JP2003145007A - スリットダイコーティング装置および塗工方法 - Google Patents
スリットダイコーティング装置および塗工方法Info
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- Coating Apparatus (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】塗工膜に高精度な均一性が要求されるＣＦへの
レジストの塗工や、ＬＣＤへの反射防止レジストの塗工
を連続塗工あるいは間歇塗工をおこなうフラットダイヘ
ッドのスリットダイコーティング装置とそれを用いて均
一に塗工する塗工方法を提供することが望まれていた。 【解決手段】スリットダイコート装置において、フラッ
トダイのインキの吐出口へ向けてインキに接するスリッ
トを形成する平坦部分を動かせる構造のスリットフラッ
プ部とを設け、スリットフラップ部を動かしてスリット
の隙間をダイヘッドの横方向ごとに調整可能な機構を有
するスリット可変機構部とを設けたスリットダイコーテ
ィング装置を提供する。
レジストの塗工や、ＬＣＤへの反射防止レジストの塗工
を連続塗工あるいは間歇塗工をおこなうフラットダイヘ
ッドのスリットダイコーティング装置とそれを用いて均
一に塗工する塗工方法を提供することが望まれていた。 【解決手段】スリットダイコート装置において、フラッ
トダイのインキの吐出口へ向けてインキに接するスリッ
トを形成する平坦部分を動かせる構造のスリットフラッ
プ部とを設け、スリットフラップ部を動かしてスリット
の隙間をダイヘッドの横方向ごとに調整可能な機構を有
するスリット可変機構部とを設けたスリットダイコーテ
ィング装置を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スリットダイコー
ティング装置を用いて塗工するスリットダイコーティン
グ装置と塗工方法に関する。
ティング装置を用いて塗工するスリットダイコーティン
グ装置と塗工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の印刷分野における塗工は、インキ
や乳剤等の塗工精度を向上する方向でニーズが強まり、
さまざまな精密塗工方式が実用に供されている。精密塗
工は、例えばグラビアコート、リバースロールコート、
スライドコート、バーコート、ウェットダイコート、エ
アーナイフコート、カーテンコート等の連続的に塗工を
おこなう方式が実用化されている。
や乳剤等の塗工精度を向上する方向でニーズが強まり、
さまざまな精密塗工方式が実用に供されている。精密塗
工は、例えばグラビアコート、リバースロールコート、
スライドコート、バーコート、ウェットダイコート、エ
アーナイフコート、カーテンコート等の連続的に塗工を
おこなう方式が実用化されている。
【０００３】上記精密塗工方式は、連続したフィルム上
や紙上に均一な塗工膜を形成する目的で使用されている
ことが多い。いわゆるウェブと言われるモノに連続塗工
方式が多い。
や紙上に均一な塗工膜を形成する目的で使用されている
ことが多い。いわゆるウェブと言われるモノに連続塗工
方式が多い。
【０００４】しかしながら、前記精密塗工方式だけで均
一な塗工膜を得られる場合は少ない。例えば、インキや
乳剤などの塗工液の物理特性や、塗工液の混合や化合な
どの反応がある場合には化学特性によって塗工液の粘度
が変化したり、反応ガスの発生や粒度分布の変性などが
発生し、結果として均一な塗工膜が得られないという現
象がある。これらは送液システム技術として調液機構や
送液機構、脱泡機構や濾過機構、さらに各々の機構の洗
浄機構や洗浄方法、環境からの異物の進入や混入を防止
するクリーン化などを考慮しなくてはならない場合が多
い。
一な塗工膜を得られる場合は少ない。例えば、インキや
乳剤などの塗工液の物理特性や、塗工液の混合や化合な
どの反応がある場合には化学特性によって塗工液の粘度
が変化したり、反応ガスの発生や粒度分布の変性などが
発生し、結果として均一な塗工膜が得られないという現
象がある。これらは送液システム技術として調液機構や
送液機構、脱泡機構や濾過機構、さらに各々の機構の洗
浄機構や洗浄方法、環境からの異物の進入や混入を防止
するクリーン化などを考慮しなくてはならない場合が多
い。
【０００５】一方、フィルムや紙などのウェブを搬送す
る機構やコーティングヘッド機構においても均一な塗工
膜を得るために搬送速度の均一性が要求されたり、各々
の機構の機械精度が要求されたり、運転にともなう機械
振動による不正振動が発生し塗工膜の均一性に影響を与
えることも知られている。
る機構やコーティングヘッド機構においても均一な塗工
膜を得るために搬送速度の均一性が要求されたり、各々
の機構の機械精度が要求されたり、運転にともなう機械
振動による不正振動が発生し塗工膜の均一性に影響を与
えることも知られている。
【０００６】また、ウェブへ連続塗工する場合、運転を
開始し塗工の始まり部分と、運転を終了する塗工の終わ
り部分に塗工の不安定な部分があることも知られてい
る。さらに塗工の幅方向の両端部分は塗工の中央部分よ
り塗工膜厚が厚い場合や、薄い場合があることが知られ
ている。
開始し塗工の始まり部分と、運転を終了する塗工の終わ
り部分に塗工の不安定な部分があることも知られてい
る。さらに塗工の幅方向の両端部分は塗工の中央部分よ
り塗工膜厚が厚い場合や、薄い場合があることが知られ
ている。
【０００７】また、連続塗工方式では他に、塗工膜を間
歇的に塗工する間歇コーティング方式がある。連続ウェ
ブ上に同じ形を繰返し塗工するパート塗工式のスリット
ダイコートやストライプダイコートがある。前記と同じ
塗工のエッジ部分に不均一な部分が含まれることが多
い。間歇塗工方式では枚葉塗工方式が知られており、ス
リットダイコートやスピンコータなどが知られているが
同様にエッジ部分に不均一な部分が含まれることが多
い。
歇的に塗工する間歇コーティング方式がある。連続ウェ
ブ上に同じ形を繰返し塗工するパート塗工式のスリット
ダイコートやストライプダイコートがある。前記と同じ
塗工のエッジ部分に不均一な部分が含まれることが多
い。間歇塗工方式では枚葉塗工方式が知られており、ス
リットダイコートやスピンコータなどが知られているが
同様にエッジ部分に不均一な部分が含まれることが多
い。
【０００８】このように、特に間歇塗工方式で枚葉塗工
をおこなうものでスリットダイでエレクトロニクス分野
のＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）やＬＣＤ（液
晶ディスプレイ）、ＣＦ（カラーフィルタ：カラーＬＣ
Ｄを構成するカラーフィルタ）へ液剤を塗工する方式で
は、塗工の始まりと終わり部分の不均一性と塗工のエッ
ジ部の不均一性から、精密な塗工膜を必要とするエレク
トロニクス関連分野では使用は不可能という問題があっ
た。また、近年、印刷分野においてもより精密な塗工が
求められており従来技術では対応不可能という問題があ
った。
をおこなうものでスリットダイでエレクトロニクス分野
のＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）やＬＣＤ（液
