JP2013155057A - Lcdガラス基板のエッチング方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エッチング液を入れたエッチング槽内に納めたエッチングバスケット内にガラス基板を並列に配置し、そのガラス基板を、エッチングバスケットの下方から放出される泡によって揺らしながらエッチングを行うことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
2 エッチングバスケット
21 側板
22 側板
23 側板
24 側板
25 底桟
3 ガラス基板
4 基板受け台
5 基板受け
6 受け部
7 溝
8 側端
9 側枠
10 可動部
11 バブラー
12 配管
13 バブル放出管
14 放出孔
15 スカート
16 浮き上がり防止治具
17 基板支え治具
Claims (6)
- エッチング液を入れたエッチング槽内に納めたエッチングバスケット内にガラス基板を並列に配置し、そのガラス基板を、エッチングバスケットの下方から放出される泡によって揺らしながらエッチングを行うことを特徴とするLCDガラス基板のエッチング方法。
- エッチング槽内にエッチングバスケットを納めて下方から泡を放出するエッチング装置において、
周囲4辺をエッチング液が透過しない板状体の側板で構成し、底桟は、並列して設置するガラス基板の並列方向に直交する方向に移動可能に取り付け、上記底桟には、大略V型あるいはU型等の凹型でガラス基板の下端が当たる底部の幅をガラス基板の板厚より広くした受け部を形成し、ガラス基板の側端が当たる上記側板の内壁面にも大略V型あるいはU型等の凹型でガラス基板の側端が当たる溝の側端の幅をガラス基板より広くしたことによるエッチング装置。 - 請求項2において、エッチングバスケットの下方に配置したバブル放出管に、エッチングバスケットに並列配置されたガラス基板のピッチより狭い間隔で泡の放出孔を設け、並列するガラス基板間に少なくとも1個以上の放出孔が配置されるようにしたことを特徴とするエッチング装置。
- 請求項2において、エッチングバスケットの側板の一部に上下もしくは左右方向にスライドする可動部を設けて可動部を移動させて開口させることを可能にしたエッチング装置。
- 請求項2において、エッチングバスケットの下部にスカートを設けたことを特徴とするエッチング装置。
- 請求項2において、圧力空気の供給を複数個所から行い、それぞれの空気圧を変えることができるようにしたことを特徴とするエッチング装置。
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