JP2000233151A - ストライプ塗布装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来、ストライプ塗布の場合は、各条のスト
ライプ塗膜部の膜厚が均一であることが重要であるが、
膜厚バラツキを均一にすることは容易ではない。 【解決手段】 ノズル１００先端に設けられた複数のス
リット出口と、スリット出口を形成する、上下一対のブ
ロック１１，１２の先端部と、それら複数のスリット出
口を仕切るストライプ仕切り８と、それらのストライプ
仕切り８の位置に対応して、少なくともいずれかのブロ
ック１１，１２の先端部に、塗布液の吐出方向に向かっ
て、形成された切り欠き部１７と、それらの切り欠き部
１７が設けられたブロック１１．１２の先端部に、それ
らの切り欠き部１７と薄肉部によって形成された可動部
１８と、それらの可動部１８を移動させることによっ
て、スリットギャップを調整できるスリットギャップ調
整手段１５とを備えるストライプ塗布装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、連続走行する基材
の片面あるいは両面に、塗料をストライプ塗布する塗布
装置及び方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】連続走行する基材の表面に塗布液を塗布
する塗布装置として、塗布液を塗布幅方向に行き渡らせ
るマニホールドと、マニホールドに供給された塗布液を
整流して吐出するスリットとを備えたエクストルージョ
ン型塗布装置が知られている。

【０００３】エクストルージョン型塗布装置におけるス
トライプ塗布を行う方法としては、スリットに仕切りを
設け、スリット内で分流させて吐出する方法がある。

【０００４】さらに、その仕切を用いる方法は、塗布幅
方向の膜厚を均一にする次のような方法を採用してい
る。すなわち、樹脂フィルムやシートを押出成形するＴ
ダイでは、ノズルのリップ先端を、差動ネジやヒートボ
ルトによって押し引きしたり、エアー圧駆動で押し込
む、等して、変形させ、吐出量の微調整を行い、幅方向
の膜厚を均一にする。あるいはノズルの内部に設けたヒ
ータによってノズルを部分的に加熱し、塗布すべき樹脂
の温度を変化させることにより流動特性を変えて、幅方
向の膜厚を均一にする。

【０００５】さらに、特開平９−２７１７０５号公報に
は、半導体ウェハやガラス基板上に、フォトレジスト液
等の塗布膜を形成する塗布装置において、ノズルのリッ
プ先端をピエゾアクチュエータで変形させ、吐出量の微
調整を行い、塗布膜の塗布幅方向の膜厚を均一にする手
段が示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ストライプ
塗布の場合、各条の塗布量を塗布幅方向に渡って均一に
するためには、塗布液のストライプ各条毎のスリット出
口での塗布幅方向の吐出量を均一にすることが重要であ
る。

【０００７】しかしながら、上記Ｔダイ等の塗布装置に
おいては、全幅塗布を行う場合は、ノズルのリップ先端
を変形させるとともに、その部位の周辺部位の変形量を
同時に調整することで、塗布幅方向の吐出量を均一にす
ることは容易である。しかし、ストライプ塗布の場合
は、各条のストライプ塗膜部の膜厚が均一であることが
重要なため、各条毎に吐出量を均一にする必要がある。
しかし、ノズルのリップ先端を変形させた部位の周辺も
変形してしまうと、各条のストライプ塗膜部の膜厚バラ
ツキを均一にすることは容易ではない。

【０００８】本発明は、上記従来の塗布装置の課題を解
消し、ストライプ塗布の場合でも、塗布液の塗布幅方向
の膜厚を均一にするストライプ塗布装置及び方法を提供
することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】第１の本発明（請求項１
に対応）は、少なくとも２条以上のストライプを塗布す
るための塗布装置において、ノズル先端に設けられた複
数のスリット出口と、前記スリット出口を形成する、上
下一対のブロックの先端部と、それら複数のスリット出
口を仕切るストライプ仕切りと、それらのストライプ仕
切りの位置に対応して、少なくともいずれかのブロック
の先端部に、塗布液の吐出方向に向かって、形成された
切り欠き部と、それらの切り欠き部が設けられたブロッ
クの先端部に、それらの切り欠き部と薄肉部によって形
成された可動部と、それらの可動部を移動させることに
よって、スリットギャップを調整できるスリットギャッ
プ調整手段とを備えたことを特徴とするストライプ塗布
装置である。

【００１０】また、第２の本発明（請求項９に対応）
は、スリット出口を形成する上下一対のブロックのいず
れかの先端に、薄肉部によって形成された可動部を移動
させることによって、スリットギャップを調整できるス
リットギャップ調整手段を有するノズルを備え、少なく
とも２条以上のストライプを塗布するための塗布装置に
おいて、前記可動部の移動量を測定する変位センサと、
前記変位センサから出力された数値を基準にして、前記
スリットギャップ調整手段はフィードバック制御を行う
ことを特徴とするストライプ塗布装置である。

【００１１】また、第３の本発明（請求項１２に対応）
は、第１の本発明、あるいは第２の本発明に記載のスト
ライプ塗布装置におけるスリットギャップを 調整する
スリットギャップ調整方法において、予め、塗布膜の調
整量と、前記可動部の移動量との関係を用意しておき、
前記塗布後の塗布膜の厚さを検出し、その厚さから厚さ
調整量を演算し、前記関係に基づいて、前記可動部の移
動量を演算し、その可動部の移動量に基づいて、前記可
動部を前記スリットギャップ調整手段によって移動させ
る、ことを特徴とするストライプ塗布装置におけるスリ
ットギャップ調整方法である。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。 （実施の形態１）図１〜図７を参照して、本発明にかか
る第１の実施の形態について説明する。

【００１３】まず、本発明にかかる装置の構成を、本発
明の方法である動作とともに説明する。図１は、本発明
のノズル１００を用いたストライプ塗布工程の概略を示
すものである。

【００１４】図１に示すように、ストックタンク１内の
塗布液２は、例えば定量ポンプのように安定した送液が
可能な給液ポンプ３により送り出される。さらに、塗布
液２は、フィルター４によって、塗布液２中の凝集物や
異物を取り除かれた後、流量計５により流量が測定さ
れ、その後ノズル１００に送り込まれる。その後、塗布
液２は、マニホールド６からスリット７へ押し出され、
かつ、図２に示すストライプ仕切り８によって分流さ
れ、スリット７の出口から吐出されて、矢印Ｄの方向に
連続走行する基材９の表面に、ストライプ状に塗布さ
れ、図７に示すようなストライプ塗膜部１０を形成す
る。

