CN113582553A - 一种超薄玻璃盖板加工工艺 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超薄玻璃盖板加工工艺，包括玻璃大板减薄、激光切割、边缘处理、化学钢化、面蚀刻优化及超声清洗等，所述边缘处理采用化学蚀刻方式，利用氢氟酸/硝酸/硫酸溶液通过浸泡的方式对切割后的超薄玻璃边缘进行钝化处理以修复玻璃四边微小的崩边缺陷，同时对玻璃两面进行蚀刻减薄，避免覆膜撕膜过程，提高了成品良率，解决了传统的边缘处理存在的问题，加工的超薄玻璃成品具有较好的边缘效果及较低的表面粗糙度，确保了成品玻璃优异的弯折性能和较高的耐冲击强度。

Description

一种超薄玻璃盖板加工工艺

技术领域

本发明属于超薄玻璃加工技术领域，具体涉及一种超薄玻璃盖板加工工艺。

背景技术

随着电子产品的更新换代，人们对玻璃盖板的追求越趋于轻薄化，折叠屏的出现更是引起了社会各界的广泛关注，超薄玻璃盖板的出现在电子显示行业受到越来越多上市公司的热议。2020年Samsung Galaxy系列首次采用超薄玻璃运用到手机盖板中，由于其体积小，厚度薄，强度高，回弹性好，可同时兼顾手机及Ipad的使用效果，对可折叠电脑及卷轴显示提供了新的方向，受到广大消费者的青睐。超薄玻璃(Ultra-Thin Glass，UTG)是指玻璃厚度小于100μm且具有柔性的玻璃，经过表面加工和边缘处理后的超薄玻璃由于具有高的耐冲击性及弯折性能等优势广泛的运用于各类电子行业中，为折叠显示屏行业划下了一个重大里程碑，成为继CPI盖板后在可折叠柔性领域具有重要地位，出现了搭载UTG作为保护盖板(Cover window)的折叠显示终端，使得显示终端形态不再局限于平面直板机或常规翻盖机，而呈现出多样流行化的发展趋势。

由于当前研究超薄玻璃的基本厚度为30-100μm，由于玻璃较脆，且厚度较薄，难以进行边缘处理，化学钢化及面蚀刻处理，UTG常规边缘处理法良率较低,成本浪费较大，且玻璃边缘处与栏具接触的地方会有明显的夹具印，对玻璃表观质量及强度影响较大。常规UTG边缘处理方式为利用防酸膜对玻璃两面进行保护，只对玻璃四边进行保护，但在长时间酸液浸泡过程中防酸膜易出现翘起现象，导致玻璃因渗酸造成边缘锯齿现象，同时对于板厚30μm以下的UTG，在蚀刻结束后由于玻璃的脆性撕膜过程制损率较高，造成极大成本浪费；采用常规物理边缘抛光方式进行边抛，由于玻璃太薄无法进行叠层抛光，整体良率也较低。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，为此，本发明的目的在于提供一种操作简单、边缘及表面处理效果好、良率高的超薄玻璃盖板加工工艺，解决了传统的边缘处理存在的问题，加工的超薄玻璃成品具有较好的边缘效果及较低的表面粗糙度，确保了成品玻璃优异的弯折性能和较高的耐冲击强度。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：一种超薄玻璃盖板加工工艺，包括玻璃大板减薄、激光切割、边缘处理、化学钢化、面蚀刻优化及超声清洗，所述边缘处理采用化学蚀刻方式，利用氢氟酸/硝酸/硫酸溶液通过浸泡的方式对切割后的超薄玻璃边缘进行钝化处理以修复玻璃四边微小的崩边缺陷，同时对玻璃两面进行蚀刻减薄。

进一步的，所述边缘处理中的蚀刻采用的为浸泡式处理，对超薄玻璃表观及四边同时进行蚀刻，可修复玻璃表面加工过程带来的不良及激光切割边缘微小崩边，蚀刻量在5-20μm，酸蚀速率在1.5-2μm/min。

进一步的，所述面蚀刻优化为对减薄或钢化后成品超薄玻璃进行表面微蚀刻处理，修复制程过程中产生的不良及钢化后放大的缺陷；利用微蚀刻药液浸泡超薄玻璃，微蚀刻面蚀刻量控制在1-4μm，控制酸蚀速率在0.5-1μm/min。

