JPS6413124U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6413124U JPS6413124U JP10617487U JP10617487U JPS6413124U JP S6413124 U JPS6413124 U JP S6413124U JP 10617487 U JP10617487 U JP 10617487U JP 10617487 U JP10617487 U JP 10617487U JP S6413124 U JPS6413124 U JP S6413124U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaned
- processing gas
- cleaning
- cleaning device
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
図は本案実施例を示すもので、第１図は全体構
成図、第２図Ａ・Ｂは要部の構成斜視図と断面略
示図、第３図Ａ・Ｂは他の実施例を示す断面略示
図である。 １……洗浄槽、２……洗浄液供給管、５……棚
、６……被洗浄部材、７……キヤリア、８……噴
出翼、８１，８２，８３……気体噴出口。
成図、第２図Ａ・Ｂは要部の構成斜視図と断面略
示図、第３図Ａ・Ｂは他の実施例を示す断面略示
図である。 １……洗浄槽、２……洗浄液供給管、５……棚
、６……被洗浄部材、７……キヤリア、８……噴
出翼、８１，８２，８３……気体噴出口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 洗浄液槽内に被洗浄部材を浸漬して洗浄す
る装置であつて、処理気体供給管に連通支持され
て、処理気体噴出時の反力で回動する処理気体噴
出翼を上記被洗浄部材浸漬位置より下方に設けた
ことを特徴とする洗浄装置。 (2) 被洗浄部材が電子部材である実用新案登録
請求の範囲第１項記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10617487U JPS6413124U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10617487U JPS6413124U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413124U true JPS6413124U (ja) | 1989-01-24 |
Family
ID=31339447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10617487U Pending JPS6413124U (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6413124U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020113621A (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
-
1987
- 1987-07-10 JP JP10617487U patent/JPS6413124U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020113621A (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
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