晶ディスプレイ）、ＣＦ（カラーフィルタ：カラーＬＣ
Ｄを構成するカラーフィルタ）へ液剤を塗工する方式で
は、塗工の始まりと終わり部分の不均一性と塗工のエッ
ジ部の不均一性から、精密な塗工膜を必要とするエレク
トロニクス関連分野では使用は不可能という問題があっ
た。また、近年、印刷分野においてもより精密な塗工が
求められており従来技術では対応不可能という問題があ
った。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、特にエレクトロニクス関連分野におけるよう
に、塗工膜に高精度な均一性が要求されるＣＦへのレジ
ストの塗工や、ＬＣＤへの反射防止レジストの塗工を連
続塗工あるいは間歇塗工をおこなうフラットダイヘッド
のスリットダイコーティング装置とそれを用いて均一に
塗工する塗工方法を提供することにある。
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、特にエレクトロニクス関連分野におけるよう
に、塗工膜に高精度な均一性が要求されるＣＦへのレジ
ストの塗工や、ＬＣＤへの反射防止レジストの塗工を連
続塗工あるいは間歇塗工をおこなうフラットダイヘッド
のスリットダイコーティング装置とそれを用いて均一に
塗工する塗工方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１の発明では、フラット
ダイヘッドのスリットからインキを押し出して塗工する
スリットダイコート装置において、前記フラットダイの
インキの吐出口へ向けてインキに接するスリットを形成
する平坦部分を動かせる構造のスリットフラップ部とを
設け、スリットフラップ部を動かしてスリットの隙間を
ダイヘッドの横方向ごとに調整可能な機構を有するスリ
ット可変機構部とを設けたことを特徴とするスリットダ
イコーティング装置としたものである。これにより、塗
工液の量をダイヘッドの横方向ごとに調整することがで
きるので塗工膜の厚さを変更することができる様になる
ものである。
を達成するために、まず請求項１の発明では、フラット
ダイヘッドのスリットからインキを押し出して塗工する
スリットダイコート装置において、前記フラットダイの
インキの吐出口へ向けてインキに接するスリットを形成
する平坦部分を動かせる構造のスリットフラップ部とを
設け、スリットフラップ部を動かしてスリットの隙間を
ダイヘッドの横方向ごとに調整可能な機構を有するスリ
ット可変機構部とを設けたことを特徴とするスリットダ
イコーティング装置としたものである。これにより、塗
工液の量をダイヘッドの横方向ごとに調整することがで
きるので塗工膜の厚さを変更することができる様になる
ものである。
【００１１】請求項２の発明では、前記スリットフラッ
プ部に、スリットフラップ部を可変する力を受ける作用
点をダイヘッドの横方向に複数設けるとともに、前記ス
リット可変機構部に、スリットフラップ部の作用点に対
応して複数設ける事によりスリットフラップ部を動かし
てスリットの隙間をダイヘッドの横方向ごとに調整可能
な機構を有するスリット可変機構部を構成したことを特
徴とする請求項１記載のスリットダイコーティング装置
としたものである。これにより、具体的に塗工液の量を
ダイヘッドの横方向ごとに細かく調整する方法を提供す
ることが可能になる。
プ部に、スリットフラップ部を可変する力を受ける作用
点をダイヘッドの横方向に複数設けるとともに、前記ス
リット可変機構部に、スリットフラップ部の作用点に対
応して複数設ける事によりスリットフラップ部を動かし
てスリットの隙間をダイヘッドの横方向ごとに調整可能
な機構を有するスリット可変機構部を構成したことを特
徴とする請求項１記載のスリットダイコーティング装置
としたものである。これにより、具体的に塗工液の量を
ダイヘッドの横方向ごとに細かく調整する方法を提供す
ることが可能になる。
【００１２】請求項３の発明では、請求項１または２記
載のスリットダイコーティング装置において、コーティ
ング直前の被塗工物の表面までの距離をダイヘッドの基
準点からの距離を計測するベース距離計測部と、塗工直
後にフラットダイから塗工されたインキ表面までを前記
ダイヘッドの基準点からの距離を計測する塗工距離計測
部とをダイヘッドの横方向ごとに設け、ベース距離と塗
工距離から被塗工物へ塗工した膜厚を演算する膜厚演算
部とを設け、膜厚演算部で得られた膜厚データとあらか
じめ記憶してある所望の塗工膜厚とを比較してスリット
の隙間をダイヘッドの横方向ごとに可変して塗工膜厚を
フィードバック制御するスリット隙間フィードバック制
御部とを付加して設けたことを特徴とするスリットダイ
コーティング装置としたものである。これにより、特に
横方向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工膜の不均一
性や機械特性による繰返し発生する塗工膜の不均一性が
起きやすい塗工部分であっても、常に正確で且つ均一な
塗工膜を得ることができるようになる。
載のスリットダイコーティング装置において、コーティ
ング直前の被塗工物の表面までの距離をダイヘッドの基
準点からの距離を計測するベース距離計測部と、塗工直
後にフラットダイから塗工されたインキ表面までを前記
ダイヘッドの基準点からの距離を計測する塗工距離計測
部とをダイヘッドの横方向ごとに設け、ベース距離と塗
工距離から被塗工物へ塗工した膜厚を演算する膜厚演算
部とを設け、膜厚演算部で得られた膜厚データとあらか
じめ記憶してある所望の塗工膜厚とを比較してスリット
の隙間をダイヘッドの横方向ごとに可変して塗工膜厚を
フィードバック制御するスリット隙間フィードバック制
御部とを付加して設けたことを特徴とするスリットダイ
コーティング装置としたものである。これにより、特に
横方向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工膜の不均一
性や機械特性による繰返し発生する塗工膜の不均一性が
起きやすい塗工部分であっても、常に正確で且つ均一な
塗工膜を得ることができるようになる。
【００１３】請求項４の発明では、請求項１〜３何れか
記載のスリットダイコーティング装置において、塗工膜
厚の過渡特性をあらかじめ記憶し所望の塗工膜厚になる
ようにスリット隙間を制御するデータを記憶してある特
性データテーブル部とを設けてスリット隙間をフィード
フォワード制御するスリット隙間フィードフォワード制
御部とを付加して設けたことを特徴とするスリットダイ
コーティング装置としたものである。これにより、特に
横方向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工膜の不均一
性が起きやすい塗工部分であっても、過去の塗工結果に
基づき簡易で正確で且つ均一な塗工膜を得ることができ
るようになる。
記載のスリットダイコーティング装置において、塗工膜
厚の過渡特性をあらかじめ記憶し所望の塗工膜厚になる
ようにスリット隙間を制御するデータを記憶してある特
性データテーブル部とを設けてスリット隙間をフィード
フォワード制御するスリット隙間フィードフォワード制
御部とを付加して設けたことを特徴とするスリットダイ
コーティング装置としたものである。これにより、特に