【００１５】次に、本発明のノズル１００の構成につい
て説明する。

【００１６】図２は、本発明のノズル１００の斜視図で
ある。また、図３は、本発明のノズル１００の断面図で
ある。図２に示すように、ノズル１００は、上ブロック
１１と、下ブロック１２と、２つのサイドブロック１３
Ｌ及び１３Ｒと、から構成される。各ブロック１１、１
２、１３Ｌ及び１３Ｒは、互いにネジ（図示せず）で連
結されている。

【００１７】また、上ブロック１１には、塗布液２を供
給するための配管１４が接続されている。さらに、下ブ
ロック１２には、マニホールド６に供給された塗布液２
を分流させて、スリット７の出口から吐出するための、
ストライプ仕切り８が設けられている。もっとも、これ
らマニホールド６及びスリット７は、図３に示すよう
に、下ブロック１２が上ブロック１１と組み合わさるこ
とによって、形成されるような形状に加工されている。
本発明では、上ブロック１１と下ブロック１２の間隔ｈ
をスリットギャップと呼んでいる。

【００１８】また、上ブロック１１の上部には、スリッ
トギャップを調節するためのスリットギャップ調整手段
１５（例えば、ピエゾアクチュエータ、差動ネジ、ヒー
トボルト、エアー圧駆動等）と、スリットギャップ調整
手段１５を上ブロック１１の上部に固定するするための
スリットギャップ調整手段固定部１６がネジ（図示せ
ず）で取り付けられている。

【００１９】さらに、上ブロック１１の先端は、可動部
１８と、薄肉部１９とにより構成されている。この可動
部１８は、スリットギャップ調整手段１５の押し込み力
の強弱に応じて、スリットギャップを狭く、あるいは広
くする方向に変位する。また、薄肉部１９は、可動部１
８が屈曲する支点として機能する。さらに、図２に示す
ように、可動部１８の両側には、塗布液の吐出方向Ｅ
に、切り欠き部１７が設けられている。

【００２０】なお、本実施の形態１では、３条のストラ
イプ塗布の場合について説明するので、切り欠き部１７
は、４ヶ所設けられているが、本発明では、少なくとも
２条以上のストライプを塗布する場合について適用され
るので、切り欠き部１７の数は、必ず条数＋１となる。

【００２１】次に、本実施の形態の第１の特徴について
説明する。

【００２２】図４は、本発明のノズル１００の先端部の
拡大図である。スリットギャップ調整手段１５と、スリ
ットギャップ調整手段固定部１６とは図面から省略して
いる。

【００２３】この第１の特徴は、図４に示すように、上
ブロック１１の可動部１８の両側に塗布液２の吐出方向
Ｅに、切り欠き部１７が設けられていることである。

【００２４】切り欠き部１７は、装置を製造した後、調
整を行うためである。すなわち、可動部１８を各条毎に
独立して変形させ、スリットギャップを調整する目的で
設けられている。

【００２５】すなわち、図５（ａ）に示すように、仮に
可動部１８に切り欠き部の無いノズル１０１を用いたと
すると、塗布装置において、製造後、装置の吐出口にお
いて、吐出量の多い部位、すなわち図５（ｃ）に示すよ
うなストライプ塗膜部１０の厚い部位（真ん中の部位）
に、押し込み力Ｐを加え、スリットギャップｈを狭くし
ようとすると、ノズルの先端部が曲線状に変形してしま
うため、押し込み力Ｐを加えた部位のスリットギャップ
ｈ”だけでなく、周辺のスリットギャップｈ’、ｈ’も
狭くなってしまう。

【００２６】その結果、スリットギャップｈが曲線状に
変形してしまうと、図５（ｂ）に示すように、各条のス
トライプ塗膜部１０の膜厚も曲線状になり、各条のスト
ライプ塗膜部１０の膜厚を均一にすることが出来ない。

【００２７】しかし、本発明の実施の形態１のノズル１
００を用いたストライプ塗布装置では、吐出量の多い
条、すなわち図６（ｃ）に示すようなストライプ塗膜部
１０の厚い条（真ん中の部位）に押し込み力Ｐを加えて
も、各条毎の可動部１８は、図６（ａ）に示すように、
独立して変位するので、スリット７の平行性を保ったま
ま、スリットギャップｈ”となるとともに、隣接する条
の可動部１８は、変形しない。

【００２８】従って、吐出量の多い条またはストライプ
塗膜部１０の厚い条の膜厚だけを独立して変化させるこ
とが可能となるので、図６（ｂ）に示すように、各条の
ストライプ塗膜部１０の膜厚を均一にすることが容易に
なる。

【００２９】また、図４に示すように、切り欠き部１７
の幅Ｗ１は、隣り合う可動部１８が、干渉することを防
止するためと、隣接する可動部１８の変形動作が、スリ
ット７から染み出した塗布液２の流体摩擦によって、互
いに干渉することを防止するために、０．０１ｍｍ以上
であることが必要である。さらに、切り欠き部１７から
の液漏れを防ぐために、切り欠き部１７の幅Ｗ１はスト
ライプ仕切り８の幅Ｗ２未満であることが望ましい。な
お、このストライブ仕切り８はある程度弾力性を有す
る。

【００３０】また、切り欠き部１７の長さは、隣接する
可動部１８の変形が、互いに影響することを防ぐため
に、可動部１８の屈曲点となる薄肉部１９からスリット
出口までとすることが望ましい。

【００３１】次に、本実施の形態の第２の特徴について
説明する。

【００３２】この第２の特徴は、図３に示すように、可
動部１８のそれぞれの上部に、スリットギャップ調整手
段１５を設け、その手段１５による押し込み力によっ
て、薄肉部１９を屈曲点とするようにしたことである。

【００３３】本実施の形態１では、スリットギャップ調
整手段１５をピエゾアクチュエータにした場合について
説明する。

【００３４】ピエゾアクチュエータの微少な変位力によ
って、可動部１８を押し込むことにより、スリットギャ
ップをμｍオーダーで変化させ、吐出量を微少に制御す
ることが可能となるため、膜厚を均一にすることが容易
になる。

【００３５】また、ピエゾアクチュエータで可動部１８
に押し込み力を加えると、ピエゾアクチュエータ自体に
押し込み力に対する反力が作用するため、ピエゾアクチ
ュエータをスリットギャップ調整手段固定部１６に固定
するときは、強固にネジで固定することが望ましい。

