２つ
の部品がズレてしまい、液状物の吐出が適正に行われな
くなることも原因の一つである。
【０００４】本発明は、上述した事情に基づいてなされ
たもので、その目的としては、塗布ノズルから基板に液
状物を吐出する工程だけで基板上に均一な薄膜を形成す
ることが可能で、基板への薄膜形成の工程を削減できる
とともに、塗布ノズルの分解再組立時の組立再現性を良
好にすることによって薄膜の安定形成を可能にすること
にある。
たもので、その目的としては、塗布ノズルから基板に液
状物を吐出する工程だけで基板上に均一な薄膜を形成す
ることが可能で、基板への薄膜形成の工程を削減できる
とともに、塗布ノズルの分解再組立時の組立再現性を良
好にすることによって薄膜の安定形成を可能にすること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記目的
を達成するために請求項１の発明は、基板の表面に薄膜
を形成するために所定の液状物を塗布する塗布ノズル
と、基板の表面に液状物を塗布するときに前記塗布ノズ
ル及び基板のうち少なくとも一方を相対的に移動させる
移動手段とを備えた液状物塗布装置において、前記塗布
ノズルは、液状物を吐出する線状の吐出口を有し、この
吐出口を挟む基板に対向する面の成す角度が９０°を超
える角度となっているものである。
を達成するために請求項１の発明は、基板の表面に薄膜
を形成するために所定の液状物を塗布する塗布ノズル
と、基板の表面に液状物を塗布するときに前記塗布ノズ
ル及び基板のうち少なくとも一方を相対的に移動させる
移動手段とを備えた液状物塗布装置において、前記塗布
ノズルは、液状物を吐出する線状の吐出口を有し、この
吐出口を挟む基板に対向する面の成す角度が９０°を超
える角度となっているものである。
【０００６】請求項１の発明によれば、吐出口側の先端
角度を９０°を超える角度としているので、吐出口先端
の剛性が向上し、吐出口を構成する壁面の平面精度が保
たれる。このため、吐出口から液状物を均一に吐出する
ことができ、従って、基板上に均一な薄膜を塗布、形成
することができ、ひいては、基板への薄膜形成の工程を
削減することが可能となる。
角度を９０°を超える角度としているので、吐出口先端
の剛性が向上し、吐出口を構成する壁面の平面精度が保
たれる。このため、吐出口から液状物を均一に吐出する
ことができ、従って、基板上に均一な薄膜を塗布、形成
することができ、ひいては、基板への薄膜形成の工程を
削減することが可能となる。
【０００７】請求項２の発明は、基板の表面に薄膜を形
成するために所定の液状物を塗布する塗布ノズルと、基
板の表面に液状物を塗布するときに前記塗布ノズル及び
基板のうち少なくとも一方を相対的に移動させる移動手
段とを備えた液状物塗布装置において、前記塗布ノズル
は、送給された液状物を貯留する貯留部と、液状物を基
板に向けて吐出する線状の吐出口と、前記貯留部から吐
出口に液状物を整圧しつつ送る、吐出口に平行な整圧部
とを持ち、前記整圧部は貯留部から吐出部に進むにつれ
段階的に隙間が狭まっているものである。
成するために所定の液状物を塗布する塗布ノズルと、基
板の表面に液状物を塗布するときに前記塗布ノズル及び
基板のうち少なくとも一方を相対的に移動させる移動手
段とを備えた液状物塗布装置において、前記塗布ノズル
は、送給された液状物を貯留する貯留部と、液状物を基
板に向けて吐出する線状の吐出口と、前記貯留部から吐
出口に液状物を整圧しつつ送る、吐出口に平行な整圧部
とを持ち、前記整圧部は貯留部から吐出部に進むにつれ
段階的に隙間が狭まっているものである。
【０００８】請求項２の発明によれば、貯留部と吐出口
との間に吐出口に平行な整圧部があり、送給された液状
物は整圧され、さらに貯留部から吐出口に進むにつれ段
階的に隙間が狭まることによって流路抵抗が増すので、
液状物の圧力は吐出口の全域にわたって均一となり、液
状物の均一な薄膜を基板上に形成することができる。