横方向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工膜の不均一
性が起きやすい塗工部分であっても、過去の塗工結果に
基づき簡易で正確で且つ均一な塗工膜を得ることができ
るようになる。
【００１４】請求項５の発明では、請求項１〜４何れか
記載のスリットダイコーティング装置において、スリッ
トフラップ部のインキ圧力をダイヘッドの横方向ごとに
計測する圧力計測部とを設け、この圧力計測部で得られ
る圧力計測データの変動を感知して塗工膜厚が所望の膜
厚になるようにスリット隙間をダイヘッドの横方向ごと
にフィードフォワード制御するスリット隙間フィードフ
ォワード制御部とを付加して設けたことを特徴とするス
リットダイコーティング装置としたものである。これに
より、特に横方向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工
膜の不均一性が起きやすい塗工部分であっても、過去の
塗工結果に基づき簡易で正確で且つ均一な塗工膜を得る
ことができるようになる。
記載のスリットダイコーティング装置において、スリッ
トフラップ部のインキ圧力をダイヘッドの横方向ごとに
計測する圧力計測部とを設け、この圧力計測部で得られ
る圧力計測データの変動を感知して塗工膜厚が所望の膜
厚になるようにスリット隙間をダイヘッドの横方向ごと
にフィードフォワード制御するスリット隙間フィードフ
ォワード制御部とを付加して設けたことを特徴とするス
リットダイコーティング装置としたものである。これに
より、特に横方向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工
膜の不均一性が起きやすい塗工部分であっても、過去の
塗工結果に基づき簡易で正確で且つ均一な塗工膜を得る
ことができるようになる。
【００１５】請求項６の発明では、フラットダイヘッド
のスリットからインキを押し出す塗工方法において、前
記フラットダイのインキの吐出口へ向けてインキに接す
るスリットを形成する平坦部分をダイヘッドの横方向に
複数設けた作用点にスリット可変機構が作用する事によ
り動かせる構造のスリットフラップ部を動かしてスリッ
トの隙間をダイヘッドの横方向ごとに調整しながら塗工
することを特徴とする塗工方法としたものである。これ
により、塗工液の量をダイヘッドの横方向ごとに調整す
ることができるので均一な塗工膜の形成を容易にすると
ともにその厚さを変更を容易にすることができる様にな
るものである。
のスリットからインキを押し出す塗工方法において、前
記フラットダイのインキの吐出口へ向けてインキに接す
るスリットを形成する平坦部分をダイヘッドの横方向に
複数設けた作用点にスリット可変機構が作用する事によ
り動かせる構造のスリットフラップ部を動かしてスリッ
トの隙間をダイヘッドの横方向ごとに調整しながら塗工
することを特徴とする塗工方法としたものである。これ
により、塗工液の量をダイヘッドの横方向ごとに調整す
ることができるので均一な塗工膜の形成を容易にすると
ともにその厚さを変更を容易にすることができる様にな
るものである。
【００１６】請求項７の発明では、請求項６記載の塗工
方法において、コーティング直前の被塗工物の表面まで
の距離をダイヘッドの基準点からの距離をダイヘッドの
横方向ごとに計測するとともに、塗工直後にフラットダ
イから塗工されたインキ表面までを前記ダイヘッドの基
準点からの距離をダイヘッドの横方向ごとに計測し、ベ
ース距離と塗工距離から被塗工物へ塗工した膜厚を演算
し、膜厚演算部で得られた膜厚データとあらかじめ記憶
してある所望の塗工膜厚とを比較してスリットの隙間を
ダイヘッドの横方向ごとに可変して塗工膜厚をフィード
バック制御すること特徴とする塗工方法としたものであ
る。これにより、特に横方向の端部や塗工の始まりと終
わりの塗工膜の不均一性や機械特性による繰返し発生す
る塗工膜の不均一性が起きやすい塗工部分であっても、
常に正確で且つ均一に塗工することができるようにな
る。
方法において、コーティング直前の被塗工物の表面まで
の距離をダイヘッドの基準点からの距離をダイヘッドの
横方向ごとに計測するとともに、塗工直後にフラットダ
イから塗工されたインキ表面までを前記ダイヘッドの基
準点からの距離をダイヘッドの横方向ごとに計測し、ベ
ース距離と塗工距離から被塗工物へ塗工した膜厚を演算
し、膜厚演算部で得られた膜厚データとあらかじめ記憶
してある所望の塗工膜厚とを比較してスリットの隙間を
ダイヘッドの横方向ごとに可変して塗工膜厚をフィード
バック制御すること特徴とする塗工方法としたものであ
る。これにより、特に横方向の端部や塗工の始まりと終
わりの塗工膜の不均一性や機械特性による繰返し発生す
る塗工膜の不均一性が起きやすい塗工部分であっても、
常に正確で且つ均一に塗工することができるようにな
る。
【００１７】請求項８の発明では、請求項６または７記
載の塗工方法において、塗工膜厚の過渡特性をあらかじ
め記憶し所望の塗工膜厚になるようにスリット隙間を制
御するデータを記憶してある特性データテーブル部によ
りスリット隙間をフィードフォワード制御することを特
徴とする塗工方法としたものである。これにより、特に
横方向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工膜の不均一
性が起きやすい塗工部分であっても、過去の塗工結果に
基づき簡易で正確で且つ均一な塗工をすることができる
ようになる。
載の塗工方法において、塗工膜厚の過渡特性をあらかじ
め記憶し所望の塗工膜厚になるようにスリット隙間を制
御するデータを記憶してある特性データテーブル部によ
りスリット隙間をフィードフォワード制御することを特
徴とする塗工方法としたものである。これにより、特に
横方向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工膜の不均一
性が起きやすい塗工部分であっても、過去の塗工結果に
基づき簡易で正確で且つ均一な塗工をすることができる
ようになる。
【００１８】請求項９の発明では、請求項６〜８何れか
記載の塗工方法において、スリットフラップ部のインキ
圧力をダイヘッドの横方向ごとに計測し、この圧力計測
部で得られる圧力計測データの変動を感知して塗工膜厚
が所望の膜厚になるようにスリット隙間をダイヘッドの
横方向ごとにフィードフォワード制御することを特徴と
する塗工方法としたものである。これにより、特に横方
向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工膜の不均一性が
起きやすい塗工部分であっても、過去の塗工結果に基づ
き簡易で正確で且つ均一な塗工をすることができるよう
になる。
記載の塗工方法において、スリットフラップ部のインキ
圧力をダイヘッドの横方向ごとに計測し、この圧力計測
部で得られる圧力計測データの変動を感知して塗工膜厚
が所望の膜厚になるようにスリット隙間をダイヘッドの
横方向ごとにフィードフォワード制御することを特徴と
する塗工方法としたものである。これにより、特に横方
向の端部や塗工の始まりと終わりの塗工膜の不均一性が
起きやすい塗工部分であっても、過去の塗工結果に基づ
き簡易で正確で且つ均一な塗工をすることができるよう
になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
用いながら説明する。本発明のスリットダイコーティン
グ装置は、線状の吐出口から平行にインキを押出し、板
状物の表面に塗工液を供給するコーティング装置の事で
あり、各種の方式がある。例えば、図１の側断面で表し
た概略図に示すように、例えば連続塗工方式で塗工ロー
ル（１）にウェブ（２）が矢印（３）の方向に搬送され
スリットダイヘッドからでた塗工液はビード（４ｄ）を
形成し、ウェブ（２）上に塗工された状態（５）の様に
なる。
用いながら説明する。本発明のスリットダイコーティン
グ装置は、線状の吐出口から平行にインキを押出し、板
状物の表面に塗工液を供給するコーティング装置の事で
あり、各種の方式がある。例えば、図１の側断面で表し
た概略図に示すように、例えば連続塗工方式で塗工ロー
ル（１）にウェブ（２）が矢印（３）の方向に搬送され
スリットダイヘッドからでた塗工液はビード（４ｄ）を
形成し、ウェブ（２）上に塗工された状態（５）の様に
なる。
【００２０】塗工液は、固定ブロック（１１ａ）の塗工
液入口（４ａ）から供給されて液だまり（４ｂ）を通り
スリット（４ｃ）を通りヘッド（ダイヘッド）部分の吐
出口から出てビード（４ｄ）となる。このときスリット
（４ｃ）は、可変スリットブロック（１１ｂ）で隙間が
可変する。ここの可変スリットブロックは請求項ではス
リットフラップ部と称しているものであり、液だまりと
吐出口を結ぶスリットの壁を形成しているものであり、
スリットの一方もしくは両方の壁を形成し、移動できる
ものであればどの様なものでも構わない。
液入口（４ａ）から供給されて液だまり（４ｂ）を通り
スリット（４ｃ）を通りヘッド（ダイヘッド）部分の吐
出口から出てビード（４ｄ）となる。このときスリット
（４ｃ）は、可変スリットブロック（１１ｂ）で隙間が
可変する。ここの可変スリットブロックは請求項ではス
リットフラップ部と称しているものであり、液だまりと
吐出口を結ぶスリットの壁を形成しているものであり、
スリットの一方もしくは両方の壁を形成し、移動できる
ものであればどの様なものでも構わない。
【００２１】可変ベースブロック（１１ｃ）は、可変機
構部を形成しており、可変スリットブロック（１１ｂ）
の先端付近に連結バー（１１ｃ１）と強力バー（１１ｃ
２）下端付近に接続されている。強力バー（１１ｃ２）
の最下端は、支点として可変ベースブロック（１１ｃ）
下端に接続されている。強力バー（１１ｃ２）の上端
は、力点として左右に動かせるようになっている（１３
ａ）。
構部を形成しており、可変スリットブロック（１１ｂ）
の先端付近に連結バー（１１ｃ１）と強力バー（１１ｃ
２）下端付近に接続されている。強力バー（１１ｃ２）
の最下端は、支点として可変ベースブロック（１１ｃ）
下端に接続されている。強力バー（１１ｃ２）の上端
は、力点として左右に動かせるようになっている（１３
ａ）。
【００２２】連結バー（１１ｃ１）は、強力バー（１１
ｃ２）の下端付近に接続され作用点となっている。支点
と力点までの距離と、支点と作用点までの距離の比は１
０：１程度にすることで力点（１３ａ）を大きく動かし
ても連結バー（１１ｃ１）の動きは小さいが大きな力で
動かせるようになる（１３ｂ）。連結バー（１１ｃ１）
につながるスリットの隙間を精緻に動かすことができる
（１３ｂ）。
ｃ２）の下端付近に接続され作用点となっている。支点
と力点までの距離と、支点と作用点までの距離の比は１
０：１程度にすることで力点（１３ａ）を大きく動かし
ても連結バー（１１ｃ１）の動きは小さいが大きな力で
動かせるようになる（１３ｂ）。連結バー（１１ｃ１）
につながるスリットの隙間を精緻に動かすことができる
（１３ｂ）。
【００２３】可変スリットブロック（１１ｂ）の下端は
可変スリットとなっており連結バー（１１ｃ１）の動き
とほぼ同じ動きとなる（１３ｃ）。強力バー（１１ｃ
２）の上端の力点を左右に動かすには、力点部にボール
ネジ（１１ｃ３）を使用し、ボールネジ（１１ｃ３）を
回転駆動するギヤヘッド（１２ａ）とモータ（１２ａ
１）でおこなう。例えば、ボールネジ（１１ｃ３）は、
１回転あたり０．５［ｍｍ］〜１．０［ｍｍ］の送りピ
ッチとし、ギヤヘッド（１２ａ）は、減速比１２０：１
〜６００：１程度とし、モータ（１２ａ１）は、１回転
あたり１０パルス〜６０パルスのパルスモータとするこ
とで、モータ１パルスあたりの可変スリットブロック
（１１ｂ）の下端の可変スリットの動き（１３ｃ）は、
０．１５［μｍ］〜０．０１［μｍ］となる。
可変スリットとなっており連結バー（１１ｃ１）の動き
とほぼ同じ動きとなる（１３ｃ）。強力バー（１１ｃ
２）の上端の力点を左右に動かすには、力点部にボール
ネジ（１１ｃ３）を使用し、ボールネジ（１１ｃ３）を
回転駆動するギヤヘッド（１２ａ）とモータ（１２ａ
１）でおこなう。例えば、ボールネジ（１１ｃ３）は、
１回転あたり０．５［ｍｍ］〜１．０［ｍｍ］の送りピ
ッチとし、ギヤヘッド（１２ａ）は、減速比１２０：１
〜６００：１程度とし、モータ（１２ａ１）は、１回転
あたり１０パルス〜６０パルスのパルスモータとするこ
とで、モータ１パルスあたりの可変スリットブロック
（１１ｂ）の下端の可変スリットの動き（１３ｃ）は、
０．１５［μｍ］〜０．０１［μｍ］となる。
【００２４】ここで連結バー（１１ｃ１）や強力バー
（１１ｃ２）、ボールネジ（１１ｃ３）などの接続ポイ
ントは、ガタのないように精度を上げたり、プリプレッ
シャーをかけてガタや弾性変形を極力小さくすることが
望ましい。同様にギヤヘッド（１２ａ）は、ガタのない
ノンバックラッシュ型などが望ましい。もちろん、この
様なスリットフラップを移動させる仕組全体を称して請
求項ではスリット可変機構部と称しているが、もちろん
この様な機構に限らず、電気的制御によりなしうる構成
のスリット可変機構部でも構わない。
（１１ｃ２）、ボールネジ（１１ｃ３）などの接続ポイ
ントは、ガタのないように精度を上げたり、プリプレッ
シャーをかけてガタや弾性変形を極力小さくすることが
望ましい。同様にギヤヘッド（１２ａ）は、ガタのない
ノンバックラッシュ型などが望ましい。もちろん、この
様なスリットフラップを移動させる仕組全体を称して請
求項ではスリット可変機構部と称しているが、もちろん
この様な機構に限らず、電気的制御によりなしうる構成
のスリット可変機構部でも構わない。
【００２５】スリットの隙間を計測する隙間計測部とイ
ンキ圧力を計測する圧力計測部は、他の部分に設けても
良いが、一般的には固定ブロック（１１ａ）に設けるよ
うにする。隙間計測部は、他の部分に設けても良いが、
一般的には隙間センサ１（２１ａ）を連結バー（１１ｃ
１）に対向する位置付近に設けるようにする。隙間セン
サ１（２１ａ）の先端は、スリット（４ｃ）部分に出っ
張らないように固定ブロック（１１ａ）のスリット内面
と同一平面になるように配置する。隙間センサ１（２１
ａ）は、距離計測精度０．０５［μｍ］〜０．１［μ
ｍ］程度の静電容量型の距離センサなどを使用する。
ンキ圧力を計測する圧力計測部は、他の部分に設けても
良いが、一般的には固定ブロック（１１ａ）に設けるよ
うにする。隙間計測部は、他の部分に設けても良いが、
一般的には隙間センサ１（２１ａ）を連結バー（１１ｃ
