JPS6188235U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6188235U JPS6188235U JP17244384U JP17244384U JPS6188235U JP S6188235 U JPS6188235 U JP S6188235U JP 17244384 U JP17244384 U JP 17244384U JP 17244384 U JP17244384 U JP 17244384U JP S6188235 U JPS6188235 U JP S6188235U
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- JP
- Japan
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- container
- cleaned
- holder
- pair
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案のマスク洗浄装置の一実施例
の平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ′線の断面図
である。 １……マスク基板、２……マスクホルダ、４…
…モータ、５……ベルト、６……上部アーム、７
……下部アーム、８……上部ノズル、９……下部
ノズル、１０〜１３……排水口、２０……容器。
の平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ′線の断面図
である。 １……マスク基板、２……マスクホルダ、４…
…モータ、５……ベルト、６……上部アーム、７
……下部アーム、８……上部ノズル、９……下部
ノズル、１０〜１３……排水口、２０……容器。
Claims (1)
- 容器内に回転可能に設けられた被洗浄物を取り
付けるホルダと、上記容器内において上記ホルダ
の表裏面側に配設され同時に高圧水を上記被洗浄
物に噴射する一対のノズルとよりなるマスク洗浄
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17244384U JPS6188235U (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17244384U JPS6188235U (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6188235U true JPS6188235U (ja) | 1986-06-09 |
Family
ID=30730109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17244384U Pending JPS6188235U (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6188235U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177031U (ja) * | 1987-05-06 | 1988-11-16 | ||
| JPS63177034U (ja) * | 1987-05-06 | 1988-11-16 |
-
1984
- 1984-11-15 JP JP17244384U patent/JPS6188235U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177031U (ja) * | 1987-05-06 | 1988-11-16 | ||
| JPS63177034U (ja) * | 1987-05-06 | 1988-11-16 |