との間に吐出口に平行な整圧部があり、送給された液状
物は整圧され、さらに貯留部から吐出口に進むにつれ段
階的に隙間が狭まることによって流路抵抗が増すので、
液状物の圧力は吐出口の全域にわたって均一となり、液
状物の均一な薄膜を基板上に形成することができる。
【０００９】請求項３の発明は、請求項２に記載の液状
物塗布装置において、前記塗布ノズルは、基板の相対的
な移動方向に直交する方向に伸びる部品により形成さ
れ、前記貯留部、整圧部及び吐出口は該部品の両端まで
延びているものである。
物塗布装置において、前記塗布ノズルは、基板の相対的
な移動方向に直交する方向に伸びる部品により形成さ
れ、前記貯留部、整圧部及び吐出口は該部品の両端まで
延びているものである。
【００１０】請求項３の発明によれば、貯留部と整圧部
及び吐出口が部品の両端まで延びているため、液状物の
圧力が吐出口の両端まで均一になり、吐出口の全域にわ
たって液状物の均一な薄膜を形成することができる。
及び吐出口が部品の両端まで延びているため、液状物の
圧力が吐出口の両端まで均一になり、吐出口の全域にわ
たって液状物の均一な薄膜を形成することができる。
【００１１】請求項４の発明は、基板の表面に薄膜を形
成するために所定の液状物を塗布する塗布ノズルと、基
板の表面に液状物を塗布するときに前記塗布ノズル及び
基板のうち少なくとも一方を相対的に移動させる移動手
段とを備えた液状物塗布装置において、前記塗布ノズル
は、液状物を基板に向けて吐出する線状の吐出口を持
ち、前記吐出口の隙間は、基板の相対的な移動方向に直
交する方向に伸びる少なくとも２つの部品が該移動方向
に並んで結合されることにより形成されているものであ
る。
成するために所定の液状物を塗布する塗布ノズルと、基
板の表面に液状物を塗布するときに前記塗布ノズル及び
基板のうち少なくとも一方を相対的に移動させる移動手
段とを備えた液状物塗布装置において、前記塗布ノズル
は、液状物を基板に向けて吐出する線状の吐出口を持
ち、前記吐出口の隙間は、基板の相対的な移動方向に直
交する方向に伸びる少なくとも２つの部品が該移動方向
に並んで結合されることにより形成されているものであ
る。
【００１２】請求項４の発明によれば、吐出口の隙間を
形成する部品を２部品のみで構成することによって、累
積される寸法誤差を極小とし、塗布材料の均一な薄膜を
形成することができる。
形成する部品を２部品のみで構成することによって、累
積される寸法誤差を極小とし、塗布材料の均一な薄膜を
形成することができる。
【００１３】請求項５の発明は、請求項４に記載の液状
物塗布装置において、前記塗布ノズルは、前記２つの部
品の吐出口が形成されている面とは反対側の上面にて該
部品を結合する天板を有するものである。本発明によれ
ば、塗布ノズルを構成する２つの部品の上部双方が天板
により結合されるので、この天板が分解再組立時の組立
基準となり、分解再組立時の再現性を得ることができ
る。
物塗布装置において、前記塗布ノズルは、前記２つの部
品の吐出口が形成されている面とは反対側の上面にて該
部品を結合する天板を有するものである。本発明によれ
ば、塗布ノズルを構成する２つの部品の上部双方が天板
により結合されるので、この天板が分解再組立時の組立
基準となり、分解再組立時の再現性を得ることができ
る。
【００１４】請求項６の発明は、請求項４に記載の液状
物塗布装置において、前記塗布ノズルは、前記２つの部
品の長手方向両端又は一方端にて該部品を結合する側板
を有するものである。本発明によれば、塗布ノズルの両
端に側板が結合されるので、分解再組立時の再現性が得
られるとともに、塗布ノズルの両端から流出しようとす
る液状物の流れを抑止することができる。
物塗布装置において、前記塗布ノズルは、前記２つの部
品の長手方向両端又は一方端にて該部品を結合する側板
を有するものである。本発明によれば、塗布ノズルの両
端に側板が結合されるので、分解再組立時の再現性が得