１）に対向する位置付近に設けるようにする。隙間セン
サ１（２１ａ）の先端は、スリット（４ｃ）部分に出っ
張らないように固定ブロック（１１ａ）のスリット内面
と同一平面になるように配置する。隙間センサ１（２１
ａ）は、距離計測精度０．０５［μｍ］〜０．１［μ
ｍ］程度の静電容量型の距離センサなどを使用する。
【００２６】圧力計測部は、他の部分に設けても良い
が、一般的には２個〜４個程度を隙間センサ１（２１
ａ）と縦の同一線上に配置するようにする。例えば、圧
力センサ１ａ（３１ａ）から圧力センサ４ａ（３４ａ）
を配置する。圧力センサ１ａ（３１ａ）から圧力センサ
４ａ（３４ａ）の先端は、他の部分に設けても良いが、
一般的にはスリット（４ｃ）部分に出っ張らないように
固定ブロック（１１ａ）のスリット内面と同一平面にな
るように配置するのが望ましい。また圧力センサ１ａ
（３１ａ）から圧力センサ４ａ（３４ａ）は液だまりの
ない構成とすることが望ましい。
が、一般的には２個〜４個程度を隙間センサ１（２１
ａ）と縦の同一線上に配置するようにする。例えば、圧
力センサ１ａ（３１ａ）から圧力センサ４ａ（３４ａ）
を配置する。圧力センサ１ａ（３１ａ）から圧力センサ
４ａ（３４ａ）の先端は、他の部分に設けても良いが、
一般的にはスリット（４ｃ）部分に出っ張らないように
固定ブロック（１１ａ）のスリット内面と同一平面にな
るように配置するのが望ましい。また圧力センサ１ａ
（３１ａ）から圧力センサ４ａ（３４ａ）は液だまりの
ない構成とすることが望ましい。
【００２７】ベース距離計測部は、他の部分を基準に測
定しても良いが、一般的には可変ベースブロック（１１
ｃ）に取付ける水平バー１（４２ｂ）と垂直バー１（４
２ａ）で取付けられる距離センサ１（４１）からなり塗
工前の塗工面までの距離を計測する。距離センサ１（４
１）は、他の機構でも良いが、距離計測精度０．５［μ
ｍ］〜１．０［μｍ］程度のレーザスキャン式距離計測
センサを用いてウェブ（２）の全幅の距離を計測するこ
とが望ましい。
定しても良いが、一般的には可変ベースブロック（１１
ｃ）に取付ける水平バー１（４２ｂ）と垂直バー１（４
２ａ）で取付けられる距離センサ１（４１）からなり塗
工前の塗工面までの距離を計測する。距離センサ１（４
１）は、他の機構でも良いが、距離計測精度０．５［μ
ｍ］〜１．０［μｍ］程度のレーザスキャン式距離計測
センサを用いてウェブ（２）の全幅の距離を計測するこ
とが望ましい。
【００２８】塗工距離計測部は、他の部分を基準に測定
しても良いが、固定ブロック（１１ａ）に取付ける水平
バー２（５２ｂ）と垂直バー２（５２ａ）で取付けられ
る距離センサ２（５１）からなり塗工後の塗工表面まで
の距離を計測する。距離センサ２（５１）は、他の機構
でも良いが、やはり距離計測精度０．５［μｍ］〜１．
０［μｍ］程度のレーザスキャン式距離計測センサを用
いて同様にウェブ（２）の全幅の距離を計測することが
望ましい。
しても良いが、固定ブロック（１１ａ）に取付ける水平
バー２（５２ｂ）と垂直バー２（５２ａ）で取付けられ
る距離センサ２（５１）からなり塗工後の塗工表面まで
の距離を計測する。距離センサ２（５１）は、他の機構
でも良いが、やはり距離計測精度０．５［μｍ］〜１．
０［μｍ］程度のレーザスキャン式距離計測センサを用
いて同様にウェブ（２）の全幅の距離を計測することが
望ましい。
【００２９】膜厚演算部の計算方法は例えば、距離セン
サ１（４１）は、塗工前のベース距離を常時計測してい
る。これは、塗工ロール（１）上をウェブ（２）がある
速度で搬送されている状態で、塗工ロール（１）の偏心
がある場合、計測距離は、ある繰返しを含む計測数値と
なる。この繰返し数値を記録し、これにウェブの厚みが
加わることになるのでウェブの厚みの変動を計算するこ
とができる。このときの膜厚演算部は、制御用コンピュ
ータにより制御するのが一般的である。
サ１（４１）は、塗工前のベース距離を常時計測してい
る。これは、塗工ロール（１）上をウェブ（２）がある
速度で搬送されている状態で、塗工ロール（１）の偏心
がある場合、計測距離は、ある繰返しを含む計測数値と
なる。この繰返し数値を記録し、これにウェブの厚みが
加わることになるのでウェブの厚みの変動を計算するこ
とができる。このときの膜厚演算部は、制御用コンピュ
ータにより制御するのが一般的である。
【００３０】塗工ロール（１）の回転とウェブの速度と
は同期関係にあると考えられるので塗工ロール（１）の
回転位置検出をおこなうことで、ベース距離計測位置か
らビード位置までの搬送距離１（６１）に最適な塗工膜
が得られるようにあらかじめ記憶してある所望の塗工膜
厚とを比較してスリットの隙間を可変して塗工膜厚をフ
ィードバック制御したり、塗工膜厚の過渡特性をあらか
じめ記憶し所望の塗工膜厚になるようにスリット隙間を
制御したりするフィードフォワード制御ができるように
なる。
は同期関係にあると考えられるので塗工ロール（１）の
回転位置検出をおこなうことで、ベース距離計測位置か
らビード位置までの搬送距離１（６１）に最適な塗工膜
が得られるようにあらかじめ記憶してある所望の塗工膜
厚とを比較してスリットの隙間を可変して塗工膜厚をフ
ィードバック制御したり、塗工膜厚の過渡特性をあらか
じめ記憶し所望の塗工膜厚になるようにスリット隙間を
制御したりするフィードフォワード制御ができるように
なる。
【００３１】このときのフィードバック制御やフィード
フォワード制御は、膜厚演算部とは別な制御用コンピュ
ータにより制御するものでも良いが、一つのコンピュー
タにより制御するのが一般的である。また正確に塗工膜
厚を計測するには、ベース距離計測位置で計測した距離
センサ１（４１）の計測データと、塗工距離計測位置ま
での搬送距離２（６２）を移動したときの距離センサ２
（５１）の計測データを比較することで求めることがで
きるようになる。このときの計測データの比較は、膜厚
演算部とは別な制御用コンピュータにより制御するもの
でも良いが、一つのコンピュータにより制御するのが一
般的である。
フォワード制御は、膜厚演算部とは別な制御用コンピュ
ータにより制御するものでも良いが、一つのコンピュー
タにより制御するのが一般的である。また正確に塗工膜
厚を計測するには、ベース距離計測位置で計測した距離
センサ１（４１）の計測データと、塗工距離計測位置ま
での搬送距離２（６２）を移動したときの距離センサ２
（５１）の計測データを比較することで求めることがで
きるようになる。このときの計測データの比較は、膜厚
演算部とは別な制御用コンピュータにより制御するもの
でも良いが、一つのコンピュータにより制御するのが一
般的である。
【００３２】また、本発明のスリットダイコーティング
装置は、例えば図２の正面図と側断面で表した概略図に
示すように、例えば固定ブロック（１１ａ）の塗工液入
口（４ａ）から供給されて液だまり（４ｂ）を通り、可
変スリットブロック（１１ｂ）で隙間が可変するスリッ
ト（４ｃ）を通りヘッド部分から出る。隙間センサ１
（２１ａ）から隙間センサ８（２１ｈ）と、一列当り圧
力センサ１ａ（３１ａ）から圧力センサ４ａ（３４ａ）
の４個を一組として、８列までの圧力センサ１ｈ（３１
ｈ）から圧力センサ４ｈ（３４ｈ）を設けてある。
装置は、例えば図２の正面図と側断面で表した概略図に
