JP2004327826A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004327826A JP2004327826A JP2003122266A JP2003122266A JP2004327826A JP 2004327826 A JP2004327826 A JP 2004327826A JP 2003122266 A JP2003122266 A JP 2003122266A JP 2003122266 A JP2003122266 A JP 2003122266A JP 2004327826 A JP2004327826 A JP 2004327826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- bubble
- ozone gas
- bubbles
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67075—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching
- H01L21/67086—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching with the semiconductor substrates being dipped in baths or vessels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/048—Overflow-type cleaning, e.g. tanks in which the liquid flows over the tank in which the articles are placed
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】気泡供給手段33は気泡が基板W面方向において一部重複するように気泡発生部品35を備えているので、基板Wの面方向にてオゾンガスの気泡が接触しない部分を無くすことができ、基板Wの面方向にて均一にオゾンガスの気泡を接触させることができる。したがって、高価なアッシャー装置を用いることなく処理時間の短縮を図ることができる。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など(以下、単に基板と称する)に所定の処理を施す基板処理装置に係り、特に、高温の硫酸に浸漬した基板に対してオゾンガスを供給して処理を施す技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、半導体ウエハに処理を行う場合は、薬液等の処理液にエッチング処理、純水による洗浄処理、及び乾燥処理が順次に施され、半導体ウエハに対する一連の処理が行われている。これらの各処理のうちエッチング処理または剥離処理は、半導体ウエハの表面に形成された薄膜を溶解して膜厚を減じたり、薄膜を剥離したりする際に行われている。
【0003】
従来の基板処理装置におけるエッチング処理または剥離処理では、120〜130℃以上の高温に熱した硫酸にオゾンガスを注入し、そこへ半導体ウエアを浸漬する。このとき硫酸とオゾンにより合成されたペルオキソ2硫酸等の酸化性の強い物質により、半導体ウエハの表面の不要な薄膜、具体的にはレジスト膜が溶解または剥離される(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−174692号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、比較的柔らかいレジスト膜であれば溶解または剥離が可能であるが、半導体製造工程にて多くのイオンを打ち込まれた硬い膜であると処理が困難になり、高価なアッシャー装置で予め処理を行い、硫酸中に過酸化水素水を混入した溶液を高温にし、その中に半導体ウエハを浸漬して不要なレジスト膜を溶解又は剥離しなければならないという問題がある。
【0006】
また、アッシャー装置を使用しない場合には、高温硫酸中にオゾンガスを混入した処理で行うことがあるが、オゾンガスの気泡が接触しない部分における溶解または剥離に時間を要するので、処理に長時間を要し、生産性が低下するという問題がある。
【0007】
なお、オゾンガスの供給量を多くして、発生する気泡の量を増大させることにより処理の均一化を図るという別の手法も考えられるが、基板は保持部に載置されているだけであるので、大量の気泡によって基板が浮いてしまうという別異の問題が生じる。したがって、このような手法は現実には採用することができない。
【0008】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、オゾンガスの気泡を基板に均一に接触させることにより、高価なアッシャー装置を用いることなく処理時間の短縮を図ることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板に所定の処理を施す基板処理装置において、複数枚の基板を起立姿勢で保持する保持部と、140℃以上の高温硫酸を貯留し、前記保持部を浸漬して基板に処理を施す処理槽と、石英粒子を焼結して構成され、オゾンガスを泡状にして発生させる気泡発生部材を、オゾンガスの気泡が基板面方向にて一部重複するように前記処理槽内に複数個備えている気泡供給手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【0010】
(作用・効果)処理槽の高温硫酸中に浸漬され、保持部に保持された基板に対して、気泡発生部材からオゾンガスの気泡を供給する。気泡供給手段は、気泡が基板面方向において一部重複するように気泡発生部材を備えているので、基板の面方向にてオゾンガスの気泡が接触しない部分を無くすことができ、均一にオゾンガスの気泡を接触させることができる。
【0011】
また、前記気泡発生部材は、均一な泡の発生及び泡のかたよりを発生させないため外形が球状を呈することが好ましい。