られるとともに、塗布ノズルの両端から流出しようとす
る液状物の流れを抑止することができる。
【００１５】請求項７の発明は、請求項６に記載の液状
物塗布装置において、前記側板は、その下端部側面に上
方に伸びる傾斜面を備えているものである。本発明によ
れば、側板の側面にそれぞれ上方に伸びる傾斜面を形成
することによって、側板と基板との間に起こる毛細管現
象で、液状物が吐出口の両端からはみだすことを抑止す
ることができる。
物塗布装置において、前記側板は、その下端部側面に上
方に伸びる傾斜面を備えているものである。本発明によ
れば、側板の側面にそれぞれ上方に伸びる傾斜面を形成
することによって、側板と基板との間に起こる毛細管現
象で、液状物が吐出口の両端からはみだすことを抑止す
ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態に係る
液状物塗布装置について図面を参照して説明する。図１
は本発明の一実施形態による塗布装置１００を示す。塗
布装置１００は、被塗布部材である基板１０２を真空吸
着する処理テーブル１０３、塗布材料である液状物を角
形基板１０２（以下、基板という）に吐出する塗布ノズ
ル１０１、塗布ノズル１０１に液状物を送給する送給部
（図示省略）、液状物の供給源たるタンク（図示省
略）、及び塗布ノズル１０１又は処理テーブル１０３を
矢印Ａ方向に相対移動させ、基板１０２のほぼ外形全面
に塗膜を形成させる走行部（移動手段；図示省略）によ
り構成されている。
液状物塗布装置について図面を参照して説明する。図１
は本発明の一実施形態による塗布装置１００を示す。塗
布装置１００は、被塗布部材である基板１０２を真空吸
着する処理テーブル１０３、塗布材料である液状物を角
形基板１０２（以下、基板という）に吐出する塗布ノズ
ル１０１、塗布ノズル１０１に液状物を送給する送給部
（図示省略）、液状物の供給源たるタンク（図示省
略）、及び塗布ノズル１０１又は処理テーブル１０３を
矢印Ａ方向に相対移動させ、基板１０２のほぼ外形全面
に塗膜を形成させる走行部（移動手段；図示省略）によ
り構成されている。
【００１７】図２、図３は塗布ノズル１０１の詳細構成
を示す。この塗布ノズル１０１は、基板１０２の相対的
な進行方向でみて前後に結合される２つの部品１，２か
ら構成され、送液路６を経て送給された液状物を貯留す
る貯留部１０、貯留部１０から吐出口１２に液状物を整
圧しつつ送る整圧部１１、及び液状物を基板１０２に向
けて吐出する線状の吐出口１２を有する。これら貯留部
１０、整圧部１１及び吐出口１２の隙間は、両部品１，
２の結合内面に形成された凹部により構成されている。
整圧部１１は、吐出口１２に平行に設けられ、貯留部１
０から吐出部１２に進むにつれ段階的に隙間が狭まって
いる。
を示す。この塗布ノズル１０１は、基板１０２の相対的
な進行方向でみて前後に結合される２つの部品１，２か
ら構成され、送液路６を経て送給された液状物を貯留す
る貯留部１０、貯留部１０から吐出口１２に液状物を整
圧しつつ送る整圧部１１、及び液状物を基板１０２に向
けて吐出する線状の吐出口１２を有する。これら貯留部
１０、整圧部１１及び吐出口１２の隙間は、両部品１，
２の結合内面に形成された凹部により構成されている。
整圧部１１は、吐出口１２に平行に設けられ、貯留部１
０から吐出部１２に進むにつれ段階的に隙間が狭まって
いる。
【００１８】塗布ノズル１０１は、２つの部品１，２の
吐出口１２が形成されている面とは反対側の上面におい
て該部品１，２を結合する天板３と、左右両端において
結合する側板４，５を有している。天板３及び側板４，
５は、部品１，２にネジ締め等により固定される。これ
ら天板３、側板４，５は、塗布ノズル１０１の分解組立
時の組立基準となる。また、吐出口１２を挟む基板１０
２に対向する面の成す先端角度θが９０°を超える角度
となっていて、吐出口１２先端の剛性を向上させてい
る。側板４及び側板５は、貯留部１０、整圧部１１、及