示すように、例えば固定ブロック（１１ａ）の塗工液入
口（４ａ）から供給されて液だまり（４ｂ）を通り、可
変スリットブロック（１１ｂ）で隙間が可変するスリッ
ト（４ｃ）を通りヘッド部分から出る。隙間センサ１
（２１ａ）から隙間センサ８（２１ｈ）と、一列当り圧
力センサ１ａ（３１ａ）から圧力センサ４ａ（３４ａ）
の４個を一組として、８列までの圧力センサ１ｈ（３１
ｈ）から圧力センサ４ｈ（３４ｈ）を設けてある。
【００３３】固定ブロック（１１ａ）中央付近の側断面
ａ−ａ‘を示す。可変スリットブロック（１１ｂ）は、
スリットが容易に可変するようにフラップ溝（１１ｂ
１）を有する構造が望ましい。可変スリットブロック
（１１ｂ）中央付近の側断面ｂ−ｂ‘を示す。可変ベー
スブロック（１１ｃ）は、ギヤヘッド１（１２ａ）から
ギヤヘッド８（１２ｈ）を取付ける孔位置を示してい
る。可変ベースブロック（１１ｃ）中央付近の側断面ｃ
−ｃ‘を示す。
ａ−ａ‘を示す。可変スリットブロック（１１ｂ）は、
スリットが容易に可変するようにフラップ溝（１１ｂ
１）を有する構造が望ましい。可変スリットブロック
（１１ｂ）中央付近の側断面ｂ−ｂ‘を示す。可変ベー
スブロック（１１ｃ）は、ギヤヘッド１（１２ａ）から
ギヤヘッド８（１２ｈ）を取付ける孔位置を示してい
る。可変ベースブロック（１１ｃ）中央付近の側断面ｃ
−ｃ‘を示す。
【００３４】また、本発明のスリットダイコーティング
装置は、図３の搬送方向の塗工膜の側断面で表した模式
図と搬送にともなうスリット隙間の開き度合いの概略図
に示すように、例えば、ウェブ（３）が固定でダイヘッ
ドを搬送した場合と、ダイヘッドを固定してウェブ
（３）を搬送した場合でも同様であるが、通常のスリッ
ト隙間が固定のダイヘッドは、塗工始めと終わりで塗工
膜の厚さが厚くなる傾向にあり、中間で何かの原因で塗
工膜が薄くなることがよくある現象を塗工膜の側断面１
（５ａ１）と塗工膜の状態１（１０１）で示してある。
これを本発明のスリットダイコーティング装置において
スリットの開き度合いを示すスリット制御状況１（１０
２）のように制御することで塗工膜の側断面２（５ａ
２）と塗工膜の状態２（１０３）とすることが可能とな
る。
装置は、図３の搬送方向の塗工膜の側断面で表した模式
図と搬送にともなうスリット隙間の開き度合いの概略図
に示すように、例えば、ウェブ（３）が固定でダイヘッ
ドを搬送した場合と、ダイヘッドを固定してウェブ
（３）を搬送した場合でも同様であるが、通常のスリッ
ト隙間が固定のダイヘッドは、塗工始めと終わりで塗工
膜の厚さが厚くなる傾向にあり、中間で何かの原因で塗
工膜が薄くなることがよくある現象を塗工膜の側断面１
（５ａ１）と塗工膜の状態１（１０１）で示してある。
これを本発明のスリットダイコーティング装置において
スリットの開き度合いを示すスリット制御状況１（１０
２）のように制御することで塗工膜の側断面２（５ａ
２）と塗工膜の状態２（１０３）とすることが可能とな
る。
【００３５】さらにまた、本発明のスリットダイコーテ
ィング装置は、図４のダイヘッドの幅方向の塗工膜の側
断面で表した模式図とダイヘッドの幅方向のスリット隙
間の開き度合いの概略図に示すように、例えばウェブ
（３）上に通常のスリット隙間が固定のダイヘッドでは
塗工膜の厚さは、スリットの隙間加工精度通り常に再現
されることはよく知られている。塗工膜の状態を塗工膜
の側断面３（５ｂ１）と塗工膜の状態３（１１１）で示
してある。
ィング装置は、図４のダイヘッドの幅方向の塗工膜の側
断面で表した模式図とダイヘッドの幅方向のスリット隙
間の開き度合いの概略図に示すように、例えばウェブ
（３）上に通常のスリット隙間が固定のダイヘッドでは
塗工膜の厚さは、スリットの隙間加工精度通り常に再現
されることはよく知られている。塗工膜の状態を塗工膜
の側断面３（５ｂ１）と塗工膜の状態３（１１１）で示
してある。
【００３６】これを本発明のスリットダイコーティング
装置においてダイヘッドの幅方向ａ〜ｈまでのスリット
の開き度合いを示すスリット制御状況２（１１２）のよ
うに制御することで塗工膜の側断面４（５ｂ２）と塗工
膜の状態４（１１３）とすることが可能となる。
装置においてダイヘッドの幅方向ａ〜ｈまでのスリット
の開き度合いを示すスリット制御状況２（１１２）のよ
うに制御することで塗工膜の側断面４（５ｂ２）と塗工
膜の状態４（１１３）とすることが可能となる。
【００３７】
【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。即ち、フラットダイヘッドのスリ
ットからインキを押し出して塗工するスリットダイコー
ト装置において、前記フラットダイのインキの吐出口へ
向けてインキに接するスリットを形成する平坦部分を動
かせる構造のスリットフラップ部とを設け、スリットフ
ラップ部を動かしてスリットの隙間を可変するスリット
可変機構部とを設けることによって塗工液の量を調整す
ることができるので塗工膜の厚さを変更することができ
る。
示す如き効果がある。即ち、フラットダイヘッドのスリ
ットからインキを押し出して塗工するスリットダイコー
ト装置において、前記フラットダイのインキの吐出口へ
向けてインキに接するスリットを形成する平坦部分を動
かせる構造のスリットフラップ部とを設け、スリットフ
ラップ部を動かしてスリットの隙間を可変するスリット
可変機構部とを設けることによって塗工液の量を調整す
ることができるので塗工膜の厚さを変更することができ
る。
【００３８】さらにまたスリットの隙間を計測する隙間
計測部とを設けることによってスリットの隙間を変化量
が分かるようになり塗工膜の状況と照らし合わせてスリ
ット隙間の変化量をどのくらいにすれば好いか分かるよ
うになり、さらにまたスリットフラップ部のインキ圧力
を計測する圧力計測部とを設けることによって送液系の
脈動や塗工液の粘度変化などで塗工膜の状態が変化して
しまうことを事前に探知できるようになり、圧力変化に
応じたスリット隙間の制御ができるようになる。
計測部とを設けることによってスリットの隙間を変化量
が分かるようになり塗工膜の状況と照らし合わせてスリ
ット隙間の変化量をどのくらいにすれば好いか分かるよ
うになり、さらにまたスリットフラップ部のインキ圧力
を計測する圧力計測部とを設けることによって送液系の
脈動や塗工液の粘度変化などで塗工膜の状態が変化して
しまうことを事前に探知できるようになり、圧力変化に
応じたスリット隙間の制御ができるようになる。
【００３９】さらにまた、コーティング直前の被塗工物
の表面までの距離をダイヘッドの基準点からの距離を計
測するベース距離計測部と、塗工直後にフラットダイか
ら塗工されたインキ表面までを前記ダイヘッドの基準点
からの距離を計測する塗工距離計測部とを設け、ベース
距離と塗工距離から被塗工物へ塗工した膜厚を演算する
膜厚演算部とを設けることによって塗工した膜厚が変化
したことを塗工中に知ることができる。
の表面までの距離をダイヘッドの基準点からの距離を計
測するベース距離計測部と、塗工直後にフラットダイか
ら塗工されたインキ表面までを前記ダイヘッドの基準点
からの距離を計測する塗工距離計測部とを設け、ベース
距離と塗工距離から被塗工物へ塗工した膜厚を演算する
膜厚演算部とを設けることによって塗工した膜厚が変化