【0012】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の基板処理装置において、前記気泡発生部材が基板整列方向に長軸を有する円柱状を呈することを特徴とするものである。
【0013】
(作用・効果)保持部における基板が整列されている向きに長軸を有する円柱状の気泡発生部材とすることにより、気泡発生部材を製造しやすくなる。
【0014】
また、請求項4に記載の発明は、請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、前記気泡供給手段は、複数個の気泡発生部材のうち、気泡を発生させるものを切り換え可能に構成されていることを特徴とするものである。
【0015】
(作用・効果)基板の面において集中的にオゾンガスの気泡を接触させたい部分とそうでない部分とに応じて使い分けることができる。また、基板の整列方向に切り換えると、保持部が保持可能な全枚数の基板を保持していない場合に、基板を保持している部分だけにオゾンガスの気泡を供給すればよく、オゾンガスを節約することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図1は本発明の一実施例に係り、図1は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【0017】
本実施例に係る基板処理装置は、処理槽1を備えており、この処理槽1には保持部3によって基板Wが収容される。保持部3は、昇降自在に構成され、図示しない搬送ロボットとの間で基板Wを受け渡すものである。また、受け取った複数枚の基板Wを起立姿勢で保持する。昇降位置は、処理槽1の上方にあたる図示しない基板受け渡し位置及び、図1に示す処理位置である。処理槽1は、内槽5と外槽7を備えている。内槽5には処理液が貯留され、溢れた処理液が外槽7で回収される。内槽5と外槽7とは配管9で連通接続されており、外槽7に回収された処理液は循環ポンプ11によって循環される。
【0018】
配管9における循環ポンプ11より下流側には、加熱ヒータ13と、フィルタ15とが配設されている。加熱ヒータ13は処理液を所定温度(例えば、140℃以上であり、150〜160℃程度の温度)に加熱するものであり、フィルタ15は処理液中のパーティクルを除去するものである。内槽5の下方側面には吹き出し管17が設けられており、高温にされた処理液が吹き出し管17を通して内槽5に供給される。また、内槽5の底部には、開閉弁19を備えた配管21が連通されており、開閉弁19を開放することで内槽5の処理液を排出するようになっている。
【0019】
内槽5には、液面センサ23と温度センサ25とが付設されている。液面センサ23は内槽5の液面レベルを検出する機能を備え、温度センサ25は内槽5における処理液の温度を検出する機能を備えている。これらの検出値は、後述する制御部(47)に出力される。
【0020】
外槽7には、供給管27の先端部が導入されている。この供給管27は、硫酸補充装置29に連通されており、開閉弁31の開閉によって外槽7に対して処理液である硫酸を補充するようになっている。
【0021】
内槽5の底部付近には、気泡供給手段33が配備されている。この気泡供給手段33は、基板W面側から見て5個の球状泡発生部品35を備えている。本発明における気泡発生部材に相当する球状泡発生部品35は、石英粒子を焼結して構成されており、供給された気体を多数の細孔から噴出させる機能を備える。気泡供給手段33には、オゾンガス発生装置37に連通した配管39が連結されている。この配管39には、開閉弁41が取り付けられている。したがって、開閉弁41を開放すると、球状泡発生部品35からは、きめ細かいオゾンガスの泡が多数発生するようになっている。
【0022】
次に、図2及び図3を参照して、気泡供給手段33について説明する。なお、図2は気泡供給手段の概略構成を示す平面図であり、図3は気泡供給手段の概略構成を示し、基板面側から見た側面図である。また、図4は、気泡供給手段の概略構成を示し、基板の整列方向から見た側面図である。
【0023】
気泡供給手段33は、分岐配管43を備えており、各分岐配管43から取付管45を介して球状泡発生部品35が取り付けられている。分岐配管43は、例えば、三本に枝分かれしており、各枝部の側面又は上面に取付管45が設けられている。複数個の球状泡発生部品35の各位置は、複数枚の基板Wの各表裏面にムラなく均一にオゾンガスの気泡が接触するように工夫されている。
【0024】
すなわち、基板Wの正面側から見た場合、基板Wの外縁に離間して沿うように円弧状に配置されている。また、図3に二点鎖線で描いたのは、発生したオゾンガス気泡の上昇時のおおよその軌跡であるが、基板Wの面方向においてオゾンガスの気泡が接触しない部分がないように、隣接する球状泡発生部品35から発生したオゾンガス気泡の上昇軌跡が基板Wの面において一部重複するように配置されている。
【0025】
また、図4に示すように、基板Wが整列されている方向においても、各球状泡発生部品35からのオゾンガス気泡の上昇軌跡が一部重複するように、各球状泡発生部品35が配置されている。したがって、複数枚の基板Wを同時に処理する場合に、基板Wごとにムラが生じるのを防止でき、全ての基板Wに対して均一な処理を施すことができる。
【0026】
図1に戻る。
制御部47は、液面センサ23及び温度センサ25などの検出値に基づいて、循環ポンプ11と、開閉弁19と、加熱ヒータ13と、硫酸補充装置29と、開閉弁31と、オゾンガス発生装置37と、開閉弁41とを制御する。この制御は、予め規定されているレシピに応じて行われる。
【0027】
次に、図5及び図6を参照して上述した基板処理装置の動作について説明する。なお、図5は処理の流れを示すフローチャートであり、図6はエッチング処理の流れを示すフローチャートである。また、以下の説明においては、具体的な処理としてエッチング処理を例に採って行う。
【0028】