び吐出部１２の両端に位置して、塗布液の流出を規制
し、さらに、図４に示すように、側板４及び側板５のそ
れぞれ下端部側面に、上方に伸びる傾斜面１４を設けて
いる。
吐出口１２が形成されている面とは反対側の上面におい
て該部品１，２を結合する天板３と、左右両端において
結合する側板４，５を有している。天板３及び側板４，
５は、部品１，２にネジ締め等により固定される。これ
ら天板３、側板４，５は、塗布ノズル１０１の分解組立
時の組立基準となる。また、吐出口１２を挟む基板１０
２に対向する面の成す先端角度θが９０°を超える角度
となっていて、吐出口１２先端の剛性を向上させてい
る。側板４及び側板５は、貯留部１０、整圧部１１、及
び吐出部１２の両端に位置して、塗布液の流出を規制
し、さらに、図４に示すように、側板４及び側板５のそ
れぞれ下端部側面に、上方に伸びる傾斜面１４を設けて
いる。
【００１９】上記のように構成された塗布ノズル１０１
においては、送液路６に送給された液状物は貯留部１０
に流れ込む（矢印７）。貯留部１０に流れ込んだ液状物
は整圧部１１が狭まり流路抵抗が大きくなっているた
め、貯留部１０全域に流れ（矢印８）、貯留部１０に貯
留される。このとき、貯留部１０から整圧部１１を介し
吐出口１２に流れる（矢印９）液状物の圧力は塗出口１
２の全域にわたり一定になり整圧される。また、この整
圧部１１は１つに限らず複数あってもよい。
においては、送液路６に送給された液状物は貯留部１０
に流れ込む（矢印７）。貯留部１０に流れ込んだ液状物
は整圧部１１が狭まり流路抵抗が大きくなっているた
め、貯留部１０全域に流れ（矢印８）、貯留部１０に貯
留される。このとき、貯留部１０から整圧部１１を介し
吐出口１２に流れる（矢印９）液状物の圧力は塗出口１
２の全域にわたり一定になり整圧される。また、この整
圧部１１は１つに限らず複数あってもよい。
【００２０】また、吐出口１２側の先端角度θが９０°
を超える角度として、吐出口１２先端の剛性を向上させ
ているので、吐出口１２を形成する両壁の平面精度が保
たれる。さらに、吐出口１２の隙間を部品１の内部に形
成することによって、構成部品を２部品とし、部品の累
積寸法誤差を少なくしている。よって、吐出口１２の平
行精度が良好となり、液状物の均一な吐出が可能とな
り、これにより、基板１０２への薄膜形成の工程を削減
することが可能となる。
を超える角度として、吐出口１２先端の剛性を向上させ
ているので、吐出口１２を形成する両壁の平面精度が保
たれる。さらに、吐出口１２の隙間を部品１の内部に形
成することによって、構成部品を２部品とし、部品の累
積寸法誤差を少なくしている。よって、吐出口１２の平
行精度が良好となり、液状物の均一な吐出が可能とな
り、これにより、基板１０２への薄膜形成の工程を削減
することが可能となる。
【００２１】さらに、塗布ノズル１０１の内部に形成さ
れた貯留部１０、整圧部１１、及び吐出口１２が、部品
１の両端まで延びているため、吐出口１２の全域にわた
り液状物の均一な吐出を可能にしている。なお、貯留部
１０、整圧部１１、及び吐出口１２のいずれか１つでも
部品１の両端まで延びていればよい。また、これらを形
成するための凹部は、部品１だけではなく部品１と部品
２の両方に形成してもよい。
れた貯留部１０、整圧部１１、及び吐出口１２が、部品
１の両端まで延びているため、吐出口１２の全域にわた
り液状物の均一な吐出を可能にしている。なお、貯留部
１０、整圧部１１、及び吐出口１２のいずれか１つでも
部品１の両端まで延びていればよい。また、これらを形
成するための凹部は、部品１だけではなく部品１と部品
２の両方に形成してもよい。
【００２２】また、貯留部１０、整圧部１１、及び吐出
部１２の両端に固定される側板４及び側板５に傾斜面１
４が設けられているので、側板４，５と基板１０２との
間に起こる毛細管現象によって液状物が吐出口１２の両
端から外側にはみ出すことを抑止することができる。
部１２の両端に固定される側板４及び側板５に傾斜面１