【００３６】さらに、薄肉部１９は、可動部１８が塑性
変形を起こし、動作不能になることを防ぐために、ピエ
ゾアクチュエータの最大発生力が可動部１８に押し込み
力として加わっても、その弾性限度を越えない範囲で、
かつ、所定の変形量が得られる程度の厚みにすることが
望ましい。

【００３７】次に、本実施の形態の第３の特徴について
説明する。

【００３８】この第３の特徴は、図４に示すように、上
ブロック１１に設けられた切り欠き部１７の位置に対応
する、下ブロック１２のスリット面に、ストライプ仕切
り８が設けられていることである。

【００３９】ストライプ仕切り８は、塗布液がマニホー
ルド６からスリット７に押し出される時に分流するよう
に設けている。さらに、塗布液が切り欠き部１７から漏
れることを防ぐためにも機能する。

【００４０】また、ストライプ仕切り８をテフロンテー
プ等の弾性体を含んだ構造とすることで、ストライプ仕
切り８を支点とする反力の影響を受けずに、可動部１８
がスリット７の平行性を保ったまま変形し、安定したス
リットギャップ調整が可能となる。

【００４１】さらに、ストライプ仕切り８を、マニホー
ルド６すなわちスリット入口から、スリット出口まで設
けることで、マニホールド６からスリット出口までの塗
布液の流れをスムーズに分流させ、均一な塗布液の吐出
を可能とし、より均一なストライプ塗膜部１０の膜厚が
得られる。

【００４２】なお、ストライプ仕切りの幅Ｗ２は、図７
に示すようなストライプ無地部２０の幅に相当する。

【００４３】次に、本実施の形態１の効果を説明するた
めに、本実施の形態１で説明したノズル１００を用いた
ストライプ塗布装置を用い、（１）可動部１８を全く変
形しない状態で、基材の表面に塗布液を塗布したときの
塗布幅方向の各条の膜厚の測定を行った結果と、（２）
膜厚の厚い条の可動部１８を変形させ、スリットギャッ
プｈを狭くしたときの膜厚の測定を行った結果を、（実
施例１）、（実施例２）、（実施例３）にて、比較す
る。 （実施例１）本実施の形態１で説明したノズル１００を
用いて、 せん断速度１０００ｓｅｃ^-1における粘度が
１５００ｃｐであるカルボキシルメチルセルロース水溶
液にカーボンを添加した塗布液を、基材（厚さ３０μｍ
の銅箔）の表面に単位幅当たり０．１ｃｃ／ｃｍ／ｓｅ
ｃの流量で塗布した。

【００４４】ノズル１００はステンレス製で、３条スト
ライプ、各条のストライプ塗布幅４５ｍｍ、スリットギ
ャップ０．２５ｍｍとし、薄肉部１９の厚さ３ｍｍとし
た。

【００４５】図１３（ａ）は、可動部１８を変形しない
状態で塗布したときの膜厚測定結果であり、また、図１
３（ｂ）は、図１３（ａ）での結果をもとに、膜厚の厚
い条の可動部１８を変形し、塗布したときの膜厚測定結
果である。

【００４６】図１３（ａ）に示すように、可動部１８を
全く変形しない状態で塗布すると、中央の条の膜厚が厚
くなった。

【００４７】それは、ノズル１００への塗布液２の供給
口１４が、中央に設けられているため、中央の条からの
吐出量が多くなることが原因の一つである。

【００４８】また、本実施の形態１で説明したノズル１
００の微少なスリットギャップの機械的精度のバラツキ
によっても起こると推察される。

【００４９】そこで、 可動部１８を変形しない状態で
塗布したときの塗布幅方向でのストライプ塗膜部の膜厚
バラツキ約３％を、スリットギャップ調整手段１５によ
って、中央の条の可動部１８のみ、その機械的精度のバ
ラツキを補正する程度の微少な変位を加えることで、図
１３（ｂ）に示すように、膜厚バラツキが１％となり、
大幅に減少させることができた。 （実施例２）本実施例２では、上記本実施例１とは粘度
の異なるカルボキシルメチルセルロース水溶液を用い
た。すなわち本実施の形態１で説明したノズル１００を
用いて、 せん断速度１０００ｓｅｃ^-1における粘度が
３０００ｃｐであるカルボキシルメチルセルロース水溶
液 にカーボンを添加した塗布液を、基材（厚さ３０μ
ｍの銅箔）の表面に単位幅当たり０．１ｃｃ／ｃｍ／ｓ
ｅｃの流量で塗布した。

【００５０】ノズル１００はステンレス製で、３条スト
ライプ、各条のストライプ塗布幅４５ｍｍ、スリットギ
ャップ０．２５ｍｍとし、薄肉部１９の厚さ３ｍｍとし
た。

【００５１】図１４（ａ）は、可動部１８を変形しない
状態で塗布したときの膜厚測定結果であり、また、図１
４（ｂ）は、図１４（ａ）での結果をもとに、膜厚の厚
い条の可動部１８を変形し、塗布したときの膜厚測定結
果である。

【００５２】可動部１８を全く変形しない状態で塗布す
ると、図１４（ａ）に示すように、（実施例１）の場合
と同じく、中央の条の膜厚が厚くなった。但し、（実施
例１）の場合より塗布液の粘度が高いため、流動性が悪
く、膜厚バラツキが５％となった。

【００５３】そこで、スリットギャップ調整手段１５に
よって、可動部１８に膜厚バラツキを補正する程度の微
少な変位を加えることで、図１４（ｂ）に示すように、
膜厚バラツキが１％となり、粘度の異なる塗布液でも、
容易に均一にできることが実証できた。 （実施例３）本実施の形態１で説明したノズル１００を
用いて、 せん断速度１０００ｓｅｃ^-1における粘度が
１５００ｃｐであるカルボキシルメチルセルロース水溶
液にカーボンを添加した塗布液を、基材（厚さ３０μｍ
の銅箔）の表面に単位幅当たり０．１ｃｃ／ｃｍ／ｓｅ
ｃの流量で塗布した。

【００５４】ノズル１００はステンレス製で、３条スト
ライプ、各条のストライプ塗布幅４５ｍｍ、スリットギ
ャップ０．２５ｍｍとし、薄肉部１９の幅５ｍｍ、厚さ
３ｍｍとした。また、供給口１４は、使用せずにサイド
ブロック１３Ｌ側から塗布液を供給した。