概略的には、ステップS1にて基板Wに対して化学的な処理を施すエッチング処理を行い、続いてステップS2にて純水洗浄を行い、最後にステップS3にて乾燥処理を行う。なお、ステップS2の純水洗浄及びステップS3の乾燥処理は、他の処理槽において実施される。
【0029】
ステップS11
制御部47は、開閉弁31を開放して硫酸補充装置29から処理液である硫酸を処理槽1に対して供給開始する。なお、基板Wを載置した保持部3は処理槽1の上方に待機し、開閉弁19は閉じた状態である。
【0030】
ステップS12
液面センサ23からの検出値に基づいて、制御部47は硫酸の供給量を検出し、その量に応じて開閉弁31を閉止し、硫酸の供給を停止する。
【0031】
ステップS13
循環ポンプ11を作動させ、処理槽1に供給された硫酸を循環させる。
【0032】
ステップS14
加熱ヒータ13を制御して温調を開始し、循環している処理液の温度を、所定の温度(温調の目標値であり、例えば、150℃)に調整し始める。
【0033】
ステップS15
温度センサ25からの検出値に基づき、制御部47は処理を分岐する。つまり、温調の目標値に達していれば次のステップS16に移行し、達していなければステップS15を繰り返す。
【0034】
ステップS16
温調が完了した場合には、一旦加熱ヒータ13をオフにする。
なお、処理中に温度低下が生じた場合には、温度センサ25からの検出値に基づいて制御部47が加熱ヒータ13を適宜に作動させて、温度の一定化を図るのが好ましい。
【0035】
ステップS17
保持部3を下降し、これに載置されている複数枚の基板Wを処理槽1に収容する。
【0036】
ステップS18
制御部47は、保持部3が処理位置に下降するとともに、開閉弁41を開放する。これにより、気泡供給手段33から基板Wに対してオゾンガスの気泡が供給される。また、これとともに制御部47は、処理時間の経時を開始する。
【0037】
ステップS19
レシピに規定された所定の時間(処理時間)が経過したか否かによって処理を分岐する。
すなわち、処理時間に達していない場合には、ステップS19を繰り返し、処理時間に達した場合には、次のステップS20に移行する。
【0038】
ステップS20
制御部47は開閉弁41を閉止し、基板Wに対するオゾンガスの供給を停止する。
【0039】
ステップS21
制御部47は、保持部3を処理位置から受け渡し位置に上昇させる。基板Wは、図示しない搬送ロボットによって洗浄処理用の処理槽に移動され、付着した硫酸が除去され(ステップS2)、その後、図示しない搬送ロボットによって乾燥処理用の処理槽に移動され、基板Wの乾燥が行われる(ステップS3)。
【0040】
なお、ステップS17の前に開閉弁41を開放して、処理槽1に循環する硫酸へオゾンガスを飽和状態まで溶解するシーケンスとしてもよい。
【0041】
このような一連の処理により、本実施例装置にて基板Wにエッチング処理が施されるが、本実施例によると、気泡供給手段33は気泡が基板W面方向において一部重複するように気泡発生部品35を備えているので、基板Wの面方向にてオゾンガスの気泡が接触しない部分を無くすことができ、基板Wの面方向にて均一にオゾンガスの気泡を接触させることができる。したがって、高価なアッシャー装置を用いることなく処理時間の短縮を図ることができる。
【0042】
また、基板Wの整列方向においてもオゾンガスの気泡がムラなく複数枚の基板Wに接触するように気泡供給手段33が構成されているので、複数枚の基板Wを同時に処理する際にも上記同様の効果を奏するとともに、各基板Wに均一に処理を施すことができる。
【0043】
なお、図2では気泡供給手段33の配管がオゾンガス供給口から全体に広がる構造で終端は単管止めになっているが、端部の配管をお互いにつなぐことにより配管内の全体圧力を均一化してさらに均一な泡を得ることが可能となる。
【0044】
また、上述した気泡供給手段33は、次のように構成してもよい。
【0045】
ここで、図7及び図8を参照する。なお、図7は気泡供給手段の気泡発生箇所を基板面方向で切り換え可能に構成した例を示す模式的な平面図であり、図8は図7を基板面側から見た側面図である。
【0046】
気泡供給手段33Aは、各気泡発生部品35のうち、基板Wの面方向の位置ごとに、気泡の発生を制御できるように構成されている。つまり、分岐配管43をA1系統と、A2系統の二系統に分け、それぞれ独立してオゾンガスの供給が可能なように構成する。
【0047】
このように構成することにより、気泡を発生させる気泡発生部品35を、基板Wの面位置に応じて切り換えることができる。基板Wの面方向の位置により、処理の進み具合が異なる場合があるが、このような場合であってもオゾンガスを供給する系統A1,A2を切り換えることにより、一様な処理にすることができる。例えば、基板Wの中央部と左右端が、それらの間よりも処理の進行が遅い場合には、A1系統にオゾンガスを多めに供給したり、長時間供給したりする。逆に、A2系統のオゾンガス供給量や供給時間を、A1系統よりも少なくまたは短くする。
【0048】
また、A1系統にオゾンガスを供給している間は、A2系統の供給を停止しないで供給量を減らすという構成にしてもよい。
【0049】
なお、当然のことならが、5系統で切り換え可能に構成し、より細かく気泡接触箇所を制御できるように構成してもよい。また、球状泡発生部品35を基板Wの面方向に2個、3個、4個、6個以上で構成してもよく、その場合にはその個数に応じた数の系統で切り換え可能に構成してもよい。
【0050】
上記の例は、基板Wの面方向においてオゾンガス気泡を制御するものであるが、次のように基板Wの整列方向で制御するようにしてもよい。
【0051】
ここで図9を参照する。図9は、気泡供給手段の気泡発生箇所を基板整列方向で切り換え可能に構成した他の例を示す模式的な平面図である。
【0052】
気泡供給手段33Bは、各気泡発生部品35のうち、基板Wの整列方向の位置ごとに、気泡の発生を制御できるように構成されている。例えば、分岐配管43をB1系統と、B2系統の二系統に分け、それぞれ独立してオゾンガスの供給が可能なように構成する。二系統としては、例えば、50枚の基板Wを保持する保持部3を備えている場合には、連続的に25枚の基板Wが位置する箇所ごとに切り換え可能なように構成する。