进一步的，所述边缘处理和面蚀刻优化工段所使用的装置均包括蚀刻槽体、蚀刻药液、蚀刻工装和用于避免超薄玻璃上夹具印记产生的除印机构，所述蚀刻工装和除印机构均设置在蚀刻槽体内，除印机构位于蚀刻工装的下方，超薄玻璃放置在蚀刻工装中，蚀刻槽体注有蚀刻药液，超薄玻璃浸泡在蚀刻药液中；蚀刻工装和超薄玻璃竖立放置在蚀刻槽体中，超薄玻璃与蚀刻工装上用于放置超薄玻璃的腔体之间为间隙配合。

进一步的，所述除印机构为发泡管，发泡管均匀的安装在蚀刻槽体内的底板上，蚀刻工装放置在发泡管上，发泡管缓慢鼓泡使靠立在蚀刻工装中超薄玻璃进行轻微摆动。

进一步的，所述除印机构为超声振子和PVC板，超声振子安装在蚀刻槽体内的底板上，PVC板的下底面与超声振子的顶部紧密贴合，PVC板的上表面与蚀刻工装的底面紧密贴合，蚀刻工装放置在PVC板上，超声振子产生的超声使靠立在蚀刻工装中超薄玻璃进行微小震动。

进一步的，所述蚀刻工装包括夹板、挡板和底板，夹板连接在底板的左右两侧，挡板连接在底板前后两侧，夹板与挡板连接构成用于放置超薄玻璃的腔体。

进一步的，所述夹板上设有用于卡接超薄玻璃侧部的凹槽，凹槽的宽度大于超薄玻璃的厚度；所述挡板上设有通孔，蚀刻药液通过通孔进入到腔体中对超薄玻璃进行面蚀刻。

进一步的，所述边缘处理中蚀刻药液为氢氟酸/硝酸/硫酸/盐酸等混合溶液，其蚀刻速率在1.5-2μm/min，面蚀刻优化中蚀刻药液为氢氟酸/硝酸/硫酸/氟化铵及去离子水的混合溶液，保证蚀刻速率在0.5-1μm/min，防止速率过快出现表面粗糙度过大等问题；所述发泡管的直径为0.2-0.5mm，发泡流量为1-4mm/s；超声振子的超声功率为3-8kW，PVC板的厚度为5-10mm。

进一步的，所述激光切割采用红外皮秒激光切割机进行切割，切割功率为5-20w，切割速度为10-50mm/min，切割对应最大玻璃尺寸为550*650mm，切割崩边量在3-5μm，可满足各类玻璃异形形状切割。

采用本发明技术方案的优点为：

1、本发明所述一种超薄玻璃盖板加工工艺，操作方便，加工周期短，可实现量产规划，玻璃边缘及表面均得到相应的处理，良率较高，加工成品UTG具有较高的耐冲击强度及优异的弯折性能，能满足当前市场电子产品盖板类需求，具有较好的使用价值。

2、本发明提供的一种超薄玻璃盖板加工工艺有效的解决了超薄玻璃边缘不良及表面粗糙度优化问题，所述工艺路线合理，在UTG生产制程中良品率极高，且成品玻璃具有较高的耐冲击性和优异的弯折性能，同时具有高的透过率和弯折强度，具备量产性，能够有效的解决塑料盖板折痕问题，为折叠屏电子设备打开了广阔的视野，并为柔性屏市场提供了一种新的可能性。。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：

图1为本发明玻璃大板减薄双面蚀刻工装的结构示意图；

图2为本发明除印机构为发泡管时面蚀刻装置结构示意图；

图3为本发明除印机构为超声振子时面蚀刻装置结构示意图；

图4为本发明蚀刻工装夹板与超薄玻璃接触的局部放大示意图；

图5为本发明钢化及超声清洗栏具的结构示意图。

上述图中的标记分别为：1、蚀刻槽体；2、蚀刻药液；3、蚀刻工装；31、夹板；311、凹槽；32、挡板；321、通孔；4、超薄玻璃；5、发泡管；6、超声振子；7、PVC板。

具体实施方式

在本发明中，需要理解的是，术语“长度”；“宽度”；“上”；“下”；“前”；“后”；“左”；“右”；“竖直”；“水平”；“顶”；“底”“内”；“外”；“顺时针”；“逆时针”；“轴向”；“平面方向”；“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位；以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