【００５５】図１５（ａ）は、可動部１８を変形しない
状態で塗布したときの膜厚測定結果であり、また図１５
（ｂ）は、図１５（ａ）での結果をもとに、膜厚の厚い
条の可動部１８を変形し、塗布したときの膜厚測定結果
である。

【００５６】可動部１８を全く変形しない状態で塗布し
た場合は、図１５（ａ）に示すように、左側（塗布液の
供給側）の条の膜厚が厚くなった。

【００５７】そこで、スリットギャップ調整手段１５に
よって、左側の条の可動部１８に膜厚バラツキを補正す
る程度の微少な変位を加えることで、図１５（ｂ）に示
すように、膜厚バラツキが１％となり、塗布液の供給口
が変わった場合でも、容易に均一にできることが実証で
きた。

【００５８】次に、本実施の形態１の効果を以下にまと
めて説明する。

【００５９】第１に、本発明のノズル１００のノズル可
動部１８に切り欠き部１７を設けることで、各条毎に吐
出量を調整することが可能となり、ストライプ塗布の場
合でも、塗布幅方向全体のストライプ塗膜部１０の膜厚
を均一にすることが容易になった。

【００６０】第２に、本発明のノズル１００を用いたス
トライプ塗布装置を使用することにより、生産現場での
塗布液のロット変動や装置内での塗布液の流動特性の変
化があった場合でも、塗布幅方向全体のストライプ塗膜
部１０の膜厚を均一にすることが容易になった。

【００６１】第３に、本発明のノズル１００の供給口１
４を、中央以外に設けても、膜厚の厚い条の可動部１８
を変形させることで、塗布幅方向全体のストライプ塗膜
部１０の膜厚を均一にすることが容易になった。

【００６２】（実施の形態２）次に、図８〜図１２を参
照して、本発明にかかる第２の実施の形態について説明
する。

【００６３】まず、本発明にかかる装置及びノズルの構
成について説明する。図８は、本実施の形態２のノズル
１００に、ストライプ規制具２２を具備した状態の略図
である。また、図９は、本実施の形態のノズル１００の
先端に、ストライプ規制具２２を具備した場合の拡大側
面図である。

【００６４】本実施の形態にかかる装置の構成は、図１
に示すように、（実施の形態１）と同様である。

【００６５】本実施の形態にかかるノズル１００の構成
については、基本的に（実施の形態１）と同一である
が、図８に示すように、ノズル１００のスリット出口の
ストライプ無地部２０の位置に相当する部位に、ストラ
イプ無地部２０の幅に相当する以下に述べるような特徴
を有するストライプ規制具２２が設けられている。つま
り、ストライプ仕切り８の前面に、同じ幅を有するスト
ライブ規制具２２が取り付けられている（図１２参
照）。

【００６６】なお、本実施の形態２は、実施の形態１と
は異なり、上ブロック１１の上部にスリットギャップ調
整手段が具備されていないものや、切り欠き部の設けら
れていない構成のものでもかまわない。

【００６７】次に、本実施の形態の第１の特徴について
説明する。

【００６８】この第１の特徴は、図８に示すように、ノ
ズル１００のスリット出口にストライプ無地部２０の幅
に相当するストライプ規制具２２を具備したことであ
る。

【００６９】従来のエクストルージョン型塗布装置にお
いて、塗布液２の流動特性の影響により、吐出直後にス
トライプ塗布幅の両端で、液圧が上昇した場合、ストラ
イプ塗膜部１０の両端にいわゆる耳立ちが発生すること
がある。そこで、従来、図１０（ｃ）に示すように、ス
リット面内に設けられたストライプ仕切り８を、塗布液
２の吐出方向Ｅに対して、スリット出口側が拡がるよう
なテーパ状にし、吐出直後のストライプ塗布幅の両端の
液圧を下げることが行われている。しかし、それでは、
図１０（ａ）に示すように、吐出直後にストライプ塗布
幅の両端でいわゆる耳立ちの反対である耳垂れが発生し
てしまう。

【００７０】そこで、本実施の形態２では、その耳垂れ
を防止するため、ストライプ規制具２２を設けた。それ
によって吐出直後のストライプ塗布幅の両端での耳垂れ
を防止すると共に、塗布直後の塗膜状態での塗布液２の
挙動を規制し、ストライプ塗膜部１０の幅を安定させ
る。

【００７１】また、図９に示すように、ストライプ規制
具２２の形状を、リップ２１の先端全体を覆う形状にす
ることで、リップ面に製造上しっかり取り付けることが
出来る。その結果、ストライプ規制具２２の前面から基
材までの距離を製造上所定の距離にすることが容易とな
る。

【００７２】さらに、図１１に示すように、ストライプ
規制具２２の形状を、ノズル１００のリップ２１に密着
し、かつ強い弾力を有する曲がり板とし、その中央部を
ノズル１００のリップ２１に密着させ、その上下端を、
上下のブロック１１，１２にネジ止めしてもよい。

【００７３】そのようにすることによって、より一層、
ストライプ規制具２２がリップ２１の先端面に強固に固
定される。これによって、耳垂れをより一層効果的に防
止でき、また、塗布直後の塗膜状態での塗布液２の挙動
を規制し、ストライプ塗膜部１０の幅を安定させる効果
も増大する。

【００７４】なお、上述のようなストライプ規制具２２
が耳垂れは防止できるが、逆に耳立ちを起こしてしまっ
てはならない。そこで、図１２に示すように、ストライ
プ規制具２２の、スリット７方向の断面形状を、塗布液
２の吐出方向Ｅに対して、リップ面側を長辺、基材側を
短辺とする台形形状とすることで、スリット７の出口か
ら基材９までの空間の、塗布幅方向の断面形状が、図１
２のＧに示すように、台形となり、つまり、この部分Ｇ
に形成される液溜まりが、台形となる。その結果、液圧
を抑制する作用が生じ、耳だちがおこりにくくなる。

【００７５】以上の特徴を持ったストライプ規制具２２
を設けることで、図１０（ｂ）に示すように、耳立ちの
無い、安定した幅のストライプ塗膜部１０が得られる。

【００７６】次に、本実施の形態の第２の特徴について
説明する。

【００７７】この第２の特徴は、図９に示すように、前
記ストライプ規制具２２の厚みをｔ、スリット出口から
基材９までの距離をＬ（以下、塗工ギャップと呼ぶ）と
したとき、Ｌ−０．２ｍｍ≦ｔ≦Ｌを満たすことであ
る。