【0053】
このように構成することにより、保持部3が保持可能な基板W枚数よりも少ない基板Wを載置し、それらを同時処理する際には、不要な箇所におけるオゾンガス気泡の発生を行う必要がない。したがって、オゾンガスの無駄を抑制することができる。また、排出されたオゾンガスを処理するために必要なエネルギも抑制することができる。その結果、オゾンガス処理装置の小型化、コスト削減等も可能になる。
【0054】
また、保持部3が保持可能な基板W数枚を保持していても処理時間に余裕がある場合には、処理時間は長くなるが複数の系統の切り替えを行うことにより廃棄されるオゾンガス濃度が低下するためオゾンガス処理装置の小型化、コスト削減等が可能になる。
【0055】
また、上述した実施例では、気泡発生部材として球状泡発生部品35を備えた気泡供給手段33,33A,33Bを例に採って説明したが、これに代えて図10に示すような気泡供給手段53を採用してもよい。なお、図10は、気泡供給手段の他の構成例を示す斜視図である。
【0056】
すなわち、この気泡供給手段53は、基板Wの整列方向に長軸を有する円柱状泡発生部品55を備えている。円柱状泡発生部品55は、例えば、石英粒子を焼結して円柱状に整形したものである。このような構成であっても、上述した球状のものに比較して、さらに均一なオゾンガスの気泡を基板Wに供給することができる。さらに球状のものに比較して円柱状気泡発生部品55を製造しやすいという利点がある。
【0057】
なお、気泡供給手段53によるオゾンガスの気泡領域の面積は、気泡発生部材と基板Wとの距離が長くなるにしたがって大きくなるので、その距離を長くとることで気泡発生部材の使用個数や量を少なくすることができる。しかし、その一方で、距離に比例して処理槽1が大きくなってしまう。したがって、その距離は、処理液量と装置の小型化とを勘案して設定するのが好ましい。
【0058】
図11及び図12では、本実施例に基づいて、必要な直径約20mmの球状泡発生部品の配置について説明する。
【0059】
図11では、オゾンガス量を10L/minから25L/minまで変化させたときの泡発生部から発生する泡の幅は基板Wの距離によってどのくらい広がるかをみた。従来からの槽を使用した場合、泡発生部から基板Wの距離が41mmであった。また、比重の高い(1.83)中で泡を発生しても基板Wが浮きを発生しないオゾンガス量は20Lを供給したときであった。そのとき、基板W付近の泡の幅が約40mmであった。
【0060】
図12では、基板Wの幅が200mmの場合に必要最低限の泡の幅と泡発生部個数、オゾンガス流量と泡との相関をみた。このことからオゾンガス流量が15L〜20Lまでの範囲でお互いの泡が重なり、泡が均一に基板Wにあたるためには最低6個以上必要なことが分かる。このようにして、基板Wに均一にオゾンガスを当てる泡発生部品の個数配置が決定できる。
【0061】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項1に記載の発明によれば、気泡供給手段は、気泡が基板面方向において一部重複するように気泡発生部材を備えているので、基板の面方向にてオゾンガスの気泡が接触しない部分を無くすことができ、基板の面方向にて均一にオゾンガスの気泡を接触させることができる。したがって、高価なアッシャー装置を用いることなく処理時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図2】気泡供給手段の概略構成を示す平面図である。
【図3】気泡供給手段の概略構成を示し、基板面側から見た側面図である。
【図4】気泡供給手段の概略構成を示し、基板の整列方向から見た側面図である。
【図5】処理の流れを示すフローチャートである。
【図6】エッチング処理の流れを示すフローチャートである。
【図7】気泡供給手段の気泡発生箇所を基板面方向で切り換え可能に構成した例を示す模式的な平面図である。
【図8】図7を基板面側から見た側面図である。
【図9】気泡供給手段の気泡発生箇所を基板整列方向で切り換え可能に構成した他の例を示す模式的な平面図である。
【図10】気泡供給手段の他の構成例を示す斜視図である。
【図11】ガス流量・基板との距離と泡の広がりを示す実施例を示したグラフである。
【図12】200mm基板で、泡発生部と基板との距離が41mmのときの泡発生部の必要個数を示す実施例を示したグラフである。
【符号の説明】
W … 基板
1 … 処理槽
3 … 保持部
5 … 内槽
7 … 外槽
33,33A,33B … 気泡供給手段
35 … 球状泡発生部品(気泡発生部材)
47 … 制御部
53 … 気泡供給手段
55 … 円柱状泡発生部品(気泡発生部材)
Claims (4)
- 基板に所定の処理を施す基板処理装置において、
複数枚の基板を起立姿勢で保持する保持部と、
140℃以上の高温硫酸を貯留し、前記保持部を浸漬して基板に処理を施す処理槽と、
石英粒子を焼結して構成され、オゾンガスを泡状にして発生させる気泡発生部材を、オゾンガスの気泡が基板面方向にて一部重複するように前記処理槽内に複数個備えている気泡供給手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記気泡発生部材が球状を呈することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記気泡発生部材が基板整列方向に長軸を有する円柱状を呈することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記気泡供給手段は、複数個の気泡発生部材のうち、気泡を発生させるものを切り換え可能に構成されていることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003122266A JP2004327826A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 基板処理装置 |