したことを塗工中に知ることができる。
【００４０】これにより、膜厚演算部で得られた膜厚デ
ータとあらかじめ記憶してある所望の塗工膜厚とを比較
してスリットの隙間を可変して塗工膜厚をフィードバッ
ク制御するスリット隙間フィードバック制御部とを設け
ることによって常に正確で且つ均一な塗工膜を得ること
ができるようになる。
ータとあらかじめ記憶してある所望の塗工膜厚とを比較
してスリットの隙間を可変して塗工膜厚をフィードバッ
ク制御するスリット隙間フィードバック制御部とを設け
ることによって常に正確で且つ均一な塗工膜を得ること
ができるようになる。
【００４１】さらにまた塗工膜厚の過渡特性をあらかじ
め記憶し所望の塗工膜厚になるようにスリット隙間を制
御するデータを記憶してある特性データテーブル部とを
設け、あわせてスリットフラップ部に設けたインキの圧
力計測部で得られる圧力計測データの変動を感知して塗
工膜厚が所望の膜厚になるようにスリット隙間をフィー
ドフォワード制御するスリット隙間フィードフォワード
制御部とを設けることによって、従来不可能であった塗
工の始まりと終わりの塗工膜の不均一性や機械特性によ
る繰返し発生する塗工膜の不均一性を除去できるような
スリットダイコーティング装置とすることができる。
め記憶し所望の塗工膜厚になるようにスリット隙間を制
御するデータを記憶してある特性データテーブル部とを
設け、あわせてスリットフラップ部に設けたインキの圧
力計測部で得られる圧力計測データの変動を感知して塗
工膜厚が所望の膜厚になるようにスリット隙間をフィー
ドフォワード制御するスリット隙間フィードフォワード
制御部とを設けることによって、従来不可能であった塗
工の始まりと終わりの塗工膜の不均一性や機械特性によ
る繰返し発生する塗工膜の不均一性を除去できるような
スリットダイコーティング装置とすることができる。
【００４２】従って本発明は、塗工により精度を求める
印刷分野や、特にエレクトロニクス関連分野のＣＦのレ
ジスト塗工や、ＬＣＤへの反射防止レジストの塗工など
を行うスリットダイコート装置およびそれを用いた方法
として、優れた実用上の効果を発揮する。
印刷分野や、特にエレクトロニクス関連分野のＣＦのレ
ジスト塗工や、ＬＣＤへの反射防止レジストの塗工など
を行うスリットダイコート装置およびそれを用いた方法
として、優れた実用上の効果を発揮する。
【図１】本発明のスリットダイコーティング装置の一実
施の形態を側断面図で表した説明図である。
施の形態を側断面図で表した説明図である。
【図２】本発明のスリットダイコーティング装置のダイ
ヘッド構成の一実施の形態を正面図と側断面で表した説
明図である。
ヘッド構成の一実施の形態を正面図と側断面で表した説
明図である。
【図３】本発明のスリットダイコーティング装置の搬送
状態の一実施の形態を模式的に表した説明図である。
状態の一実施の形態を模式的に表した説明図である。
【図４】本発明のスリットダイコーティング装置の作動
状態の一実施の形態を模式的に表した説明図である。
状態の一実施の形態を模式的に表した説明図である。
１‥‥塗工ロール
２‥‥ウェブ
３‥‥ウェブの走行方向を示す矢印
４ａ‥‥塗工液入口
４ｂ‥‥液だまり
４ｃ‥‥スリット
４ｄ‥‥ビード
５‥‥塗工液がウェブ上に塗られた状態
５ａ１‥‥塗工液がウェブ上に塗られた状態（走行方向
の塗工のムラの例） ５ａ２‥‥塗工液がウェブ上に塗られた状態（走行方向
の塗工の制御例） ５ｂ１‥‥塗工液がウェブ上に塗られた状態（幅方向の
塗工のムラの例） ５ｂ２‥‥塗工液がウェブ上に塗られた状態（幅方向の
塗工の制御例） １１ａ‥‥固定ブロック １１ｂ‥‥可変スリットブロック １１ｂ１‥‥フラップ溝 １１ｃ‥‥可変ベースブロック １１ｃ１‥‥連結バー １１ｃ２‥‥強力バー １１ｃ３‥‥ボールネジ １２ａ〜ｈ‥‥ギヤヘッド１〜８ １２ａ１‥‥モータ １３ａ‥‥力点の動き １３ｂ‥‥作用点の動き １３ｃ‥‥先端スリットの動き ２１ａ〜ｈ‥‥隙間センサ１〜８ ３１ａ〜ｈ‥‥圧力センサ１ａ〜１ｈ ３２ａ〜ｈ‥‥圧力センサ２ａ〜２ｈ ３３ａ〜ｈ‥‥圧力センサ３ａ〜３ｈ ３４ａ〜ｈ‥‥圧力センサ４ａ〜４ｈ ４１‥‥距離センサ１ ４２ａ‥‥垂直バー１ ４２ｂ‥‥水平バー１ ５１‥‥距離センサ２ ５２ａ‥‥垂直バー２ ５２ｂ‥‥水平バー２ ６１‥‥搬送距離１（ベース計測位置からビード位置ま
で） ６２‥‥搬送距離２（ベース計測位置から塗工計測位置
まで） １０１‥‥塗工膜の状態１（走行方向の塗工ムラの側断
面の例） １０２‥‥スリットの制御状況１（走行方向にスリット
隙間を制御した例） １０３‥‥塗工膜の状態２（走行方向の塗工ムラを補正
した側断面の例） １１１‥‥塗工膜の状態３（幅方向の塗工ムラの側断面
の例） １１２‥‥スリットの制御状況２（幅方向にスリット隙
間を制御した例） １１３‥‥塗工膜の状態４（幅方向の塗工ムラを補正し
た側断面の例）
の塗工のムラの例） ５ａ２‥‥塗工液がウェブ上に塗られた状態（走行方向
の塗工の制御例） ５ｂ１‥‥塗工液がウェブ上に塗られた状態（幅方向の
塗工のムラの例） ５ｂ２‥‥塗工液がウェブ上に塗られた状態（幅方向の
塗工の制御例） １１ａ‥‥固定ブロック １１ｂ‥‥可変スリットブロック １１ｂ１‥‥フラップ溝 １１ｃ‥‥可変ベースブロック １１ｃ１‥‥連結バー １１ｃ２‥‥強力バー １１ｃ３‥‥ボールネジ １２ａ〜ｈ‥‥ギヤヘッド１〜８ １２ａ１‥‥モータ １３ａ‥‥力点の動き １３ｂ‥‥作用点の動き １３ｃ‥‥先端スリットの動き ２１ａ〜ｈ‥‥隙間センサ１〜８ ３１ａ〜ｈ‥‥圧力センサ１ａ〜１ｈ ３２ａ〜ｈ‥‥圧力センサ２ａ〜２ｈ ３３ａ〜ｈ‥‥圧力センサ３ａ〜３ｈ ３４ａ〜ｈ‥‥圧力センサ４ａ〜４ｈ ４１‥‥距離センサ１ ４２ａ‥‥垂直バー１ ４２ｂ‥‥水平バー１ ５１‥‥距離センサ２ ５２ａ‥‥垂直バー２ ５２ｂ‥‥水平バー２ ６１‥‥搬送距離１（ベース計測位置からビード位置ま
で） ６２‥‥搬送距離２（ベース計測位置から塗工計測位置
まで） １０１‥‥塗工膜の状態１（走行方向の塗工ムラの側断
面の例） １０２‥‥スリットの制御状況１（走行方向にスリット
隙間を制御した例） １０３‥‥塗工膜の状態２（走行方向の塗工ムラを補正
した側断面の例） １１１‥‥塗工膜の状態３（幅方向の塗工ムラの側断面
の例） １１２‥‥スリットの制御状況２（幅方向にスリット隙
間を制御した例） １１３‥‥塗工膜の状態４（幅方向の塗工ムラを補正し
た側断面の例）
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Ｆターム(参考） 4D075 AC02 AC72 AC92 AC93 CA47
DA04 DC21 DC28
4F041 AA12 AB02 BA11 CA04
4F207 KA04 KL63 KL74 KL84 KL92
KM05 KM15
Claims (9)
- 【請求項１】フラットダイヘッドのスリットからインキ
を押し出して塗工するスリットダイコート装置におい
て、前記フラットダイのインキの吐出口へ向けてインキ
に接するスリットを形成する平坦部分を動かせる構造の
スリットフラップ部とを設け、スリットフラップ部を動
かしてスリットの隙間をダイヘッドの横方向ごとに調整
可能な機構を有するスリット可変機構部とを設けたこと