【００７８】塗工ギャップは、塗布厚み、塗布液の粘度
等の条件で、適時選択するものである。

【００７９】ストライプ規制具２２は、塗布直後の塗膜
状態での塗布液２の挙動を規制するために設けられたも
ので、ストライプ規制具２２の厚みｔが、塗工ギャップ
Ｌ−０．２ｍｍより薄い場合、ストライプ規制具２２と
基材９との隙間に、塗布液が流れ込む等の問題が生じ、
安定したストライプ塗膜部１０の幅が得られなくなる。

【００８０】また、ストライプ規制具２２の厚みｔが、
塗工ギャップＬより厚い場合、基材９を押し込む形にな
り、基材の走行が不安定になる。すると、耳だれやスト
ライプ塗膜部１０の幅だけでなく、塗布厚みも不安定に
なる。

【００８１】従って、ストライプ規制具２２から基材９
までに、適度な隙間を設けることが、重要であり、通常
０．０１ｍｍから０．１ｍｍの範囲が最も好ましい。

【００８２】次に、本実施の形態２で説明したノズル１
００を用いたストライプ塗布装置において、ストライプ
規制具２２の厚みｔを変化させ、各厚みｔにおける、ス
トライプ無地部の幅及び耳だれの有無を調べた。次の
（実施例４）にて、その効果について説明する。

【００８３】（実施例４）本実施の形態２で説明したノ
ズルを用いて、せん断速度１０００ｓｅｃ^-1における粘
度が１５００ｃｐであるカルボキシルメチルセルロース
水溶液にカーボンを添加した塗布液を、基材（厚さ３０
μｍの銅箔）の表面に単位幅当たり０．１ｃｃ／ｃｍ／
ｓｅｃの流量で塗布した。

【００８４】ノズルはステンレス製で、３条ストライ
プ、各条のストライプ塗布幅４５ｍｍ、スリットギャッ
プ０．２５ｍｍとし、薄肉部の幅５ｍｍ、厚さ３ｍｍと
し、塗工ギャップＬは０．５ｍｍとした。

【００８５】ストライプ規制具はアルミ製で、幅２．５
ｍｍとし、厚みについては、０．２〜０．６ｍｍの間で
異なる５種類のもので、それぞれ塗布を行った。

【００８６】（実施例４）の５種類のストライプ規制具
Ａ〜Ｃを用いたノズルでストライプ塗布した場合につい
て、ストライプ無地部の幅及び耳だれの有無を比較した
結果が（表１）である。

【００８７】

【表１】 ストライプ規制具Ａを用いて塗布した場合のように、そ
の厚みが、Ｌ−０．２ｍｍより小さい場合、ストライプ
規制具による塗布液の挙動を規制する効果が薄れ、スト
ライプ塗布幅の両端で吐出された塗布液が、基材に向か
って拡がっていく。すると、塗布液がストライプ規制具
の前面に回り込んでいくため、無地部の幅が狭まってし
まう。液圧が開放されるため、耳だれが発生する。

【００８８】一方、ストライプ規制具Ｅを用いて塗布し
た場合のように、その厚みが、Ｌより大きい場合、スト
ライプ規制具で基材を押し込んでしまい、基材が吐出方
向に向かって、弓なりに撓んでしまう。すると、基材が
ノズル先端から離脱後、元に戻ろうとする力が作用し、
基材が振動するため、ストライプ塗膜部の両端が、基材
の走行方向で見ると波打つような形状となった。

【００８９】これらに対して、ストライプ規制具の厚み
ｔがＬ−０．２≦ｔ≦Ｌである場合、ストライプ規制具
による液溜まりの効果が作用し、耳だれの無い、安定し
た幅のストライプ塗膜部が形成できる。

【００９０】さらに、（実施例１）で説明したように、
各条毎にスリットギャップを調整することにより、塗布
幅方向全体のストライプ塗膜の膜厚バラツキが１％以内
のストライプ塗膜を得ることができる。

【００９１】本実施の形態２の効果を以下にまとめて説
明する。

【００９２】第１に、本発明のノズル１００のスリット
出口のストライプ無地部２０の位置に、つまりストライ
プ仕切り８の部分に相当する部位に、ストライプ無地部
２０の幅に相当するストライプ規制具２２を具備するこ
とで、ストライプ塗膜部１０の両端の耳だれを防止する
ことが可能となり、かつ、ストライプ塗膜部１０及びス
トライプ無地部２０の幅精度を向上させることができ
る。

【００９３】第２に、ストライプ規制具２２の厚みｔが
Ｌ−０．２ｍｍ≦ｔ≦Ｌである場合、ストライプ規制具
２２による塗布液２の挙動を規制する効果が作用し、耳
だれの無い、安定した幅のストライプ塗膜部１０が得ら
れる。

【００９４】（実施の形態３）図１６〜図１９を参照し
て、本発明にかかる第３の実施の形態について説明す
る。

【００９５】まず、本実施の形態３にかかる装置及びノ
ズルの構成について説明する。

【００９６】図１６は、本実施の形態３のノズル１００
に変位センサ３１を具備した状態の略図である。

【００９７】本実施の形態３にかかる装置の構成は、図
１に示すように、（実施の形態１）と同一である。

【００９８】本実施の形態３にかかるノズル１００の構
成については、基本的に（実施の形態１）と同一であ
る。

【００９９】なお、図１６に示すように、各スリットギ
ャップ調整手段１５の固定された位置に相当する部位の
各スリットギャップ調整手段固定部１６には、変位セン
サ３１，変位センサ可動部３２、ゼロ点調整固定部３
３、ゼロ点調整手段３４が設けられている。

【０１００】そのゼロ点調整調整手段固定部３３はスリ
ットギャップ調整手段固定部１６の下端に取り付けら
れ、前記ゼロ点調整手段３４はそのゼロ点調整手段固定
部３３にネジで連結されている。さらに、前記変位セン
サ可動部３２はそのゼロ点調整手段３４に固定され、さ
らに、前記変位センサ３１は変位センサ可動部３２に固
定されている。

【０１０１】この変位センサ３１は、可動部１８の移動
量を測定するためのものである。また、ゼロ点調整手段
３４は、変位センサ３１と可動部１８の間隙の初期調整
をするための手段である。