US10/830,936 US20040221880A1 (en) | 2003-04-25 | 2004-04-23 | Substrate treating apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003122266A JP2004327826A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004327826A true JP2004327826A (ja) | 2004-11-18 |
Family
ID=33410071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003122266A Abandoned JP2004327826A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 基板処理装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20040221880A1 (ja) |
JP (1) | JP2004327826A (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007214182A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法およびエッチング液 |
JP2007324567A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板エッチング装置 |
JP2017063107A (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 | 半導体基板処理装置、フォトレジストを剥離する方法、および半導体装置の製造方法 |
KR20180010993A (ko) * | 2016-07-22 | 2018-01-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판액 처리 장치, 기판액 처리 방법 및 기억 매체 |
JP2018174258A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 |
JP2019012856A (ja) * | 2018-10-19 | 2019-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
US10978316B2 (en) | 2018-02-21 | 2021-04-13 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor processing device |
WO2021131671A1 (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
KR20220058471A (ko) * | 2020-10-30 | 2022-05-09 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP7461269B2 (ja) | 2020-10-09 | 2024-04-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7510334B2 (ja) | 2020-10-30 | 2024-07-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
US12046487B2 (en) | 2016-04-22 | 2024-07-23 | Kioxia Corporation | Substrate treatment apparatus and substrate treatment method |
KR102690115B1 (ko) | 2020-10-30 | 2024-07-30 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008016620A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び半導体製造方法 |
US20110130009A1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-02 | Lam Research Ag | Method and apparatus for surface treatment using a mixture of acid and oxidizing gas |
DE102011000861A1 (de) * | 2011-02-22 | 2012-08-23 | Rena Gmbh | Verfahren zum Behandeln eines Objekts, insbesondere eines Solarzellensubstrats, und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
JP5792094B2 (ja) * | 2012-02-24 | 2015-10-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法および液処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体 |
JP6168271B2 (ja) | 2012-08-08 | 2017-07-26 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