如图1至图5所示，一种超薄玻璃盖板加工工艺，包括玻璃大板减薄、激光切割、边缘处理、化学钢化、面蚀刻优化及超声清洗等，所述边缘处理采用化学蚀刻方式，利用氢氟酸/硝酸/硫酸溶液通过浸泡的方式对切割后的超薄玻璃边缘进行钝化处理以修复玻璃四边微小的崩边缺陷，同时对玻璃两面进行蚀刻减薄，避免覆膜撕膜过程，提高了成品良率，解决了传统的边缘处理存在的问题，加工的超薄玻璃成品具有较好的边缘效果及较低的表面粗糙度，确保了成品玻璃优异的弯折性能和较高的耐冲击强度。

大板减薄主要原理为氢氟酸与玻璃表面二氧化硅反应生成氟硅酸达到玻璃减薄的效果，本发明所述减薄设备为先进喷淋线，对比传统浸泡方式，可量产400*500*0.1mm及以下的基板，具有在线加热、保温等功能，能够减少温度对产品的影响，同时具备在线过滤系统，过滤掉蚀刻反应物，有效减少对产品品质的影响。具体的，大板减薄为双面减薄，使用独特的双面蚀刻工装及先进的喷淋技术进行减薄，其中减薄双面蚀刻工装如图1所示，蚀刻过程简单，操作容易，且装载量较大，过程中可随时监控生产异常及时处理，本发明所述减薄蚀刻工装对应最大尺寸玻璃范围为400*500mm，板厚从1.0mm减薄到0.02mm之间均可实现。

激光切割采用全自动红外皮秒切割，能够精准有效的切除减薄过程带来的边缘不良，有效的控制玻璃边缘崩边为5μm以下，且具有对UTG加工各类异形能力，不受样品性质限制。具体的，本发明所述激光切割为红外皮秒激光切割机，使用过程简单，操作容易，切割效率高，通过导入各类需求图纸后可根据事先设计的轨迹进行切割，切割功率在5-20w，切割速度在10-50mm/min，切割可对应最大玻璃尺寸为550*650mm，切割崩边量在3-5μm，可满足各类玻璃异形形状切割。

本发明所述的边缘处理中的蚀刻采用的为浸泡式处理，如图2、图3所示，对玻璃表观及四边同时进行蚀刻，可修复玻璃表面加工过程带来的不良及激光切割边缘微小崩边，蚀刻量在5-20μm，具体的依照不同板厚而定，主要通过调控酸液的配比(增大HF的量)及提高酸蚀温度(30-50℃)来控制酸蚀速率，使齐保持在1.5-2μm/min，避免蚀刻速率过高造成边缘锯齿及边缘不良等现象。为提高玻璃边缘成品率及减少UTG与工装接触部位夹具印等问题，本发明专利所述的面蚀刻槽体优化结构设计如下，在蚀刻液槽体底部增加系列超声振子，利用超声原理使靠立在工装齿条上面的UTG能够微小震动，避免夹具印记的产生，其中超声功率在3-8kW，功率过小超声效果不明显，功率过大易造成玻璃制损，另在超声振子上面隔有一层PVC板材，板厚太厚酸槽内超声效果较差，无法达到预期效果，其厚度在5-10mm保证UTG在面蚀刻处理过程中微小震动，达到预期效果。

本发明边缘处理和面蚀刻优化工段所使用的装置均包括蚀刻槽体1、蚀刻药液2、蚀刻工装3和用于避免超薄玻璃4上夹具印记产生的除印机构，所述蚀刻工装3和除印机构均设置在蚀刻槽体1内，除印机构位于蚀刻工装3的下方，超薄玻璃4放置在蚀刻工装3中，蚀刻槽体1注有蚀刻药液2，超薄玻璃4浸泡在蚀刻药液2中；蚀刻工装3和超薄玻璃4竖立放置在蚀刻槽体1中，超薄玻璃4与蚀刻工装3上用于放置超薄玻璃4的腔体之间为间隙配合。蚀刻工装3和除印机构的设置不仅能够有效的对应板厚为30-100μm尺寸在50*50-300*400mm面蚀刻优化，而且使加工成品超薄玻璃4表观没有任何夹具印记及不良，同时保证超薄玻璃4具有较高的耐冲击强度。