【０１０２】つまり、可動部１８は、スリットギャップ
調整手段固定部１６に保持されたスリットギャップ調整
手段１５によって、移動させられるが、その位置を変位
センサ３１によって検出する。そして、その変位センサ
３１の初期位置をゼロ調整するため、ゼロ点調整手段３
４がある。

【０１０３】なお、上ブロック１１に切り欠き部の設け
られていない構成のものも本発明に含まれる。つまり、
調整をスリット全体で行う場合も含む。

【０１０４】次に、本実施の形態３にかかるフィードバ
ックシステムの構成について説明する。

【０１０５】図１７、図２１は、本実施の形態３のスリ
ットギャップ調整手段１５と変位センサ３１を用いたフ
ィードバックシステムの略図である。また、図２０はそ
の制御のフローチャートである。

【０１０６】図１７、図２１に示すように、塗布乾燥後
（Ｓ１、Ｓ２）の膜厚を膜厚測定器３８により測定する
（Ｓ３）。その測定結果を受けてフィードバック制御手
段３６は、その膜厚がばらつきの許容範囲にあるかどう
かを判断する（Ｓ４）。

【０１０７】その判断の結果、ばらつきの許容範囲を越
えている場合は、フィードバック制御手段３６は、前記
スリットギャップ調整手段１５に、スリットギャップ調
整手段制御装置３５を介して、可動部１８が適切に移動
するように指示する（Ｓ５）。そのために、あらかじ
め、膜厚の調整厚さ量と、可動部１８の移動量との関係
を実験によって得ておく。たとえば膜厚が1μm厚すぎる
場合は、可動部１８を1.5μmスリットが薄くなる方向に
移動させる等のデータを得ておく。

【０１０８】なお、変位センサ３１はその可動部の移動
量を検出する。その結果をアンプ３７を介して、フィー
ドバック制御手段３６に検出結果を知らせる。フィード
バック制御手段３６はその変位センサ３１からの検出結
果に基づいて、さらに、可動部１８を移動させる。この
ようにフィードバック制御手段３６は可動部１８をフィ
ードバック制御して目標位置に移動させる。なお、図２
１において、３９は流量計、４０はフィルタ、４１はポ
ンプ、４２はタンク、４３は塗料、４４は乾燥機であ
る。

【０１０９】次に、本実施の形態の第１の特徴について
説明する。

【０１１０】本実施の形態の第１の特徴は、図１６に示
すように、スリットギャップ調整手段１５を備えたノズ
ルの可動部１８の直近に、可動部１８の移動量を測定す
る変位センサ３１を設けたことである。

【０１１１】スリットギャップをμｍオーダーで変化さ
せ、吐出量を微少に制御し、膜厚を均一にするために
は、可動部１８の変位量が正確に、かつ、迅速に測定さ
れることが重要である。

【０１１２】仮に、可動部１８から遠い位置に変位セン
サ３１を設けた場合、変位センサ３１の測定可能範囲が
拡がり、分解能が大きくなるため、微少な変位の測定が
困難になる。また、測定距離が長くなるため、可動部１
８の微少な変形動作を迅速に捉えることが困難になり、
応答性が低下する。

【０１１３】そこで、可動部１８の直近に、変位センサ
３１を設けることで、測定可能範囲が狭まり、分解能を
小さくすることや測定距離を短縮し、応答性を向上させ
ることが容易になり、可動部１８の変位量を正確に、か
つ、迅速に測定することが可能になる。

【０１１４】なお、変位センサ３１の測定可能範囲は、
１ｍｍ以内、分解能は０．５μｍ以下が望ましい。

【０１１５】次に、本実施の形態の第２の特徴について
説明する。

【０１１６】本実施の形態の第２の特徴は、上述したよ
うに、図１７に示すように、変位センサ３１から出力さ
れた数値を基準にして、スリットギャップ調整手段１５
にフィードバックがかかるようにしたことである。

【０１１７】本実施の形態では、スリットギャップ調整
手段１５をピエゾアクチュエータにした場合について説
明する。

【０１１８】一般的に、ピエゾアクチュエータは、電圧
で制御されるが、伸びる方向と縮む方向では、同じ電圧
でも変位量が異なるという特性があり、スリットギャッ
プ調整手段１５を設けるだけでは、吐出量を微少に制御
することは困難である。また、所定の変位量に達するま
でに時間がかかるため、短時間で膜厚を均一にすること
は困難である。

【０１１９】そこで、図１７に示すようなフィードバッ
クシステムを取り入れることで、ピエゾアクチュエータ
をどちらの方向でも高精度に制御できるようになり、吐
出量の微少な制御が容易になる。また、所定の変位量に
達するまでの時間が短縮されるため、短時間で膜厚を均
一にすることも容易になる。

【０１２０】次に、本実施の形態の第３の特徴について
説明する。

【０１２１】図１８は、本発明の実施の形態３における
変位センサ３１の取付状態を表すノズル１００の拡大断
面図である。

【０１２２】本実施の形態の第３の特徴は、図１８に示
すように、可動部１８の、スリットギャップ調整手段１
５が接触する面Ａ１と、スリットギャップ調整手段固定
部１６が固定される面Ａ２とで形成される角度αが９０
度であることである。

【０１２３】可動部１８が変形していない状態を初期値
とし、可動部１８の移動量を正確に測定するためには、
変位センサ３１の測定面Ａ３から、可動部１８の被測定
面でもあるＡ１までの距離Ｄを正確に測定しておく必要
があり、そのためには、Ａ１とＡ３が平行であることが
重要である。

【０１２４】Ａ１とＡ３が平行でないと変位センサ３１
で感知する電流値のばらつきが大きくなるため、正確な
測定が困難になる。

【０１２５】そこで、図１８に示すように、Ａ１とＡ２
で形成される角度を９０度にすることにより、平行度と
直角度を高精度に加工されたスリットギャップ調整手段
固定部１６に、変位センサ３１を取り付けるだけで、Ａ
１とＡ３が容易に平行になる。

【０１２６】なお、角度αの範囲は、８８゜≦α≦９２
゜が望ましい。

【０１２７】次に、本実施の形態の第４の特徴について
説明する。

【０１２８】図１９（ｂ）は、本発明の実施の形態３に
おける変位センサ可動部３２などを具備した場合のノズ
ルの拡大平面図である。

【０１２９】これに対して、比較のために、図１９
（ａ）に、そのような変位センサ３１の位置を調整する
変位センサ可動部３２，ゼロ点調整手段３４，ゼロ点調
整手段固定部３３などを全く具備しない場合のノズルの
拡大平面図を示した。