TWI789964B (zh) * | 2020-10-30 | 2023-01-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2733771B2 (ja) * | 1988-07-29 | 1998-03-30 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | 液体による処理装置 |
US5133876A (en) * | 1990-12-12 | 1992-07-28 | Environmental Dynamics, Inc. | Method and apparatus for aerating wastewater using sequential aeration of different zones |
US5464480A (en) * | 1993-07-16 | 1995-11-07 | Legacy Systems, Inc. | Process and apparatus for the treatment of semiconductor wafers in a fluid |
US5971368A (en) * | 1997-10-29 | 1999-10-26 | Fsi International, Inc. | System to increase the quantity of dissolved gas in a liquid and to maintain the increased quantity of dissolved gas in the liquid until utilized |
US6715944B2 (en) * | 1998-11-12 | 2004-04-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Apparatus for removing photoresist film |
JP3376985B2 (ja) * | 2000-02-25 | 2003-02-17 | 日本電気株式会社 | ウェット処理装置 |
US7243911B2 (en) * | 2004-01-27 | 2007-07-17 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate treating apparatus |
-
2003
- 2003-04-25 JP JP2003122266A patent/JP2004327826A/ja not_active Abandoned
-
2004
- 2004-04-23 US US10/830,936 patent/US20040221880A1/en not_active Abandoned
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007214182A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法およびエッチング液 |
JP4728826B2 (ja) * | 2006-02-07 | 2011-07-20 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法およびエッチング液 |
JP2007324567A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板エッチング装置 |
KR101244896B1 (ko) * | 2006-06-05 | 2013-03-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 식각장치 |
US10916454B2 (en) | 2015-09-24 | 2021-02-09 | Ablic Inc. | Method of stripping a photoresist, and method of manufacturing a semiconductor device |
US10504755B2 (en) | 2015-09-24 | 2019-12-10 | Ablic Inc. | Semiconductor-substrate processing apparatus, method of stripping a photoresist, and method of manufacturing a semiconductor device |
JP2017063107A (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 | 半導体基板処理装置、フォトレジストを剥離する方法、および半導体装置の製造方法 |
CN106919014B (zh) * | 2015-09-24 | 2021-05-11 | 艾普凌科有限公司 | 半导体基板处理装置、剥离方法和半导体装置的制造方法 |
CN106919014A (zh) * | 2015-09-24 | 2017-07-04 | 精工半导体有限公司 | 半导体基板处理装置、剥离方法和半导体装置的制造方法 |
US12046487B2 (en) | 2016-04-22 | 2024-07-23 | Kioxia Corporation | Substrate treatment apparatus and substrate treatment method |
KR20180010993A (ko) * | 2016-07-22 | 2018-01-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판액 처리 장치, 기판액 처리 방법 및 기억 매체 |
KR102381166B1 (ko) | 2016-07-22 | 2022-03-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판액 처리 장치, 기판액 처리 방법 및 기억 매체 |
JP2018174258A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 |