蚀刻工装3包括夹板31、挡板32和底板，夹板31连接在底板的左右两侧，挡板32连接在底板前后两侧，夹板31与挡板32连接构成用于放置超薄玻璃4的腔体。超薄玻璃4的一端插在腔体中，超薄玻璃4的另一端超出腔体，超薄玻璃4的两侧边与夹板31接触。

为方便夹板31与超薄玻璃4之间的夹紧，夹板31上设有用于卡接超薄玻璃4侧部的凹槽311，凹槽311的宽度大于超薄玻璃4的厚度，使超薄玻璃4在蚀刻工装3中有移动的余量；为方便夹板31与超薄玻璃4之间的的配合，避免凹槽311棱角对超薄玻璃4造成损伤，凹槽311设计为圆弧形。

挡板32上设有通孔321，蚀刻药液2通过通孔321进入到腔体中对超薄玻璃4进行面蚀刻，挡板32上设有多个通孔321，通孔321为长条形孔或腰形孔。通孔321的设置使蚀刻药液2不仅可以从上方进入到腔体中对超薄玻璃4进行面蚀刻，也可从前后两侧部进入，使蚀刻药液2进入的更加均匀，有利于提高面蚀刻效果。

为提高玻璃面蚀刻成品率及减少UTG与工装接触部位夹具印等问题，本发明所述的除印机构设计有如下两种，一种是除印机构为发泡管5，发泡管5均匀的安装在面蚀刻槽体1内的底板上，蚀刻工装3放置在发泡管5上，发泡管5缓慢鼓泡使靠立在蚀刻工装3中超薄玻璃4进行轻微摆动。具体的，在槽体底部添加多组发泡管，利用缓慢鼓泡设计使靠立在工装齿条上面的UTG能够轻微摆动，避免UTG在蚀刻过程中长时间与齿条接触造成夹具印记；其中发泡管的直接为0.2-0.5mm，发泡流量为1-4mm/s，保证发泡量微小且连续，避免发泡量过大带来玻璃浮起造成UTG制损现象。

另一种是除印机构为超声振子6和PVC板7，超声振子6安装在蚀刻槽体1内的底板上，PVC板7的下底面与超声振子6的顶部紧密贴合，PVC板7的上表面与蚀刻工装3的底面紧密贴合，蚀刻工装3放置在PVC板7上，超声振子6产生的超声使靠立在蚀刻工装3中超薄玻璃4进行微小震动。

具体的，在面蚀刻槽体底部增加系列超声振子，利用超声原理使靠立在工装齿条上面的UTG能够微小震动，避免夹具印记的产生，其中超声功率在3-8kW，功率过小超声效果不明显，功率过大易造成玻璃制损，另在超声振子上面隔有一层PVC板材，板厚太厚酸槽内超声效果较差，无法达到预期效果，其厚度在5-10mm保证UTG在面蚀刻处理过程中微小震动，达到预期效果。面蚀刻药液2为酸液，面蚀刻槽体又称酸槽。

化学钢化主要为在高温条件下进行钠钾离子交换的过程，利用两者体积差产生的挤压效应来提高玻璃表面强度及柔韧性。面蚀刻主要为对减薄或钢化后成品玻璃进行表面微蚀刻处理，主要目的为修复制程过程中产生的不良及钢化后放大的缺陷等问题；本发明的面蚀刻工装如图2所示；具体地，将多个UTG定位在PVC材质面蚀刻栏具中，一并放入混有氢氟酸/硝酸/硫酸/氟化铵/水的混合溶液中，控制蚀刻速率在0.5-1μm/min，蚀刻量在1-4μm，蚀刻过程中在酸槽伴有超声装置，防止玻璃出现夹具印记，去除玻璃表面蚀刻后残留的玻璃砂，保证玻璃板厚均匀性，优化玻璃表面粗糙度，能够有效消除钢化后玻璃表面微裂纹的缺陷，提高玻璃成品表面耐冲击强度。

本发明的面蚀刻优化使用独特的双面蚀刻工装槽体及常规浸泡技术对成品UTG进行面蚀刻优化减薄，蚀刻过程简单，操作容易，且装载量较大，过程中可随时监控生产异常及时处理，本发明所述减薄蚀刻工装对应最大尺寸玻璃范围为300*400mm，板厚从1.0mm减薄到0.02mm之间均可实现。