【０１３０】本実施の形態の第４の特徴は、図１９
（ｂ）に示すように、スリットギャップ調整手段固定部
１６に、変位センサ３１と可動部１８の間隙を一定量に
保つための変位センサ可動部３２を設けたことと、その
間隙量を初期値とするためのゼロ点調整手段３４を設け
たことである。

【０１３１】図１９（ａ）に示すようなノズルでは、複
数のスリットギャップ調整手段１５を使用しているが、
それぞれのスリットギャップ調整手段１５の長さは微妙
に異なるため、スリットギャップ調整手段固定部１６よ
り突き出す長さＤ１が不均一になる。

【０１３２】この状態のまま、変位センサ３１を取り付
けると、可動部１８との間隙量Ｄ２が不均一になるた
め、高精度な変位量の測定が不可能になる。

【０１３３】また、可動部１８が変形していない状態の
初期値を高精度に設定することも困難である。

【０１３４】そこで、図１９（ｂ）に示すように、スリ
ットギャップ調整手段固定部１６に、変位センサ可動部
３２を設けることで、Ｄ１が不均一であってもＤ２を均
一に設置することが可能になる。

【０１３５】そのために、変位センサ可動部３２を精度
良く移動させ、微調整できるゼロ点調整手段３４を設け
ている。それによって、可動部１８が変形していない状
態のＤ２を高精度に設定することが容易になる。

【０１３６】なお、非磁性の絶縁体で高精度な厚みのゼ
ロ点調整板３８を狭持しながら、微調整することが望ま
しい。

【０１３７】次に、本実施の形態３の効果を以下にまと
めて説明する。

【０１３８】第１に、本発明のノズル１００の可動部１
８の直近に、変位センサ３１を設け、スリットギャップ
調整手段１５にフィードバックをかけるようにしたこと
で、可動部１８の変位量を応答性良く、高精度に制御で
きるようになり、スリットギャップを調整して、塗布す
る膜厚を均一にすることが容易になる。

【０１３９】第２に、本発明のノズル１００の変位セン
サ３１を可動部１８と平行になる位置に設けたことと、
スリットギャップ調整手段固定部１６に、ゼロ点調整手
段を設けたことにより、変位センサ３１を簡単に、しか
も高精度に設置することが可能になる。

【０１４０】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明のストラ
イプ塗布装置を用い、各条毎にスリットギャップを調整
することによって、塗布幅方向全体に非常に均一なスト
ライプ塗布が可能となる。

【０１４１】また、適正な厚みのストライプ規制具を具
備することによって耳だれの無い、安定した幅のストラ
イプ塗膜部が形成できる。

【０１４２】さらに、可動部の直近に、変位センサを具
備し、フィードバックをかけるようにしたことによっ
て、スリットギャップの調整が容易になり、膜厚を均一
にすることが可能となる。

【０１４３】その結果、ストライプ塗布を必要とする製
品の歩留まりを大幅に向上でき、さらに、製品品質を格
段に向上できた

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる実施の形態の塗布装置における
塗布工程の概略図である。

【図２】本発明にかかる実施の形態のノズルの斜視図で
ある。

【図３】本発明にかかる実施の形態のノズルの断面図で
ある。

【図４】本発明にかかる実施の形態のノズルの先端部の
透視図である。

【図５】（ａ）従来のストライプ塗布装置によるノズル
先端変形状態の斜視図、（ｂ）従来のストライプ塗布装
置によるノズル先端変形後のストライプ塗膜部の断面
図、（ｃ）従来のストライプ塗布装置によるノズル先端
変形前のストライプ塗膜部の断面図である。

【図６】（ａ）本発明にかかる実施の形態のストライプ
塗布装置のノズル先端変形状態の斜視図、（ｂ）本発明
にかかる実施の形態のストライプ塗布装置によるノズル
先端変形後のストライプ塗膜部の断面図、（ｃ）本発明
にかかる実施の形態のストライプ塗布装置によるノズル
先端変形前のストライプ塗膜部の断面図である。

【図７】本発明にかかる実施の形態のストライプ塗布装
置による塗布状態の略図である。

【図８】本発明にかかる実施の形態２の特徴を表すノズ
ルの斜視図である。

【図９】本発明の実施の形態２の特徴を表すノズル先端
の拡大断面図である。

【図１０】（ａ）従来のストライプ塗布装置によるスト
ライプ塗膜部の断面図、（ｂ）本発明の実施の形態２の
ストライプ塗布装置によるストライプ塗膜部の断面図、
（ｃ）従来のストライプ塗布装置によるストライプ仕切
りを示す拡大平面図である。

【図１１】本発明（請求項７に対応）のストライプ規制
具の拡大断面図である。

【図１２】本発明（請求項８に対応）のストライプ規制
具の拡大平面図である。

【図１３】（ａ）本発明の（実施例１）におけるスリッ
トギャップ調整前のストライプ塗膜部の膜厚分布の測定
結果を示す図、（ｂ）本発明の（実施例１）におけるス
リットギャップ調整後のストライプ塗膜部の膜厚分布の
測定結果を示す図である。

【図１４】（ａ）本発明の（実施例２）におけるスリッ
トギャップ調整前のストライプ塗膜部の膜厚分布の測定
結果を示す図、（ｂ）本発明の（実施例２）におけるス
リットギャップ調整後のストライプ塗膜部の膜厚分布の
測定結果を示す図である。

【図１５】（ａ）本発明の（実施例３）におけるスリッ
トギャップ調整前のストライプ塗膜部の膜厚分布の測定
結果を示す図、（ｂ）本発明の（実施例３）におけるス
リットギャップ調整後のストライプ塗膜部の膜厚分布の
測定結果を示す図である。

【図１６】本発明にかかる実施の形態３の特徴を表すノ
ズルの斜視図である。

【図１７】本発明にかかる実施の形態３の特徴を表すフ
ィードバックシステムの概略図である。

【図１８】本発明の実施の形態３における変位センサの
取付位置を表すノズルの拡大断面図である。

【図１９】（ａ）本発明の実施の形態３における変位セ
ンサ可動部を具備しない場合のノズルの拡大平面図、
（ｂ）本発明の実施の形態３における変位センサ可動部
を具備した場合のノズルの拡大平面図である。