を特徴とするスリットダイコーティング装置。 - 【請求項２】前記スリットフラップ部に、スリットフラ
ップ部を可変する力を受ける作用点をダイヘッドの横方
向に複数設けるとともに、前記スリット可変機構部に、
スリットフラップ部の作用点に対応して複数設ける事に
よりスリットフラップ部を動かしてスリットの隙間をダ
イヘッドの横方向ごとに調整可能な機構を有するスリッ
ト可変機構部を構成したことを特徴とする請求項１記載
のスリットダイコーティング装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載のスリットダイコー
ティング装置において、コーティング直前の被塗工物の
表面までの距離をダイヘッドの基準点からの距離を計測
するベース距離計測部と、塗工直後にフラットダイから
塗工されたインキ表面までを前記ダイヘッドの基準点か
らの距離を計測する塗工距離計測部とをダイヘッドの横
方向ごとに設け、ベース距離と塗工距離から被塗工物へ
塗工した膜厚を演算する膜厚演算部とを設け、膜厚演算
部で得られた膜厚データとあらかじめ記憶してある所望
の塗工膜厚とを比較してスリットの隙間をダイヘッドの
横方向ごとに可変して塗工膜厚をフィードバック制御す
るスリット隙間フィードバック制御部とを付加して設け
たことを特徴とするスリットダイコーティング装置。 - 【請求項４】請求項１〜３何れか記載のスリットダイコ
ーティング装置において、塗工膜厚の過渡特性をあらか
じめ記憶し所望の塗工膜厚になるようにスリット隙間を
制御するデータを記憶してある特性データテーブル部と
を設けてスリット隙間をフィードフォワード制御するス
リット隙間フィードフォワード制御部とを付加して設け
たことを特徴とするスリットダイコーティング装置。 - 【請求項５】請求項１〜４何れか記載のスリットダイコ
ーティング装置において、スリットフラップ部のインキ
圧力をダイヘッドの横方向ごとに計測する圧力計測部と
を設け、この圧力計測部で得られる圧力計測データの変
動を感知して塗工膜厚が所望の膜厚になるようにスリッ
ト隙間をダイヘッドの横方向ごとにフィードフォワード
制御するスリット隙間フィードフォワード制御部とを付
加して設けたことを特徴とするスリットダイコーティン
グ装置。 - 【請求項６】フラットダイヘッドのスリットからインキ
を押し出す塗工方法において、前記フラットダイのイン
キの吐出口へ向けてインキに接するスリットを形成する
平坦部分をダイヘッドの横方向に複数設けた作用点にス
リット可変機構が作用する事により動かせる構造のスリ
ットフラップ部を動かしてスリットの隙間をダイヘッド
の横方向ごとに調整しながら塗工することを特徴とする
塗工方法。 - 【請求項７】請求項６記載の塗工方法において、コーテ
ィング直前の被塗工物の表面までの距離をダイヘッドの
基準点からの距離をダイヘッドの横方向ごとに計測する
とともに、塗工直後にフラットダイから塗工されたイン
キ表面までを前記ダイヘッドの基準点からの距離をダイ
ヘッドの横方向ごとに計測し、ベース距離と塗工距離か
ら被塗工物へ塗工した膜厚を演算し、膜厚演算部で得ら
れた膜厚データとあらかじめ記憶してある所望の塗工膜
厚とを比較してスリットの隙間をダイヘッドの横方向ご
とに可変して塗工膜厚をフィードバック制御すること特
徴とする塗工方法。 - 【請求項８】請求項６または７記載の塗工方法におい
て、塗工膜厚の過渡特性をあらかじめ記憶し所望の塗工
膜厚になるようにスリット隙間を制御するデータを記憶
してある特性データテーブル部によりスリット隙間をフ
ィードフォワード制御することを特徴とする塗工方法。 - 【請求項９】請求項６〜８何れか記載の塗工方法におい
て、スリットフラップ部のインキ圧力をダイヘッドの横
方向ごとに計測し、この圧力計測部で得られる圧力計測
データの変動を感知して塗工膜厚が所望の膜厚になるよ
うにスリット隙間をダイヘッドの横方向ごとにフィード
フォワード制御することを特徴とする塗工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001351383A JP2003145007A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | スリットダイコーティング装置および塗工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001351383A JP2003145007A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | スリットダイコーティング装置および塗工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003145007A true JP2003145007A (ja) | 2003-05-20 |
Family
ID=19163702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001351383A Pending JP2003145007A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | スリットダイコーティング装置および塗工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003145007A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006088000A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
| JP2010086811A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toshiba Corp | 塗工装置および塗工方法 |
| US8147565B2 (en) | 2009-01-15 | 2012-04-03 | Panasonic Corporation | Method for manufacturing electrode plate for battery |
| JP2016521648A (ja) * | 2013-06-10 | 2016-07-25 | ブルー ソリューションズ | 射出成型処理によってフィルムを製造するためのダイス |
| JP2016179460A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-13 | タツモ株式会社 | 膜厚推定装置、塗布装置、膜厚推定方法、およびスリットノズル調整方法 |
| WO2024081984A1 (de) * | 2022-10-18 | 2024-04-25 | Sbi Mechatronik Gmbh | Vorrichtung zur einstellung des spalts einer breitschlitzduese |
-
2001
- 2001-11-16 JP JP2001351383A patent/JP2003145007A/ja active Pending
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