JP2007324567A - 基板エッチング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エッチング槽、基板に装着されエッチング槽の内部に設置されたカセット、カセットの下部面に設置される多孔板、多孔板に形成されてそれぞれ複数の吐出口からなる吐出部、吐出口にそれぞれ連結され、ガスの供給を受けて吐出口を通じて基板にバブルを提供する第1ラインを含む基板エッチング装置を提供する。第1ラインは、複数のグループに区分され、複数のグループ中で少なくとも一つのグループは、残りのグループと異なる圧力のガスの供給を受ける。
【選択図】図3
Description
本発明が解決しようとする技術的課題は、複数の基板を均一な厚さで同時にエッチングすることができる基板エッチング装置を提供することである。
エッチング液が満たされるエッチング槽と、
・前記エッチング液によってエッチングされる複数の基板を装着するための、前記エッチング槽の内部に設置されたカセットと、
・前記カセットの下部面に配置される多孔板と、
・前記多孔板に前記複数の基板に対応するように複数で形成され、それぞれが複数の吐出口を有する吐出部と、
・前記吐出口にそれぞれ連結され、ガスの供給を受けて前記吐出口を通じて前記複数の基板にバブルを提供する第1ライン。
前記第1ラインは、複数のグループに区分され、前記複数のグループの中で少なくとも一つのグループは、残りのグループと異なる圧力のガスの供給を受ける。
発明2は、前記発明1において、前記第1ラインの前記複数のグループにそれぞれ連結され、同一のグループに属する前記第1ラインに同一の圧力のガスを供給する第2ラインをさらに含む基板エッチング装置を提供する。
発明3は、発明1において、前記複数のグループの中で同一のグループに属する前記第1ラインは、同一の前記吐出部に属する少なくとも一つ以上の前記吐出口に連結されている基板エッチング装置を提供する。
発明4は、前記発明1において、前記複数のグループの中で同一のグループに属する前記第1ラインは、互いに異なる前記吐出部に属する二つ以上の前記吐出口に連結されている基板エッチング装置を提供する。
発明5は、前記発明1において、前記グループ毎に属する第1ラインの数が互いに異なる基板エッチング装置を提供する。
発明6は、前記発明2において、前記第2ラインは圧力調節器を有する基板エッチング装置を提供する。
発明7は、前記発明1において、前記第1ラインは前記吐出口と直接連結されている基板エッチング装置を提供する。
発明8は、前記発明1において、前記同一の吐出部に属する前記吐出口は、前記カセットに装着される前記複数の基板面に沿って形成されている、基板エッチング装置を提供する。
発明9は、前記発明8において、前記吐出部は、前記カセットに装着される複数の基板の間に位置するように配置されている基板エッチング装置を提供する。
発明10は、前記発明1において、各吐出部は、前記複数の基板それぞれの装着位置に対応する位置に形成され、前記吐出部それぞれに属する吐出口は、前記各吐出部に対応した複数の基板の装着位置の両側に配置されている基板エッチング装置を提供する。
発明11は、前記発明10において、前記複数の基板の装着位置の両側に配置された吐出口は、前記装着位置を挟んでジグザグ状に配置されている基板エッチング装置を提供する。
・エッチング液が満たされるエッチング槽と、
・前記エッチング液によってエッチングされる複数の基板を装着するための、前記エッチング槽の内部に設置されたカセットと、
・前記カセットに形成され、前記複数の基板を隔離する隔壁と、
・前記カセットの下部面に下部面に配置される多孔板と、
・前記多孔晩に前記複数の基板に対応するように複数で形成され、それぞれが複数の吐出口を有する吐出部と、
・前記吐出口にそれぞれ連結され、ガスの供給を受けて前記吐出口を通じて前記複数の基板にバブルを提供する第1ライン。
発明13は、前記発明12において、前記第1ラインは、複数のグループに区分され、前記複数のグループの中で少なくとも一つのグループは残りのグループと異なる圧力のガスの供給を受ける基板エッチング装置を提供する。
発明14は、前記発明13において、前記複数のグループにそれぞれ連結され、同一のグループに属した前記第1ラインには同一の圧力のガスを供給する第2ラインをさらに含む、基板エッチング装置を提供する。
発明15は、前記発明13において、前記複数のグループの中で同一のグループに属する前記第1ラインは、同一の前記吐出部に属する少なくとも一つ以上の前記吐出口に連結されている基板エッチング装置を提供する。
発明16は、前記発明13において、前記複数のグループの中で同一のグループに属する前記第1ラインは、互いに異なる前記吐出部に属する二つ以上の前記吐出口に連結されている基板エッチング装置を提供する。
発明17は、前記発明13において、同一の吐出部に属する前記吐出口は、前記カセットに装着される前記複数の基板面に沿って形成されている基板エッチング装置を提供する。