【図２０】本発明の図２１のフィードバックシステムの
フローチャートである。

【図２１】本発明にかかる実施の形態３の特徴を表すフ
ィードバックシステムの概略図である。

【符号の説明】

１ ストックタンク ２ 塗布液 ３ 給液ポンプ ４ フィルター ５ 流量計 ６ マニホールド ７ スリット ８ ストライプ仕切り ９ 基材 １０ ストライプ塗膜部 １１ 上ブロック １２ 下ブロック １３Ｌ、１３Ｒ サイドブロック １４ 塗布液供給配管 １５ スリットギャップ調整手段 １６ スリットギャップ調整手段固定部 １７ 切り欠き部 １８ 可動部 １９ 薄肉部 ２０ ストライプ無地部 ２１ リップ ２２ ストライプ規制具 ３１ 変位センサ ３２ 変位センサ可動部 ３３ ゼロ点調整手段 ３４ ゼロ点調整手段固定部 ３５ スリットギャップ調整手段制御装置 ３６ フィードバック制御装置 ３７ アンプ ３８ 膜厚測定器 １００ ノズル １０１ 切り欠き部の無いノズル １０２ ストライプ規制具の無いノズル

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D075 AC04 AC72 AC92 AC93 AC95 DA04 DB31 DC27 EA45 4F033 AA14 BA03 CA05 EA06 GA03 4F041 AA12 CA02 CA13 CA16 CA22 4F042 AA22 BA06 BA08 BA12 BA25 CB08

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも２条以上のストライプを塗布
   するための塗布装置において、 ノズル先端に設けられた複数のスリット出口と、 前記スリット出口を形成する、上下一対のブロックの先
   端部と、 それら複数のスリット出口を仕切るストライプ仕切り
   と、 それらのストライプ仕切りの位置に対応して、少なくと
   もいずれかのブロックの先端部に、塗布液の吐出方向に
   向かって、形成された切り欠き部と、 それらの切り欠き部が設けられたブロックの先端部に、
   それらの切り欠き部と薄肉部によって形成された可動部
   と、 それらの可動部を移動させることによって、スリットギ
   ャップを調整できるスリットギャップ調整手段とを備え
   たことを特徴とするストライプ塗布装置。
2. 【請求項２】前記切り欠き部の幅は、０．０１ｍｍ以
   上、且つストライプ無地部の幅未満であり、前記切り欠
   き部の長さは、前記可動部を形成する前記薄肉部から前
   記スリット出口までであることを特徴とする請求項１に
   記載のストライプ塗布装置。
3. 【請求項３】 前記ストライプ仕切りは、弾性体を含む
   構造であることを特徴とする請求項１に記載のストライ
   プ塗布装置。
4. 【請求項４】 前記ストライプ仕切りの幅は、ストライ
   プ無地部の幅に相当し、前記ストライプ仕切りの長さ
   は、前記スリットの入口からスリットの出口までである
   ことを特徴とする請求項１に記載のストライプ塗布装
   置。
5. 【請求項５】 複数のスリット出口と、それら複数のス
   リット出口を仕切るストライプ仕切りとを有するノズル
   を備え、少なくとも２条以上のストライプを塗布するた
   めの塗布装置において、 前記スリット出口にある、前記ストライプ仕切りの前面
   に、ストライプ無地部の幅に相当する幅のストライプ規
   制具が設けられ、前記ストライプ規制具の厚みをｔ、前
   記スリット出口から基材までの距離をＬとしたとき、Ｌ
   −０．２ｍｍ≦ｔ≦Ｌが満たされることを特徴とするス
   トライプ塗布装置。
6. 【請求項６】前記ストライプ規制具は、前記ノズルのリ
   ップ先端部を覆う形状であることを特徴とする請求項５
   に記載のストライプ塗布装置。
7. 【請求項７】前記ストライプ規制具は、前記ノズルのリ
   ップ面に密着し、かつ弾性を有する板であることを特徴
   とする請求項５に記載のストライプ塗布装置。
8. 【請求項８】前記ストライプ規制具は、スリット方向の
   断面形状が、塗布液の吐出方向を基準として、リップ面
   側を長辺、基材側を短辺とする台形であることを特徴と
   する請求項５に記載のストライプ塗布装置。
9. 【請求項９】 スリット出口を形成する上下一対のブロ
   ックのいずれかの先端に、薄肉部によって形成された可
   動部を移動させることによって、スリットギャップを調
   整できるスリットギャップ調整手段を有するノズルを備
   え、少なくとも２条以上のストライプを塗布するための
   塗布装置において、 前記可動部の移動量を測定する変位センサと、 前記変位センサから出力された数値を基準にして、前記
   スリットギャップ調整手段はフィードバック制御を行う
   ことを特徴とするストライプ塗布装置。
10. 【請求項１０】 前記可動部の、前記スリットギャップ
    調整手段と接触する面と、前記ブロックの、前記スリッ
    トギャップ調整手段を固定するスリットギャップ調整手
    段固定部を固定するための面と、で形成される角度α
    が、実質上９０度であることを特徴とする請求項９に記
    載のストライプ塗布装置。
11. 【請求項１１】 前記スリットギャップ調整手段を固定
    するスリットギャップ調整手段固定部に、ゼロ点調整手
    段固定部が設けられ、そのゼロ点調整手段固定部に、変
    位センサ可動部が移動可能に取り付けられ、その変位セ
    ンサ可動部に前記変位センサが取り付けられており、 前記変位センサ可動部は、ゼロ点調整手段によって移動
    可能となっており、 前記変位センサと前記可動部の間隙量はそのゼロ点調整
    手段によって初期化されることを特徴とする請求項９に
    記載のストライプ塗布装置。
12. 【請求項１２】 請求項１又は９に記載のストライプ塗
    布装置におけるスリットギャップを 調整するスリット
    ギャップ調整方法において、 予め、塗布膜の調整量と、前記可動部の移動量との関係
    を用意しておき、 前記塗布後の塗布膜の厚さを検出し、 その厚さから厚さ調整量を演算し、前記関係に基づい
    て、前記可動部の移動量を演算し、 その可動部の移動量に基づいて、前記可動部を前記スリ
    ットギャップ調整手段によって移動させる、 ことを特徴とするストライプ塗布装置におけるスリット
    ギャップ調整方法。