面蚀刻药液为HF/H2SO4/HCl/HNO3/NH4F及去离子水按一定比例混合而成，蚀刻完成后保证玻璃板厚均匀性控制在1μm之内，通过酸液浓度，酸蚀时间及酸液温度控制微蚀刻面蚀刻量在1-4μm，蚀刻量过低UTG表面不良难以完全去除，蚀刻量过高会导致钢化后UTG产品出现轻微翘曲现象，同时控制酸蚀速率在0.5-1μm/min，酸蚀速率过低蚀刻时间过长，生产效率低，酸蚀速率过过高，易造成边缘锯齿，边缘不良及UTG断裂等现象。

最后利用超声清洗对成品进行清洗烘干得到成品。本发明化学钢化及超声清洗栏具工装如图5所示，对钢化栏具的底齿和侧齿进行齿位加深防止玻璃在钢化过程出现跳齿现象，同时对栏具添加上卡，能够对每片超薄玻璃的不同部位进行限位约束，改善玻璃进行化学强化及清洗时因接触溶液向上浮起从而造成坏损；同时插片过程对栏具首位各插入一片挡板，防止玻璃因钢化过程浸入液体瞬间液体涌入冲倒玻璃造成制损；在钢化栏具各边缘均裹上耐高温石英绳，防止插片过程中超薄玻璃触碰到金属栏具造成玻璃边角坏损；另外在栏具底部设计了底框，防止玻璃钢化过程炸裂的碎玻璃掉入硝酸钾溶液中对后期钢化进程带来负面影响。

本发明采用专用设计栏具，能够同时对应超薄玻璃化学钢化及超声清洗工段，有效的保证各制程中的良率，栏具采用底齿，侧齿及上卡组合而成，能够有限的对UTG进行限位，且在刚性齿条上包裹耐高温柔性材料，减少制程过程制损。

本发明边缘处理方式主要为采用化学边缘蚀刻方式进行，同时对玻璃两面及UTG边缘进行处理，主要目的为对激光切割后玻璃边缘崩边进行蚀刻处理，保证玻璃边缘光滑无毛刺，提高玻璃弯折性能。

实例1：对比有无边缘蚀刻UTG单体可靠性数据

说明：对比未经过边缘蚀刻量+面蚀刻量处理的30/50/70μm UTG性能测试，经过10μm的边缘蚀刻量+面蚀刻量后，具有更小的动态弯折R角及更高的落笔冲击强度。

实例2：对比不同边缘蚀刻量UTG单体可靠性数据

说明：探究了不同边缘处理量+面蚀刻量对玻璃弯折及耐冲击性能的影响，结果表明处理量在10μm时性能最佳，具有更小的弯折R角及落笔冲击强度，蚀刻量过低可能崩边未完全去除，蚀刻量过高可能有蚀刻反应物残留堆积造成不良。

本发明所述一种超薄玻璃盖板加工工艺，操作方便，加工周期短，可实现量产规划，玻璃边缘及表面均得到相应的处理，良率较高，加工成品UTG具有较高的耐冲击强度及优异的弯折性能，能满足当前市场电子产品盖板类需求，具有较好的使用价值。

本发明提供的一种超薄玻璃盖板加工工艺有效的解决了超薄玻璃边缘不良及表面粗糙度优化问题，所述工艺路线合理，在UTG生产制程中良品率极高，且成品玻璃具有较高的耐冲击性和优异的弯折性能，同时具有高的透过率和弯折强度，具备量产性，能够有效的解决塑料盖板折痕问题，为折叠屏电子设备打开了广阔的视野，并为柔性屏市场提供了一种新的可能性。

本发明面蚀刻优化主要为利用氢氟酸溶液对玻璃表面进行微蚀刻优化，改善UTG钢化制程过程产生的不良及减少玻璃表面粗糙度，提升玻璃面冲击强度；边缘处理及面蚀刻优化过程添加超声装置，能够有效减少UTG与工装接触部位夹具印产生，提升玻璃面冲击强度；或利用发泡原理保证UTG在蚀刻过程中不会长时间接触工装，避免夹具印记，提高玻璃表观效果及表面强度。