発明18は、前記発明13において、各吐出部は、前記複数の基板それぞれの装着位置に対応する位置に形成され、前記吐出部それぞれに属する吐出口は、前記各吐出部に対応した複数の基板の装着位置の両側に配置されている基板エッチング装置を提供する。
図5Aは、本発明の別の実施形態による基板エッチング装置を利用して、基板をエッチングした後の基板表面の厚さの分布を測定して示したグラフである。比較実施形態による基板エッチング装置は、基板(説明の便宜のために第1基板と称する)に全て同一の圧力のガスによってバブルを提供する。
110 エッチング槽
120 カセット
125 隔壁
130 基板
140 多孔板
150 吐出口
180 バブル板
200 供給ライン
210 第1供給
220 第2ライン
225 圧力調節器
300 供給源
Claims (18)
- エッチング液が満たされるエッチング槽と、
前記エッチング液によってエッチングされる複数の基板を装着するための、前記エッチング槽の内部に設置されたカセットと、
前記カセットの下部面に配置される多孔板と、
前記多孔板に前記複数の基板に対応するように複数で形成され、それぞれが複数の吐出口を有する吐出部と、
前記吐出口にそれぞれ連結され、ガスの供給を受けて前記吐出口を通じて前記複数の基板にバブルを提供する第1ラインと、を含み、
前記第1ラインは、複数のグループに区分され、前記複数のグループの中で少なくとも一つのグループは、残りのグループと異なる圧力のガスの供給を受ける基板エッチング装置。 - 前記第1ラインの前記複数のグループにそれぞれ連結され、同一のグループに属する前記第1ラインに同一の圧力のガスを供給する第2ラインをさらに含む、請求項1に記載の基板エッチング装置。
- 前記複数のグループの中で同一のグループに属する前記第1ラインは、同一の前記吐出部に属する少なくとも一つ以上の前記吐出口に連結されている、請求項1に記載の基板エッチング装置。
- 前記複数のグループの中で同一のグループに属する前記第1ラインは、互いに異なる前記吐出部に属する二つ以上の前記吐出口に連結されている、請求項1に記載の基板エッチング装置。
- 前記グループ毎に属する第1ラインの数が互いに異なる、請求項1に記載の基板エッチング装置。
- 前記第2ラインは圧力調節器を有する、請求項2に記載の基板エッチング装置。
- 前記第1ラインは前記吐出口と直接連結されている、請求項1に記載の基板エッチング装置。
- 前記同一の吐出部に属する前記吐出口は、前記カセットに装着される前記複数の基板面に沿って形成されている、請求項1に記載の基板エッチング装置。
- 前記吐出部は、前記カセットに装着される複数の基板の間に位置するように配置されている、請求項8に記載の基板エッチング装置。
- 各吐出部は、前記複数の基板それぞれの装着位置に対応する位置に形成され、
前記吐出部それぞれに属する吐出口は、前記各吐出部に対応した複数の基板の装着位置の両側に配置されている、請求項1に記載の基板エッチング装置。 - 前記複数の基板の装着位置の両側に配置された吐出口は、前記装着位置を挟んでジグザグ状に配置されている、請求項10に記載の基板エッチング装置。
- エッチング液が満たされるエッチング槽と、
前記エッチング液によってエッチングされる複数の基板を装着するための、前記エッチング槽の内部に設置されたカセットと、
前記カセットに形成され、前記複数の基板を隔離する隔壁と、
前記カセットの下部面に配置される多孔板と、
前記多孔板に前記複数の基板に対応するように複数で形成され、それぞれが複数の吐出口を有する吐出部と、
前記吐出口にそれぞれ連結され、ガスの供給を受けて前記吐出口を通じて前記複数の基板にバブルを提供する第1ラインと、
を含む基板エッチング装置。 - 前記第1ラインは、複数のグループに区分され、前記複数のグループの中で少なくとも一つのグループは残りのグループと異なる圧力のガスの供給を受ける、請求項12に記載の基板エッチング装置。
- 前記複数のグループにそれぞれ連結され、同一のグループに属した前記第1ラインには同一の圧力のガスを供給する第2ラインをさらに含む、請求項13に記載の基板エッチング装置。
- 前記複数のグループの中で同一のグループに属する前記第1ラインは、同一の前記吐出部に属する少なくとも一つ以上の前記吐出口に連結されている、請求項13に記載の基板エッチング装置。
- 前記複数のグループの中で同一のグループに属する前記第1ラインは、互いに異なる前記吐出部に属する二つ以上の前記吐出口に連結されている、請求項13に記載の基板エッチング装置。
- 同一の吐出部に属する前記吐出口は、前記カセットに装着される前記複数の基板面に沿って形成されている、請求項13に記載の基板エッチング装置。
- 各吐出部は、前記複数の基板それぞれの装着位置に対応する位置に形成され、
前記吐出部それぞれに属する吐出口は、前記各吐出部に対応した複数の基板の装着位置の両側に配置されている、請求項13に記載の基板エッチング装置。
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