４が設けられているので、側板４，５と基板１０２との
間に起こる毛細管現象によって液状物が吐出口１２の両
端から外側にはみ出すことを抑止することができる。
【００２３】また、塗布ノズル１０１は内部に硬化性の
ある液状物を流すため、定期的な分解清掃が必要とな
る。従って、分解再組立時の組立基準が無ければ、分解
再組立時の再現性を得ることが困難となる。そこで、本
実施形態では、部品１及び部品２の双方に天板３が固定
されるので、部品１及び部品２は同一の組立基準を有す
ることとなり、分解再組立時の再現性を得ることができ
る。また、側板４及び側板５も、天板３と同様に組立基
準となる。このため、塗布ノズル１０１の分解再組立時
の組立再現性が良好となり、薄膜の安定形成を可能とす
る。
ある液状物を流すため、定期的な分解清掃が必要とな
る。従って、分解再組立時の組立基準が無ければ、分解
再組立時の再現性を得ることが困難となる。そこで、本
実施形態では、部品１及び部品２の双方に天板３が固定
されるので、部品１及び部品２は同一の組立基準を有す
ることとなり、分解再組立時の再現性を得ることができ
る。また、側板４及び側板５も、天板３と同様に組立基
準となる。このため、塗布ノズル１０１の分解再組立時
の組立再現性が良好となり、薄膜の安定形成を可能とす
る。
【００２４】図５乃至図８は、いずれも他の実施形態に
よる塗布ノズルを示す。図５では、貯留部１０及び整圧
部１１が、部品１及び部品２の両者に設けられた凹部に
より形成されている。図６では、整圧部１１が複数段設
けられている。図７では、天板３が部品１，２の両端部
に分けられて設けられている。図８では、天板３と側板
４、天板３と側板５とがそれぞれ一体的に形成されてい
る。これら各実施形態おいても、上述と同等の作用効果
が得られる。なお、本発明は上記実施の形態の構成に限
られず種々の変形が可能である。
よる塗布ノズルを示す。図５では、貯留部１０及び整圧
部１１が、部品１及び部品２の両者に設けられた凹部に
より形成されている。図６では、整圧部１１が複数段設
けられている。図７では、天板３が部品１，２の両端部
に分けられて設けられている。図８では、天板３と側板
４、天板３と側板５とがそれぞれ一体的に形成されてい
る。これら各実施形態おいても、上述と同等の作用効果
が得られる。なお、本発明は上記実施の形態の構成に限
られず種々の変形が可能である。
【図１】 本発明の一実施形態による塗布装置の側面
図。
図。
【図２】 同装置における塗布ノズルの分解斜視図。
【図３】 塗布ノズルの端面図。
【図４】 塗布ノズルの左正面拡大図。
【図５】 他の実施形態による塗布装置における塗布ノ
ズルの端面図。
ズルの端面図。
【図６】 他の実施形態による塗布装置における塗布ノ
ズルの端面図。
ズルの端面図。
【図７】 他の実施形態による塗布装置における塗布ノ
ズルの分解斜視図。
ズルの分解斜視図。
【図８】 他の実施形態による塗布装置における塗布ノ
ズルの分解斜視図。
ズルの分解斜視図。
１，２ 部品 ３ 天板 ４，５ 側板 １０ 貯留部 １１ 整圧部 １２ 吐出口 １００ 塗布装置 １０１ 塗布ノズル １０２ 被塗布部材（基板） １０３ 処理テーブル（移動手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 占部 雄之 岡山県井原市木之子町6186番地 タツモ株 式会社内 Ｆターム(参考） 4F041 AA06 AB02 BA05 BA12 4F042 AA07 BA10 EB18
Claims (7)
- 【請求項１】 基板の表面に薄膜を形成するために所定
の液状物を塗布する塗布ノズルと、基板の表面に液状物
を塗布するときに前記塗布ノズル及び基板のうち少なく
とも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた液状
物塗布装置において、 前記塗布ノズルは、液状物を吐出する線状の吐出口を有