以上结合附图对本发明进行了示例性描述，显然本发明具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本发明技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：包括玻璃大板减薄、激光切割、边缘处理、化学钢化、面蚀刻优化及超声清洗，所述边缘处理采用化学蚀刻方式，利用氢氟酸/硝酸/硫酸溶液通过浸泡的方式对切割后的超薄玻璃边缘进行钝化处理以修复玻璃四边微小的崩边缺陷，同时对玻璃两面进行蚀刻减薄。

2.如权利要求1所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述边缘处理中的蚀刻采用的为浸泡式处理，对超薄玻璃表观及四边同时进行蚀刻，可修复玻璃表面加工过程带来的不良及激光切割边缘微小崩边，蚀刻量在5-20μm，酸蚀速率在1.5-2μm/min。

3.如权利要求2所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述面蚀刻优化为对减薄或钢化后成品超薄玻璃进行表面微蚀刻处理，修复制程过程中产生的不良及钢化后放大的缺陷；利用微蚀刻药液浸泡超薄玻璃，微蚀刻面蚀刻量控制在1-4μm，控制酸蚀速率在0.5-1μm/min。

4.如权利要求3所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述边缘处理和面蚀刻优化工段所使用的装置均包括蚀刻槽体(1)、蚀刻药液(2)、蚀刻工装(3)和用于避免超薄玻璃(4)上夹具印记产生的除印机构，所述蚀刻工装(3)和除印机构均设置在蚀刻槽体(1)内，除印机构位于蚀刻工装(3)的下方，超薄玻璃(4)放置在蚀刻工装(3)中，蚀刻槽体(1)注有蚀刻药液(2)，超薄玻璃(4)浸泡在蚀刻药液(2)中；蚀刻工装(3)和超薄玻璃(4)竖立放置在蚀刻槽体(1)中，超薄玻璃(4)与蚀刻工装(3)上用于放置超薄玻璃(4)的腔体之间为间隙配合。

5.如权利要求4所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述除印机构为发泡管(5)，发泡管(5)均匀的安装在蚀刻槽体(1)内的底板上，蚀刻工装(3)放置在发泡管(5)上，发泡管(5)缓慢鼓泡使靠立在蚀刻工装(3)中超薄玻璃(4)进行轻微摆动。

6.如权利要求4所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述除印机构为超声振子(6)和PVC板(7)，超声振子(6)安装在蚀刻槽体(1)内的底板上，PVC板(7)的下底面与超声振子(6)的顶部紧密贴合，PVC板(7)的上表面与蚀刻工装(3)的底面紧密贴合，蚀刻工装(3)放置在PVC板(7)上，超声振子(6)产生的超声使靠立在蚀刻工装(3)中超薄玻璃(4)进行微小震动。

7.如权利要求5至6所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述蚀刻工装(3)包括夹板(31)、挡板(32)和底板，夹板(31)连接在底板的左右两侧，挡板(32)连接在底板前后两侧，夹板(31)与挡板(32)连接构成用于放置超薄玻璃(4)的腔体。

8.如权利要求7所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述夹板(31)上设有用于卡接超薄玻璃(4)侧部的凹槽(311)，凹槽(311)的宽度大于超薄玻璃(4)的厚度；所述挡板(32)上设有通孔(321)，蚀刻药液(2)通过通孔(321)进入到腔体中对超薄玻璃(4)进行面蚀刻。

9.如权利要求7所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述边缘处理中蚀刻药液(2)为氢氟酸/硝酸/硫酸混合溶液，其蚀刻速率在1.5-2μm/min，面蚀刻优化中蚀刻药液(2)为氢氟酸/硝酸/硫酸/氟化铵及去离子水的混合溶液，蚀刻速率在0.5-1μm/min；所述发泡管的直径为0.2-0.5mm，发泡流量为1-4mm/s；超声振子(6)的超声功率为3-8kW，PVC板(7)的厚度为5-10mm。

10.如权利要求2至4任意一项所述的一种超薄玻璃盖板加工工艺，其特征在于：所述激光切割采用红外皮秒激光切割机进行切割，切割功率为5-20w，切割速度为10-50mm/min，切割对应最大玻璃尺寸为550*650mm，切割崩边量在3-5μm，可满足各类玻璃异形形状切割。

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