JP7190912B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
<基板処理装置の構成>
まず、実施形態に係る基板処理装置の構成について図1を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る基板処理装置1の平面図である。
次に、エッチング用の処理槽61について図2を参照して説明する。図2は、第1の実施形態に係るエッチング用の処理槽61の構成を示すブロック図である。
ここで、第1の実施形態に係る気体供給部107の構成について図3~図5を参照して説明する。図3は、第1の実施形態に係る気体供給部107の斜視図である。図4は、第1の実施形態に係る気体供給部107の断面図である。図5は、第1の実施形態に係る気体供給部107の側面図である。なお、図4は、図5におけるVI-VI線矢視における断面図である。また、図5は、気体供給部107における第3吐出経路173および第4吐出経路174をX軸正方向側からX軸負方向に見た側面図である。
次に、上述した第1の実施形態に係る気体供給部107の変形例について図6~図8を参照して説明する。図6は、第1の実施形態における第1の変形例に係る気体供給部の側面図である。図7は、第1の実施形態における第2の変形例に係る気体供給部の側面図である。図8は、第1の実施形態における第2の変形例に係る気体供給部の平面図である。
第1の実施形態および第1および第2変形例では、複数のウェハWの配列方向と直交する方向に配列された複数の吐出経路のうち、最も内側に配置される吐出経路を複数のウェハWの配列方向に分割することとした。しかし、これに限らず、複数のウェハWの配列方向に分割される吐出経路は、複数のウェハWの配列方向と直交する方向に並べられた複数の吐出経路のうち、最も外側に配置される吐出経路であってもよいし、その他の吐出経路であってもよい。
次に、第2の実施形態に係る気体供給部の構成について図9を参照して説明する。図9は、第2の実施形態に係る気体供給部の側面図である。
次に、第3の実施形態に係る気体供給部の構成について図10を参照して説明する。図10は、第3の実施形態に係る気体供給部の斜視図である。
次に、上述した位置調整部176Dの変形例について図11および図12を参照して説明する。図11は、第3の実施形態における第1の変形例に係る位置調整部の構成を示す斜視図である。また、図12は、第3の実施形態における第2の変形例に係る位置調整部の構成を示す斜視図である。
次に、第4の実施形態に係る気体供給部の構成について図13を参照して説明する。図13は、第4の実施形態に係る気体供給部の断面図である。なお、図13に示す気体供給部107Gは、第1の実施形態に係る第1~第4第1吐出経路171~174と同様の第1~第4第1吐出経路171G~174Gを備えるものとするが、他の実施形態と同様の第1~第4第1吐出経路を備えていてもよい。
次に、第5の実施形態に係る気体供給部の構成について図14および図15を参照して説明する。図14は、第5の実施形態に係る気体供給部を上方から見た斜視図である。また、図15は、第5の実施形態に係る気体供給部を下方から見た斜視図である。
上述してきた各実施形態では、気体供給部107,107A~107Hが窒素等の気体を吐出する場合の例について説明したが、気体供給部107,107A~107Hは、気体に限らず、液体を吐出してもよい。
1 基板処理装置
61 処理槽
101 内槽
107 気体供給部
171 第1吐出経路
172 第2吐出経路
173 第3吐出経路
174 第4吐出経路
715,725,735,745 吐出口
Claims (7)
- 配列された複数の基板を処理液に浸漬させて処理を行う処理槽と、
前記処理槽の内部において前記複数の基板よりも下方に配置され、流体を吐出することによって前記処理槽の内部に前記処理液の液流れを発生させる流体供給部と
を備え、
前記流体供給部は、
前記複数の基板の配列方向における異なる領域に前記流体を吐出する複数の吐出経路と、
前記複数の基板の配列方向と直交する方向に前記複数の吐出経路と並べて配置され、前記流体を吐出する他の吐出経路と
を備え、
前記複数の吐出経路は、前記他の吐出経路と比べて内径が小さい、基板処理装置。 - 前記流体供給部は、
前記流体として気体を供給する、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記複数の吐出経路を移動させる移動機構
を備える、請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 配列された複数の基板を処理液に浸漬させて処理を行う処理槽と、
前記処理槽の内部において前記複数の基板よりも下方に配置され、流体を吐出することによって前記処理槽の内部に前記処理液の液流れを発生させる流体供給部と
を備え、
前記流体供給部は、
前記複数の基板の配列方向における異なる領域に前記流体を吐出する複数の吐出経路と、
前記吐出経路を取り付ける取付プレートと
を備え、
前記取付プレートは、
複数の取付穴を有し、前記複数の取付穴のうち任意の取付穴に対して前記吐出経路を取り付け可能である、基板処理装置。 - 前記流体供給部は、
互いに区画された複数の吐出領域が設けられた吐出プレート
を備え、
前記複数の吐出領域のそれぞれは、複数の吐出口を有しており、前記複数の吐出経路のうち対応する吐出経路に接続される、請求項1~4のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記流体供給部は、
前記処理槽の内壁に向かって前記流体を吐出する吐出口
を備える、請求項1~5のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 配列された複数の基板を処理液に浸漬させて処理を行う処理槽と、
前記処理槽の内部において前記複数の基板よりも下方に配置され、前記複数の基板の配列方向における異なる領域に流体を吐出する複数の吐出経路を有し、前記流体を吐出することによって前記処理槽の内部に前記処理液の液流れを発生させる流体供給部と、
前記複数の吐出経路を前記複数の基板の配列方向に沿って移動させる移動機構と、
前記流体供給部から吐出される前記流体の吐出時間および吐出流量の少なくとも1つを制御する制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記複数の基板を前記処理槽に浸漬させ、前記複数の吐出経路から前記流体を吐出させた状態で、前記移動機構を制御して前記複数の基板間の距離未満のストロークで前記複数の吐出経路を移動させることにより、前記複数の吐出経路の吐出位置を変更させる、基板処理装置。
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