US10978316B2 (en) | 2018-02-21 | 2021-04-13 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor processing device |
JP2019012856A (ja) * | 2018-10-19 | 2019-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
WO2021131671A1 (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7461269B2 (ja) | 2020-10-09 | 2024-04-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
KR102620339B1 (ko) | 2020-10-30 | 2024-01-02 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP7510334B2 (ja) | 2020-10-30 | 2024-07-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR20220058471A (ko) * | 2020-10-30 | 2022-05-09 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102690115B1 (ko) | 2020-10-30 | 2024-07-30 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP7526074B2 (ja) | 2020-10-30 | 2024-07-31 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040221880A1 (en) | 2004-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004327826A (ja) | 基板処理装置 | |
TWI553888B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
TWI278029B (en) | Liquid treatment device and liquid treatment method | |
JP6300139B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理システム | |
TWI602254B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP6320869B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
US20160225683A1 (en) | Substrate liquid processing apparatus, substrate liquid processing method, and computer-readable storage medium | |
JP2007165833A (ja) | 乾燥装置、乾燥方法、及び乾燥プログラム、並びに、これらを有する基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラム | |
JP2018117032A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5313647B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2006344907A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP7130510B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
US10458010B2 (en) | Substrate liquid processing apparatus, substrate liquid processing method, and storage medium | |
JP2004535662A (ja) | メガ帯域システム | |
JP2006261674A (ja) | 機能水供給システム、及び機能水供給方法 | |
JP6435385B2 (ja) | 基板処理用の薬液生成方法、基板処理用の薬液生成ユニット、基板処理方法、および基板処理システム | |
JP6824962B2 (ja) | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
JP2008034428A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2005045206A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2023029455A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP7321052B2 (ja) | 基板処理装置および装置洗浄方法 | |
JP4351981B2 (ja) | 半導体基板の洗浄方法及びその装置 | |
KR101052821B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 그 방법 | |
JP2008028280A (ja) | 基板処理装置及び処理液置換方法 | |
TWI791956B (zh) | 基板處理裝置以及基板處理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060309 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20081119 |