し、この吐出口を挟む基板に対向する面の成す角度が９
０°を超える角度となっていることを特徴とする液状物
塗布装置。 - 【請求項２】 基板の表面に薄膜を形成するために所定
の液状物を塗布する塗布ノズルと、基板の表面に液状物
を塗布するときに前記塗布ノズル及び基板のうち少なく
とも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた液状
物塗布装置において、 前記塗布ノズルは、送給された液状物を貯留する貯留部
と、液状物を基板に向けて吐出する線状の吐出口と、前
記貯留部から吐出口に液状物を整圧しつつ送る、吐出口
に平行な整圧部とを持ち、前記整圧部は貯留部から吐出
部に進むにつれ段階的に隙間が狭まっていることを特徴
とする液状物塗布装置。 - 【請求項３】 前記塗布ノズルは、基板の相対的な移動
方向に直交する方向に伸びる部品により形成され、前記
貯留部、整圧部及び吐出口は該部品の両端まで延びてい
ることを特徴とする請求項２に記載の液状物塗布装置。 - 【請求項４】 基板の表面に薄膜を形成するために所定
の液状物を塗布する塗布ノズルと、基板の表面に液状物
を塗布するときに前記塗布ノズル及び基板のうち少なく
とも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた液状
物塗布装置において、 前記塗布ノズルは、液状物を基板に向けて吐出する線状
の吐出口を持ち、前記吐出口の隙間は、基板の相対的な
移動方向に直交する方向に伸びる少なくとも２つの部品
が該移動方向に並んで結合されることにより形成されて
いることを特徴とする液状物塗布装置。 - 【請求項５】 前記塗布ノズルは、前記２つの部品の吐
出口が形成されている面とは反対側の上面にて該部品を
結合する天板を有することを特徴とする請求項４に記載
の液状物塗布装置。 - 【請求項６】 前記塗布ノズルは、前記２つの部品の長
手方向両端又は一方端にて該部品を結合する側板を有す
ることを特徴とする請求項４に記載の液状物塗布装置。 - 【請求項７】 前記側板は、その下端部側面に上方に伸
びる傾斜面を備えていることを特徴とする請求項６に記
載の液状物塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000284997A JP2002086045A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 液状物塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000284997A JP2002086045A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 液状物塗布装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002086045A true JP2002086045A (ja) | 2002-03-26 |
Family
ID=18769134
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000284997A Pending JP2002086045A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 液状物塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002086045A (ja) |
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- 2000-09-20 JP JP2000284997A patent/JP2002086045A/ja active Pending
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